RU2015144849A - Способ и устройство для детектирования повернутых сегментов в многосегментном стержне, перемещаемом в машине, используемой в табачном производстве - Google Patents
Способ и устройство для детектирования повернутых сегментов в многосегментном стержне, перемещаемом в машине, используемой в табачном производстве Download PDFInfo
- Publication number
- RU2015144849A RU2015144849A RU2015144849A RU2015144849A RU2015144849A RU 2015144849 A RU2015144849 A RU 2015144849A RU 2015144849 A RU2015144849 A RU 2015144849A RU 2015144849 A RU2015144849 A RU 2015144849A RU 2015144849 A RU2015144849 A RU 2015144849A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- rod
- optical sensors
- sensors
- segment
- scanning
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A24—TOBACCO; CIGARS; CIGARETTES; SIMULATED SMOKING DEVICES; SMOKERS' REQUISITES
- A24C—MACHINES FOR MAKING CIGARS OR CIGARETTES
- A24C5/00—Making cigarettes; Making tipping materials for, or attaching filters or mouthpieces to, cigars or cigarettes
- A24C5/32—Separating, ordering, counting or examining cigarettes; Regulating the feeding of tobacco according to rod or cigarette condition
- A24C5/34—Examining cigarettes or the rod, e.g. for regulating the feeding of tobacco; Removing defective cigarettes
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A24—TOBACCO; CIGARS; CIGARETTES; SIMULATED SMOKING DEVICES; SMOKERS' REQUISITES
- A24C—MACHINES FOR MAKING CIGARS OR CIGARETTES
- A24C5/00—Making cigarettes; Making tipping materials for, or attaching filters or mouthpieces to, cigars or cigarettes
- A24C5/32—Separating, ordering, counting or examining cigarettes; Regulating the feeding of tobacco according to rod or cigarette condition
- A24C5/34—Examining cigarettes or the rod, e.g. for regulating the feeding of tobacco; Removing defective cigarettes
- A24C5/3412—Examining cigarettes or the rod, e.g. for regulating the feeding of tobacco; Removing defective cigarettes by means of light, radiation or electrostatic fields
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A24—TOBACCO; CIGARS; CIGARETTES; SIMULATED SMOKING DEVICES; SMOKERS' REQUISITES
- A24C—MACHINES FOR MAKING CIGARS OR CIGARETTES
- A24C5/00—Making cigarettes; Making tipping materials for, or attaching filters or mouthpieces to, cigars or cigarettes
- A24C5/32—Separating, ordering, counting or examining cigarettes; Regulating the feeding of tobacco according to rod or cigarette condition
- A24C5/34—Examining cigarettes or the rod, e.g. for regulating the feeding of tobacco; Removing defective cigarettes
- A24C5/343—Examining cigarettes or the rod, e.g. for regulating the feeding of tobacco; Removing defective cigarettes by mechanical means, e.g. feelers
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A24—TOBACCO; CIGARS; CIGARETTES; SIMULATED SMOKING DEVICES; SMOKERS' REQUISITES
- A24D—CIGARS; CIGARETTES; TOBACCO SMOKE FILTERS; MOUTHPIECES FOR CIGARS OR CIGARETTES; MANUFACTURE OF TOBACCO SMOKE FILTERS OR MOUTHPIECES
- A24D3/00—Tobacco smoke filters, e.g. filter-tips, filtering inserts; Filters specially adapted for simulated smoking devices; Mouthpieces for cigars or cigarettes
- A24D3/02—Manufacture of tobacco smoke filters
- A24D3/0229—Filter rod forming processes
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A24—TOBACCO; CIGARS; CIGARETTES; SIMULATED SMOKING DEVICES; SMOKERS' REQUISITES
- A24D—CIGARS; CIGARETTES; TOBACCO SMOKE FILTERS; MOUTHPIECES FOR CIGARS OR CIGARETTES; MANUFACTURE OF TOBACCO SMOKE FILTERS OR MOUTHPIECES
- A24D3/00—Tobacco smoke filters, e.g. filter-tips, filtering inserts; Filters specially adapted for simulated smoking devices; Mouthpieces for cigars or cigarettes
- A24D3/02—Manufacture of tobacco smoke filters
- A24D3/0275—Manufacture of tobacco smoke filters for filters with special features
- A24D3/0287—Manufacture of tobacco smoke filters for filters with special features for composite filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/08—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters
- G01B11/10—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters of objects while moving
- G01B11/105—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters of objects while moving using photoelectric detection means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2433—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring outlines by shadow casting
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/245—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using a plurality of fixed, simultaneously operating transducers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Of Cigar And Cigarette Tobacco (AREA)
Claims (15)
1. Способ детектирования повернутых сегментов, имеющих длину, близкую к их диаметру, в непрерывном многосегментном стержне, перемещаемом в машине, используемой в табачном производстве, способ включает в себя генерирование сигнала об ошибке формы указанного непрерывного многосегментного стержня (CR1, CR1'), причем стержень (CR1, CR1') содержит множество сегментов (2, 3, 4), расположенных друг за другом в общей обертке, при этом стержень (CR1, CR1'), перемещаемый в направлении вдоль его оси, одновременно сканируют посредством по меньшей мере двух оптических датчиков (5), причем направления сканирования двух оптических датчиков (5) ориентированы относительно друг друга под углом, отличным от 90°, при этом измеряют диаметр стержня (CR1, CR1') путем повторяемых сканирований с такой частотой, что самый короткий сегмент стержня (CR1, CR1') сканируется по меньшей мере однократно, сравнивают результаты сканирований с предварительно определенным эталонным значением и преобразуют в сигнал об ошибке формы каждое расхождение между любым из результатов сканирований и предварительно определенным значением.
2. Способ по п. 1, в котором стержень (CR1, CR1') сканируют посредством двух оптических датчиков (5), причем направления сканирования оптических датчиков (5) ориентируют под углом между 40° и 60°, предпочтительно 45°.
3. Устройство для детектирования повернутых сегментов, имеющих длину, близкую к их диаметру, в непрерывном многосегментном стержне (CR1, CR1'), перемещаемом в машине, используемой в табачном производстве, путем генерирования сигнала об ошибке формы указанного стержня (CR1, CR1'), причем стержень (CR1, CR1') содержит множество сегментов (2, 3, 4), расположенных друг за другом в общей обертке, устройство содержит по меньшей мере два оптических датчика (5) для сканирования перемещаемого стержня (CR1, CR1'), причем направления сканирования двух оптических датчиков (5) ориентированы относительно друг друга под углом, отличным от 90°, при этом оптические датчики (5) приспособлены для измерения диаметра стержня (CR1, CR1') путем повторяемых сканирований, временной промежуток между последовательными сканированиями является регулируемым, так что каждый сегмент сканируется по меньшей мере однократно, устройство дополнительно содержит контроллер (8), обеспечивающий возможность сравнивать результаты последовательных сканирований с предварительно определенным эталонным значением и преобразовывать в сигнал об ошибке формы каждое расхождение между любым из результатов сканирований и предварительно определенным значением.
4. Устройство по п. 3, содержащее два оптических датчика (5), причем направления сканирования оптических датчиков (5) ориентированы под углом между 40° и 60°, предпочтительно 45°.
5. Устройство по п. 4, в котором каждый оптический датчик (5) содержит источник (6) излучения, работающий предпочтительно в видимом спектре, и светочувствительный элемент (7), причем источник (6) излучения и светочувствительный элемент (7) расположены на взаимно противоположных сторонах перемещаемого стержня (CR1, CR1').
6. Устройство по п. 3, в котором оптические датчики (5) представляют собой линейные датчики (5').
7. Устройство по п. 6, в котором плоскости сканирования датчиков (5') по существу компланарны.
8. Устройство по п. 3, в котором оптические датчики (5) представляют собой поверхностные датчики (5ʺ).
9. Устройство по п. 8, в котором области сканирования датчиков (5ʺ) по существу одинаковы.
10. Машина для изготовления многосегментных стержней из перемещаемого в ней непрерывного многосегментного стержня (CR1, CR1'), машина содержит устройство для детектирования повернутых сегментов, содержащихся в непрерывном многосегментном стержне (CR1, CR1'), причем детектируемые сегменты имеют длину, близкую к их диаметру, устройство приспособлено генерировать сигнал об ошибке формы указанного стержня (CR1, CR1'), стержень (CR1, CR1') содержит множество сегментов (2, 3, 4), расположенных друг за другом в общей обертке, устройство содержит по меньшей мере два оптических датчика (5) для сканирования перемещаемого стержня (CR1, CR1'), причем направления сканирования двух оптических датчиков (5) ориентированы относительно друг друга под углом, отличным от 90°, оптические датчики (5) приспособлены для измерения диаметра стержня (CR1, CR1') путем повторяемых сканирований, временной промежуток между последовательными сканированиями является регулируемым, так что каждый сегмент сканируется по меньшей мере однократно, устройство дополнительно содержит контроллер (8), обеспечивающий возможность сравнивать результаты последовательных сканирований с предварительно определенным эталонным значением и преобразовывать в сигнал об ошибке формы каждое расхождение между любым из результатов сканирований и предварительно определенным значением.
11. Машина по п. 10, в которой устройство для детектирования содержит два оптических датчика (5), причем направления сканирования оптических датчиков (5) ориентированы под углом между 40° и 60°, предпочтительно 45°.
12. Машина по п. 11, в которой каждый оптический датчик (5) содержит источник (6) излучения, работающий предпочтительно в видимом спектре, и светочувствительный элемент (7), причем источник (6) излучения и светочувствительный элемент (7) расположены на взаимно противоположных сторонах перемещаемого стержня (CR1, CR1').
13. Машина по п. 10, в которой оптические датчики (5) представляют собой линейные датчики (5').
14. Машина по п. 13, в которой плоскости сканирования датчиков (5') по существу компланарны.
15. Машина по п. 10, в которой оптические датчики (5) представляют собой поверхностные датчики (5ʺ).
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PLP.403464 | 2013-04-08 | ||
PL403464A PL223633B1 (pl) | 2013-04-08 | 2013-04-08 | Sposób i urządzenie do detekcji obróconych segmentów w wielosegmentowym wałku przemieszczanym w maszynie stosowanej w przemyśle tytoniowym |
PCT/EP2014/057050 WO2014166944A1 (en) | 2013-04-08 | 2014-04-08 | Method and device for detection of rotated segments in a multi-segment rod transferred in a machine used in tobacco industry |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2015144849A true RU2015144849A (ru) | 2017-05-11 |
RU2649380C2 RU2649380C2 (ru) | 2018-04-02 |
Family
ID=50588647
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2015144849A RU2649380C2 (ru) | 2013-04-08 | 2014-04-08 | Способ и устройство для детектирования повернутых сегментов в многосегментном стержне, перемещаемом в машине, используемой в табачном производстве |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10072925B2 (ru) |
EP (1) | EP2983533B1 (ru) |
JP (1) | JP6255479B2 (ru) |
CN (1) | CN105072931B (ru) |
HU (1) | HUE046498T2 (ru) |
PL (1) | PL223633B1 (ru) |
RU (1) | RU2649380C2 (ru) |
WO (1) | WO2014166944A1 (ru) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
PL226663B1 (pl) * | 2014-10-17 | 2017-08-31 | Int Tabacco Machinery Poland Spółka Z Ograniczoną Odpowiedzialnością | Sposób i urządzenie do detekcji obróconych, niezamkniętych w materiale owijkowym segmentów przemieszczanych w ciągu segmentów jeden za drugim w maszynie stosowanej w przemyśle tytoniowym oraz maszyna zawierająca takie urządzenie |
WO2017212358A1 (en) * | 2016-06-10 | 2017-12-14 | International Tobacco Machinery Poland Sp. Z O.O. | Apparatus for determination of the position of an insert in rod-like articles of the tobacco industry |
PL233097B1 (pl) * | 2016-06-10 | 2019-09-30 | Int Tobacco Machinery Poland Spolka Z Ograniczona Odpowiedzialnoscia | Urządzenie do określania położenia wkładki w artykułach prętopodobnych przemysłu tytoniowego |
CN106679576A (zh) * | 2017-02-05 | 2017-05-17 | 长沙博思科技有限公司 | 实时测量烟草加工业棒状物圆周的装置 |
EP3387919B1 (en) * | 2017-04-12 | 2020-01-29 | Sodim S.A.S. | Method and system for determining the track of origin of products of the tobacco processing industry, cigarette inspection station |
DE112020002035B4 (de) | 2020-01-27 | 2022-10-06 | Japan Tobacco Inc. | Prüfverfahren und Prüfvorrichtung für Filter für Rauchartikel |
CN114747800A (zh) * | 2022-02-28 | 2022-07-15 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 醋酸纤维丝束拼接段检测方法及装置 |
EP4343276A1 (en) * | 2022-09-21 | 2024-03-27 | International Tobacco Machinery Poland Sp. z o.o. | A method for measuring a diameter of a continuous rod of tobacco industry products |
EP4343275A1 (en) * | 2022-09-21 | 2024-03-27 | International Tobacco Machinery Poland Sp. z o.o. | A method and system for measuring a diameter of a continuous rod of tobacco industry products |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH576242A5 (ru) * | 1974-03-13 | 1976-06-15 | Baumgartner Papiers Sa | |
CH621245A5 (ru) | 1977-06-21 | 1981-01-30 | Baumgartner Papiers Sa | |
CH627119A5 (ru) | 1977-10-19 | 1981-12-31 | Baumgartner Papiers Sa | |
DE3219389A1 (de) | 1982-05-24 | 1983-11-24 | Richter Bruno Gmbh | Optisch-elektrisches messverfahren zur erfassung von unrunden querschnitten insbesondere strangartiger gegenstaende und einrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
US4805641A (en) | 1985-07-31 | 1989-02-21 | Korber Ag | Method and apparatus for ascertaining the density of wrapped tobacco fillers and the like |
DE3633275A1 (de) | 1986-09-30 | 1987-10-08 | Siemens Ag | Verfahren zum generieren von lagesignalen, die orte repraesentieren, welche die etwa elliptische querschnittsflaeche eines objektes begrenzen |
CH683370A5 (de) * | 1992-04-10 | 1994-02-28 | Zumbach Electronic Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Abmessung eines Objekts. |
JPH08201029A (ja) * | 1995-01-20 | 1996-08-09 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 長尺体の外径測定方法及びその装置 |
DE19647613C2 (de) * | 1996-11-18 | 1998-11-12 | Laser Applikationan Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke von unrunden länglichen und in Richtung ihrer Längsachse vorgeschobenen Werkstücken mit beliebiger und sich ändernder Winkellage |
IT1295207B1 (it) * | 1997-10-01 | 1999-05-04 | Gd Spa | Unita' per il rilevamento delle dimensioni trasversali di articoli a forma di barretta. |
US6252661B1 (en) * | 1999-08-02 | 2001-06-26 | James L. Hanna | Optical sub-pixel parts inspection system |
DE10203095A1 (de) * | 2002-01-25 | 2003-07-31 | Hauni Maschinenbau Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Durchmessers von Zigarettenstrang- oder stabförmigen Erzeugnissen der Tabak verarbeitenden Industrie |
ATE331443T1 (de) * | 2002-09-11 | 2006-07-15 | Hauni Maschinenbau Ag | Verfahren und vorrichtung zum messen der länge und des durchmessers von filterstäben |
DE10304503A1 (de) * | 2003-02-05 | 2004-08-19 | Hauni Maschinenbau Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Messen des Durchmessers eines stabförmigen Gegenstandes insbesondere der tabakverarbeitenden Industrie |
DE10323152A1 (de) | 2003-05-22 | 2004-12-16 | Hauni Maschinenbau Ag | Vorrichtung zum Messen des Durchmessers eines stabförmigen Gegenstandes insbesondere der Tabak verarbeitenden Industrie |
WO2005022076A2 (en) | 2003-08-23 | 2005-03-10 | General Inspection, Llc | Part inspection apparatus |
JP4424610B2 (ja) | 2004-06-04 | 2010-03-03 | 花王株式会社 | 電子写真用トナーの製造方法 |
DE102004057092A1 (de) * | 2004-11-25 | 2006-06-01 | Hauni Maschinenbau Ag | Messen des Durchmessers von stabförmigen Artikeln der Tabak verarbeitenden Industrie |
DE102005046581A1 (de) * | 2005-09-28 | 2007-03-29 | Hauni Maschinenbau Ag | Einrichtung und Verfahren zum Messen von Eigenschaften von Multisegmentfiltern oder Zusammenstellungen von Filtersegmenten |
US7738121B2 (en) * | 2007-10-23 | 2010-06-15 | Gii Acquisition, Llc | Method and inspection head apparatus for optically measuring geometric dimensions of a part |
GB2465024B (en) | 2008-11-08 | 2011-01-12 | Adaptive Automation Ltd | Shadow sensing apparatus |
US9131730B2 (en) | 2010-01-07 | 2015-09-15 | Aiger Group Ag | System and apparatus for registration of different objects in rod shaped articles |
PL216616B1 (pl) | 2010-06-30 | 2014-04-30 | Int Tobacco Machinery Poland | Sposób weryfikowania i poprawy usytuowania elementów prętopodobnych w kasetach lub magazynach pośrednich oraz urządzenie umożliwiające weryfikację prawidłowego usytuowania elementów prętopodobnych i liniowanie ich czołowej powierzchni w kasetach lub magazynach pośrednich |
CN102160690B (zh) | 2011-01-17 | 2013-09-18 | 南京大树智能科技股份有限公司 | 滤棒圆周在线自动检测与控制方法及装置 |
-
2013
- 2013-04-08 PL PL403464A patent/PL223633B1/pl unknown
-
2014
- 2014-04-08 WO PCT/EP2014/057050 patent/WO2014166944A1/en active Application Filing
- 2014-04-08 RU RU2015144849A patent/RU2649380C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2014-04-08 HU HUE14719655A patent/HUE046498T2/hu unknown
- 2014-04-08 EP EP14719655.4A patent/EP2983533B1/en active Active
- 2014-04-08 US US14/782,631 patent/US10072925B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2014-04-08 CN CN201480019690.3A patent/CN105072931B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2014-04-08 JP JP2016506914A patent/JP6255479B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
PL403464A1 (pl) | 2014-10-13 |
CN105072931A (zh) | 2015-11-18 |
US20160091301A1 (en) | 2016-03-31 |
PL223633B1 (pl) | 2016-10-31 |
RU2649380C2 (ru) | 2018-04-02 |
EP2983533B1 (en) | 2019-10-09 |
JP6255479B2 (ja) | 2017-12-27 |
WO2014166944A1 (en) | 2014-10-16 |
JP2016515828A (ja) | 2016-06-02 |
EP2983533A1 (en) | 2016-02-17 |
HUE046498T2 (hu) | 2020-03-30 |
CN105072931B (zh) | 2018-05-11 |
US10072925B2 (en) | 2018-09-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2015144849A (ru) | Способ и устройство для детектирования повернутых сегментов в многосегментном стержне, перемещаемом в машине, используемой в табачном производстве | |
CN108760878B (zh) | 振动测定装置以及方法、缺陷检查装置以及方法 | |
MX361993B (es) | Métodos y aparatos para monitorear el estado de un objeto en movimiento y sistemas para la inspección rápida de un vehículo. | |
JP2016535690A5 (ru) | ||
MX2017015182A (es) | Metodo y dispositivo para inspeccionar cigüeñal. | |
RU2017100254A (ru) | Сенсорное устройство, устройство измерения и способ измерений | |
US20160131474A1 (en) | Non-contact surface-shape measurment method and apparatus using white light interferometer optical head | |
JP2015531852A5 (ru) | ||
RU2017116140A (ru) | Способ и устройство обнаружения повернутых сегментов, транспортируемых в машине, применяемой в табачной промышленности, и машина для изготовления многосегментных стержней, содержащая такое устройство | |
JP2016212105A5 (ru) | ||
TW201534953A (zh) | 距離測定裝置 | |
JP2014001925A5 (ru) | ||
JP2015017811A5 (ru) | ||
PL412267A1 (pl) | Układ pomiarowy do wyznaczania położenia płaszczyzny ogniskowej i długości ogniskowej układu optycznego oraz sposób wyznaczania położenia płaszczyzny ogniskowej i długości ogniskowej układu optycznego | |
RU2017110024A (ru) | Измерительное устройство и способ измерения для многосегментных стержнеобразных изделий табачной промышленности | |
JP2013164416A (ja) | 位置測定装置で複数の走査検知ユニットを有する構造 | |
RU2019102215A (ru) | Устройство для измерения продуктов и способ измерения продуктов | |
EP4007887A1 (en) | Apparatus and method of measuring the inner diameter of a tube along the respective production line | |
FR3050031B1 (fr) | Capteur pour la mesure de la concentration atmospherique de particules | |
JP2017106876A5 (ru) | ||
RU2013155089A (ru) | Измерительное устройство для измерения изгиба | |
JP7064610B2 (ja) | 観察方法および観察装置 | |
CN206803960U (zh) | 白光光谱共焦线扫描装置 | |
RU2017135358A (ru) | Устройство получения изображений и соответствующий способ получения изображений | |
EP2995903A3 (en) | Interferometric measurement apparatus, measurement method, and method of manufacturing article with reduced influence of cyclic errors |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20210409 |