RU2014119260A - Способ и система двойного изображения для генерации многомерного изображения образца - Google Patents
Способ и система двойного изображения для генерации многомерного изображения образца Download PDFInfo
- Publication number
- RU2014119260A RU2014119260A RU2014119260/08A RU2014119260A RU2014119260A RU 2014119260 A RU2014119260 A RU 2014119260A RU 2014119260/08 A RU2014119260/08 A RU 2014119260/08A RU 2014119260 A RU2014119260 A RU 2014119260A RU 2014119260 A RU2014119260 A RU 2014119260A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrate
- image
- dimensional
- sample
- images
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 31
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 title 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 70
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract 18
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 claims 10
- 239000011707 mineral Substances 0.000 claims 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 9
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 8
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 8
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 4
- 239000004927 clay Substances 0.000 claims 3
- 239000011435 rock Substances 0.000 claims 3
- 229910000514 dolomite Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010459 dolomite Substances 0.000 claims 2
- YTAHJIFKAKIKAV-XNMGPUDCSA-N [(1R)-3-morpholin-4-yl-1-phenylpropyl] N-[(3S)-2-oxo-5-phenyl-1,3-dihydro-1,4-benzodiazepin-3-yl]carbamate Chemical compound O=C1[C@H](N=C(C2=C(N1)C=CC=C2)C1=CC=CC=C1)NC(O[C@H](CCN1CCOCC1)C1=CC=CC=C1)=O YTAHJIFKAKIKAV-XNMGPUDCSA-N 0.000 claims 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims 1
- -1 kerogen Substances 0.000 claims 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T5/00—Image enhancement or restoration
- G06T5/50—Image enhancement or restoration using two or more images, e.g. averaging or subtraction
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/30—Determination of transform parameters for the alignment of images, i.e. image registration
- G06T7/38—Registration of image sequences
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/222—Image processing arrangements associated with the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/10—Image acquisition modality
- G06T2207/10056—Microscopic image
- G06T2207/10061—Microscopic image from scanning electron microscope
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/20—Special algorithmic details
- G06T2207/20212—Image combination
- G06T2207/20221—Image fusion; Image merging
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/22—Treatment of data
- H01J2237/226—Image reconstruction
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2809—Scanning microscopes characterised by the imaging problems involved
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
1. Способ генерации многомерного изображения образца, который включает:захват первого двухмерного изображения подложки области поверхности образца с использованием первой модальности захвата изображения, причем захватывают местоположения по меньшей мере одного материала на области поверхности;захват второго двухмерного изображения подложки области поверхности с использованием второй модальности захвата изображения, которая отличается от первой модальности захвата изображения, причем вторая модальность захвата изображения обеспечивает более высокую точность в отношении местоположений по меньшей мере одного материала на области поверхности, чем первая модальность захвата изображения;пространственное выравнивание первого двухмерного изображения подложки, основываясь на втором двухмерном изображении подложки;генерацию первого скорректированного двухмерного изображения подложки по меньшей мере отчасти на основе местоположений по меньшей мере одного материала на втором двухмерном изображении подложки.2. Способ по п. 1, в котором первое скорректированное двухмерное изображение подложки содержит содержимое первого материала, определяемое посредством второй модальности, которая имеет более высокую точность в отношении идентификации этого первого материала, чем при измерении с использованием первоймодальности, и содержимое пористости образца определяютпосредством первой модальности, которая имеет более высокую точность в отношении идентификации пористости на первом двухмерном изображении, чем вторая модальность.3. Способ по п. 1, в котором указанная генерация включает:идентификацию место
Claims (29)
1. Способ генерации многомерного изображения образца, который включает:
захват первого двухмерного изображения подложки области поверхности образца с использованием первой модальности захвата изображения, причем захватывают местоположения по меньшей мере одного материала на области поверхности;
захват второго двухмерного изображения подложки области поверхности с использованием второй модальности захвата изображения, которая отличается от первой модальности захвата изображения, причем вторая модальность захвата изображения обеспечивает более высокую точность в отношении местоположений по меньшей мере одного материала на области поверхности, чем первая модальность захвата изображения;
пространственное выравнивание первого двухмерного изображения подложки, основываясь на втором двухмерном изображении подложки;
генерацию первого скорректированного двухмерного изображения подложки по меньшей мере отчасти на основе местоположений по меньшей мере одного материала на втором двухмерном изображении подложки.
2. Способ по п. 1, в котором первое скорректированное двухмерное изображение подложки содержит содержимое первого материала, определяемое посредством второй модальности, которая имеет более высокую точность в отношении идентификации этого первого материала, чем при измерении с использованием первой
модальности, и содержимое пористости образца определяют
посредством первой модальности, которая имеет более высокую точность в отношении идентификации пористости на первом двухмерном изображении, чем вторая модальность.
3. Способ по п. 1, в котором указанная генерация включает:
идентификацию местоположений по меньшей мере одного материала на первом двухмерном изображении подложки, которые соответствуют местоположениям по меньшей мере одного материала на втором двухмерном изображении подложки; и
коррекцию местоположений по меньшей мере одного материала на первом двухмерном изображении подложки, которые соответствуют местоположениям по меньшей мере одного материала на втором двухмерном изображении подложки, чтобы генерировать первое скорректированное двухмерное изображение подложки.
4. Способ по п. 3, который дополнительно включает:
a) удаление слоя образца на области поверхности после захвата первого и второго двухмерных изображений подложки для того, чтобы обнажать другую область поверхности образца;
b) захват первого двухмерного изображения подложки на другой области поверхности с использованием первой модальности захвата изображения;
c) захват второго двухмерного изображения подложки на другой области поверхности с использованием второй модальности захвата изображения;
d) повторение стадий a), b) и c) множество раз;
e) пространственное выравнивание первых двухмерных изображений подложки на основе вторых двухмерных изображений подложки;
f) идентификацию, для каждой другой области поверхности, местоположений по меньшей мере одного материала на первом двухмерном изображении подложки, которые соответствуют местоположениям по меньшей мере одного материала на втором двухмерном изображении подложки;
g) коррекцию, для каждой из других областей поверхности, местоположений по меньшей мере одного материала на первом двухмерном изображении подложки, которые соответствуют местоположениям по меньшей мере одного материала на втором двухмерном изображении подложки, чтобы генерировать второе скорректированное двухмерное изображение подложки;
h) генерацию трехмерного объема подложки с использованием скорректированных двухмерных изображений подложки.
5. Способ по п. 1, в котором указанная генерация включает определение пористости подложки, основываясь на поверхностном электронном двухмерном изображении подложки, скорректированном посредством сравнения с обратно рассеянным электронным изображением подложки.
6. Способ по п. 1, в котором первая модальность захвата изображения включает сканирование указанной области поверхности образца с помощью пучка заряженных частиц и регистрацию данных первого изображения посредством обнаружения вторичных (поверхностных) электронов, испускаемых указанным образцом, и хранение данных указанного первого изображения в виде первого набора данных изображения, который соответствует первому двухмерному изображению подложки, и причем вторая модальность захвата изображения включает:
i) сканирование указанной области поверхности образца с помощью пучка заряженных частиц и регистрацию данных второго изображения посредством обнаружения обратно рассеянных электронов, испускаемых указанным образцом, и хранение указанных данных второго изображения в качестве второго набора данных изображения, который соответствует второму двухмерному изображению подложки, или
ii) сканирование указанной области поверхности образца с помощью пучка заряженных частиц и регистрацию данных второго изображения посредством обнаружения рентгеновских лучей, испускаемых указанным образцом, с использованием энергодисперсионного спектрометра и хранение указанных данных второго изображения в качестве второго набора данных изображения.
7. Способ создания трехмерного объема, который включает:
захват множества поверхностных электронных двухмерных изображений подложки;
захват множества обратно рассеянных электронных двухмерных изображений подложки;
определение выравнивания множества обратно рассеянных электронных изображений подложки для генерации трехмерного объема;
генерацию трехмерного объема подложки из поверхностных электронных двухмерных изображений подложки с использованием выравнивания множества обратно рассеянных электронных изображений подложки.
8. Способ по п. 7, где на стадиях захвата используют
электронный микроскоп, который содержит детектор поверхностных электронов и детектор обратно рассеянных электронов.
9. Способ по п. 8, где электронный микроскоп представляет собой сканирующий электронный микроскоп (СЭМ), способный сканировать подложку с использованием первичного пучка заряженных частиц, где подложка испускает поддающиеся отдельному обнаружению поверхностные электроны и обратно рассеянные электроны.
10. Способ по п. 7, который дополнительно включает:
удаление слоя подложки после того, как захватывают первое поверхностное электронное двухмерное изображение подложки и первое обратно рассеянное электронное двухмерное изображение подложки, и перед тем, как захватывают второе поверхностное электронное двухмерное изображение подложки и второе обратно рассеянное электронное двухмерное изображение подложки.
11. Способ по п. 10, где стадию удаления слоя повторяют после того, как захватывают второе поверхностное электронное двухмерное изображение подложки и второе обратно рассеянное электронное двухмерное изображение подложки, и стадию удаления после захвата каждого последующего набора поверхностных электронных и обратно рассеянных электронных изображений повторяют по меньшей мере до момента после захвата предпоследнего набора изображений.
12. Способ по п. 11, где удаление включает сухое травление, распыление или какие-либо их сочетания посредством фокусированного ионного пучка.
13. Способ по п. 11, который дополнительно включает:
определение пористости подложки на основе последовательности поверхностных электронных двухмерных изображений подложки, скорректированных посредством сравнения с множеством обратно рассеянных электронных изображений подложки.
14. Способ по п. 7, где подложка содержит по меньшей мере одну породу или минерал.
15. Способ по п. 7, где подложка представляет собой глинистый сланец, глинистую породу, алевролит, аргилит, порцелланит, доломит или их сочетание.
16. Способ по п. 7, где подложка содержит глинистый сланец.
17. Способ по п. 7, который дополнительно включает:
определение содержимого включений на органической основе в подложке по обратно рассеянному электронному трехмерному изображению подложки.
18. Способ по п. 17, где включение на органической основе содержит кероген.
19. Способ по п. 7, который дополнительно включает:
по меньшей мере одно из отображения поверхностного электронного трехмерного изображения подложки и обратно рассеянного электронного трехмерного изображения подложки на экране, печати поверхностного электронного трехмерного изображения подложки и обратно рассеянного электронного трехмерного изображения подложки и хранения поверхностного электронного трехмерного изображения подложки и обратно рассеянного электронного трехмерного изображения подложки в устройстве памяти.
20. Способ по п. 7, где генерируемый объем состоит из
вокселей, которые имеют длину стороны приблизительно от 1 нм приблизительно до 30 нм.
21. Способ по п. 20, где удаляемый слой имеет толщину приблизительно от 1 нм приблизительно до 30 нм.
22. Способ создания трехмерного объема:
захват множества поверхностных электронных двухмерных изображений подложки;
захват множества обратно рассеянных электронных двухмерных изображений подложки;
определение выравнивания множества обратно рассеянных электронных изображений подложки для генерации трехмерного объема;
генерацию трехмерного объема подложки по обратно рассеянным электронным двухмерным данным подложки с использованием выравнивания множества поверхностных электронных изображений подложки.
23. Способ генерации трехмерного цифрового изображения образца, который включает стадии:
a) сканирование поверхности образца с помощью первичного электронного пучка, генерируемого посредством источника электронов, где образец содержит кероген и минерал, и (i) регистрация данных первого изображения, основываясь на обнаружении поверхностных электронов образца и хранения данных первого изображения в качестве первого двухмерного изображения, которое содержит значение шкалы серого, присвоенное каждому из множества пикселей на изображении, и (ii) регистрация данных второго изображения, основываясь на обнаружении обратно
рассеянных электронов, испускаемых указанным образцом во время указанного сканирования, и хранение данных второго изображения в качестве второго двухмерного изображения, содержащего значение шкалы серого, присвоенное каждому из множества пикселей на изображении, где первое и второе двухмерные изображения предоставляют двойной набор данных изображения, связанных со указанной сканируемой поверхностью;
b) удаление слоя с образца с помощью ионного пучка, направленного на указанный образец, чтобы предоставлять другую обнаженную поверхность на образце;
c) сканирование указанной другой обнаженной поверхности указанного образца с помощью первичного электронного пучка, и повторение стадий a) (i) и a) (ii), чтобы предоставлять двойной набор данных изображения, связанных с указанной другой обнаженной поверхностью;
d) повторение указанной стадии b) и указанной стадии c) множество раз;
e) укладывание стопкой множества двойных наборов данных изображения, получаемых на стадиях a) и d), посредством расположения соответствующих первого и второго двухмерных изображений в том же последовательном порядке, как получают из образца;
f) выравнивание первых двухмерных изображений относительно указанных вторых двухмерных изображений;
g) анализ указанных первых и вторых двухмерных изображений из указанного множества двойных наборов данных изображения, который включает отнесение указанных пикселей к пространству пор
или керогену для того, чтобы формировать анализируемые первые и вторые двухмерные изображения;
h) идентификация пикселей, отнесенных к керогену на анализируемых первых двухмерных изображениях, которые не отнесены к керогену на анализируемых вторых двухмерных изображениях в указанном двойном наборе данных изображения; и
i) повторное отнесение пикселей, идентифицированных на стадии h), к пространству пор на анализируемых первых двухмерных изображениях, связанных с указанным двойным набором данных изображения.
24. Способ генерации трехмерного цифрового изображения образца, который включает стадии:
a) сканирование поверхности образца с помощью первичного электронного пучка, генерируемого посредством источника электронов, где образец содержит поры, кероген и минералы, и (i) регистрация данных первого изображения на основе обнаружения поверхностных электронов образца и хранение данных первого изображения в качестве первого двухмерного изображения, которое содержит значение шкалы серого, присвоенное каждому из множества пикселей на изображении, и (ii) регистрация данных второго изображения на основе обнаружения обратно рассеянных электронов, испускаемых указанным образцом во время указанного сканирования, и хранение данных второго изображения в качестве второго двухмерного изображения, содержащего значение шкалы серого, присвоенное каждому из множества пикселей на изображении, где первые и вторые двухмерные изображения предоставляют двойной набор данных изображения, связанный с указанной сканируемой
поверхностью;
b) удаление слоя с образца с помощью ионного пучка, направленного на указанный образец, чтобы предоставить другую обнаженную поверхность на образце;
c) сканирование указанной другой обнаженной поверхности указанного образца с помощью первичного электронного пучка, и повторение стадий a) (i) и a) (ii), чтобы предоставлять двойной набор данных изображения, связанных с указанной другой обнаженной поверхностью;
d) повторение указанной стадии b) и указанной стадии c) множество раз;
e) укладывание стопкой множества двойных наборов данных изображения, получаемых на стадиях a) и d), посредством расположения соответствующих первого и второго двухмерных изображений в том же последовательном порядке, как получают из образца;
f) выравнивание первых двухмерных изображений относительно указанных вторых двухмерных изображений;
g) осуществление базового анализа указанных первых двухмерных изображений из указанного множества двойных наборов данных изображения, который включает сегментирование указанных пикселей на пространство пор, керогена или минерала для того, чтобы формировать базовые анализируемые первые двухмерные изображения;
h) первый анализ указанных вторых двухмерных изображений из указанного множества двойных наборов данных изображения, который включает отбор только пикселей, которые имеют значения шкалы
серого, превышающие предварительно выбираемое пороговое значение шкалы серого для керогена, чтобы определять первую маску;
i) второй анализ указанных вторых двухмерных изображений из указанного множества двойных наборов данных изображения, который включает отбор только пикселей, которые имеют значения шкалы серого ниже предварительно выбираемого порогового значения шкалы серого для минерала, чтобы определять вторую маску;
j) изменение указанных базовых анализируемых первых двухмерных изображений посредством первой маски и второй маски, которое включает повторное отнесение пикселей из пространства керогена в пространство пор на базовых анализируемых первых двухмерных изображениях с использованием первой маски и повторное отнесение пикселей от минерала к керогену на базовых анализируемых первых двухмерных изображениях с использованием второй маски.
25. Способ по п. 24, где удаление слоя на стадии b) включает ионное травление указанного образца в направлении, приблизительно перпендикулярном к предыдущей обнаженной поверхности образца, чтобы удалять слой приблизительно равномерной толщины приблизительно от 1 нм приблизительно до 5 нм.
26. Способ по п. 24, где образец содержит по меньшей мере одну породу или минерал.
27. Способ по п. 24, где образец представляет собой глинистый сланец, глинистую породу, алевролит, аргилит, порцелланит, доломит или их сочетание.
28. Способ по п. 24, который дополнительно включает стадию
k), вычисление процентной доли общего пространства пор и процентной доли общего керогена для согласованных изображений образца, полученных посредством стадии j).
29. Система генерации трехмерных цифровых изображений образца, которая содержит:
a) микроскоп заряженных частиц, который содержит
колонну сканирующего электронного пучка, которая содержит источник электронов для генерации первичного электронного пучка,
колонну ионного пучка для генерации фокусированного ионного пучка на образце для того, чтобы последовательно удалять тонкий его слой в направлении толщины образца и обнажать другую поверхность образца для сканирования с помощью первичного электронного пучка,
первый детектор заряженных частиц для обнаружения поверхностных электронов образца при сканировании с использованием первичного электронного пучка,
второй детектор заряженных частиц для обнаружения обратно рассеянных электронов, испускаемых сканируемым образцом,
b) первую систему обработки сигнала для регистрации данных первого изображения на основе поверхностных электронов образца, обнаруживаемых посредством указанного первого детектора заряженных частиц, и хранения данных первого изображения в качестве первого двухмерного изображения, которое содержит значение шкалы серого, присвоенное каждому из множества пикселей на изображении, и вторую систему обработки сигнала для регистрации данных второго изображения на основе обратно рассеянных электронов, испускаемых указанным образцом во время
указанного сканирования, которые обнаруживают посредством указанного второго детектора заряженных частиц, и хранения данных второго изображения в качестве второго двухмерного изображения, которое содержит значение шкалы серого, присвоенное каждому из множества пикселей на изображении, где первые и вторые двухмерные изображения предоставляют двойной набор данных изображения, связанных с указанной другой обнаженной поверхностью;
c) компьютер, который содержит по меньшей мере один процессор, способный исполнять компьютерную программу, способную осуществлять вычисления для создания трехмерного цифрового представления образца, где указанные вычисления включают:
укладывание стопкой множества двойных наборов данных изображения, полученных посредством первой и второй обрабатывающих систем посредством расположения соответствующих первого и второго двухмерных изображений в последовательном порядке, как получают из образца, при выравнивании,
базовый анализ указанных первых двухмерных изображений из указанного множества двойных наборов данных изображения, который включает отнесение указанных пикселей к пространству пор, керогену или минералу для того, чтобы формировать базовые анализируемые первые двухмерные изображения,
первый анализ указанных вторых двухмерных изображений из указанного множества двойных наборов данных изображения, который включает отбор только пикселей, которые имеют значения шкалы серого, превышающие предварительно выбираемое пороговое значение шкалы серого для керогена, чтобы определять первую маску,
второй анализ указанных вторых двухмерных изображений из указанного множества двойных наборов данных изображения, который включает отбор только пикселей, которые имеют значения шкалы серого ниже предварительно выбираемого порогового значения шкалы серого для минерала, чтобы определять вторую маску, и
изменение указанных базовых анализируемых первых двухмерных изображений посредством первой маски и второй маски, которое включает повторное отнесение пикселей из пространства керогена к пространству пор на базовых анализируемых первых двухмерных изображениях с использованием первой маски и повторное отнесение пикселей из минерала к керогену на базовых анализируемых первых двухмерных изображениях с использованием второй маски.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US201161547090P | 2011-10-14 | 2011-10-14 | |
| US61/547,090 | 2011-10-14 | ||
| PCT/US2012/059689 WO2013055876A1 (en) | 2011-10-14 | 2012-10-11 | Dual image method and system for generating a multi-dimensional image of a sample |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2014119260A true RU2014119260A (ru) | 2015-11-20 |
| RU2610216C2 RU2610216C2 (ru) | 2017-02-08 |
Family
ID=47146687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2014119260A RU2610216C2 (ru) | 2011-10-14 | 2012-10-11 | Способ и система двойного изображения для генерации многомерного изображения образца |
Country Status (12)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9064328B2 (ru) |
| EP (1) | EP2748793B1 (ru) |
| CN (1) | CN103946889A (ru) |
| AU (1) | AU2012322799B2 (ru) |
| BR (1) | BR112014009093B1 (ru) |
| CA (1) | CA2850799C (ru) |
| CO (1) | CO6990673A2 (ru) |
| ES (1) | ES2655667T3 (ru) |
| MX (1) | MX2014003968A (ru) |
| NO (1) | NO2730510T3 (ru) |
| RU (1) | RU2610216C2 (ru) |
| WO (1) | WO2013055876A1 (ru) |
Families Citing this family (40)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5622779B2 (ja) * | 2012-03-26 | 2014-11-12 | 株式会社東芝 | 試料分析装置および試料分析方法 |
| US9201026B2 (en) * | 2012-03-29 | 2015-12-01 | Ingrain, Inc. | Method and system for estimating properties of porous media such as fine pore or tight rocks |
| US9746431B2 (en) * | 2012-05-11 | 2017-08-29 | Ingrain, Inc. | Method and system for multi-energy computer tomographic cuttings analysis |
| WO2014025970A1 (en) | 2012-08-10 | 2014-02-13 | Ingrain, Inc. | Method for improving the accuracy of rock property values derived from digital images |
| JP5798099B2 (ja) * | 2012-09-05 | 2015-10-21 | 株式会社東芝 | 画質調整方法、プログラムおよび電子顕微鏡 |
| EP2708874A1 (en) * | 2012-09-12 | 2014-03-19 | Fei Company | Method of performing tomographic imaging of a sample in a charged-particle microscope |
| AU2013323422B2 (en) | 2012-09-27 | 2018-07-05 | Ingrain, Inc. | Computed tomography (CT) systems and methods analyzing rock property changes resulting from a treatment |
| DE102012217761B4 (de) * | 2012-09-28 | 2020-02-06 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zur Vermeidung von Artefakten beim Serial Block Face Imaging |
| WO2014070564A1 (en) | 2012-11-01 | 2014-05-08 | Ingrain Inc. | Characterization of rock and other samples by means of a process and system for the preparation of samples using castable mounting materials |
| US9183656B2 (en) | 2014-03-11 | 2015-11-10 | Fei Company | Blend modes for mineralogy images |
| TWI518583B (zh) * | 2014-04-18 | 2016-01-21 | 三緯國際立體列印科技股份有限公司 | 立體列印裝置及其列印異常偵測方法 |
| CN104574420A (zh) * | 2015-01-29 | 2015-04-29 | 中国石油大学(华东) | 一种纳米级泥页岩数字岩心构建方法 |
| EP3250973B1 (en) * | 2015-01-30 | 2020-07-15 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Control data for generation of 3d objects |
| CN107206691B (zh) * | 2015-04-24 | 2020-10-27 | 惠普发展公司有限责任合伙企业 | 用于设置增材制造工艺的三维物体的打印属性的方法 |
| US10055884B2 (en) * | 2015-04-30 | 2018-08-21 | Saudi Arabian Oil Company | Three-dimensional fluid micromodels |
| CN105092621B (zh) * | 2015-07-28 | 2018-03-06 | 中国科学院自动化研究所 | 显著化生物组织切片膜结构的刻蚀工艺及图像合成方法 |
| US20180217059A1 (en) * | 2015-07-31 | 2018-08-02 | Fei Company | Segmented detector for a charged particle beam device |
| BR112018003885B1 (pt) | 2015-09-16 | 2022-08-09 | Ingrain, Inc | Método e sistema para estimar a porosidade associada à matéria orgânica, método para avaliar o potencial de produção de um poço ou formação, e, meio de armazenamento legível por computador não transitório |
| TWI703313B (zh) * | 2015-12-09 | 2020-09-01 | 台灣超微光學股份有限公司 | 光譜儀的量測方法、光譜儀及其電子電路 |
| CN105424607A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-03-23 | 中国石油大学(北京) | 基于斜入射光反射差方法的ct装置和方法 |
| US10107769B2 (en) | 2016-01-11 | 2018-10-23 | Carl Zeiss X-Ray Microscopy Inc. | Multimodality mineralogy segmentation system and method |
| JP6704052B2 (ja) * | 2016-01-11 | 2020-06-03 | カール・ツァイス・エックス−レイ・マイクロスコピー・インコーポレイテッドＣａｒｌ Ｚｅｉｓｓ Ｘ−Ｒａｙ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ， Ｉｎｃ． | マルチモダリティ鉱物質セグメント化システムおよび方法 |
| CN107481914B (zh) * | 2016-06-08 | 2023-06-06 | 清华大学 | 一种透射型低能量电子显微系统 |
| US10324049B2 (en) | 2017-02-15 | 2019-06-18 | Saudi Arabian Oil Company | Rock sample preparation method by using focused ion beam for minimizing curtain effect |
| US9905394B1 (en) * | 2017-02-16 | 2018-02-27 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Method for analyzing an object and a charged particle beam device for carrying out this method |
| JP6949535B2 (ja) * | 2017-04-13 | 2021-10-13 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法及びプログラム |
| JP7039179B2 (ja) | 2017-04-13 | 2022-03-22 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法及びプログラム |
| CN110413805B (zh) * | 2018-04-25 | 2022-02-01 | 杭州海康威视数字技术股份有限公司 | 一种图像存储方法、装置、电子设备及存储介质 |
| US10677586B2 (en) * | 2018-07-27 | 2020-06-09 | Kla-Tencor Corporation | Phase revealing optical and X-ray semiconductor metrology |
| CN109269953B (zh) * | 2018-08-21 | 2019-11-26 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 岩石无机矿物孔隙分类表征的方法 |
| JP7062563B2 (ja) * | 2018-09-07 | 2022-05-06 | キオクシア株式会社 | 輪郭抽出方法、輪郭抽出装置、及びプログラム |
| CN110376229B (zh) * | 2019-06-12 | 2020-09-04 | 聚束科技（北京）有限公司 | 具备复合式探测系统的扫描电子显微镜和样品探测方法 |
| JP7008669B2 (ja) * | 2019-09-09 | 2022-01-25 | 日本電子株式会社 | ３次元積層造形装置及び３次元積層造形方法 |
| CN111766407B (zh) * | 2020-06-30 | 2021-05-25 | 中国矿业大学 | 基于afm的页岩孔隙度计算及组分孔隙贡献评价方法 |
| RU2743231C1 (ru) * | 2020-08-17 | 2021-02-16 | Шлюмберже Текнолоджи Б.В. | Способ и система выравнивания изображений слоёв образца, полученных с помощью растрового электронного микроскопа с фокусированным ионным пучком |
| WO2022096144A1 (en) * | 2020-11-04 | 2022-05-12 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Transferring alignment information in 3d tomography from a first set of images to a second set of images |
| US20220207256A1 (en) * | 2020-12-30 | 2022-06-30 | Fei Company | Charged particle microscope systems and clustering processes for high dynamic range sample analysis |
| US11728126B2 (en) * | 2021-06-24 | 2023-08-15 | Applied Materials Israel Ltd. | 3D metrology from 3D datacube created from stack of registered images obtained during delayering of the sample |
| CN114523203B (zh) * | 2022-03-13 | 2022-11-29 | 扬州沃盛车业制造有限公司 | 一种激光智能焊接方法及系统 |
| WO2023205246A1 (en) * | 2022-04-19 | 2023-10-26 | Rj Lee Group, Inc. | Characterization of inclusions using electron microscopy and x-ray spectrometry |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4868883A (en) * | 1985-12-30 | 1989-09-19 | Exxon Production Research Company | Analysis of thin section images |
| US7652259B2 (en) * | 2000-08-21 | 2010-01-26 | Spectrum Dynamics Llc | Apparatus and methods for imaging and attenuation correction |
| US7088852B1 (en) * | 2001-04-11 | 2006-08-08 | Advanced Micro Devices, Inc. | Three-dimensional tomography |
| JP3610348B2 (ja) | 2001-08-27 | 2005-01-12 | キヤノン株式会社 | カセッテ型撮像装置及び放射線撮影装置 |
| WO2005088520A1 (en) * | 2004-03-11 | 2005-09-22 | University Of Cincinnati | Automated spine survey iterative scan technique (assist) |
| WO2006017172A1 (en) * | 2004-07-09 | 2006-02-16 | Fischer Imaging Corporation | Diagnostic system for multimodality mammography |
| US7312448B2 (en) | 2005-04-06 | 2007-12-25 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Method and apparatus for quantitative three-dimensional reconstruction in scanning electron microscopy |
| US7770293B2 (en) | 2005-10-17 | 2010-08-10 | Victor Amend | Method for manufacturing composite building panels |
| RU2418158C2 (ru) | 2006-02-16 | 2011-05-10 | ШЕВРОН Ю. Эс. Эй. ИНК. | Способ извлечения керобитумов из подземной сланцевой формации и способ разрыва подземной сланцевой формации |
| US8295568B2 (en) * | 2006-06-30 | 2012-10-23 | Fujifilm Corporation | Medical image display processing apparatus and medical image display processing program |
| US8131476B2 (en) * | 2006-08-07 | 2012-03-06 | General Electric Company | System and method for co-registering multi-channel images of a tissue micro array |
| BRPI0908632A2 (pt) * | 2008-05-23 | 2017-09-19 | Univ Australian National | Processamento de dados de imagem |
| US8058601B2 (en) * | 2008-07-16 | 2011-11-15 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Determining a multimodal pixon map for tomographic-image reconstruction |
| CA2655001C (en) * | 2009-02-20 | 2015-11-24 | Queen's University At Kingston | Marker localization using intensity-based registration of imaging modalities |
| DE102009027940A1 (de) * | 2009-07-22 | 2011-03-03 | Bruker Nano Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Generierung von Darstellungen anisotroper Eigenschaften sowie ein entsprechendes Computerprogramm und ein entsprechendes computerlesbares Speichermedium |
| DE102009036701A1 (de) * | 2009-08-07 | 2011-03-03 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Teilchenstrahlsystem und Untersuchungsverfahren hierzu |
-
2012
- 2012-10-11 EP EP12783745.8A patent/EP2748793B1/en not_active Not-in-force
- 2012-10-11 ES ES12783745.8T patent/ES2655667T3/es active Active
- 2012-10-11 CA CA2850799A patent/CA2850799C/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-10-11 BR BR112014009093-9A patent/BR112014009093B1/pt active IP Right Grant
- 2012-10-11 AU AU2012322799A patent/AU2012322799B2/en not_active Ceased
- 2012-10-11 CN CN201280052321.5A patent/CN103946889A/zh active Pending
- 2012-10-11 RU RU2014119260A patent/RU2610216C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2012-10-11 WO PCT/US2012/059689 patent/WO2013055876A1/en active Application Filing
- 2012-10-11 MX MX2014003968A patent/MX2014003968A/es unknown
- 2012-10-11 US US13/649,409 patent/US9064328B2/en active Active
-
2013
- 2013-10-28 NO NO13190464A patent/NO2730510T3/no unknown
-
2014
- 2014-04-14 CO CO14080252A patent/CO6990673A2/es unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2013055876A1 (en) | 2013-04-18 |
| US9064328B2 (en) | 2015-06-23 |
| CA2850799A1 (en) | 2013-04-18 |
| BR112014009093B1 (pt) | 2021-08-17 |
| CA2850799C (en) | 2016-11-15 |
| EP2748793B1 (en) | 2017-10-11 |
| ES2655667T3 (es) | 2018-02-21 |
| BR112014009093A2 (pt) | 2017-04-18 |
| NO2730510T3 (ru) | 2018-01-27 |
| US20130094716A1 (en) | 2013-04-18 |
| CN103946889A (zh) | 2014-07-23 |
| CO6990673A2 (es) | 2014-07-10 |
| MX2014003968A (es) | 2014-08-27 |
| AU2012322799A1 (en) | 2014-05-01 |
| RU2610216C2 (ru) | 2017-02-08 |
| AU2012322799B2 (en) | 2015-07-23 |
| EP2748793A1 (en) | 2014-07-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2014119260A (ru) | Способ и система двойного изображения для генерации многомерного изображения образца | |
| JP6364150B2 (ja) | 自動化された鉱物分類 | |
| CN103424419B (zh) | 具有自适应扫描的扫描显微镜 | |
| EP2867656B1 (en) | Cluster analysis of unknowns in sem-eds dataset | |
| JP2013257304A5 (ru) | ||
| AU2012201146B2 (en) | Method of material analysis by means of a focused electron beam using characteristic X-rays and back-scattered electrons and the equipment to perform it | |
| KR102293095B1 (ko) | 공극들을 검출하기 위한 방법 및 검사 시스템 | |
| US20040188610A1 (en) | Crystal analyzing apparatus capable of three-dimensional crystal analysis | |
| JP2013243128A5 (ru) | ||
| JP2014182123A (ja) | 複数画像の計測 | |
| US20170162363A1 (en) | Structure analysis method using a scanning electron microscope | |
| US7132652B1 (en) | Automatic classification of defects using pattern recognition applied to X-ray spectra | |
| CN109389572B (zh) | 用于生成物体的区域的合成图像的方法和系统 | |
| US20180247450A1 (en) | A computer-implemented method and a system for creating a three-dimensional mineral model of a sample of a heterogenous medium | |
| US10685759B2 (en) | Statistical analysis in X-ray imaging | |
| KR101877696B1 (ko) | 패턴 계측 장치, 자기 조직화 리소그래피에 사용되는 고분자 화합물의 평가 방법 및 컴퓨터 프로그램 | |
| KR101487113B1 (ko) | 패턴의 판정 장치 및 기록 매체 | |
| CZ2015651A3 (cs) | Metoda analýzy materiálů fokusovaným elektronovým svazkem s využitím charakteristického rentgenového záření a zpětně odražených elektronů a zařízení k jejímu provádění | |
| EP3227670B1 (en) | A method of x-ray nano-radiography and nanotomography and a device for executing this method | |
| KR102561093B1 (ko) | 반도체 장치의 결함 검출을 위한 필터 추출 장치 및 방법과, 이를 이용한 결함 검출 시스템 | |
| JP2020038108A (ja) | 元素分布のムラの評価方法および荷電粒子線装置 | |
| JP2007333584A (ja) | Ｔｆｔアレイ検査装置およびｔｆｔアレイ検査方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20191012 |