JP2020038108A - 元素分布のムラの評価方法および荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
Description
元素マップにおける元素分布のムラの評価方法であって、
前記元素マップを取得する工程と、
前記元素マップから信号強度が閾値以上である画素が連続した第1島部を抽出する工程と、
前記元素マップから抽出された複数の前記第1島部から、前記第1島部の面積をSとし、前記第1島部の面積の中央値をMeとし、前記第1島部の中央絶対偏差をMADとした場合に、
S>Me+2×MAD
を満たす第2島部を抽出する工程と、
抽出された前記第2島部から、次式を用いて、前記元素分布のムラの度合いAを求める工程と、
を含む。
元素マップにおける元素分布のムラの評価方法であって、
前記元素マップを取得する工程と、
前記元素マップから信号強度が閾値以上である画素が連続した第1島部を抽出する工程と、
前記元素マップから抽出された複数の前記第1島部から、前記第1島部の面積をSとし、前記第1島部の面積の中央値をMeとし、前記第1島部の中央絶対偏差をMADとした場合に、
S>Me+2×MAD
を満たす第2島部を抽出する工程と、
前記第2島部を構成する画素の信号強度の和をIntとした場合に、抽出された前記第2島部から、次式を用いて、前記元素分布のムラの度合いAを求める工程と、
を含む。
荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子線を走査する偏向器と、
前記荷電粒子線が試料に照射されることによって前記試料から放出された信号を検出する検出器と、
前記検出器で前記試料の各点からの前記信号を検出して得られた信号強度を、前記試料の各点に対応する画素の輝度に反映することで元素マップを生成する元素マップ生成部と、
前記元素マップに基づいて、元素分布のムラの評価を行う評価部と、
を含み、
前記評価部は、
前記元素マップを取得する処理と、
前記元素マップから信号強度が閾値以上である画素が連続した第1島部を抽出する処理と、
前記元素マップから抽出された複数の前記第1島部から、前記第1島部の面積をSとし、前記第1島部の面積の中央値をMeとし、前記第1島部の中央絶対偏差をMADとした場合に、
S>Me+2×MAD
を満たす第2島部を抽出する処理と、
抽出された前記第2島部から、次式を用いて、前記元素分布のムラの度合いAを求める処理と、
を行う。
荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子線を走査する偏向器と、
前記荷電粒子線が試料に照射されることによって前記試料から放出された信号を検出する検出器と、
前記検出器で前記試料の各点からの前記信号を検出して得られた信号強度を、前記試料の各点に対応する画素の輝度に反映することで元素マップを生成する元素マップ生成部と、
前記元素マップに基づいて、元素分布のムラの評価を行う評価部と、
を含み、
前記評価部は、
前記元素マップを取得する処理と、
前記元素マップから信号強度が閾値以上である画素が連続した第1島部を抽出する処理と、
前記元素マップから抽出された複数の前記第1島部から、前記第1島部の面積をSとし、前記第1島部の面積の中央値をMeとし、前記第1島部の中央絶対偏差をMADとした場合に、
S>Me+2×MAD
を満たす第2島部を抽出する処理と、
前記第2島部を構成する画素の信号強度の和をIntとした場合に、抽出された前記第2島部から、次式を用いて、前記元素分布のムラの度合いAを求める処理と、
を行う。
まず、第1実施形態に係る元素分布のムラの評価方法について、図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る元素分布のムラの評価方法の一例を示すフローチャートである。
図2は、元素マップM2の一例を模式的に示す図である。元素マップM2は、例えば、走査電子顕微鏡(SEM)において、電子線で試料を走査して試料の各点からのX線を検出し、元素に固有のX線の強度を、試料の各点に対応する画素の輝度に反映することで得られる。元素マップM2は、例えば、試料から放出された特性X線を、エネルギー分散型X線検出器(以下「EDS検出器」ともいう)で検出して得られた元素マップである。
次に、元素マップM2に対してビニング処理を行う。図3は、元素マップM2に対するビニング処理を行って得られた元素マップM4を模式的に示す図である。
次に、元素マップM4から島部I2(図6参照)を抽出する。島部I2は、元素マップM4において、信号強度が閾値以上である画素が連続した部分である。島部I2の抽出は
、例えば、元素マップM4を二値化することにより行われる。
T=Ave+K×V
で求めることができる。
次に、抽出された複数の島部I2から、島部I4(第2島部)を抽出する。
常値を見つけるスプレントのノンパラメトリック法(Sprent’s non-parametric method)を用いて、異常値判別を行うことで行われる。中央値は、平均値と異なり異常値に依存しにくい。
S>Me+2×MAD ・・・(1)
を満たす島部I2を抽出して島部I4とする。ただし、Sは、島部I2の面積である。Meは、島部I2の面積の中央値(Median)である。MADは、島部I2の中央絶対偏差である。このようにして、島部I2の面積について異常値判別を行い、島部I4を抽出する。
次に、抽出された島部I4から、次式を用いて、元素マップM2における元素分布のムラの度合いA(以下、「ムラ度A」ともいう)を求める。
第1実施形態に係る元素分布のムラの評価方法は、例えば、以下の特徴を有する。
T=Ave+K×V
とする。そのため、第1実施形態に係る元素分布のムラの評価方法では、統計誤差が大きい場合であっても、閾値Tを適切な値とすることができる。したがって、例えば、試料が電子線に弱い有機物などであり、信号強度が十分に得られない場合でも、島部I2を抽出することができる。
次に、第2実施形態に係る元素分布の評価方法について説明する。
まず、図2に示す元素マップM2を取得する。元素マップM2を取得する工程(S200)は、図1に示すステップS100と同様に行われる。
次に、元素マップM2に対してビニング処理を行う。これにより、図3に示す元素マップM4を得ることができる。ビニング処理を行う工程(S202)は、図1に示すステップS102と同様に行われる。
次に、閾値T=Ave+K×Vを用いて、島部I2を抽出する。具体的には、元素マップM4を、閾値Tを用いて二値化して島部I2を抽出する。これにより、図6に示す二値画像M6が得られる。島部I2を抽出する工程(S204)は、図1に示すステップS104と同様に行われる。
次に、二値画像M6から抽出された複数の島部I2から、上記式(1)を満たす島部I4を抽出する。島部I4を抽出する工程(S206)は、図1に示すステップS106と同様に行われる。
次に、抽出された島部I4から、元素マップM2におけるムラ度Aを求める。
I4cにおける信号強度の和である。
第2実施形態に係る元素分布のムラの評価方法は、例えば、以下の特徴を有する。
3.1. 走査電子顕微鏡
次に、第3実施形態に係る走査電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図10は、第3実施形態に係る走査電子顕微鏡100の構成を示す図である。以下では、本発明に係る荷電粒子線装置として、電子線で試料を走査して元素マップを取得する走査電子顕微鏡を例に挙げて説明するが、本発明に係る荷電粒子線装置は電子線以外の荷電粒子線(イオンビーム等)で試料を走査して元素マップを取得する装置であってもよい。
、コンデンサーレンズ12と、対物レンズ14と、偏向器16と、試料ステージ20と、二次電子検出器30と、X線検出器40と、信号処理部50と、処理部60と、操作部70と、表示部72と、記憶部74と、を含む。
なお、上記では、評価部64が、上述した第1実施形態に係る元素分布のムラの評価方法を用いて、ムラ度Aを求める場合について説明したが、評価部64は、上述した第2実施形態に係る元素分布のムラの評価方法を用いて、ムラ度Aを求めてもよい。この場合は、評価部64は、元素マップを取得する処理と、元素マップに対してビニング処理を行う処理と、元素マップからX線強度が閾値以上である画素が連続した島部I2を抽出する処理と、元素マップから抽出された複数の島部I2から上記式(1)を満たす島部I4を抽出する処理と、抽出された島部I4から、上記式(3)を用いてムラ度Aを求める処理と、を行う。この場合も、上記の例と同様に、走査電子顕微鏡100では、元素マップにおける元素分布のムラの度合いを数値化できる。
74…記憶部、100…走査電子顕微鏡
Claims (6)
- 元素マップにおける元素分布のムラの評価方法であって、
前記元素マップを取得する工程と、
前記元素マップから信号強度が閾値以上である画素が連続した第1島部を抽出する工程と、
前記元素マップから抽出された複数の前記第1島部から、前記第1島部の面積をSとし、前記第1島部の面積の中央値をMeとし、前記第1島部の中央絶対偏差をMADとした場合に、
S>Me+2×MAD
を満たす第2島部を抽出する工程と、
抽出された前記第2島部から、次式を用いて、前記元素分布のムラの度合いAを求める工程と、
を含む、元素分布のムラの評価方法。
- 元素マップにおける元素分布のムラの評価方法であって、
前記元素マップを取得する工程と、
前記元素マップから信号強度が閾値以上である画素が連続した第1島部を抽出する工程と、
前記元素マップから抽出された複数の前記第1島部から、前記第1島部の面積をSとし、前記第1島部の面積の中央値をMeとし、前記第1島部の中央絶対偏差をMADとした場合に、
S>Me+2×MAD
を満たす第2島部を抽出する工程と、
前記第2島部を構成する画素の信号強度の和をIntとした場合に、抽出された前記第2島部から、次式を用いて、前記元素分布のムラの度合いAを求める工程と、
を含む、元素分布のムラの評価方法。
- 請求項2において、
前記信号強度の和Intは、抽出された全ての前記第2島部を構成する画素の信号強度の平均値で規格化された値である、元素分布のムラの評価方法。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記第1島部を抽出する工程は、
前記元素マップを構成する画素の信号強度の平均値をAveとし、前記元素マップを構成する画素の信号強度の分散をVとし、係数をKとした場合に、前記閾値Tを、
T=Ave+K×V
とする、元素分布のムラの評価方法。 - 荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子線を走査する偏向器と、
前記荷電粒子線が試料に照射されることによって前記試料から放出された信号を検出する検出器と、
前記検出器で前記試料の各点からの前記信号を検出して得られた信号強度を、前記試料の各点に対応する画素の輝度に反映することで元素マップを生成する元素マップ生成部と、
前記元素マップに基づいて、元素分布のムラの評価を行う評価部と、
を含み、
前記評価部は、
前記元素マップを取得する処理と、
前記元素マップから信号強度が閾値以上である画素が連続した第1島部を抽出する処理と、
前記元素マップから抽出された複数の前記第1島部から、前記第1島部の面積をSとし、前記第1島部の面積の中央値をMeとし、前記第1島部の中央絶対偏差をMADとした場合に、
S>Me+2×MAD
を満たす第2島部を抽出する処理と、
抽出された前記第2島部から、次式を用いて、前記元素分布のムラの度合いAを求める処理と、
を行う、荷電粒子線装置。
- 荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子線を走査する偏向器と、
前記荷電粒子線が試料に照射されることによって前記試料から放出された信号を検出する検出器と、
前記検出器で前記試料の各点からの前記信号を検出して得られた信号強度を、前記試料の各点に対応する画素の輝度に反映することで元素マップを生成する元素マップ生成部と、
前記元素マップに基づいて、元素分布のムラの評価を行う評価部と、
を含み、
前記評価部は、
前記元素マップを取得する処理と、
前記元素マップから信号強度が閾値以上である画素が連続した第1島部を抽出する処理と、
前記元素マップから抽出された複数の前記第1島部から、前記第1島部の面積をSとし、前記第1島部の面積の中央値をMeとし、前記第1島部の中央絶対偏差をMADとした場合に、
S>Me+2×MAD
を満たす第2島部を抽出する処理と、
前記第2島部を構成する画素の信号強度の和をIntとした場合に、抽出された前記第2島部から、次式を用いて、前記元素分布のムラの度合いAを求める処理と、
を行う、荷電粒子線装置。
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JP2018165057A JP7030035B2 (ja) | 2018-09-04 | 2018-09-04 | 元素分布のムラの評価方法および荷電粒子線装置 |
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---|---|---|---|---|
DE112021000077T5 (de) | 2020-03-05 | 2022-04-14 | Fuji Electric Co., Ltd. | Leistungswandler |
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JPS6162850A (ja) * | 1984-07-18 | 1986-03-31 | Nippon Steel Corp | 自動多機能分析装置の濃度分析処理方式 |
JPH08297098A (ja) * | 1995-04-26 | 1996-11-12 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 塗工板紙の光沢むら測定方法および装置 |
JP2005201640A (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Jeol Ltd | 試料評価方法及び試料評価装置 |
JP2018091692A (ja) * | 2016-12-01 | 2018-06-14 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 表面検査装置、表面検査方法、表面検査プログラムおよび記録媒体 |
-
2018
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