JP2007255950A - 電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置、及び、第1の分析装置と共に用いる第2の分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
電子顕微鏡装置Pが電子線を照射した際に試料Sから放射され且つ前記電子顕微鏡装置Pでの解析に用いるエネルギー線とは別のエネルギー線に関するデータを一時的に記憶するデータ記憶部1と、電子線照射条件に変化が生じたか否かを監視する電子線照射条件変化監視部2と、前記試料Sの分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記電子線照射条件変化監視部2を参照し前記電子線照射条件に変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部1に一時的に記憶している前記別のエネルギー線に関するデータを読み出して、前記試料Sの分析に用いるエネルギー線分析部3と、を具備して成ることを特徴とする電子顕微鏡装置Pと共に用いる分析装置。
【選択図】図3
Description
E2・・・二次電子
Ex・・・別のエネルギー線(特性X線)
P・・・・電子走査顕微鏡装置(電子顕微鏡装置(第1の分析装置))
P1・・・ステージ
P2・・・電子線照射部
Q・・・・電子走査顕微鏡装置(電子顕微鏡装置)と共に用いる分析装置(第2の分析装置)
(エネルギー分散型X線分析装置)
S・・・・分析対象体(試料)
1・・・・データ記憶部
2・・・・電子線照射条件変化監視部
2a・・・分析位置変化監視部
2b・・・照射電流変化監視部
3・・・・エネルギー線分析部
Claims (9)
- 電子顕微鏡装置が電子線を照射した際に分析対象体から放射され且つ前記電子顕微鏡装置での解析に用いるエネルギー線とは別のエネルギー線に関するデータを一時的に記憶するデータ記憶部と、
電子線照射条件に変化が生じたか否かを監視する電子線照射条件変化監視部と、
前記分析対象体の分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記電子線照射条件変化監視部を参照し前記電子線照射条件に変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部に一時的に記憶している前記別のエネルギー線に関するデータを読み出して、前記分析対象体の分析に用いるエネルギー線分析部と、を具備して成ることを特徴とする電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。 - 前記電子線照射条件の変化が、分析位置の変化であることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
- 前記分析位置の変化が、前記電子線を照射する電子線照射部および前記分析対象体を載置するステージ間の移動による変化、または、電子線を照射する位置の変化、または、電子線の加速電圧の変化、または、前記電子顕微鏡のレンズ系の倍率の変化であることを特徴とする請求項2記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
- 前記電子線照射条件の変化が、照射電流の変化であることを特徴とする請求項1乃至3いずれか記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
- 前記電子線照射条件変化監視部を参照し前記照射電流に変化が生じていないとの監視結果を得た際に、前記データ記憶部に一時的に記憶している前記エネルギー線に関するデータを、データ分析に用いるか否かに関する命令を受け付けるデータ使用選択命令受付部を具備していることを特徴とする請求項4記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
- 前記エネルギー線分析部が、前記分析対象体から放射される特性X線を利用して、該分析対象体の構成元素を分析するエネルギー分散型X線分析部であることを特徴とする請求項1乃至5いずれか記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
- 前記データ記憶部が、前記エネルギー線分析部での分析結果を、前記データとして一時的に記憶するものであり、
前記分析対象体の分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記電子線照射条件変化監視部を参照し前記変化が生じたとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部に一時的に記憶している分析結果を削除する一方、前記変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部に一時的に記憶している分析結果を用い得るように構成していることを特徴とする請求項1乃至6いずれか記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。 - 前記分析結果を削除した後、電子線照射条件変化監視部が前記変化が無くなった旨の監視結果を出力した場合には、削除した分析結果を、復活利用し得るように構成していることを特徴とする請求項7記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
- 第1の分析装置がエネルギー線を照射した際に分析対象体から放射され且つ前記第1の分析装置での解析に用いるエネルギー線とは別のエネルギー線に関するデータを一時的に記憶するデータ記憶部と、
前記エネルギー線の照射条件に変化が生じたか否かを監視するエネルギー線照射条件変化監視部と、
前記分析対象体の他の分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記エネルギー線照射条件変化監視部を参照し前記エネルギー線照射条件に変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部に一時的に記憶している前記別のエネルギー線に関するデータを読み出して、前記分析対象体の他の分析に用いるエネルギー線分析部と、を具備して成ることを特徴とする第1の分析装置と共に用いる第2の分析装置。
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