RU2012148723A - Способ изготовления покрытого изделия, имеющего антибактериальное и/или противогрибковое покрытие, и конечный продукт - Google Patents

Способ изготовления покрытого изделия, имеющего антибактериальное и/или противогрибковое покрытие, и конечный продукт Download PDF

Info

Publication number
RU2012148723A
RU2012148723A RU2012148723/13A RU2012148723A RU2012148723A RU 2012148723 A RU2012148723 A RU 2012148723A RU 2012148723/13 A RU2012148723/13 A RU 2012148723/13A RU 2012148723 A RU2012148723 A RU 2012148723A RU 2012148723 A RU2012148723 A RU 2012148723A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
atomic
layer
providing
coated product
spraying
Prior art date
Application number
RU2012148723/13A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2582344C2 (ru
Inventor
Цзянпин ВАН
Рудольф Х. ПЕТРМИЧЛ
Жан-Марк ЛЕММЕР
Original Assignee
Гардиан Индастриз Корп.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Гардиан Индастриз Корп. filed Critical Гардиан Индастриз Корп.
Publication of RU2012148723A publication Critical patent/RU2012148723A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2582344C2 publication Critical patent/RU2582344C2/ru

Links

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A01—AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
    • A01N—PRESERVATION OF BODIES OF HUMANS OR ANIMALS OR PLANTS OR PARTS THEREOF; BIOCIDES, e.g. AS DISINFECTANTS, AS PESTICIDES OR AS HERBICIDES; PEST REPELLANTS OR ATTRACTANTS; PLANT GROWTH REGULATORS
    • A01N59/00—Biocides, pest repellants or attractants, or plant growth regulators containing elements or inorganic compounds
    • A01N59/16—Heavy metals; Compounds thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3423—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings comprising a suboxide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
    • C03C17/3435—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3464—Sputtering using more than one target
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3492—Variation of parameters during sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/23—Mixtures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/90—Other aspects of coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/10—Deposition methods
    • C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/32—After-treatment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Pest Control & Pesticides (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Agronomy & Crop Science (AREA)
  • Plant Pathology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Dentistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Zoology (AREA)
  • Environmental Sciences (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)

Abstract

1. Способ изготовления покрытого изделия, включающий:предоставление первой мишени для распыления, содержащей Zr;предоставление второй мишени для распыления, содержащей Zn; исовместное распыление по меньшей мере первой и второй мишеней для распыления, чтобы сформировать слой, содержащий ZnZrO, на стеклянной основе, при этом данный слой содержит от примерно 0,25% до 1,5% (атомных) Zn, от примерно 20% до 50% (атомных) Zr и от примерно 40% до 80% (атомных) O.2. Способ по п.1, в котором слой осаждается распылением таким образом, что содержит от примерно 0,5% до 10% (атомных) Zn, от примерно 25% до 45% (атомных) Zr и от примерно 50% до 70% (атомных) O.3. Способ по п.1, в котором слой осаждается распылением таким образом, что содержит от примерно 1% до 8% (атомных) Zn, от примерно 30% до 40% (атомных) Zr и от примерно 55% до 65% (атомных) O.4. Способ по п.1, далее включающий термическую закалку покрытого изделия.5. Способ изготовления покрытого изделия, включающий:предоставление первой мишени для распыления, содержащей Zr;предоставление второй мишени для распыления, содержащей Zn; ипоследовательное распыление по меньшей мере из первой и второй мишеней для распыления на стеклянную основу, чтобы сформировать по меньшей мере первый слой, содержащий Zr, и второй слой, содержащий Zn и расположенный непосредственно на первом слое, содержащем Zr; итермическую закалку стеклянной основы со сформированными на ней указанными первым и вторым слоями, чтобы образовать покрытое изделие, содержащее слой, содержащий оксид цинка-циркония с антибактериальными и/или противогрибковыми свойствами.6. Способ изготовления антибактериального и/или противогрибкового покрытого изделия, включающий:напылени

Claims (23)

1. Способ изготовления покрытого изделия, включающий:
предоставление первой мишени для распыления, содержащей Zr;
предоставление второй мишени для распыления, содержащей Zn; и
совместное распыление по меньшей мере первой и второй мишеней для распыления, чтобы сформировать слой, содержащий ZnxZryOz, на стеклянной основе, при этом данный слой содержит от примерно 0,25% до 1,5% (атомных) Zn, от примерно 20% до 50% (атомных) Zr и от примерно 40% до 80% (атомных) O.
2. Способ по п.1, в котором слой осаждается распылением таким образом, что содержит от примерно 0,5% до 10% (атомных) Zn, от примерно 25% до 45% (атомных) Zr и от примерно 50% до 70% (атомных) O.
3. Способ по п.1, в котором слой осаждается распылением таким образом, что содержит от примерно 1% до 8% (атомных) Zn, от примерно 30% до 40% (атомных) Zr и от примерно 55% до 65% (атомных) O.
4. Способ по п.1, далее включающий термическую закалку покрытого изделия.
5. Способ изготовления покрытого изделия, включающий:
предоставление первой мишени для распыления, содержащей Zr;
предоставление второй мишени для распыления, содержащей Zn; и
последовательное распыление по меньшей мере из первой и второй мишеней для распыления на стеклянную основу, чтобы сформировать по меньшей мере первый слой, содержащий Zr, и второй слой, содержащий Zn и расположенный непосредственно на первом слое, содержащем Zr; и
термическую закалку стеклянной основы со сформированными на ней указанными первым и вторым слоями, чтобы образовать покрытое изделие, содержащее слой, содержащий оксид цинка-циркония с антибактериальными и/или противогрибковыми свойствами.
6. Способ изготовления антибактериального и/или противогрибкового покрытого изделия, включающий:
напыление Zn и Zr на стеклянную основу в присутствии по меньшей мере кислорода; и
формирование слоя, содержащего ZnxZryOz, на стеклянной основе, при этом указанный слой содержит от примерно 0,25% до 15% (атомных) Zn, от примерно 20% до 50% (атомных) Zr и от примерно 40% до 80% (атомных) O, и в котором слой в основном сдерживает размножение бактерий и рост грибков.
7. Способ по п.6, далее включающий термическую закалку покрытого изделия.
8. Способ изготовления покрытого изделия, включающий:
предоставление первой мишени для распыления, содержащей Zr;
предоставление второй мишени для распыления, содержащей Zn; и
совместное распыление по меньшей мере из первой и второй мишеней для распыления на стеклянную основу, чтобы сформировать слой, содержащий ZnxZryOz, при этом разные мощности для распыления прикладываются для первой и второй мишеней, чтобы регулировать состав слоя.
9. Способ по п.8, в котором мощность для мишени из Zn составляет от примерно 1,6 до 3,6 кВт, и мощность для мишени из Zr составляет от примерно 1,5 до 3,5 кВт.
10. Способ по п.8, в котором слой содержит от примерно 0,25% до 15% (атомных) Zn, от примерно 20% до 50% (атомных) Zr и от примерно 40% до 80% (атомных) O.
11. Способ по п.8, далее включающий термическую закалку покрытого изделия.
12. Способ изготовления покрытого изделия, включающий:
предоставление первой мишени для распыления, содержащей Zr;
предоставление второй мишени для распыления, содержащей Zn; и
совместное распыление по меньшей мере из первой и второй мишеней для распыления, чтобы сформировать слой на стеклянной основе, содержащий ZnxZryOz, при этом первая и вторая мишени для распыления отклонены одна от другой на угол тета (θ), который больше нуля градусов.
13. Способ по п.12, в котором угол тета (θ) больше чем 5 градусов и менее чем примерно 60 градусов.
14. Способ по п.12, в котором угол тета (θ) составляет от примерно 30 до примерно 45 градусов.
15. Способ по п.12, далее включающий термическую закалку покрытого изделия.
16. Способ по п.12, в котором слой содержит от примерно 0,25% до 15% (атомных) Zn, от примерно 20% до 50% (атомных) Zr и от примерно 40% до 80% (атомных) O.
17. Способ по п.1, далее включающий предоставление барьерного слоя между стеклянной основой и слоем, содержащим ZnxZryOz.
18. Способ по п.17, в котором указанный барьерный слой содержит нитрид кремния, оксид кремния и/или оксинитрид кремния.
19. Способ по п.6, также включающий предоставление барьерного слоя под слоем, содержащим ZnxZryOz.
20. Способ изготовления покрытого изделия, включающий:
предоставление первой мишени для распыления, содержащей Zr;
предоставление второй мишени для распыления, содержащей Zn; и
совместное распыление по меньшей мере первой и второй мишеней для распыления, чтобы сформировать слой, содержащий нитрид Zr, легированный Zn, на стеклянной основе, при этом слой содержит от примерно 0,25% до 20% (атомных) Zn.
21. Способ по п.20, далее включающий термообработку стеклянной основы со сформированным на ней слоем, содержащим нитрид Zr, легированный Zn, и в котором указанная термообработка вызывает преобразование данного слоя в слой, содержащий оксид Zr, легированный Zn.
22. Способ по п.21, в котором слой, содержащий оксид Zr, легированного Zn, содержит от примерно 0,5% до 10% (атомных) Zn, от примерно 25% до 45% (атомных) Zr и от примерно 50% до 70% (атомных) O.
23. Покрытое изделие с антибактериальными и/или противогрибковыми свойствами, содержащее:
слой, содержащий ZnxZryOz на стеклянной основе, данный слой обладает антибактериальными и/или противогрибковыми свойствами, и при этом указанный слой содержит от примерно 0,25% до 15% (атомных) Zn, от примерно 20% до 50% (атомных) Zr и от примерно 40% до 80% (атомных) O.
RU2012148723/13A 2010-04-16 2011-04-12 Способ изготовления покрытого изделия, имеющего антибактериальное и/или противогрибковое покрытие, и конечный продукт RU2582344C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/662,443 2010-04-16
US12/662,443 US20110256408A1 (en) 2010-04-16 2010-04-16 Method of making coated article having anti-bacterial and/or anti-fungal coating and resulting product
PCT/US2011/000664 WO2011129882A2 (en) 2010-04-16 2011-04-12 Method of making coated article having anti-bacterial and/or anti-fungal coating and resulting product

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012148723A true RU2012148723A (ru) 2014-05-27
RU2582344C2 RU2582344C2 (ru) 2016-04-27

Family

ID=44588230

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012148723/13A RU2582344C2 (ru) 2010-04-16 2011-04-12 Способ изготовления покрытого изделия, имеющего антибактериальное и/или противогрибковое покрытие, и конечный продукт

Country Status (12)

Country Link
US (1) US20110256408A1 (ru)
EP (1) EP2557932B1 (ru)
JP (1) JP5886832B2 (ru)
CN (2) CN107082574A (ru)
BR (1) BR112012026071A2 (ru)
DK (1) DK2557932T3 (ru)
ES (1) ES2666727T3 (ru)
MX (1) MX359624B (ru)
PL (1) PL2557932T3 (ru)
RU (1) RU2582344C2 (ru)
TR (1) TR201808529T4 (ru)
WO (1) WO2011129882A2 (ru)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10995400B2 (en) * 2010-04-16 2021-05-04 Guardian Glass, LLC Method of making coated article having antibacterial and/or antifungal coating and resulting product
WO2014070354A1 (en) * 2012-10-31 2014-05-08 Washington State University Stable mixed oxide catalysts for direct conversion of ethanol to isobutene and process for making
US9751800B2 (en) 2013-02-06 2017-09-05 Guardian Glass, LLC Heat treatable coated article with tungsten-doped zirconium based layer(s) in coating
US20190127272A1 (en) 2017-10-26 2019-05-02 Guardian Glass, LLC Coated article including noble metal and polymeric hydrogenated diamond like carbon composite material having antibacterial and photocatalytic properties, and/or methods of making the same
US10611679B2 (en) 2017-10-26 2020-04-07 Guardian Glass, LLC Coated article including noble metal and polymeric hydrogenated diamond like carbon composite material having antibacterial and photocatalytic properties, and/or methods of making the same
CN115052483A (zh) * 2020-01-24 2022-09-13 辛特科技公司 抗真菌复合材料和其方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63465A (ja) * 1986-06-18 1988-01-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd スパツタ薄膜形成装置
WO1992001081A1 (en) * 1990-07-06 1992-01-23 The Boc Group, Inc. Method and apparatus for co-sputtering and cross-sputtering homogeneous films
CA2136455C (en) * 1993-11-18 1999-06-29 Robert Edward Burrell Process for producing anti-microbial effect with complex silver ions
JP2004143584A (ja) * 2002-08-29 2004-05-20 Nippon Sheet Glass Co Ltd ジルコニウム化合物膜が被覆された物品、その物品の製造方法及びその膜を被覆するために用いるスパッタリングターゲット
CA2635062C (en) * 2002-12-18 2010-10-26 Chameleon Scientific Corporation Antimicrobial coating methods
WO2004071984A1 (en) * 2003-02-14 2004-08-26 Glaverbel Glazing panel carrying a coating stack
US7537801B2 (en) * 2003-11-04 2009-05-26 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with diamond-like carbon (DLC) and/or zirconium in coating
DE102004001594B4 (de) * 2004-01-09 2006-09-21 Bio-Gate Ag Wundauflage und Verfahren zu deren Herstellung
ES2371725T3 (es) * 2004-12-16 2012-01-09 Agc Glass Europe Métodos para fabricar un sustrato con propiedades antimicrobianas.
EP1856712A2 (en) * 2005-01-13 2007-11-21 Cardinal CG Company Reduced maintenance sputtering chambers
US7892662B2 (en) * 2006-04-27 2011-02-22 Guardian Industries Corp. Window with anti-bacterial and/or anti-fungal feature and method of making same
SG172722A1 (en) * 2006-06-21 2011-07-28 Agc Glass Europe Substrate with antimicrobial properties
US7645487B2 (en) * 2006-07-20 2010-01-12 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with zinc-doped zirconium based layer(s) in coating
EP2088131A4 (en) * 2006-10-16 2010-07-14 Nippon Sheet Glass Co Ltd ANTIBACTERIAL SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
WO2008152135A1 (en) * 2007-06-15 2008-12-18 Oc Oerlikon Balzers Ag Multitarget sputter source and method for the deposition of multi-layers
GB0713450D0 (en) * 2007-07-12 2007-08-22 Materia Nova Magnetron co-sputtering device
US8268433B2 (en) * 2008-11-07 2012-09-18 Panasonic Corporation Information recording medium and method for producing same, and sputtering target
US10995400B2 (en) * 2010-04-16 2021-05-04 Guardian Glass, LLC Method of making coated article having antibacterial and/or antifungal coating and resulting product

Also Published As

Publication number Publication date
PL2557932T3 (pl) 2018-07-31
TR201808529T4 (tr) 2018-07-23
WO2011129882A3 (en) 2012-04-19
EP2557932B1 (en) 2018-03-21
ES2666727T3 (es) 2018-05-07
CN107082574A (zh) 2017-08-22
EP2557932A2 (en) 2013-02-20
DK2557932T3 (en) 2018-06-14
MX2012011974A (es) 2012-11-06
MX359624B (es) 2018-10-04
CN102984946A (zh) 2013-03-20
BR112012026071A2 (pt) 2015-12-15
US20110256408A1 (en) 2011-10-20
JP2013525602A (ja) 2013-06-20
RU2582344C2 (ru) 2016-04-27
WO2011129882A2 (en) 2011-10-20
JP5886832B2 (ja) 2016-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2012148723A (ru) Способ изготовления покрытого изделия, имеющего антибактериальное и/или противогрибковое покрытие, и конечный продукт
JP5349455B2 (ja) 透明バリヤーフィルム及びそれらの製造方法
JP6045043B2 (ja) 焼入れ可能及び焼入れ不可能な透明ナノコンポジット層
RU2014128342A (ru) Изолирующие стеклопакеты с низкоэмиссионными и антиотражающими покрытиями и/или способы их изготовления
RU2014129498A (ru) Изделия, включающие антиконденсатные и/или низкоэмиссионные покрытия, и/или способы их изготовления
RU2014129764A (ru) Изделия с покрытиями с низкой эмиссионной способностью с системой (системами) барьерных слоев, включающей (включающими) множественные диэлектрические слои, и/или способы их изготовления
WO2004077519A3 (en) Dielectric barrier layer films
MX336914B (es) Metodo de deposicion de pelicula delgada.
JP5731644B2 (ja) 抗菌特性を有するガラス物品
WO2011092017A8 (de) Verfahren zur herstellung eines beschichteten gegenstands mit texturätzen
CN102615877A (zh) 离线可钢低辐射镀膜玻璃及其制造方法
KR101527144B1 (ko) 마그네슘-알루미늄 코팅 강판 및 그 제조 방법
CN103966559A (zh) 红外线反射薄膜的制造方法
KR20120096099A (ko) 헤이즈가 개선된 규소 박막 태양 전지 및 이의 제조 방법
EP4130332A3 (en) Spallation resistant thermal barrier coating
JP2007258634A5 (ru)
JP5538361B2 (ja) 透明バリア層システム
TWI617459B (zh) 氣體障壁性薄膜及其製造方法
RU2014146776A (ru) НАНЕСЕННОЕ ЭЛЕКТРОДУГОВЫМ НАПЫЛЕНИЕМ ПОКРЫТИЕ Al-Cr-O, СОДЕРЖАЩЕЕ Si, ИМЕЮЩЕЕ УЛУЧШЕННУЮ КРОЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ
JP2018536769A (ja) 着色グレージングを得るための方法及び生産設備
JP2019530596A (ja) 低放射率コーティングで被覆された基材
JP2019530595A (ja) 低放射率コーティングで被覆された基材
WO2007108514A1 (ja) 抗菌膜付きガラス板とその製造方法、及びそのガラス板を有する物品
SG128580A1 (en) Reduced thermal conductivity thermal barrier coating by electron beam-physical vapor deposition process
López et al. Influence of the bilayer thickness on the optical properties of Al2O3-Y2O3 dielectric nanolaminate films grown by thermal atomic layer deposition

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200413