CN102984946A - 制作含抗细菌真菌涂层的涂覆制品的方法及所得产物 - Google Patents

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Abstract

提供了一种用于制作包括抗细菌和/或抗真菌涂层的涂敷制品的方法。在某些示例性实施例中，该方法包括：提供包含锆的第一溅射目标；提供包括锌的第二溅射目标；和从第一溅射目标和第二溅射目标共同溅射，来在玻璃基板上形成包括ZnxZryOz的层，还提供了使用该方法制作的具有抗细菌和/或抗真菌涂层的涂敷制品。

Description

制作含抗细菌真菌涂层的涂覆制品的方法及所得产物
技术领域
本发明涉及制作具有由基板支持的抗真菌/抗细菌涂层的涂覆制品及所得的涂敷制品产物。涂敷制品。根据不同的实施例，本发明的涂覆制品可用于窗户、台面、相框盖、家具玻璃等。
背景技术
车窗(如挡风玻璃、后方玻璃、天窗和侧窗)在本领域中是已知的。例如，车辆的挡风玻璃通常包括通过的聚合物中间层层叠在一起的一对弯曲的玻璃基板，如聚乙烯醇缩丁醛(PVB)。
中空玻璃(IG：insulating glass)在本领域中是已知的。常规的IG窗户单元至少包括第一玻璃基板和第二玻璃基板(其中的一个可在其内表面上具有太阳能控制涂层)，它们通过至少一个密封件或垫片耦合到彼此上。不同的实例中，玻璃基板之间所得的空间或间隙可或可不填充有气体和/或被排空至低压力。许多IG单元被回火。此类IG单元玻璃基板的热回火通常需要加热玻璃基板到至少约580℃一段足够长的时间以使热回火可以进行。用于房屋或建筑的单片式建筑窗户(monolithic architectural windows)在本领域中也是已知的。家里的夹具窗户(fixture windows)，如淋浴间的窗户可由玻璃板制成。此外，为安全起见，单片式窗户常常被热回火(thermally temper)。
其他类型的涂覆制品在某些应用中(如回火、热弯曲和/或热强化)有时也进行热处理(HT)。例如但不限于，在某些情况下，玻璃台面、相框盖等可被进行HT。
病菌正在越来越受到关注，尤其是在世界各地大量发生国际旅行的今日社会。在本领域中，存在对能够杀死细菌、病毒和/或真菌用于从而减少患病的可能性的窗户、台面等的涂覆制品的需要。某些示例性实施例中，如果这种性能的涂敷制品可以结合耐划特性，其将是有利的。
在本发明的某些示例性实施例中，现有技术中存在对具有抗真菌和/或抗细菌性能的涂覆制品(如用于窗户、淋浴门和/或台面上部玻璃)的需要。在本发明的某些示例性实施例中，具有耐划性能也可是理想的涂覆制品。在某些非限制性的示例性实施例中，提供一种涂覆制品，即既耐划又可以杀死某些细菌和/或真菌从而降低接触到的人的患病机会的涂覆制品，将是有利的。
发明内容
本发明的某些示例性实施例涉及制作具有抗真菌抗细菌性能的涂敷制品的方法和所得到的产物。在某些非限制性示例性实施例中，提供了一种方法来制作涂覆制品(如车辆或建筑物中的窗户、浴室门窗户、公交车窗户、地铁车窗、桌子台面、相框盖等)，该涂敷制品可以被热处理，所以，热处理(HT)后的涂覆制品耐划的程度可比未涂覆的玻璃，且比未涂覆的玻璃抑制细菌和真菌生长的功能更强。在本发明的不同实施例中，涂覆制品可或可不被进行热处理。
在本发明的某些示例性实施例中，ZrO2和ZnO被共同溅射在玻璃基板上以形成包括锌锆氧化物(如ZnxZryOz)的层。可或可不向玻璃基板提供设于玻璃基板和含有锌锆氧化物的层之间的势垒层。例如但不限于，薄的势垒层可包含氮化硅、氧化硅和/或氮氧化硅。共同溅射的基于锌锆氧化物的层可被直接设置在玻璃基板上，或位于玻璃基板上的其他层如势垒层之上。虽然在某些示例性实施例中，本发明的基板是玻璃，但其他材料，如石英也可以在替换实施例中作为基板使用。在本发明的某些示例性实施例中，此处所描述的涂覆制品可或可不被热回火和/或图案化。此外，应理解的是，本文所用的“之上”(例如某物“之上”的层)表示直接和间接覆盖于上面，例如，直接或间接位于某物之上的层的情况，可能有其他层位于其间。
在某些示例性实施例中，提供了一种制作涂敷制品的方法，所述方法包括以下步骤：提供包含锆的第一溅射目标；提供包括锌的第二溅射目标；和共同溅射至少第一溅射目标和第二溅射目标，来在玻璃基板上形成包括掺杂有锌的锆的氮化物的层，其中，所述层包括约0.25％至20％的(原子)锌。可对包括掺杂有锌的锆的氮化物的层进行热处理(例如热回火)，所述热处理导致所述层转换为包括或基于锌锆氧化物(如ZnxZryOz)的层。
在某些示例性实施例中，层中含有的锆的氧化物包含锌锆氧化物基本上是结晶的，且无定形的锌的氧化物被“隐藏”在锆的氧化物(如ZrO2)矩阵中，例如，可被逐渐释放到表面上，使得该涂层具有持久的抗微生物性能。锆的氧化物(如ZrO2)矩阵可以是立方体或基本上为立方体的，它的结构使得它允许锌粒子迁移或扩散穿过其中到涂层外表面很长一段时间。当锌粒子随着时间的推移以基本上连续的方式到达涂覆制品的外表面时，它们作用为杀死涂覆制品表面上可接触到锌或靠近锌的至少一些细菌和/或真菌。
在某些示例性实施例中， 通过提供在包含锌锆氧化物(如ZnxZryOz)的层之上的多孔层。将锌从外部环境中保护起来。在不同的示例性实施例中，锌锆氧化物(如ZnxZryOz)包容层可包括或基本上由锌、锆和氧组成。
为实现所期望的结构，在某些示例性实施例中，锌或锌的氧化物可以是“隐藏”在锆的氧化物的骨架(skeleton)或矩阵中。为以这种方式“隐藏”锌或锌的氧化物，该涂层可以以如下所述的受控方式共同溅射(或在某些情况下从单一的、混合目标溅射)。
在第一示例性实施例中，锌可从成角度的目标溅射。更具体地，锆包容目标（Zr inclusive target）基本上垂直于基板，锌包容目标从法线偏移角度θ。该位置有助于形成具有锌或锌的氧化物“隐藏”在基于锆的氧化物的矩阵中的层，并在可选热处理之后帮助保持涂层中结晶形成的稳定性。如本文所述，“锆目标”包括含有锆和/或锆的氧化物地目标，“锌目标”包括含有锌和/或锌的氧化物的目标。在某些示例性实施例中，锆目标可包括或基本上由锆组成，且锌目标可包括或基本上由锌组成。在每个目标可包括有少量的其他元素。
在第二示例性实施例中，所述涂层通过功率控制共同溅射淀积。在本实施例中，锆和锌目标可以彼此大致平行或互成角度，但被使用不同的功率量进行溅射，以以可取的方式控制涂层的组合物和结晶度。
在第三示例实施例中，目标可包括锆和锌(和其中的一个或两个的氧化物)，两者的比例为可进行帮助控制涂层的结晶性和组合物。例如，所述目标可包含修补的或其它图案的锆和锌以确保每个相应元件以所需的量被沉积并且基本上是结晶形式(或在热处理时易于成为结晶的形式)。所述目标可包括在溅射时会创造适当的比例和结构的任何图案。
锆和/或锌的氧化物的沉积方法，并不限于上述实施例。也可以使用任何其他的沉积方法，来在适当的比例创建和维持ZnxZryOz的矩阵或基于ZnxZryOz的矩阵。此外，此处的第一、第二和第三实施例可或可不彼此组合使用。
在某些示例性实施例中，共同溅射锌与锆的氧化物导致锌锆氧化物包容层，该层表现出优异的耐划性，结合抗细菌和/或抗微生物性能。以硼硅球体测试时，它可以通过20磅的测试，使该产物比没有涂层的类似产物更耐划。
附图说明
图1是根据本发明的一个示例性实施例的抗微生物涂层的横截面视图；
图2是根据本发明的一个示例性实施例共同溅射的锌锆氧化物与传统的抗微生物涂层材料银、未涂覆玻璃的抗微生物性能的比较表；
图3是根据本发明的一个示例性实施例的 锌锆氧化物包容层的示例性组合物的XPS深度分布曲线图；
图4是根据本发明的一个示例性实施例的热处理/热回火后的基于示例性锌锆氧化物的层的结晶XRD；
图5示出了根据本发明的一个示例性实施例的成角度的锌目标；
图6示出了根据本发明的另一个示例性实施例的从 锌(Zn)目标和锆(Zr)目标进行的功率控制共同溅射；
图7示出了根据本发明的另一个示例性实施例的从单一的修补的目标溅射的 锌(Zn)和锆(Zr)；
图8a、8b和8c示出了根据又一示例性实施例的示例性的按次序共同溅射。
本发明的示例性实施例的详细描述
在本发明的某些示例性实施例中，ZrO2和ZnO被共同溅射在玻璃基板1上以形成含有锌锆氧化物3的层，所述锌锆氧化物可以是涂敷制品的最外层。可或可不向玻璃基板提供势垒层2于其上，所述势垒层可选地位于玻璃基板1和含有锌锆氧化物3的抗细菌和/或抗微生物层之间。例如但不限于，在示例性实施例中，该薄势垒层2可包括氮化硅(silicon nitride)、氧化硅(silicon oxide)和/或氮氧化硅(silicon oxynitride)。基于共同溅射的锌锆氧化物的层3可以直接设置在玻璃基板1上，也可以设置在玻璃基板1上的其他层如势垒层2上。在本发明的某些示例性实施例中，基板1可以是 玻璃，但石英、塑料或类似的其它材料也可用作替换实施例的基板。在本发明的某些示例性实施例中，所述的涂覆制品可或可不被热回火和/或图案化。
银是公知的抗细菌剂。然而，它缺乏抗真菌性能。与银相比，根据本发明的某些示例性实施例的ZrO2/ZnO(如形成基于ZnxZryOz的层)可以具有同等的抗细菌性能和良好的抗真菌性能。因此，可在本发明的某些示例性实施例中提供改善的抗真菌性能。
在某些示例性实施例中， 层3最初可被沉积为Zn-ZrN或者包括Zn-ZrN，也就是掺杂有 锌的锆的氧化物。例如，氮化锆可掺杂有0.25％的锌，更优选0.25％至15％的 锌，更优选为约1-15％的锌，更优选为约1-10％或1-5％的锌。 然后，当支持Zn-ZrN的玻璃基板1涂层被热回火(如在至少约580℃或更优选至少约600℃的温度下热处理)，Zn-ZrN将转换成Zn-ZrO2或掺杂有相同量的上面所述的锌的另一种形式的锆的氧化物。根据本发明的示例性实施例，这也将导致形成基于ZnxZryOz的层3。当然，在本发明的某些示例性实施例中，层3最初可被放置为ZnxZryOz或Zn-ZrO2。
有两个主要的工业标准用于测试制品的抗微生物性能。该测试是JIS测试(抗细菌性能测试)，和ASTM测试(抗真菌性能测试)。JIS测试使用简称为“R”的值，来评价被测试的材料的抗细菌性能。被测试的表面或物品的R值，表示是涂敷和未涂敷产物上的微生物浓度比例的记录。例如(但不限于)，如果R=2，这表示，在测试结束时，涂覆产物上的微生物浓度比未涂覆产物少100倍。R=2和更高被定义为杀生物剂。在ASTM测试中，真菌的生长被记录为0-4。0被定义为基本上没有真菌生长，1被定义为有增长(小于10％)的痕迹，2被定义为轻度生长(10-30％)，3被定义为中等生长(30-60％)，并4定义为重度增长(整个覆盖范围的60％)。
根据某些示例性实施例的包含锌锆氧化物3的抗微生物和/或抗细菌性的层优点令人惊讶地有利，即，据发现，在JIS测试中该层可以杀死至少约80％、更优选至少约90％、最优选至少约99.99％的大肠杆菌(E.Coli)(R=5.31)，和至少约80％、更优选至少约90％，最优选至少约99.94％的金黄色葡萄球菌(S. Aureusi)(R=3.23)。此外，在抗真菌(ASTM)测试中，它显示为基本上没有增长。根据某些示例性实施例制作的基于ZnxZryOz的层3的评估大致为0。这一令人惊讶的和有利的结果表明，锌锆氧化物包容层3允许基本上没有真菌生长，相比之下别的材料如银，得到了介于1与2之间的ASTM范围(高达30％的增长)。表1比较了基于ZnxZryOz的层3、银、玻璃的抗真菌和抗微生物性能。
表1
Figure 164390DEST_PATH_IMAGE001
在某些示例性实施例中，基于ZnxZryOz的层3中的锌，通过提供在基于锌锆氧化物的层之上的多孔层被从外界环境保护。此外，在某些示例性实施例中，薄势垒层2，如氮化硅、氧化硅和/或氮氧化硅，可提供在基于锌锆氧化物的层3下面，以防止在可选热处理过程中碱金属从玻璃基板1迁移到涂层中。
在某些示例性实施例中，层3中的锆的氧化物是结晶的，无定形的锌的氧化物“隐藏”在层3的锆的氧化物(如ZrO2)矩阵中，并且，例如，可以逐渐释放到层3的外部表面，使得该涂层具有持久的抗微生物性能。锆的氧化物(如ZrO2)矩阵可以是立方体或基本上为立方体的，它的结构使得它允许锌粒子迁移或扩散穿过其中到层3的外表面一段时间。当锌粒子随着时间的推移以基本上连续的方式到达涂覆制品的外表面时，它们作用为杀死涂覆制品表面上可接触到锌或靠近锌的至少一些细菌和/或真菌。
根据某些示例性实施例，为以这种方式 “隐藏”锌的氧化物，基于锌锆氧化物的层3可以以可控制的方式被共同溅射(在不同的实例中也可以从混合的单个目标溅射)。本文所用的“共同溅射”可以指从至少两个目标基本上同时溅射，或从至少两个目标按次序溅射。
下面的示例性实施例中讨论的溅射目标可以是平面的目标、旋转的圆筒形磁控管目标或它们的组合。可以使用金属或陶瓷目标。
在第一示例性实施例中，锌被从成角度的目标溅射。这样一个例子在图5中示出。更具体地说，锆目标基本上垂直于基板，和锌目标偏移角度θ，如图5所示。这个位置有助于形成锌的氧化物“隐藏”在锆的氧化物矩阵中的层3，并帮助保持可选的热处理后的涂层中的结晶形成的稳定性。本文所用的“锆目标”包括含有锆和/或锆的氧化物的目标，“锌目标”包括含有锌和/或锌的氧化物的目标。此外，每个目标可包括有少量其他元素。
Zr(锆)目标和Zn(锌)目标之间的角度θ，如图5中所示，是约0至约60度，更优选约10至约50度，最优选约30至约45度。其可以通过将锆目标大致垂直于基板1的平面留下并倾斜锌目标使两个目标之间的角度是θ来实现，如图5所示。在某些示例性实施例中，上述范围可带来层3中良好的锌粒子与锆粒子重叠，这反过来在基板中又形成具有锌的氧化物“隐藏”于内的充分混合的锆的氧化物矩阵。
在第二示例性实施例中，通过功率控制的共同溅射来沉积涂层。在本实施例中，锆目标和锌目标可或可不是基本上平行的，并且两者被使用不同的功率溅射，来以可取的方式控制层3中的组合物和结晶性。
例如，在某些非限制性实施例中，在沉积层3时对锌目标使用的功率是约0.6至4.6千瓦，更优选为约1.6至3.6千瓦，最优选约2.1至3.1千瓦，其中的一个例子值为1.6千瓦。对于锆目标，在沉积层3时使用的功率是约0.5至4.5千瓦，优选约1.5至3.5千瓦，更优选约2.0至3.0千瓦， 其中的一个例子值为 1.5千瓦。整个沉积中每个目标的功率可以是基本上恒定的也可以是改变的。
在第三示例实施例中，用于淀积层3的一个目标可以以一定的比例包括锆和锌(也可以是各自的氧化物)，其作用为帮助控制层3的组合物和结晶性。例如，目标可包含锆和锌的修补图案，以确保每个相应元件被沉积所需的量并且是基本上结晶的形式(或有利于在热处理时成为形成结晶)。目标也可包括在溅射时可生成适当的比例和结构的任何图案。这里所描述的第一、第二和第三实施例可或可不彼此组合使用。
另一示例性实施例包括从单独的锌目标和锆目标进行的按次序溅射。在本实施例中，形成锆(或锆的氧化物)和锌(或锌的氧化物)的薄交替层。例如，图8a中，基于锆的氧化物的层4首先被溅射在玻璃基板1上。然后，第二，在图8b中，基于锌的氧化物的层5被溅射。图8c示出之后第二次溅射锆以在锌的氧化物层5之上形成另一种锆的氧化物层的一个例子。图8a、8b和8c仅作为一个例子示出了热处理之前按次序溅射形成的离散层，其中被溅射的这些层的顺序可以改变。在本实施例中，热回火之前形成离散层。在其他示例性实施例中，也可以先溅射锌。在热回火期间，图8实施例的各层之间可存在迁移或扩散。利用本文所描述的方法，离散层4、5之间可以相互扩散来使得涂层具有所需的抗微生物性能。如上关于本发明的任何其它实施例所述，例如，继HT之后，可得到含有锌锆氧化物的层
同样，在任何上述实施例中，可以使用金属或陶瓷目标。目标可以是平面的目标或旋转的圆筒形磁控管溅射目标或它们的组合。
沉积锌锆氧化物的方法不限于上述实施例。可以造成基于锌锆氧化物的层的适当结构和组合物的任何沉积方法均可以使用。
在任何本发明的示例性实施例中含有锌锆氧化物的层中锆比锌的比率(不包括任何可能存在的氧)可形成约2.5至200，更优选约3.33至100，和最优选约6.67至50。沉积可在氧气、氩气和/或其它气体的存在下发生。在某些示例性实施例中，溅射沉积锌的氧化物和/或锆的氧化物所用的氧流率可以在约8到约28sccm之间，更优选从约13至23sccm，最优选从约16至21sccm。如果存在氩气，溅射沉积锌的氧化物和/或锆的氧化物所用的氩气流率可以在约10到约200sccm之间，更优选约25至175 sccm，最优选约50至150sccm。应注意，虽然锆的氧化物和锌的氧化物可以分别表示为ZrO2和ZnO，但形成的层可被表示为ZnxZryOz或包括ZnxZryOz，层和/或涂层不一定完全被氧化和化学计量。该层和/或涂层的部分氧化和完全氧化也是可以的。根据几个因素，包括在沉积过程中的氧流率，层中会存在更多或更少的氧。
形成的层可具有锌锆氧化物的分子式。热处理之前和/或之后，在包含锌锆氧化物的所述层中，锌可构成为层的约0.25％至15％(原子)，更优选约0.5％至10％，最优选层的约1％至8％。HT之前和/或之后，锆可构成为包含锌锆氧化物的层的约20％至约50％(原子)，更优选约25％至45％，最优选层的约30％至40％(原子)。HT之前和/或之后，氧可构成为包含锌锆氧化物的层的约40％至80％(原子)，更优选为约50％至70％，最优选为层的从约55％至约65％。这些范围是有利的，因为，例如但不限于，如果锌的浓度太低，表面上的锌会不足以充分抑制真菌和/或细菌的生长，如果锌的浓度过高，涂层的化学稳定性和环境的耐久性会降低。
在某些示例性实施例中，在上述实施例中所描述的含有锌锆氧化物的层的厚度可为约10至1000Å，更优选为约200至800Å，最优选从约400至600Å，例如在一个示例性实施例中，厚度为约550Å。
在上述实施例中所描述的层并不限于锌、锆和氧。其他材料可以存在于该层中，其其它层可被提供在基于锌锆氧化物的层的上方或下方，也可以设置其它层。然而，在某些示例性实施例中，该层可以基本上包括ZnxZryOz或由ZnxZryOz组成。
在某些示例性实施例中涂层和玻璃涂覆制品可或可不进行热处理。此处使用的术语“热处理”，“进行热处理”表示将制品加热到足够的温度来使玻璃的热回火，弯曲，和/或热强化可被进行。这包括，例如，将制品在至少约580或600℃的温度下加热一段足够长的时间，以使回火和/或热强化可以进行。
在某些示例性实施例中，共同溅射的锆和锌的氧化物造成的基于锌锆氧化物的层表现出优异的抗划性与抗细菌和/或抗微生物性能。在1/8“直径的硼硅球体拖过涂覆制品表面上的简单刮擦测试中，导致涂覆表面上的可见划痕的负荷可高达10、15或20磅。相比较而言，非涂敷玻璃未能做到这一点，为小于0.5磅。在本发明某些示例性实施例中，含有锌锆氧化物的层能够通过硼硅球体的10磅、15英镑和/或20磅的刮擦测试而不被划伤。
虽然本发明已结合目前被认为最实用和优选的实施例描述，这是应当理解，本发明不局限于所公开的实施例，相反，目的是覆盖包括在所附权利要求书的精神和范围之内的各种修改和等效力等同物。

Claims (23)

1.一种制作涂敷制品的方法，所述方法包括以下步骤：
提供包含锆的第一溅射目标；
提供包括锌的第二溅射目标；和
共同溅射至少第一溅射目标和第二溅射目标，来在玻璃基板上形成包括ZnxZryOz的层，其中所述层包括约0.25％至15％的(原子)锌、约20％至50％的(原子)锆、约40％至80％的(原子)氧。
2.如权利要求1所述的方法，其中，所述层被溅射沉积以便包括约0.5％至10％的(原子)锌、约25％至45％的(原子)锆、约50％至70％的(原子)氧。
3.如权利要求1所述的方法，其中，所述层被溅射沉积以便包括约1％至8％的(原子)锌、约30％至40％的(原子)锆、约55％至65％的(原子)氧。
4.如权利要求1所述所述的方法，进一步包括以下步骤：
将所述涂覆制品热回火。
5.一种制作涂敷制品的方法，所述方法包括：
提供包含锆的第一溅射目标；
提供包括锌的第二溅射目标；和
从第一溅射目标和第二溅射目标按次序溅射到玻璃基板上，来形成至少一个 包含锆的第一层、直接位于包含锆的第一层上的包含锌的第二层；和
将所述玻璃基板与位于其上的第一层和第二层热回火以形成包括由锌锆氧化物组成的层并且具有抗细菌和/或抗真菌性能的涂覆制品。
6.一种制作抗细菌和/或抗真菌涂覆制品的方法，所述方法包括：
在至少存在氧的条件下将锌和锆溅射到玻璃基板上；和
在玻璃基板上形成包括ZnxZryOz的层，其中，所述层包括约0.25％至15％的(原子)锌、约20％至50％的(原子)锆、约40％至80％的(原子)氧，且其中，所述层基本抑制细菌和真菌的生长。
7.如权利要求6所述所述的方法，进一步包括以下步骤：
将所述涂覆制品热回火。
8.一种制作涂敷制品的方法，所述方法包括：
提供包含锆的第一溅射目标；
提供包括锌的第二溅射目标；和
从第一溅射目标和第二溅射目标共同溅射到玻璃基板上，来形成包括 ZnxZryOz的层，其中，对第一目标和第二目标应用不同的溅射功率以控制该层的组合物。
9.如权利要求8所述的方法，其中，用于锌目标的功率为约1.6至3.6千瓦，且用于锆目标的功率为约1.5至3.5千瓦。
10.如权利要求8所述的方法，其中，所述层包括约0.25％至15％的(原子)锌、约20％至50％的(原子)锆、约40％至80％的(原子)氧。
11.如权利要求8所述的方法，进一步包括以下步骤：
将所述涂覆制品热回火。
12.一种制作涂敷制品的方法，所述方法包括以下步骤：
提供包含锆的第一溅射目标；
提供包括锌的第二溅射目标；和
从第一溅射目标和第二溅射目标共同溅射，来在玻璃基板上形成包括ZnxZryOz的层，其中，所述第一溅射目标和第二溅射目标彼此偏移大于零度的角度θ。
13.如权利要求12所述的方法，其中，所述角度θ大于5度且小于约0度。
14.如权利要求12所述的方法，其中，所述角度θ为约30至约45度。
15.如权利要求12所述的方法，进一步包括以下步骤：
将所述涂覆制品热回火。
16.如权利要求12所述的方法，其中，所述层包括约0.25％至15％的(原子)锌、约20％至50％的(原子)锆、约40％至80％的(原子)氧。
17.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：
在玻璃基板与包括ZnxZryOz的层之间提供势垒层。
18.如权利要求17所述的方法，其中，所述势垒层包括氮化硅、氧化硅和/或氮氧化硅。
19.如权利要求6所述的方法，进一步包括：
在包括ZnxZryOz的层的下层提供势垒层。
20.一种制作涂敷制品的方法，所述方法包括以下步骤：
提供包含锆的第一溅射目标；
提供包括锌的第二溅射目标；和
共同溅射至少第一溅射目标和第二溅射目标，来在玻璃基板上形成包括掺杂有锌的锆的氮化物的层，其中，所述层包括约0.25％至20％的(原子)锌。
21.如权利要求20所述的方法，进一步包括以下步骤：
对上有包括掺杂有锌的锆的氮化物的层的玻璃板进行热处理，且其中，所述热处理导致所述层转换为包括掺杂有锌的锆的氧化物的层。
22.如权利要求21所述的方法，其中，包括掺杂有锌的锆的氧化物的所述层，包括约0.5％至10％的(原子)锌、约25％至45％的(原子)锆、约50％至70％的(原子)氧。
23.一种具有抗细菌和/或抗真菌性能的涂敷制品，包括：
在玻璃基板上包括ZnxZryOz的层，所述层具有抗细菌和/或抗真菌性能，且其中，所述层包括约0.25％至15％的(原子)锌、约20％至50％的(原子)锆、约40％至80％的(原子)氧。
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