RU2012116010A - Системы и способы измерения импеданса для определения компонентов твердых и текучих объектов - Google Patents
Системы и способы измерения импеданса для определения компонентов твердых и текучих объектов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012116010A RU2012116010A RU2012116010/28A RU2012116010A RU2012116010A RU 2012116010 A RU2012116010 A RU 2012116010A RU 2012116010/28 A RU2012116010/28 A RU 2012116010/28A RU 2012116010 A RU2012116010 A RU 2012116010A RU 2012116010 A RU2012116010 A RU 2012116010A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- sensor
- coil
- impedance
- measuring
- sensor according
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/023—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance where the material is placed in the field of a coil
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
1. Импедансный датчик резонансного типа, представляющий собой многокатушечный индуктор с разомкнутым сердечником или без стального сердечника, содержащий по меньшей мере две катушки, одной из которых является катушка возбуждения с возможностью соединения по меньшей мере с одним источником переменного тока с качанием частоты, а другой катушкой является измерительная катушка с возможностью соединения по меньшей мере с одной системой обработки данных, при этом после установления электрического соединения с источником тока катушка возбуждения передает энергию измерительной катушке, которая генерирует зондирующее электромагнитное поле, а индуктивно-резистивно-емкостные (LCR) параметры измерительной катушки способны обеспечивать условия резонанса для измерения импеданса объекта исследования на заданной частоте.2. Датчик по п.1, дополнительно содержащий по меньшей мере один источник переменного тока с качанием частоты, подключенный с помощью электрического соединения по меньшей мере к одной катушке возбуждения.3. Датчик по п.2, дополнительно содержащий по меньшей мере одну систему обработки данных, поддерживающую связь по меньшей мере с одной измерительной катушкой, при этом параметры LCR измерительной катушки обеспечивают условия резонанса для измерения импеданса объекта исследования на заданной частоте.4. Система измерения импеданса для бесконтактного и неинвазивного измерения и анализа заданных химических и физических свойств газообразных, жидких и твердых объектов, содержащая:(A) по меньшей мере один импедансный датчик резонансного типа по п.1,(Б) по меньшей мере один источник переменного тока с кача�
Claims (35)
1. Импедансный датчик резонансного типа, представляющий собой многокатушечный индуктор с разомкнутым сердечником или без стального сердечника, содержащий по меньшей мере две катушки, одной из которых является катушка возбуждения с возможностью соединения по меньшей мере с одним источником переменного тока с качанием частоты, а другой катушкой является измерительная катушка с возможностью соединения по меньшей мере с одной системой обработки данных, при этом после установления электрического соединения с источником тока катушка возбуждения передает энергию измерительной катушке, которая генерирует зондирующее электромагнитное поле, а индуктивно-резистивно-емкостные (LCR) параметры измерительной катушки способны обеспечивать условия резонанса для измерения импеданса объекта исследования на заданной частоте.
2. Датчик по п.1, дополнительно содержащий по меньшей мере один источник переменного тока с качанием частоты, подключенный с помощью электрического соединения по меньшей мере к одной катушке возбуждения.
3. Датчик по п.2, дополнительно содержащий по меньшей мере одну систему обработки данных, поддерживающую связь по меньшей мере с одной измерительной катушкой, при этом параметры LCR измерительной катушки обеспечивают условия резонанса для измерения импеданса объекта исследования на заданной частоте.
4. Система измерения импеданса для бесконтактного и неинвазивного измерения и анализа заданных химических и физических свойств газообразных, жидких и твердых объектов, содержащая:
(A) по меньшей мере один импедансный датчик резонансного типа по п.1,
(Б) по меньшей мере один источник переменного тока с качанием частоты, подключенный с помощью электрического соединения по меньшей мере к одной катушке возбуждения,
(B) по меньшей мере одну систему обработки данных поддерживающую связь по меньшей мере с одной измерительной катушкой, при этом индуктивно-резистивно-емкостные (LCR) параметры измерительной катушки обеспечивают условия резонанса для измерения импеданса объекта исследования на заданной частоте, и
(Г) систему управления, поддерживающую связь с источником переменного тока и системой обработки данных.
5. Система измерения импеданса по п.4, дополнительно содержащая приспособление для размещения объекта исследования в непосредственной близости от датчика(-ов), в результате чего электромагнитное поле, индуцированное измерительной катушкой(-ами), способно проникать в объект исследования.
6. Способ измерения химических и физических свойств объекта импедансным датчиком резонансного типа, включающий:
(A) измерение частоты и амплитуды авторезонанса датчика(-ов),
(Б) использование объекта исследования, содержащего по меньшей мере одно анализируемое вещество,
(B) измерение резонансной частоты и амплитуды датчика в присутствии упомянутого объекта,
(Г) вычисление изменений амплитуды и резонансной частоты, вызванных электромагнитным взаимодействием между датчиком и объектом, с целью определения импеданс объекта исследования, и
(Д) сопоставление импеданса с предварительно заданными данными калибровки с целью определения химических и физических свойств объекта исследования.
7. Способ по п.6, в котором датчиком является датчик по п.1.
8. Датчик по п.3, в котором система обработки данных имеет высокоимпедансный вход.
9. Датчик по п.8, в котором импедансный вход превышает 10 МОм.
10. Датчик по п.2, в котором источник переменного тока имеет регулируемый выходной ток.
11. Датчик по п.1, в котором датчик сконфигурирован в виде цилиндрического многокатушечного индуктора.
12. Датчик по п.11, в котором цилиндрический многокатушечный индуктор имеет ферромагнитный разомкнутый сердечник.
13. Датчик по п.12, в котором ферромагнитный сердечник сконфигурирован в виде горшкового сердечника.
14. Датчик по п.12, в котором цилиндрический многокатушечный индуктор имеет регулируемый ферромагнитный сердечник.
15. Датчик по п.1, дополнительно содержащий опорный элемент, на котором установлены катушки.
16. Датчик по п.15, в котором многокатушечный индуктор является планарным.
17. Датчик по п.15, в котором опорный элемент представляет собой опорный элемент типа печатной платы или гибкий опорный элемент.
18. Датчик по п.11, в котором катушки сконфигурированы в виде многокатушечного индуктора, установленного на опорном элементе.
19. Датчик по п.18, в котором опорный элемент имеет низкий коэффициент диэлектрической постоянной.
20. Датчик по п.19, в котором опорный элемент содержит фторированный полимер, контактирующий с установленным многокатушечным индуктором.
21. Датчик по п.11, дополнительно содержащий средство регулирования рабочей частоты датчика.
22. Датчик по п.21, в котором упомянутым средством регулирования является регулируемое межвитковое расстояние.
23. Система датчиков по п.4, дополнительно содержащая резервуар для газообразных, жидких или сыпучих материалов, являющихся объектом исследования.
24. Система датчиков по п.23, в которой упомянутый резервуар охватывает по меньшей мере один датчик, сконфигурированный в виде цилиндрического многокатушечного индуктора.
25. Система датчиков по п.23, в которой на наружной или внутренней стенке упомянутого резервуара установлен по меньшей мере один датчик.
26. Система датчиков по п.п.24 или 25, содержащая участок трубы, на котором установлен датчик(-и).
27. Система датчиков по п.п.24 или 25, дополнительно содержащая по меньшей мере один обводной трубопровод или группу каналов с датчиком(-ами), установленными на упомянутом по меньшей мере одном обводной трубопроводе или группе каналов.
28. Система датчиков по п.4, дополнительно содержащая средство определения условий окружающей среды снаружи объекта исследования с целью получения контрольной информации, применимой для компенсации погрешности измерений.
29. Система датчиков по п.28, в которой упомянутое средство определения условий окружающей среды представляет собой по меньшей мере один дополнительный импедансный датчик.
30. Способ по п.7, дополнительно включающий контроль происходящих в реальном времени изменений импеданса и сопоставление химических и физических свойств объекта исследования с упомянутыми происходящими в реальном времени изменениями импеданса.
31. Датчик по п.1, дополнительно содержащий фазовый детектор, поддерживающий связь с источником переменного тока и системой обработки данных.
32. Способ по п.6, дополнительно включающий использование датчика по п.23 и измерение сдвига амплитуды и фазы на фиксированной частоте вблизи резонансной частоты датчика.
33. Способ по п.7, дополнительно включающий оказание дополнительного внешнего воздействия(-й) на объект исследования с целью повышения чувствительности системы датчиков.
34. Способ по п.33, в котором дополнительное внешнее воздействие(-я) выбирают из группы, включающей УФ излучение, ИК излучение, магнитное поле, электростатическое поле и акустическую волну (ультразвук).
35. Датчик по п.1, в котором измерительная катушка и катушка возбуждения разнесены друг от друга в пространственном отношении.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US24458409P | 2009-09-22 | 2009-09-22 | |
US61/244,584 | 2009-09-22 | ||
PCT/US2010/049824 WO2011038003A1 (en) | 2009-09-22 | 2010-09-22 | Impedance sensing systems and methods for use in measuring constituents in solid and fluid objects |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2012116010A true RU2012116010A (ru) | 2013-10-27 |
RU2629901C2 RU2629901C2 (ru) | 2017-09-04 |
Family
ID=43480477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2012116010A RU2629901C2 (ru) | 2009-09-22 | 2010-09-22 | Системы и способы измерения импеданса для определения компонентов твердых и текучих объектов |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8547110B2 (ru) |
EP (1) | EP2480878B1 (ru) |
JP (1) | JP5666597B2 (ru) |
KR (1) | KR101526039B1 (ru) |
CN (1) | CN102575998B (ru) |
AU (1) | AU2010298385B2 (ru) |
CA (1) | CA2775144C (ru) |
IL (1) | IL218707A (ru) |
NZ (1) | NZ598827A (ru) |
RU (1) | RU2629901C2 (ru) |
WO (1) | WO2011038003A1 (ru) |
Families Citing this family (77)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10914698B2 (en) | 2006-11-16 | 2021-02-09 | General Electric Company | Sensing method and system |
US10539524B2 (en) * | 2006-11-16 | 2020-01-21 | General Electric Company | Resonant sensing system and method for monitoring properties of an industrial fluid |
US9538657B2 (en) | 2012-06-29 | 2017-01-03 | General Electric Company | Resonant sensor and an associated sensing method |
US9589686B2 (en) | 2006-11-16 | 2017-03-07 | General Electric Company | Apparatus for detecting contaminants in a liquid and a system for use thereof |
US9658178B2 (en) | 2012-09-28 | 2017-05-23 | General Electric Company | Sensor systems for measuring an interface level in a multi-phase fluid composition |
US9389296B2 (en) * | 2012-07-26 | 2016-07-12 | General Electric Company | Method for sensor reader calibration |
US9536122B2 (en) | 2014-11-04 | 2017-01-03 | General Electric Company | Disposable multivariable sensing devices having radio frequency based sensors |
CN102575998B (zh) | 2009-09-22 | 2016-03-30 | Adem有限公司 | 用于测量固体和液体对象构成的阻抗传感系统及方法 |
EP2619561B1 (en) * | 2010-09-22 | 2015-04-22 | DeLaval Holding AB | Determination of attributes of liquid substances |
US8542023B2 (en) * | 2010-11-09 | 2013-09-24 | General Electric Company | Highly selective chemical and biological sensors |
CN102539928B (zh) * | 2010-12-21 | 2016-03-16 | 香港科技大学 | 应用于分析水泥基材料孔结构的非接触式阻抗测量仪 |
US8542024B2 (en) * | 2010-12-23 | 2013-09-24 | General Electric Company | Temperature-independent chemical and biological sensors |
US9528814B2 (en) * | 2011-05-19 | 2016-12-27 | NeoVision, LLC | Apparatus and method of using impedance resonance sensor for thickness measurement |
CA2838067A1 (en) | 2011-06-08 | 2012-12-13 | Vidyo, Inc. | Systems and methods for improved interactive content sharing in video communication systems |
GB201115612D0 (en) * | 2011-09-09 | 2011-10-26 | Pilkington Group Ltd | Measuring a property of molten glass |
US20130073097A1 (en) * | 2011-09-19 | 2013-03-21 | Dennis Vidovich | Area soil moisture and fertilization sensor |
US9225069B2 (en) | 2011-10-18 | 2015-12-29 | California Institute Of Technology | Efficient active multi-drive radiator |
US9465089B2 (en) | 2011-12-01 | 2016-10-11 | Neovision Llc | NMR spectroscopy device based on resonance type impedance (IR) sensor and method of NMR spectra acquisition |
US8952708B2 (en) | 2011-12-02 | 2015-02-10 | Neovision Llc | Impedance resonance sensor for real time monitoring of different processes and methods of using same |
US9687169B2 (en) * | 2011-12-08 | 2017-06-27 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | System, controller, and method for determining conductance of an object |
WO2013123090A1 (en) * | 2012-02-13 | 2013-08-22 | California Institute Of Technology | Sensing radiation metrics through mode-pickup sensors |
WO2013172896A2 (en) | 2012-02-17 | 2013-11-21 | California Institute Of Technology | Dynamic polarization modulation and control |
JP2014003250A (ja) * | 2012-06-21 | 2014-01-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置の製造方法および成膜装置 |
WO2014018927A1 (en) | 2012-07-26 | 2014-01-30 | California Institute Of Technology | Optically driven active radiator |
US10598650B2 (en) | 2012-08-22 | 2020-03-24 | General Electric Company | System and method for measuring an operative condition of a machine |
US9746452B2 (en) | 2012-08-22 | 2017-08-29 | General Electric Company | Wireless system and method for measuring an operative condition of a machine |
WO2014043165A2 (en) | 2012-09-11 | 2014-03-20 | Vidyo, Inc. | System and method for agent-based integration of instant messaging and video communication systems |
US10684268B2 (en) | 2012-09-28 | 2020-06-16 | Bl Technologies, Inc. | Sensor systems for measuring an interface level in a multi-phase fluid composition |
JP6312118B2 (ja) * | 2013-05-16 | 2018-04-18 | 学校法人東京理科大学 | 電気特性測定装置、電気特性測定方法およびプログラム |
US9410910B1 (en) | 2013-05-23 | 2016-08-09 | D-2 Inc. | Hybrid conductivity sensor |
EP3102929B1 (en) | 2014-02-05 | 2018-09-26 | Vayyar Imaging Ltd. | System for characterizing non-solid substances |
CN103940859B (zh) * | 2014-05-13 | 2016-07-27 | 爱德森(厦门)电子有限公司 | 一种并联谐振电路电容检测非金属材料不连续性的方法 |
EP4018924A1 (en) * | 2014-10-08 | 2022-06-29 | Aristotle University of Thessaloniki - Elke | Method for the detection and characterisation of bubbles in liquids and device therefor, respectively system |
US20160121452A1 (en) * | 2014-10-31 | 2016-05-05 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and polishing method |
AU2015268746B2 (en) * | 2014-12-30 | 2017-09-07 | Ge Infrastructure Technology Llc | Sensing method and system |
RU2621271C2 (ru) * | 2015-01-12 | 2017-06-01 | Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего образования "Военный учебно-научный центр Военно-Морского Флота "Военно-морская академия имени Адмирала флота Советского Союза Н.Г. Кузнецова" | Устройство для исследования гидрофизических характеристик и свойств жидкости и способ его применения |
EP3245507B1 (en) | 2015-01-15 | 2019-11-06 | Transtech Systems, Inc. | Measurement and monitoring of physical properties of material under test (mut) from a vehicle |
DE102015201023B4 (de) * | 2015-01-22 | 2016-09-15 | Siemens Healthcare Gmbh | MR-Feldsonden mit Zusatzwindungen zur Verbesserung der Homogenität und zur Eingrenzung des Mess-Volumens |
US9733231B2 (en) * | 2015-02-04 | 2017-08-15 | Texas Instruments Incorporated | Spectrographic material analysis using multi-frequency inductive sensing |
US10545107B2 (en) | 2015-04-26 | 2020-01-28 | Vayyar Imaging Ltd | System, device and methods for measuring substances' dielectric properties using microwave sensors |
WO2016174679A2 (en) | 2015-04-27 | 2016-11-03 | Vayyar Imaging Ltd | System and methods for calibrating an antenna array using targets |
WO2016174680A1 (en) | 2015-04-29 | 2016-11-03 | Vayyar Imaging Ltd | System, device and methods for localization and orientation of a radio frequency antenna array |
US10690760B2 (en) | 2015-05-05 | 2020-06-23 | Vayyar Imaging Ltd | System and methods for three dimensional modeling of an object using a radio frequency device |
US10809372B2 (en) | 2015-05-11 | 2020-10-20 | Vayyar Imaging Ltd. | System, device and methods for imaging of objects using electromagnetic array |
US10290948B2 (en) | 2015-08-02 | 2019-05-14 | Vayyar Imaging Ltd | System and method for radio frequency penetration imaging of an object |
AT517604B1 (de) * | 2015-10-06 | 2017-03-15 | Siemens Ag Oesterreich | Messfühler |
CA2994237A1 (en) * | 2015-11-19 | 2017-05-26 | Saint-Gobain Glass France | Alarm pane arrangement |
CN105488262B (zh) * | 2015-11-25 | 2019-06-04 | 南方电网科学研究院有限责任公司 | 宽频直流电力电阻器的设计方法及系统 |
US10436896B2 (en) | 2015-11-29 | 2019-10-08 | Vayyar Imaging Ltd. | System, device and method for imaging of objects using signal clustering |
US10060895B2 (en) * | 2015-12-27 | 2018-08-28 | Light of Detection, Ltd. | Devices and methods for identifying a biological or chemical residue in an liquid sample |
JP6779633B2 (ja) * | 2016-02-23 | 2020-11-04 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置 |
KR20190037281A (ko) | 2016-08-02 | 2019-04-05 | 쌩-고벵 글래스 프랑스 | 경보 판유리 조립체 |
WO2018024565A1 (de) | 2016-08-02 | 2018-02-08 | Saint-Gobain Glass France | Alarmscheibenanordnung |
US9902068B1 (en) * | 2016-12-29 | 2018-02-27 | Texas Instruments Incorporated | Impedance signature analyzer to control automated actions |
CN107192759B (zh) * | 2017-06-09 | 2019-08-27 | 湖南大学 | 一种基于感应光热辐射的光伏电池无损检测方法及系统 |
CN109307688B (zh) * | 2017-07-27 | 2021-06-01 | 通用电气公司 | 感测系统和方法 |
CN108226830B (zh) * | 2018-01-05 | 2020-09-08 | 重庆大学 | 一种用于加强射频能量的谐振单元及其阵列结构 |
KR102125246B1 (ko) * | 2018-03-20 | 2020-06-24 | 한양대학교 에리카산학협력단 | 건축 구조물 부식 측정 센서 어셈블리 및 이를 이용한 부식 측정 방법 |
US10908200B2 (en) * | 2018-03-29 | 2021-02-02 | Cirrus Logic, Inc. | Resonant phase sensing of resistive-inductive-capacitive sensors |
JP7301506B2 (ja) | 2018-08-06 | 2023-07-03 | 東芝エネルギーシステムズ株式会社 | 渦電流探傷装置および渦電流探傷方法 |
KR102528061B1 (ko) * | 2018-08-31 | 2023-05-02 | 건국대학교 산학협력단 | 식물 배양기 외부에서의 유도전류 측정을 통한 식물 배양기 수분 함량 측정 방법 및 장치 |
KR102541151B1 (ko) * | 2018-08-31 | 2023-06-08 | 건국대학교 산학협력단 | 인덕턴스 측정을 통한 식물의 건강상태 측정 방법 및 장치 |
CN109145513B (zh) * | 2018-09-30 | 2023-11-07 | 南京航空航天大学 | 基于电磁场组合激励控制的非接触式力触觉再现系统及方法 |
US10883953B2 (en) | 2018-10-16 | 2021-01-05 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor device for sensing impedance changes in a medium |
EP3899513A4 (en) * | 2018-12-19 | 2022-09-21 | Abbott Diabetes Care Inc. | SYSTEMS, DEVICES AND METHODS FOR RF DETECTION OF ANALYTE SENSOR MEASUREMENTS |
US11435269B1 (en) | 2019-01-03 | 2022-09-06 | Honeywell Federal Manufacturings Technologies, Llc | In situ data acquisition and real-time analysis system |
US11300534B2 (en) | 2019-09-06 | 2022-04-12 | General Electric Company | Monolithic gas-sensing chip assembly and method |
CN110672677A (zh) * | 2019-10-14 | 2020-01-10 | 昆明理工大学 | 一种肥液组分在线检测装置及其检测方法 |
CN111122392B (zh) * | 2019-12-04 | 2021-01-26 | 北京航空航天大学 | 一种气溶胶吸湿特性综合测量仪器 |
CN111343560B (zh) * | 2020-03-17 | 2021-06-18 | 厦门傅里叶电子有限公司 | 一种手机喇叭谐振频率fo测试和跟踪方法 |
ES2788801A1 (es) * | 2020-06-05 | 2020-10-22 | Univ Madrid Politecnica | Sistema y metodo de medicion de degradacion o contaminacion de fluidos mediante un sensor inductivo de nucleo hueco |
DE102020132286A1 (de) | 2020-07-23 | 2022-01-27 | AST (Advanced Sensor Technologies) International GmbH | Sensorvorrichtung und Verfahren zum Erfassen mindestens einer Eigenschaft eines Mediums |
CN112557260A (zh) * | 2020-11-24 | 2021-03-26 | 北京信息科技大学 | 基于高磁导率铁芯的金属磨损颗粒检测传感器及检测方法 |
DE102021103803A1 (de) | 2021-02-18 | 2022-08-18 | Technische Universität Chemnitz, Körperschaft des öffentlichen Rechts | Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung materialinterner mechanischer Zustände eines Werkstücks |
CN113125314A (zh) * | 2021-04-08 | 2021-07-16 | 北京信息科技大学 | 一种外包裹高磁导率材料的高灵敏度金属磨损颗粒检测传感器 |
CN113916943B (zh) * | 2021-10-11 | 2024-03-01 | 国家海洋技术中心 | 一种海水电导率测量方法及系统 |
CN116294415B (zh) * | 2023-04-06 | 2024-09-24 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种冰箱控制方法、装置及冰箱 |
Family Cites Families (94)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1566042A (en) | 1924-12-17 | 1925-12-15 | Frank A Schmidt | Safety tread |
US2583724A (en) * | 1948-05-08 | 1952-01-29 | Socony Vacuum Oil Co Inc | Magnetic flowmeter |
DE2061018C3 (de) * | 1970-12-11 | 1974-05-02 | Laukien Guenther | Verfahren zur Aufnahme von Spinresonanzspektren und hierfuer geeignetes Spinresonanz-Spektrometer |
SU494615A1 (ru) | 1973-07-23 | 1975-12-05 | Ордена Ленина И Ордена Трудового Красного Знамени Института Электросварки Им.Е.О.Патона | Индукционный бесконтактный датчик уровн жидких металлов |
US4058766A (en) | 1976-06-21 | 1977-11-15 | Agridustrial Electronics, Inc. | Multiple-frequency permittivity tester |
US4334604A (en) * | 1979-03-15 | 1982-06-15 | Casino Investment Limited | Coin detecting apparatus for distinguishing genuine coins from slugs, spurious coins and the like |
US4433286A (en) * | 1979-04-09 | 1984-02-21 | Georgetown University | Identification of materials using their complex dielectric response |
SU903795A1 (ru) * | 1980-01-04 | 1982-02-07 | Предприятие П/Я Р-6303 | Устройство дл очистки электрографических пластин |
SU960616A1 (ru) * | 1981-01-04 | 1982-09-23 | Предприятие П/Я А-3869 | Вихретоковый резонансный преобразователь |
SU1408391A1 (ru) * | 1986-06-18 | 1988-07-07 | Московский Инженерно-Физический Институт | Зонд дл измерени магнитного пол объемных резонаторов |
DE3817574A1 (de) * | 1988-05-24 | 1989-11-30 | Fraunhofer Ges Forschung | Wirbelstromsensor |
US5132617A (en) * | 1990-05-16 | 1992-07-21 | International Business Machines Corp. | Method of measuring changes in impedance of a variable impedance load by disposing an impedance connected coil within the air gap of a magnetic core |
US5213655A (en) * | 1990-05-16 | 1993-05-25 | International Business Machines Corporation | Device and method for detecting an end point in polishing operation |
US5242524A (en) * | 1990-05-16 | 1993-09-07 | International Business Machines Corporation | Device for detecting an end point in polishing operations |
US5550478A (en) * | 1991-03-12 | 1996-08-27 | Chrysler Corporation | Housing for flexible fuel sensor |
US5091704A (en) * | 1991-03-12 | 1992-02-25 | Chrysler Corporation | Oscillator having resonator coil immersed in a liquid mixture to determine relative amounts of two liquids |
US5343146A (en) * | 1992-10-05 | 1994-08-30 | De Felsko Corporation | Combination coating thickness gauge using a magnetic flux density sensor and an eddy current search coil |
US5516399A (en) * | 1994-06-30 | 1996-05-14 | International Business Machines Corporation | Contactless real-time in-situ monitoring of a chemical etching |
US5541510A (en) * | 1995-04-06 | 1996-07-30 | Kaman Instrumentation Corporation | Multi-Parameter eddy current measuring system with parameter compensation technical field |
US5660672A (en) * | 1995-04-10 | 1997-08-26 | International Business Machines Corporation | In-situ monitoring of conductive films on semiconductor wafers |
US5559428A (en) * | 1995-04-10 | 1996-09-24 | International Business Machines Corporation | In-situ monitoring of the change in thickness of films |
US5663637A (en) * | 1996-03-19 | 1997-09-02 | International Business Machines Corporation | Rotary signal coupling for chemical mechanical polishing endpoint detection with a westech tool |
US5770948A (en) * | 1996-03-19 | 1998-06-23 | International Business Machines Corporation | Rotary signal coupling for chemical mechanical polishing endpoint detection with a strasbaugh tool |
US5644221A (en) * | 1996-03-19 | 1997-07-01 | International Business Machines Corporation | Endpoint detection for chemical mechanical polishing using frequency or amplitude mode |
US5659492A (en) * | 1996-03-19 | 1997-08-19 | International Business Machines Corporation | Chemical mechanical polishing endpoint process control |
SE508354C2 (sv) * | 1996-07-05 | 1998-09-28 | Asea Atom Ab | Förfarande och anordning för bestämning av skikttjocklek |
EP0819944A1 (en) * | 1996-07-16 | 1998-01-21 | Lucent Technologies Inc. | Eddy current sensor |
US6242927B1 (en) * | 1997-04-09 | 2001-06-05 | Case Corporation | Method and apparatus measuring parameters of material |
DE69808268T2 (de) * | 1997-04-16 | 2003-06-12 | Kaiku Ltd., Manchester | Beurteilung der flüssigkeitszusammensetzung |
US6377039B1 (en) * | 1997-11-14 | 2002-04-23 | Jentek Sensors, Incorporated | Method for characterizing coating and substrates |
US6163154A (en) * | 1997-12-23 | 2000-12-19 | Magnetic Diagnostics, Inc. | Small scale NMR spectroscopic apparatus and method |
CA2331644A1 (en) * | 1998-05-12 | 1999-11-18 | Neil J. Goldfine | Methods for utilizing dielectrometry signals using estimation grids |
JPH11337656A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-10 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 金属検知方法及び金属検知装置 |
US6404199B1 (en) * | 1998-11-25 | 2002-06-11 | Philips Medical Systems (Cleveland), Inc. | Quadrature RF coil for vertical field MRI systems |
US6448795B1 (en) * | 1999-02-12 | 2002-09-10 | Alexei Ermakov | Three coil apparatus for inductive measurements of conductance |
FR2795524B1 (fr) * | 1999-06-23 | 2001-08-03 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de mesure rmn portable |
US6310480B1 (en) * | 1999-09-13 | 2001-10-30 | Foxboro Nmr Ltd | Flow-through probe for NMR spectrometers |
US6707540B1 (en) * | 1999-12-23 | 2004-03-16 | Kla-Tencor Corporation | In-situ metalization monitoring using eddy current and optical measurements |
US6433541B1 (en) * | 1999-12-23 | 2002-08-13 | Kla-Tencor Corporation | In-situ metalization monitoring using eddy current measurements during the process for removing the film |
KR100718737B1 (ko) * | 2000-01-17 | 2007-05-15 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 폴리싱 장치 |
JP4874465B2 (ja) * | 2000-03-28 | 2012-02-15 | 株式会社東芝 | 渦電流損失測定センサ |
US6741076B2 (en) * | 2000-04-07 | 2004-05-25 | Cuong Duy Le | Eddy current measuring system for monitoring and controlling a CMP process |
US6407546B1 (en) * | 2000-04-07 | 2002-06-18 | Cuong Duy Le | Non-contact technique for using an eddy current probe for measuring the thickness of metal layers disposed on semi-conductor wafer products |
US6762604B2 (en) * | 2000-04-07 | 2004-07-13 | Cuong Duy Le | Standalone eddy current measuring system for thickness estimation of conductive films |
US7374477B2 (en) * | 2002-02-06 | 2008-05-20 | Applied Materials, Inc. | Polishing pads useful for endpoint detection in chemical mechanical polishing |
US6924641B1 (en) * | 2000-05-19 | 2005-08-02 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for monitoring a metal layer during chemical mechanical polishing |
JP3916375B2 (ja) * | 2000-06-02 | 2007-05-16 | 株式会社荏原製作所 | ポリッシング方法および装置 |
US6878038B2 (en) * | 2000-07-10 | 2005-04-12 | Applied Materials Inc. | Combined eddy current sensing and optical monitoring for chemical mechanical polishing |
WO2002004916A2 (en) * | 2000-07-10 | 2002-01-17 | Ndt Instruments Ltd. | Method and apparatus for determining the composition of fluids |
US6602724B2 (en) * | 2000-07-27 | 2003-08-05 | Applied Materials, Inc. | Chemical mechanical polishing of a metal layer with polishing rate monitoring |
US6923711B2 (en) * | 2000-10-17 | 2005-08-02 | Speedfam-Ipec Corporation | Multizone carrier with process monitoring system for chemical-mechanical planarization tool |
TW541425B (en) * | 2000-10-20 | 2003-07-11 | Ebara Corp | Frequency measuring device, polishing device using the same and eddy current sensor |
US6966816B2 (en) * | 2001-05-02 | 2005-11-22 | Applied Materials, Inc. | Integrated endpoint detection system with optical and eddy current monitoring |
US6593738B2 (en) * | 2001-09-17 | 2003-07-15 | Boris Kesil | Method and apparatus for measuring thickness of conductive films with the use of inductive and capacitive sensors |
US7043402B2 (en) * | 2001-12-20 | 2006-05-09 | The Precision Instrument Corp. | On-line oil condition sensor system for rotating and reciprocating machinery |
US7128718B2 (en) * | 2002-03-22 | 2006-10-31 | Cordis Corporation | Guidewire with deflectable tip |
US7024268B1 (en) * | 2002-03-22 | 2006-04-04 | Applied Materials Inc. | Feedback controlled polishing processes |
DE10216587B4 (de) * | 2002-04-14 | 2004-08-05 | Michael Dr. Bruder | Unilaterale NMR-Sonde zur Materialanalyse und deren Verwendung als Sensor |
IL153894A (en) * | 2003-01-12 | 2010-05-31 | Nova Measuring Instr Ltd | Method and system for measuring the thickness of thin conductive layers |
US7016795B2 (en) * | 2003-02-04 | 2006-03-21 | Applied Materials Inc. | Signal improvement in eddy current sensing |
US6891380B2 (en) * | 2003-06-02 | 2005-05-10 | Multimetrixs, Llc | System and method for measuring characteristics of materials with the use of a composite sensor |
US6977503B2 (en) * | 2003-02-10 | 2005-12-20 | Quantum Magnetics, Inc. | System and method for single-sided magnetic resonance imaging |
US7008296B2 (en) * | 2003-06-18 | 2006-03-07 | Applied Materials, Inc. | Data processing for monitoring chemical mechanical polishing |
US7071684B2 (en) * | 2003-07-25 | 2006-07-04 | Red Ko Volodymyr | Method of non-contact measuring electrical conductivity of electrolytes with using primary measuring transformer |
US7074109B1 (en) * | 2003-08-18 | 2006-07-11 | Applied Materials | Chemical mechanical polishing control system and method |
JP4451111B2 (ja) * | 2003-10-20 | 2010-04-14 | 株式会社荏原製作所 | 渦電流センサ |
US7135870B2 (en) * | 2004-05-04 | 2006-11-14 | Kam Controls Incorporated | Device for determining the composition of a fluid mixture |
US7514938B2 (en) * | 2004-05-11 | 2009-04-07 | Board Of Regents Of The University And College System Of Nevada, On Behalf Of The University Of Nevada, Reno | Dielectric relaxation spectroscopy apparatus and methods of use |
US7219024B2 (en) * | 2004-05-26 | 2007-05-15 | Transtech Systems, Inc. | Material analysis including density and moisture content determinations |
WO2005123335A1 (en) * | 2004-06-21 | 2005-12-29 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and polishing method |
KR100600706B1 (ko) * | 2004-07-09 | 2006-07-14 | 삼성전자주식회사 | 자기공명흡수법을 이용한 무혈혈당 측정장치 및 측정 방법 |
JP4022628B2 (ja) * | 2004-08-18 | 2007-12-19 | 国立大学法人信州大学 | 複合材の配合比同定法 |
US7332902B1 (en) | 2004-11-02 | 2008-02-19 | Environmental Metrology Corporation | Micro sensor for electrochemically monitoring residue in micro channels |
GB2425842A (en) * | 2005-05-05 | 2006-11-08 | Plant Bioscience Ltd | Magnetic resonance sensor with rotatable magnetic rods placed around the sample |
US20080199359A1 (en) * | 2005-07-04 | 2008-08-21 | Senviro Pty Ltd | Soil Moisture Sensor |
WO2007003218A1 (en) * | 2005-07-05 | 2007-01-11 | Commissariat A L'energie Atomique | Apparatus for high-resolution nmr spectroscopy and/or imaging with an improved filling factor and rf field amplitude |
US7198545B1 (en) * | 2005-10-25 | 2007-04-03 | Novellus Systems, Inc. | Method of calibration and data evaluation for eddy current metrology systems |
KR100660916B1 (ko) * | 2006-02-09 | 2006-12-26 | 삼성전자주식회사 | 트렌치들의 패턴 밀도 및 깊이를 매개 변수로 이용하는도전층 평탄화 단계를 포함하는 반도체 소자의 제조 방법 |
WO2007095573A2 (en) | 2006-02-14 | 2007-08-23 | Ndsu Research Foundation | Electrochemical impedance spectroscopy method and system |
US7912661B2 (en) * | 2006-03-31 | 2011-03-22 | Kmg2 Sensors Corporation | Impedance analysis technique for frequency domain characterization of magnetoelastic sensor element by measuring steady-state vibration of element while undergoing constant sine-wave excitation |
JP4971685B2 (ja) * | 2006-05-25 | 2012-07-11 | 株式会社日立製作所 | 核磁気共鳴プローブコイル |
JP5232379B2 (ja) * | 2006-11-09 | 2013-07-10 | 株式会社日立製作所 | Nmr計測用プローブ、およびそれを用いたnmr装置 |
KR101083908B1 (ko) | 2006-12-18 | 2011-11-15 | 슈레이더 일렉트로닉스 리미티드 | Emf 파의 전파를 이용하는 연료 조성 감지 시스템 및 방법 |
US8482298B2 (en) | 2006-12-18 | 2013-07-09 | Schrader Electronics Ltd. | Liquid level and composition sensing systems and methods using EMF wave propagation |
CN101583785A (zh) | 2006-12-18 | 2009-11-18 | 施拉德尔电子学有限公司 | 使用emf波的传播的燃料成分传感系统和方法 |
NL1033148C2 (nl) * | 2006-12-29 | 2008-07-01 | Univ Delft Tech | Elektrische meetinrichting, werkwijze en computer programma product. |
US7659731B2 (en) * | 2007-02-15 | 2010-02-09 | Delphi Technologies, Inc. | Liquid properties sensor circuit |
EP2150807B1 (de) | 2007-05-31 | 2014-07-02 | Endress+Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH+Co. KG | Induktiver leitfähigkeitssensor |
JP5224752B2 (ja) * | 2007-09-03 | 2013-07-03 | 株式会社東京精密 | 研磨完了時点の予測方法とその装置 |
US7821257B2 (en) * | 2007-09-03 | 2010-10-26 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd | Method and device for forecasting/detecting polishing end point and method and device for monitoring real-time film thickness |
US7911205B2 (en) | 2007-09-25 | 2011-03-22 | General Electric Company | Electromagnetic resonance frequency inspection systems and methods |
DE102007054858A1 (de) * | 2007-11-16 | 2009-05-20 | Continental Automotive France | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung eines Kraftstoffanteils in einem Motoröl eines Kraftfahrzeugs |
JP2012531585A (ja) * | 2009-06-26 | 2012-12-10 | シュレイダー エレクトロニクス リミテッド | Emf波伝播を利用した液体の水位および品質の感知装置システムおよび方法 |
CN102575998B (zh) | 2009-09-22 | 2016-03-30 | Adem有限公司 | 用于测量固体和液体对象构成的阻抗传感系统及方法 |
-
2010
- 2010-09-22 CN CN201080047815.5A patent/CN102575998B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-09-22 KR KR1020127010197A patent/KR101526039B1/ko active IP Right Grant
- 2010-09-22 AU AU2010298385A patent/AU2010298385B2/en not_active Ceased
- 2010-09-22 EP EP10776852.5A patent/EP2480878B1/en not_active Not-in-force
- 2010-09-22 JP JP2012530993A patent/JP5666597B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-09-22 WO PCT/US2010/049824 patent/WO2011038003A1/en active Application Filing
- 2010-09-22 RU RU2012116010A patent/RU2629901C2/ru not_active Application Discontinuation
- 2010-09-22 CA CA2775144A patent/CA2775144C/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-09-22 NZ NZ598827A patent/NZ598827A/en not_active IP Right Cessation
- 2010-09-22 US US12/887,887 patent/US8547110B2/en active Active
-
2012
- 2012-03-18 IL IL218707A patent/IL218707A/en active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU2010298385A1 (en) | 2012-04-12 |
US20110068807A1 (en) | 2011-03-24 |
KR20120074295A (ko) | 2012-07-05 |
EP2480878B1 (en) | 2019-04-17 |
US8547110B2 (en) | 2013-10-01 |
CA2775144C (en) | 2018-07-17 |
CA2775144A1 (en) | 2011-03-31 |
JP2013512414A (ja) | 2013-04-11 |
CN102575998B (zh) | 2016-03-30 |
JP5666597B2 (ja) | 2015-02-12 |
EP2480878A1 (en) | 2012-08-01 |
IL218707A0 (en) | 2012-05-31 |
RU2629901C2 (ru) | 2017-09-04 |
CN102575998A (zh) | 2012-07-11 |
NZ598827A (en) | 2014-03-28 |
WO2011038003A1 (en) | 2011-03-31 |
KR101526039B1 (ko) | 2015-06-04 |
AU2010298385B2 (en) | 2014-03-27 |
IL218707A (en) | 2016-02-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2012116010A (ru) | Системы и способы измерения импеданса для определения компонентов твердых и текучих объектов | |
EP0855018B1 (en) | Inductive sensor for monitoring fluid level and displacememt | |
JP2013512414A5 (ru) | ||
US9689828B2 (en) | Passive wireless sensor | |
US9201048B2 (en) | Systems for characterizing resonance behavior of magnetostrictive resonators | |
EP2939184B1 (en) | Resonant sensor assembly for analysis of fluids | |
US9261474B2 (en) | Methods for analysis of fluids | |
CN201796013U (zh) | 电涡流金属材料分析传感器 | |
RU2005118104A (ru) | Зонд для бесконтактного измерения поверхностного сопротивления | |
EP3486667A1 (en) | Inductively interrogated passive sensor apparatus | |
US11105761B2 (en) | Resonant sensors for wireless monitoring of cell concentration | |
CN112985647A (zh) | 一种管道弯曲应力检测装置 | |
CN102661994A (zh) | 基于螺旋电感传感器的水气相含率探测装置及其探测方法 | |
CN110907528A (zh) | 一种测氢气的磁电谐振传感器、测试装置及测试方法 | |
CN101995562A (zh) | 磁传感器远程在线标定方法 | |
Ferrari et al. | Compact DDS-based system for contactless interrogation of resonant sensors based on time-gated technique | |
CN103149440B (zh) | 非接触式混凝土电阻率测定仪 | |
CN212030674U (zh) | 一种高温液体用磁致伸缩导波液位计 | |
RU2411512C1 (ru) | Устройство для измерения влажности сыпучих материалов | |
CN106053544A (zh) | 感应式工业型管道内复电导率在线检测装置和方法 | |
NO20011620L (no) | Fremgangsmåte og anordning til overvåkning av kjemiske reaksjoner | |
Bhadra et al. | A wireless passive pH sensor based on pH electrode potential measurement | |
Lata et al. | Design of a Hydrostatic Liquid Level Wireless Transmitter for Efficient Level Measurement | |
US9021891B2 (en) | Vortex flow meter having a magnetic field generating device including a first and a second excitation coil | |
Sowiński et al. | Laboratory stand for fluxgate level measurement |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
HE9A | Changing address for correspondence with an applicant | ||
FA92 | Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted) |
Effective date: 20160930 |
|
FZ9A | Application not withdrawn (correction of the notice of withdrawal) |
Effective date: 20161227 |