RU2012116010A - Системы и способы измерения импеданса для определения компонентов твердых и текучих объектов - Google Patents

Системы и способы измерения импеданса для определения компонентов твердых и текучих объектов Download PDF

Info

Publication number
RU2012116010A
RU2012116010A RU2012116010/28A RU2012116010A RU2012116010A RU 2012116010 A RU2012116010 A RU 2012116010A RU 2012116010/28 A RU2012116010/28 A RU 2012116010/28A RU 2012116010 A RU2012116010 A RU 2012116010A RU 2012116010 A RU2012116010 A RU 2012116010A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sensor
coil
impedance
measuring
sensor according
Prior art date
Application number
RU2012116010/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2629901C2 (ru
Inventor
Борис КЕСИЛ
Юрий НИКОЛЕНКО
Original Assignee
Адем
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Адем filed Critical Адем
Publication of RU2012116010A publication Critical patent/RU2012116010A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2629901C2 publication Critical patent/RU2629901C2/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/023Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance where the material is placed in the field of a coil
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Abstract

1. Импедансный датчик резонансного типа, представляющий собой многокатушечный индуктор с разомкнутым сердечником или без стального сердечника, содержащий по меньшей мере две катушки, одной из которых является катушка возбуждения с возможностью соединения по меньшей мере с одним источником переменного тока с качанием частоты, а другой катушкой является измерительная катушка с возможностью соединения по меньшей мере с одной системой обработки данных, при этом после установления электрического соединения с источником тока катушка возбуждения передает энергию измерительной катушке, которая генерирует зондирующее электромагнитное поле, а индуктивно-резистивно-емкостные (LCR) параметры измерительной катушки способны обеспечивать условия резонанса для измерения импеданса объекта исследования на заданной частоте.2. Датчик по п.1, дополнительно содержащий по меньшей мере один источник переменного тока с качанием частоты, подключенный с помощью электрического соединения по меньшей мере к одной катушке возбуждения.3. Датчик по п.2, дополнительно содержащий по меньшей мере одну систему обработки данных, поддерживающую связь по меньшей мере с одной измерительной катушкой, при этом параметры LCR измерительной катушки обеспечивают условия резонанса для измерения импеданса объекта исследования на заданной частоте.4. Система измерения импеданса для бесконтактного и неинвазивного измерения и анализа заданных химических и физических свойств газообразных, жидких и твердых объектов, содержащая:(A) по меньшей мере один импедансный датчик резонансного типа по п.1,(Б) по меньшей мере один источник переменного тока с кача�

Claims (35)

1. Импедансный датчик резонансного типа, представляющий собой многокатушечный индуктор с разомкнутым сердечником или без стального сердечника, содержащий по меньшей мере две катушки, одной из которых является катушка возбуждения с возможностью соединения по меньшей мере с одним источником переменного тока с качанием частоты, а другой катушкой является измерительная катушка с возможностью соединения по меньшей мере с одной системой обработки данных, при этом после установления электрического соединения с источником тока катушка возбуждения передает энергию измерительной катушке, которая генерирует зондирующее электромагнитное поле, а индуктивно-резистивно-емкостные (LCR) параметры измерительной катушки способны обеспечивать условия резонанса для измерения импеданса объекта исследования на заданной частоте.
2. Датчик по п.1, дополнительно содержащий по меньшей мере один источник переменного тока с качанием частоты, подключенный с помощью электрического соединения по меньшей мере к одной катушке возбуждения.
3. Датчик по п.2, дополнительно содержащий по меньшей мере одну систему обработки данных, поддерживающую связь по меньшей мере с одной измерительной катушкой, при этом параметры LCR измерительной катушки обеспечивают условия резонанса для измерения импеданса объекта исследования на заданной частоте.
4. Система измерения импеданса для бесконтактного и неинвазивного измерения и анализа заданных химических и физических свойств газообразных, жидких и твердых объектов, содержащая:
(A) по меньшей мере один импедансный датчик резонансного типа по п.1,
(Б) по меньшей мере один источник переменного тока с качанием частоты, подключенный с помощью электрического соединения по меньшей мере к одной катушке возбуждения,
(B) по меньшей мере одну систему обработки данных поддерживающую связь по меньшей мере с одной измерительной катушкой, при этом индуктивно-резистивно-емкостные (LCR) параметры измерительной катушки обеспечивают условия резонанса для измерения импеданса объекта исследования на заданной частоте, и
(Г) систему управления, поддерживающую связь с источником переменного тока и системой обработки данных.
5. Система измерения импеданса по п.4, дополнительно содержащая приспособление для размещения объекта исследования в непосредственной близости от датчика(-ов), в результате чего электромагнитное поле, индуцированное измерительной катушкой(-ами), способно проникать в объект исследования.
6. Способ измерения химических и физических свойств объекта импедансным датчиком резонансного типа, включающий:
(A) измерение частоты и амплитуды авторезонанса датчика(-ов),
(Б) использование объекта исследования, содержащего по меньшей мере одно анализируемое вещество,
(B) измерение резонансной частоты и амплитуды датчика в присутствии упомянутого объекта,
(Г) вычисление изменений амплитуды и резонансной частоты, вызванных электромагнитным взаимодействием между датчиком и объектом, с целью определения импеданс объекта исследования, и
(Д) сопоставление импеданса с предварительно заданными данными калибровки с целью определения химических и физических свойств объекта исследования.
7. Способ по п.6, в котором датчиком является датчик по п.1.
8. Датчик по п.3, в котором система обработки данных имеет высокоимпедансный вход.
9. Датчик по п.8, в котором импедансный вход превышает 10 МОм.
10. Датчик по п.2, в котором источник переменного тока имеет регулируемый выходной ток.
11. Датчик по п.1, в котором датчик сконфигурирован в виде цилиндрического многокатушечного индуктора.
12. Датчик по п.11, в котором цилиндрический многокатушечный индуктор имеет ферромагнитный разомкнутый сердечник.
13. Датчик по п.12, в котором ферромагнитный сердечник сконфигурирован в виде горшкового сердечника.
14. Датчик по п.12, в котором цилиндрический многокатушечный индуктор имеет регулируемый ферромагнитный сердечник.
15. Датчик по п.1, дополнительно содержащий опорный элемент, на котором установлены катушки.
16. Датчик по п.15, в котором многокатушечный индуктор является планарным.
17. Датчик по п.15, в котором опорный элемент представляет собой опорный элемент типа печатной платы или гибкий опорный элемент.
18. Датчик по п.11, в котором катушки сконфигурированы в виде многокатушечного индуктора, установленного на опорном элементе.
19. Датчик по п.18, в котором опорный элемент имеет низкий коэффициент диэлектрической постоянной.
20. Датчик по п.19, в котором опорный элемент содержит фторированный полимер, контактирующий с установленным многокатушечным индуктором.
21. Датчик по п.11, дополнительно содержащий средство регулирования рабочей частоты датчика.
22. Датчик по п.21, в котором упомянутым средством регулирования является регулируемое межвитковое расстояние.
23. Система датчиков по п.4, дополнительно содержащая резервуар для газообразных, жидких или сыпучих материалов, являющихся объектом исследования.
24. Система датчиков по п.23, в которой упомянутый резервуар охватывает по меньшей мере один датчик, сконфигурированный в виде цилиндрического многокатушечного индуктора.
25. Система датчиков по п.23, в которой на наружной или внутренней стенке упомянутого резервуара установлен по меньшей мере один датчик.
26. Система датчиков по п.п.24 или 25, содержащая участок трубы, на котором установлен датчик(-и).
27. Система датчиков по п.п.24 или 25, дополнительно содержащая по меньшей мере один обводной трубопровод или группу каналов с датчиком(-ами), установленными на упомянутом по меньшей мере одном обводной трубопроводе или группе каналов.
28. Система датчиков по п.4, дополнительно содержащая средство определения условий окружающей среды снаружи объекта исследования с целью получения контрольной информации, применимой для компенсации погрешности измерений.
29. Система датчиков по п.28, в которой упомянутое средство определения условий окружающей среды представляет собой по меньшей мере один дополнительный импедансный датчик.
30. Способ по п.7, дополнительно включающий контроль происходящих в реальном времени изменений импеданса и сопоставление химических и физических свойств объекта исследования с упомянутыми происходящими в реальном времени изменениями импеданса.
31. Датчик по п.1, дополнительно содержащий фазовый детектор, поддерживающий связь с источником переменного тока и системой обработки данных.
32. Способ по п.6, дополнительно включающий использование датчика по п.23 и измерение сдвига амплитуды и фазы на фиксированной частоте вблизи резонансной частоты датчика.
33. Способ по п.7, дополнительно включающий оказание дополнительного внешнего воздействия(-й) на объект исследования с целью повышения чувствительности системы датчиков.
34. Способ по п.33, в котором дополнительное внешнее воздействие(-я) выбирают из группы, включающей УФ излучение, ИК излучение, магнитное поле, электростатическое поле и акустическую волну (ультразвук).
35. Датчик по п.1, в котором измерительная катушка и катушка возбуждения разнесены друг от друга в пространственном отношении.
RU2012116010A 2009-09-22 2010-09-22 Системы и способы измерения импеданса для определения компонентов твердых и текучих объектов RU2629901C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US24458409P 2009-09-22 2009-09-22
US61/244,584 2009-09-22
PCT/US2010/049824 WO2011038003A1 (en) 2009-09-22 2010-09-22 Impedance sensing systems and methods for use in measuring constituents in solid and fluid objects

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012116010A true RU2012116010A (ru) 2013-10-27
RU2629901C2 RU2629901C2 (ru) 2017-09-04

Family

ID=43480477

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012116010A RU2629901C2 (ru) 2009-09-22 2010-09-22 Системы и способы измерения импеданса для определения компонентов твердых и текучих объектов

Country Status (11)

Country Link
US (1) US8547110B2 (ru)
EP (1) EP2480878B1 (ru)
JP (1) JP5666597B2 (ru)
KR (1) KR101526039B1 (ru)
CN (1) CN102575998B (ru)
AU (1) AU2010298385B2 (ru)
CA (1) CA2775144C (ru)
IL (1) IL218707A (ru)
NZ (1) NZ598827A (ru)
RU (1) RU2629901C2 (ru)
WO (1) WO2011038003A1 (ru)

Families Citing this family (77)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10914698B2 (en) 2006-11-16 2021-02-09 General Electric Company Sensing method and system
US10539524B2 (en) * 2006-11-16 2020-01-21 General Electric Company Resonant sensing system and method for monitoring properties of an industrial fluid
US9538657B2 (en) 2012-06-29 2017-01-03 General Electric Company Resonant sensor and an associated sensing method
US9589686B2 (en) 2006-11-16 2017-03-07 General Electric Company Apparatus for detecting contaminants in a liquid and a system for use thereof
US9658178B2 (en) 2012-09-28 2017-05-23 General Electric Company Sensor systems for measuring an interface level in a multi-phase fluid composition
US9389296B2 (en) * 2012-07-26 2016-07-12 General Electric Company Method for sensor reader calibration
US9536122B2 (en) 2014-11-04 2017-01-03 General Electric Company Disposable multivariable sensing devices having radio frequency based sensors
CN102575998B (zh) 2009-09-22 2016-03-30 Adem有限公司 用于测量固体和液体对象构成的阻抗传感系统及方法
EP2619561B1 (en) * 2010-09-22 2015-04-22 DeLaval Holding AB Determination of attributes of liquid substances
US8542023B2 (en) * 2010-11-09 2013-09-24 General Electric Company Highly selective chemical and biological sensors
CN102539928B (zh) * 2010-12-21 2016-03-16 香港科技大学 应用于分析水泥基材料孔结构的非接触式阻抗测量仪
US8542024B2 (en) * 2010-12-23 2013-09-24 General Electric Company Temperature-independent chemical and biological sensors
US9528814B2 (en) * 2011-05-19 2016-12-27 NeoVision, LLC Apparatus and method of using impedance resonance sensor for thickness measurement
CA2838067A1 (en) 2011-06-08 2012-12-13 Vidyo, Inc. Systems and methods for improved interactive content sharing in video communication systems
GB201115612D0 (en) * 2011-09-09 2011-10-26 Pilkington Group Ltd Measuring a property of molten glass
US20130073097A1 (en) * 2011-09-19 2013-03-21 Dennis Vidovich Area soil moisture and fertilization sensor
US9225069B2 (en) 2011-10-18 2015-12-29 California Institute Of Technology Efficient active multi-drive radiator
US9465089B2 (en) 2011-12-01 2016-10-11 Neovision Llc NMR spectroscopy device based on resonance type impedance (IR) sensor and method of NMR spectra acquisition
US8952708B2 (en) 2011-12-02 2015-02-10 Neovision Llc Impedance resonance sensor for real time monitoring of different processes and methods of using same
US9687169B2 (en) * 2011-12-08 2017-06-27 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. System, controller, and method for determining conductance of an object
WO2013123090A1 (en) * 2012-02-13 2013-08-22 California Institute Of Technology Sensing radiation metrics through mode-pickup sensors
WO2013172896A2 (en) 2012-02-17 2013-11-21 California Institute Of Technology Dynamic polarization modulation and control
JP2014003250A (ja) * 2012-06-21 2014-01-09 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体装置の製造方法および成膜装置
WO2014018927A1 (en) 2012-07-26 2014-01-30 California Institute Of Technology Optically driven active radiator
US10598650B2 (en) 2012-08-22 2020-03-24 General Electric Company System and method for measuring an operative condition of a machine
US9746452B2 (en) 2012-08-22 2017-08-29 General Electric Company Wireless system and method for measuring an operative condition of a machine
WO2014043165A2 (en) 2012-09-11 2014-03-20 Vidyo, Inc. System and method for agent-based integration of instant messaging and video communication systems
US10684268B2 (en) 2012-09-28 2020-06-16 Bl Technologies, Inc. Sensor systems for measuring an interface level in a multi-phase fluid composition
JP6312118B2 (ja) * 2013-05-16 2018-04-18 学校法人東京理科大学 電気特性測定装置、電気特性測定方法およびプログラム
US9410910B1 (en) 2013-05-23 2016-08-09 D-2 Inc. Hybrid conductivity sensor
EP3102929B1 (en) 2014-02-05 2018-09-26 Vayyar Imaging Ltd. System for characterizing non-solid substances
CN103940859B (zh) * 2014-05-13 2016-07-27 爱德森(厦门)电子有限公司 一种并联谐振电路电容检测非金属材料不连续性的方法
EP4018924A1 (en) * 2014-10-08 2022-06-29 Aristotle University of Thessaloniki - Elke Method for the detection and characterisation of bubbles in liquids and device therefor, respectively system
US20160121452A1 (en) * 2014-10-31 2016-05-05 Ebara Corporation Polishing apparatus and polishing method
AU2015268746B2 (en) * 2014-12-30 2017-09-07 Ge Infrastructure Technology Llc Sensing method and system
RU2621271C2 (ru) * 2015-01-12 2017-06-01 Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего образования "Военный учебно-научный центр Военно-Морского Флота "Военно-морская академия имени Адмирала флота Советского Союза Н.Г. Кузнецова" Устройство для исследования гидрофизических характеристик и свойств жидкости и способ его применения
EP3245507B1 (en) 2015-01-15 2019-11-06 Transtech Systems, Inc. Measurement and monitoring of physical properties of material under test (mut) from a vehicle
DE102015201023B4 (de) * 2015-01-22 2016-09-15 Siemens Healthcare Gmbh MR-Feldsonden mit Zusatzwindungen zur Verbesserung der Homogenität und zur Eingrenzung des Mess-Volumens
US9733231B2 (en) * 2015-02-04 2017-08-15 Texas Instruments Incorporated Spectrographic material analysis using multi-frequency inductive sensing
US10545107B2 (en) 2015-04-26 2020-01-28 Vayyar Imaging Ltd System, device and methods for measuring substances' dielectric properties using microwave sensors
WO2016174679A2 (en) 2015-04-27 2016-11-03 Vayyar Imaging Ltd System and methods for calibrating an antenna array using targets
WO2016174680A1 (en) 2015-04-29 2016-11-03 Vayyar Imaging Ltd System, device and methods for localization and orientation of a radio frequency antenna array
US10690760B2 (en) 2015-05-05 2020-06-23 Vayyar Imaging Ltd System and methods for three dimensional modeling of an object using a radio frequency device
US10809372B2 (en) 2015-05-11 2020-10-20 Vayyar Imaging Ltd. System, device and methods for imaging of objects using electromagnetic array
US10290948B2 (en) 2015-08-02 2019-05-14 Vayyar Imaging Ltd System and method for radio frequency penetration imaging of an object
AT517604B1 (de) * 2015-10-06 2017-03-15 Siemens Ag Oesterreich Messfühler
CA2994237A1 (en) * 2015-11-19 2017-05-26 Saint-Gobain Glass France Alarm pane arrangement
CN105488262B (zh) * 2015-11-25 2019-06-04 南方电网科学研究院有限责任公司 宽频直流电力电阻器的设计方法及系统
US10436896B2 (en) 2015-11-29 2019-10-08 Vayyar Imaging Ltd. System, device and method for imaging of objects using signal clustering
US10060895B2 (en) * 2015-12-27 2018-08-28 Light of Detection, Ltd. Devices and methods for identifying a biological or chemical residue in an liquid sample
JP6779633B2 (ja) * 2016-02-23 2020-11-04 株式会社荏原製作所 研磨装置
KR20190037281A (ko) 2016-08-02 2019-04-05 쌩-고벵 글래스 프랑스 경보 판유리 조립체
WO2018024565A1 (de) 2016-08-02 2018-02-08 Saint-Gobain Glass France Alarmscheibenanordnung
US9902068B1 (en) * 2016-12-29 2018-02-27 Texas Instruments Incorporated Impedance signature analyzer to control automated actions
CN107192759B (zh) * 2017-06-09 2019-08-27 湖南大学 一种基于感应光热辐射的光伏电池无损检测方法及系统
CN109307688B (zh) * 2017-07-27 2021-06-01 通用电气公司 感测系统和方法
CN108226830B (zh) * 2018-01-05 2020-09-08 重庆大学 一种用于加强射频能量的谐振单元及其阵列结构
KR102125246B1 (ko) * 2018-03-20 2020-06-24 한양대학교 에리카산학협력단 건축 구조물 부식 측정 센서 어셈블리 및 이를 이용한 부식 측정 방법
US10908200B2 (en) * 2018-03-29 2021-02-02 Cirrus Logic, Inc. Resonant phase sensing of resistive-inductive-capacitive sensors
JP7301506B2 (ja) 2018-08-06 2023-07-03 東芝エネルギーシステムズ株式会社 渦電流探傷装置および渦電流探傷方法
KR102528061B1 (ko) * 2018-08-31 2023-05-02 건국대학교 산학협력단 식물 배양기 외부에서의 유도전류 측정을 통한 식물 배양기 수분 함량 측정 방법 및 장치
KR102541151B1 (ko) * 2018-08-31 2023-06-08 건국대학교 산학협력단 인덕턴스 측정을 통한 식물의 건강상태 측정 방법 및 장치
CN109145513B (zh) * 2018-09-30 2023-11-07 南京航空航天大学 基于电磁场组合激励控制的非接触式力触觉再现系统及方法
US10883953B2 (en) 2018-10-16 2021-01-05 Texas Instruments Incorporated Semiconductor device for sensing impedance changes in a medium
EP3899513A4 (en) * 2018-12-19 2022-09-21 Abbott Diabetes Care Inc. SYSTEMS, DEVICES AND METHODS FOR RF DETECTION OF ANALYTE SENSOR MEASUREMENTS
US11435269B1 (en) 2019-01-03 2022-09-06 Honeywell Federal Manufacturings Technologies, Llc In situ data acquisition and real-time analysis system
US11300534B2 (en) 2019-09-06 2022-04-12 General Electric Company Monolithic gas-sensing chip assembly and method
CN110672677A (zh) * 2019-10-14 2020-01-10 昆明理工大学 一种肥液组分在线检测装置及其检测方法
CN111122392B (zh) * 2019-12-04 2021-01-26 北京航空航天大学 一种气溶胶吸湿特性综合测量仪器
CN111343560B (zh) * 2020-03-17 2021-06-18 厦门傅里叶电子有限公司 一种手机喇叭谐振频率fo测试和跟踪方法
ES2788801A1 (es) * 2020-06-05 2020-10-22 Univ Madrid Politecnica Sistema y metodo de medicion de degradacion o contaminacion de fluidos mediante un sensor inductivo de nucleo hueco
DE102020132286A1 (de) 2020-07-23 2022-01-27 AST (Advanced Sensor Technologies) International GmbH Sensorvorrichtung und Verfahren zum Erfassen mindestens einer Eigenschaft eines Mediums
CN112557260A (zh) * 2020-11-24 2021-03-26 北京信息科技大学 基于高磁导率铁芯的金属磨损颗粒检测传感器及检测方法
DE102021103803A1 (de) 2021-02-18 2022-08-18 Technische Universität Chemnitz, Körperschaft des öffentlichen Rechts Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung materialinterner mechanischer Zustände eines Werkstücks
CN113125314A (zh) * 2021-04-08 2021-07-16 北京信息科技大学 一种外包裹高磁导率材料的高灵敏度金属磨损颗粒检测传感器
CN113916943B (zh) * 2021-10-11 2024-03-01 国家海洋技术中心 一种海水电导率测量方法及系统
CN116294415B (zh) * 2023-04-06 2024-09-24 珠海格力电器股份有限公司 一种冰箱控制方法、装置及冰箱

Family Cites Families (94)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1566042A (en) 1924-12-17 1925-12-15 Frank A Schmidt Safety tread
US2583724A (en) * 1948-05-08 1952-01-29 Socony Vacuum Oil Co Inc Magnetic flowmeter
DE2061018C3 (de) * 1970-12-11 1974-05-02 Laukien Guenther Verfahren zur Aufnahme von Spinresonanzspektren und hierfuer geeignetes Spinresonanz-Spektrometer
SU494615A1 (ru) 1973-07-23 1975-12-05 Ордена Ленина И Ордена Трудового Красного Знамени Института Электросварки Им.Е.О.Патона Индукционный бесконтактный датчик уровн жидких металлов
US4058766A (en) 1976-06-21 1977-11-15 Agridustrial Electronics, Inc. Multiple-frequency permittivity tester
US4334604A (en) * 1979-03-15 1982-06-15 Casino Investment Limited Coin detecting apparatus for distinguishing genuine coins from slugs, spurious coins and the like
US4433286A (en) * 1979-04-09 1984-02-21 Georgetown University Identification of materials using their complex dielectric response
SU903795A1 (ru) * 1980-01-04 1982-02-07 Предприятие П/Я Р-6303 Устройство дл очистки электрографических пластин
SU960616A1 (ru) * 1981-01-04 1982-09-23 Предприятие П/Я А-3869 Вихретоковый резонансный преобразователь
SU1408391A1 (ru) * 1986-06-18 1988-07-07 Московский Инженерно-Физический Институт Зонд дл измерени магнитного пол объемных резонаторов
DE3817574A1 (de) * 1988-05-24 1989-11-30 Fraunhofer Ges Forschung Wirbelstromsensor
US5132617A (en) * 1990-05-16 1992-07-21 International Business Machines Corp. Method of measuring changes in impedance of a variable impedance load by disposing an impedance connected coil within the air gap of a magnetic core
US5213655A (en) * 1990-05-16 1993-05-25 International Business Machines Corporation Device and method for detecting an end point in polishing operation
US5242524A (en) * 1990-05-16 1993-09-07 International Business Machines Corporation Device for detecting an end point in polishing operations
US5550478A (en) * 1991-03-12 1996-08-27 Chrysler Corporation Housing for flexible fuel sensor
US5091704A (en) * 1991-03-12 1992-02-25 Chrysler Corporation Oscillator having resonator coil immersed in a liquid mixture to determine relative amounts of two liquids
US5343146A (en) * 1992-10-05 1994-08-30 De Felsko Corporation Combination coating thickness gauge using a magnetic flux density sensor and an eddy current search coil
US5516399A (en) * 1994-06-30 1996-05-14 International Business Machines Corporation Contactless real-time in-situ monitoring of a chemical etching
US5541510A (en) * 1995-04-06 1996-07-30 Kaman Instrumentation Corporation Multi-Parameter eddy current measuring system with parameter compensation technical field
US5660672A (en) * 1995-04-10 1997-08-26 International Business Machines Corporation In-situ monitoring of conductive films on semiconductor wafers
US5559428A (en) * 1995-04-10 1996-09-24 International Business Machines Corporation In-situ monitoring of the change in thickness of films
US5663637A (en) * 1996-03-19 1997-09-02 International Business Machines Corporation Rotary signal coupling for chemical mechanical polishing endpoint detection with a westech tool
US5770948A (en) * 1996-03-19 1998-06-23 International Business Machines Corporation Rotary signal coupling for chemical mechanical polishing endpoint detection with a strasbaugh tool
US5644221A (en) * 1996-03-19 1997-07-01 International Business Machines Corporation Endpoint detection for chemical mechanical polishing using frequency or amplitude mode
US5659492A (en) * 1996-03-19 1997-08-19 International Business Machines Corporation Chemical mechanical polishing endpoint process control
SE508354C2 (sv) * 1996-07-05 1998-09-28 Asea Atom Ab Förfarande och anordning för bestämning av skikttjocklek
EP0819944A1 (en) * 1996-07-16 1998-01-21 Lucent Technologies Inc. Eddy current sensor
US6242927B1 (en) * 1997-04-09 2001-06-05 Case Corporation Method and apparatus measuring parameters of material
DE69808268T2 (de) * 1997-04-16 2003-06-12 Kaiku Ltd., Manchester Beurteilung der flüssigkeitszusammensetzung
US6377039B1 (en) * 1997-11-14 2002-04-23 Jentek Sensors, Incorporated Method for characterizing coating and substrates
US6163154A (en) * 1997-12-23 2000-12-19 Magnetic Diagnostics, Inc. Small scale NMR spectroscopic apparatus and method
CA2331644A1 (en) * 1998-05-12 1999-11-18 Neil J. Goldfine Methods for utilizing dielectrometry signals using estimation grids
JPH11337656A (ja) * 1998-05-25 1999-12-10 Sumitomo Special Metals Co Ltd 金属検知方法及び金属検知装置
US6404199B1 (en) * 1998-11-25 2002-06-11 Philips Medical Systems (Cleveland), Inc. Quadrature RF coil for vertical field MRI systems
US6448795B1 (en) * 1999-02-12 2002-09-10 Alexei Ermakov Three coil apparatus for inductive measurements of conductance
FR2795524B1 (fr) * 1999-06-23 2001-08-03 Commissariat Energie Atomique Dispositif de mesure rmn portable
US6310480B1 (en) * 1999-09-13 2001-10-30 Foxboro Nmr Ltd Flow-through probe for NMR spectrometers
US6707540B1 (en) * 1999-12-23 2004-03-16 Kla-Tencor Corporation In-situ metalization monitoring using eddy current and optical measurements
US6433541B1 (en) * 1999-12-23 2002-08-13 Kla-Tencor Corporation In-situ metalization monitoring using eddy current measurements during the process for removing the film
KR100718737B1 (ko) * 2000-01-17 2007-05-15 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 폴리싱 장치
JP4874465B2 (ja) * 2000-03-28 2012-02-15 株式会社東芝 渦電流損失測定センサ
US6741076B2 (en) * 2000-04-07 2004-05-25 Cuong Duy Le Eddy current measuring system for monitoring and controlling a CMP process
US6407546B1 (en) * 2000-04-07 2002-06-18 Cuong Duy Le Non-contact technique for using an eddy current probe for measuring the thickness of metal layers disposed on semi-conductor wafer products
US6762604B2 (en) * 2000-04-07 2004-07-13 Cuong Duy Le Standalone eddy current measuring system for thickness estimation of conductive films
US7374477B2 (en) * 2002-02-06 2008-05-20 Applied Materials, Inc. Polishing pads useful for endpoint detection in chemical mechanical polishing
US6924641B1 (en) * 2000-05-19 2005-08-02 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for monitoring a metal layer during chemical mechanical polishing
JP3916375B2 (ja) * 2000-06-02 2007-05-16 株式会社荏原製作所 ポリッシング方法および装置
US6878038B2 (en) * 2000-07-10 2005-04-12 Applied Materials Inc. Combined eddy current sensing and optical monitoring for chemical mechanical polishing
WO2002004916A2 (en) * 2000-07-10 2002-01-17 Ndt Instruments Ltd. Method and apparatus for determining the composition of fluids
US6602724B2 (en) * 2000-07-27 2003-08-05 Applied Materials, Inc. Chemical mechanical polishing of a metal layer with polishing rate monitoring
US6923711B2 (en) * 2000-10-17 2005-08-02 Speedfam-Ipec Corporation Multizone carrier with process monitoring system for chemical-mechanical planarization tool
TW541425B (en) * 2000-10-20 2003-07-11 Ebara Corp Frequency measuring device, polishing device using the same and eddy current sensor
US6966816B2 (en) * 2001-05-02 2005-11-22 Applied Materials, Inc. Integrated endpoint detection system with optical and eddy current monitoring
US6593738B2 (en) * 2001-09-17 2003-07-15 Boris Kesil Method and apparatus for measuring thickness of conductive films with the use of inductive and capacitive sensors
US7043402B2 (en) * 2001-12-20 2006-05-09 The Precision Instrument Corp. On-line oil condition sensor system for rotating and reciprocating machinery
US7128718B2 (en) * 2002-03-22 2006-10-31 Cordis Corporation Guidewire with deflectable tip
US7024268B1 (en) * 2002-03-22 2006-04-04 Applied Materials Inc. Feedback controlled polishing processes
DE10216587B4 (de) * 2002-04-14 2004-08-05 Michael Dr. Bruder Unilaterale NMR-Sonde zur Materialanalyse und deren Verwendung als Sensor
IL153894A (en) * 2003-01-12 2010-05-31 Nova Measuring Instr Ltd Method and system for measuring the thickness of thin conductive layers
US7016795B2 (en) * 2003-02-04 2006-03-21 Applied Materials Inc. Signal improvement in eddy current sensing
US6891380B2 (en) * 2003-06-02 2005-05-10 Multimetrixs, Llc System and method for measuring characteristics of materials with the use of a composite sensor
US6977503B2 (en) * 2003-02-10 2005-12-20 Quantum Magnetics, Inc. System and method for single-sided magnetic resonance imaging
US7008296B2 (en) * 2003-06-18 2006-03-07 Applied Materials, Inc. Data processing for monitoring chemical mechanical polishing
US7071684B2 (en) * 2003-07-25 2006-07-04 Red Ko Volodymyr Method of non-contact measuring electrical conductivity of electrolytes with using primary measuring transformer
US7074109B1 (en) * 2003-08-18 2006-07-11 Applied Materials Chemical mechanical polishing control system and method
JP4451111B2 (ja) * 2003-10-20 2010-04-14 株式会社荏原製作所 渦電流センサ
US7135870B2 (en) * 2004-05-04 2006-11-14 Kam Controls Incorporated Device for determining the composition of a fluid mixture
US7514938B2 (en) * 2004-05-11 2009-04-07 Board Of Regents Of The University And College System Of Nevada, On Behalf Of The University Of Nevada, Reno Dielectric relaxation spectroscopy apparatus and methods of use
US7219024B2 (en) * 2004-05-26 2007-05-15 Transtech Systems, Inc. Material analysis including density and moisture content determinations
WO2005123335A1 (en) * 2004-06-21 2005-12-29 Ebara Corporation Polishing apparatus and polishing method
KR100600706B1 (ko) * 2004-07-09 2006-07-14 삼성전자주식회사 자기공명흡수법을 이용한 무혈혈당 측정장치 및 측정 방법
JP4022628B2 (ja) * 2004-08-18 2007-12-19 国立大学法人信州大学 複合材の配合比同定法
US7332902B1 (en) 2004-11-02 2008-02-19 Environmental Metrology Corporation Micro sensor for electrochemically monitoring residue in micro channels
GB2425842A (en) * 2005-05-05 2006-11-08 Plant Bioscience Ltd Magnetic resonance sensor with rotatable magnetic rods placed around the sample
US20080199359A1 (en) * 2005-07-04 2008-08-21 Senviro Pty Ltd Soil Moisture Sensor
WO2007003218A1 (en) * 2005-07-05 2007-01-11 Commissariat A L'energie Atomique Apparatus for high-resolution nmr spectroscopy and/or imaging with an improved filling factor and rf field amplitude
US7198545B1 (en) * 2005-10-25 2007-04-03 Novellus Systems, Inc. Method of calibration and data evaluation for eddy current metrology systems
KR100660916B1 (ko) * 2006-02-09 2006-12-26 삼성전자주식회사 트렌치들의 패턴 밀도 및 깊이를 매개 변수로 이용하는도전층 평탄화 단계를 포함하는 반도체 소자의 제조 방법
WO2007095573A2 (en) 2006-02-14 2007-08-23 Ndsu Research Foundation Electrochemical impedance spectroscopy method and system
US7912661B2 (en) * 2006-03-31 2011-03-22 Kmg2 Sensors Corporation Impedance analysis technique for frequency domain characterization of magnetoelastic sensor element by measuring steady-state vibration of element while undergoing constant sine-wave excitation
JP4971685B2 (ja) * 2006-05-25 2012-07-11 株式会社日立製作所 核磁気共鳴プローブコイル
JP5232379B2 (ja) * 2006-11-09 2013-07-10 株式会社日立製作所 Nmr計測用プローブ、およびそれを用いたnmr装置
KR101083908B1 (ko) 2006-12-18 2011-11-15 슈레이더 일렉트로닉스 리미티드 Emf 파의 전파를 이용하는 연료 조성 감지 시스템 및 방법
US8482298B2 (en) 2006-12-18 2013-07-09 Schrader Electronics Ltd. Liquid level and composition sensing systems and methods using EMF wave propagation
CN101583785A (zh) 2006-12-18 2009-11-18 施拉德尔电子学有限公司 使用emf波的传播的燃料成分传感系统和方法
NL1033148C2 (nl) * 2006-12-29 2008-07-01 Univ Delft Tech Elektrische meetinrichting, werkwijze en computer programma product.
US7659731B2 (en) * 2007-02-15 2010-02-09 Delphi Technologies, Inc. Liquid properties sensor circuit
EP2150807B1 (de) 2007-05-31 2014-07-02 Endress+Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH+Co. KG Induktiver leitfähigkeitssensor
JP5224752B2 (ja) * 2007-09-03 2013-07-03 株式会社東京精密 研磨完了時点の予測方法とその装置
US7821257B2 (en) * 2007-09-03 2010-10-26 Tokyo Seimitsu Co., Ltd Method and device for forecasting/detecting polishing end point and method and device for monitoring real-time film thickness
US7911205B2 (en) 2007-09-25 2011-03-22 General Electric Company Electromagnetic resonance frequency inspection systems and methods
DE102007054858A1 (de) * 2007-11-16 2009-05-20 Continental Automotive France Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung eines Kraftstoffanteils in einem Motoröl eines Kraftfahrzeugs
JP2012531585A (ja) * 2009-06-26 2012-12-10 シュレイダー エレクトロニクス リミテッド Emf波伝播を利用した液体の水位および品質の感知装置システムおよび方法
CN102575998B (zh) 2009-09-22 2016-03-30 Adem有限公司 用于测量固体和液体对象构成的阻抗传感系统及方法

Also Published As

Publication number Publication date
AU2010298385A1 (en) 2012-04-12
US20110068807A1 (en) 2011-03-24
KR20120074295A (ko) 2012-07-05
EP2480878B1 (en) 2019-04-17
US8547110B2 (en) 2013-10-01
CA2775144C (en) 2018-07-17
CA2775144A1 (en) 2011-03-31
JP2013512414A (ja) 2013-04-11
CN102575998B (zh) 2016-03-30
JP5666597B2 (ja) 2015-02-12
EP2480878A1 (en) 2012-08-01
IL218707A0 (en) 2012-05-31
RU2629901C2 (ru) 2017-09-04
CN102575998A (zh) 2012-07-11
NZ598827A (en) 2014-03-28
WO2011038003A1 (en) 2011-03-31
KR101526039B1 (ko) 2015-06-04
AU2010298385B2 (en) 2014-03-27
IL218707A (en) 2016-02-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2012116010A (ru) Системы и способы измерения импеданса для определения компонентов твердых и текучих объектов
EP0855018B1 (en) Inductive sensor for monitoring fluid level and displacememt
JP2013512414A5 (ru)
US9689828B2 (en) Passive wireless sensor
US9201048B2 (en) Systems for characterizing resonance behavior of magnetostrictive resonators
EP2939184B1 (en) Resonant sensor assembly for analysis of fluids
US9261474B2 (en) Methods for analysis of fluids
CN201796013U (zh) 电涡流金属材料分析传感器
RU2005118104A (ru) Зонд для бесконтактного измерения поверхностного сопротивления
EP3486667A1 (en) Inductively interrogated passive sensor apparatus
US11105761B2 (en) Resonant sensors for wireless monitoring of cell concentration
CN112985647A (zh) 一种管道弯曲应力检测装置
CN102661994A (zh) 基于螺旋电感传感器的水气相含率探测装置及其探测方法
CN110907528A (zh) 一种测氢气的磁电谐振传感器、测试装置及测试方法
CN101995562A (zh) 磁传感器远程在线标定方法
Ferrari et al. Compact DDS-based system for contactless interrogation of resonant sensors based on time-gated technique
CN103149440B (zh) 非接触式混凝土电阻率测定仪
CN212030674U (zh) 一种高温液体用磁致伸缩导波液位计
RU2411512C1 (ru) Устройство для измерения влажности сыпучих материалов
CN106053544A (zh) 感应式工业型管道内复电导率在线检测装置和方法
NO20011620L (no) Fremgangsmåte og anordning til overvåkning av kjemiske reaksjoner
Bhadra et al. A wireless passive pH sensor based on pH electrode potential measurement
Lata et al. Design of a Hydrostatic Liquid Level Wireless Transmitter for Efficient Level Measurement
US9021891B2 (en) Vortex flow meter having a magnetic field generating device including a first and a second excitation coil
Sowiński et al. Laboratory stand for fluxgate level measurement

Legal Events

Date Code Title Description
HE9A Changing address for correspondence with an applicant
FA92 Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted)

Effective date: 20160930

FZ9A Application not withdrawn (correction of the notice of withdrawal)

Effective date: 20161227