RU2012101082A

RU2012101082A - Способ ингибирования образования осадков в производственной системе

Info

Publication number: RU2012101082A
Application number: RU2012101082/02A
Authority: RU
Inventors: Макс ДЕТЬЯР; Джейсон ДЖИАРДИНА; Джайме ВАНДЕРХОВЕЛ; Майкл ХОФМЕЙСТЕР; Майкл Джон МОЛНАР; Роберт И. СТРАТТОН; Стефен ПАВЕЛКОВСКИ
Original assignee: Хемлок Семикэндактор Корпорейшн
Priority date: 2009-07-14
Filing date: 2010-07-14
Publication date: 2013-08-20
Also published as: IN2012DN00415A; EP2454394A1; CA2768171A1; WO2011008849A1; JP2012533684A; AU2010273462A1; US20120114860A1; KR20120042840A; CN102471883A

Abstract

1. Способ ингибирования образования осадков на охлаждающей поверхности электрода, используемого в производственной системе для осаждения материала на носитель, где охлаждающая поверхность содержит медь, и производственная система включает по меньшей мере один реактор, содержащий камеру, а электрод по меньшей мере частично расположен в камере для поддержки в камере носителя, циркуляционную систему, находящуюся в жидкостной связи с электродом, для переноса охлаждающей композиции к охлаждающей поверхности и от этой поверхности, и охлаждающая композиция содержит охлаждающую жидкость и растворенную медь из охлаждающей поверхности электрода, и фильтрационную систему, находящуюся в жидкостной связи с циркуляционной системой, характеризующийся тем, что включает в себя следующие этапы:нагревание электрода, поддерживающего носитель;контактирование охлаждающей поверхности электрода с охлаждающей композицией;осаждение материала на носитель, поддерживаемый электродом, ифильтрацию охлаждающей композиции с помощью фильтрационной системы для отфильтровывания по меньшей мере части растворенной меди из охлаждающей композиции.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение материала на носитель представляет собой осаждение кремния на носитель.3. Способ по п.2, отличающийся тем, что осаждение кремния на носитель приводит к образованию поликристаллического кремния на подложке.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что фильтрация охлаждающей композиции представляет собой прохождение охлаждающей композиции через фильтрационную систему со скоростью потока менее приблизительно 20 галлонов в минуту (75,7 л/мин).5. Способ п

Claims

1. Способ ингибирования образования осадков на охлаждающей поверхности электрода, используемого в производственной системе для осаждения материала на носитель, где охлаждающая поверхность содержит медь, и производственная система включает по меньшей мере один реактор, содержащий камеру, а электрод по меньшей мере частично расположен в камере для поддержки в камере носителя, циркуляционную систему, находящуюся в жидкостной связи с электродом, для переноса охлаждающей композиции к охлаждающей поверхности и от этой поверхности, и охлаждающая композиция содержит охлаждающую жидкость и растворенную медь из охлаждающей поверхности электрода, и фильтрационную систему, находящуюся в жидкостной связи с циркуляционной системой, характеризующийся тем, что включает в себя следующие этапы:

нагревание электрода, поддерживающего носитель;

контактирование охлаждающей поверхности электрода с охлаждающей композицией;

осаждение материала на носитель, поддерживаемый электродом, и

фильтрацию охлаждающей композиции с помощью фильтрационной системы для отфильтровывания по меньшей мере части растворенной меди из охлаждающей композиции.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение материала на носитель представляет собой осаждение кремния на носитель.

3. Способ по п.2, отличающийся тем, что осаждение кремния на носитель приводит к образованию поликристаллического кремния на подложке.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что фильтрация охлаждающей композиции представляет собой прохождение охлаждающей композиции через фильтрационную систему со скоростью потока менее приблизительно 20 галлонов в минуту (75,7 л/мин).

5. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что средняя концентрация растворенной меди в охлаждающей композиции составляет менее приблизительно 100 млрд^-1.

6. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что фильтрационная система представляет собой фильтр с катионообменной смолой, и фильтрация охлаждающей композиции представляет собой прохождение по меньшей мере части охлаждающей композиции через фильтр с катионообменной смолой.

7. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что фильтрационная система представляет собой установку обратного осмоса, и фильтрация охлаждающей композиции представляет собой прохождение по меньшей мере части охлаждающей композиции через установку обратного осмоса.

8. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что дополнительно включает поддержание уровня рН охлаждающей композиции в диапазоне от приблизительно 7,0 до 9,5.

9. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что дополнительно включает поддержание электропроводности охлаждающей композиции на уровне менее приблизительно 80 мкСм.

10. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что электрод содержит головку и стержень, причем диаметр головки превышает диаметр стержня, и охлаждающая поверхность электрода определяет канал, причем этот канал проходит в электроде на расстояние D, которое меньше, чем длина L электрода, и контактирование охлаждающей поверхности электрода с охлаждающей композицией представляет собой циркуляцию охлаждающей композиции в этом канале.

11. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что охлаждающей жидкостью является деионизированная вода.

12. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что охлаждающая композиция дополнительно содержит растворенные газы, и способ дополнительно включает этап удаления по меньшей мере части растворенных газов из охлаждающей композиции при помощи дегазатора.

13. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что дополнительно включает этап добавления в охлаждающую композицию ингибитора коррозии для предотвращения разрушения охлаждающей поверхности.

14. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что дополнительно включает этап добавления в охлаждающую композицию хелатирующего агента, вступающего в реакцию с растворенной медью, для предотвращения образования в охлаждающей композиции оксида меди.

15. Производственная система для осаждения материала на носитель, характеризующаяся тем, что включает:

по меньшей мере один реактор, содержащий камеру;

по меньшей мере один электрод по меньшей мере частично расположенный в камере для поддержки в камере носителя, причем этот электрод имеет охлаждающую поверхность, содержащую медь;

циркуляционную систему, соединенную с электродом для переноса охлаждающей композиции и приведения ее в контакт с охлаждающей поверхностью электрода, причем охлаждающая поверхность содержит охлаждающую жидкость и растворенную медь и контактирует с охлаждающей поверхностью электрода для рассеивания тепла, генерируемого в электроде, тем самым, препятствуя достижению электродом температуры осаждения, при которой материал осаждается на носитель, и

фильтрационную систему, находящуюся в жидкостной связи с циркуляционной системой для удаления по меньшей мере части растворенной меди из охлаждающей композиции.

16. Система по п.15, отличающаяся тем, что фильтрационная система содержит фильтр с катионообменной смолой.

17. Система по п.15, отличающаяся тем, что фильтрационная система содержит установку обратного осмоса.

18. Система по любому из пп.15-17, отличающаяся тем, что электрод содержит головку и стержень, причем диаметр головки превышает диаметр стержня, и охлаждающая поверхность электрода определяет канал, проходящий в электроде на расстояние D, которое меньше, чем длина L электрода.

19. Система по п.18, отличающаяся тем, что охлаждающая поверхность содержит бескислородную медь электролитической чистоты UNS 10100.

20. Система по любому из пп.15-17, отличающаяся тем, что содержит множество электродов, и циркуляционная система находится в жидкостной связи с охлаждающей поверхностью каждого из этих электродов для переноса охлаждающей композиции к охлаждающей поверхности каждого из этих электродов.

21. Система по любому из пп.15-17, отличающаяся тем, что материал, осаждаемый на носитель, является кремнием, образующим на подложке поликристаллический кремний.

22. Система по любому из пп.15-17, отличающаяся тем, что дополнительно содержит дегазатор, находящийся в жидкостной связи с циркуляционной системой, для удаления по меньшей мере части растворенных газов из охлаждающей композиции.