RU2008150855A - Распыляемые мишени, изготовленные способом холодного прессования - Google Patents

Распыляемые мишени, изготовленные способом холодного прессования Download PDF

Info

Publication number
RU2008150855A
RU2008150855A RU2008150855/02A RU2008150855A RU2008150855A RU 2008150855 A RU2008150855 A RU 2008150855A RU 2008150855/02 A RU2008150855/02 A RU 2008150855/02A RU 2008150855 A RU2008150855 A RU 2008150855A RU 2008150855 A RU2008150855 A RU 2008150855A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
components
target according
spray
indium
alloy
Prior art date
Application number
RU2008150855/02A
Other languages
English (en)
Inventor
Маркус ШУЛЬТХАЙС (DE)
Маркус ШУЛЬТХАЙС
Мартин ВАЙГЕРТ (DE)
Мартин ВАЙГЕРТ
Original Assignee
В.К. Хераеус Гмбх (De)
В.К. Хераеус Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by В.К. Хераеус Гмбх (De), В.К. Хераеус Гмбх filed Critical В.К. Хераеус Гмбх (De)
Publication of RU2008150855A publication Critical patent/RU2008150855A/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/02—Compacting only

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)

Abstract

1. Распыляемая мишень с распыляемым материалом, состоящим из сплава или смеси материалов из, по меньшей мере, двух компонентов, причем оба компонента находятся в термодинамически неравновесном состоянии, отличающаяся тем, что компоненты уплотнены посредством изостатического или униаксиального холодного прессования. ! 2. Распыляемая мишень по п.1, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов имеет твердость меньше 100 МПа по Бринеллю, причем этот компонент составляет, по меньшей мере, 20 об.% всей смеси порошков. ! 3. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов присутствует в виде порошка. ! 4. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что компоненты состоят из металлов или сплавов или из смеси металла или сплава с керамическим материалом. ! 5. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов состоит из, по меньшей мере, одного металла из группы индия, олова или висмута или из сплава на основе этих металлов. ! 6. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов состоит из индия или из сплава на основе индия. ! 7. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов имеет чистоту металла более 99,9%. ! 8. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что распыляемый материал состоит из компонентов ! индий или сплав на основе индия, ! медь или сплав на основе меди. ! 9. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что распыляемый материал расположен на подложке или на несущ

Claims (15)

1. Распыляемая мишень с распыляемым материалом, состоящим из сплава или смеси материалов из, по меньшей мере, двух компонентов, причем оба компонента находятся в термодинамически неравновесном состоянии, отличающаяся тем, что компоненты уплотнены посредством изостатического или униаксиального холодного прессования.
2. Распыляемая мишень по п.1, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов имеет твердость меньше 100 МПа по Бринеллю, причем этот компонент составляет, по меньшей мере, 20 об.% всей смеси порошков.
3. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов присутствует в виде порошка.
4. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что компоненты состоят из металлов или сплавов или из смеси металла или сплава с керамическим материалом.
5. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов состоит из, по меньшей мере, одного металла из группы индия, олова или висмута или из сплава на основе этих металлов.
6. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов состоит из индия или из сплава на основе индия.
7. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов имеет чистоту металла более 99,9%.
8. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что распыляемый материал состоит из компонентов
индий или сплав на основе индия,
медь или сплав на основе меди.
9. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что распыляемый материал расположен на подложке или на несущей трубке со сплошным замыканием.
10. Способ изготовления распыляемой мишени по любому из пп.1-9, отличающийся тем, что компоненты подвергают уплотнению посредством изостатического или униаксиального способа холодного прессования.
11. Способ по п.10, отличающийся тем, что компоненты после холодного прессования не подвергают термической обработке.
12. Способ по любому из пп.10 или 11, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов распыляемого материала напрессовывают на металлическую подложку и образуют связь со сплошным замыканием между распыляемым материалом и подложкой.
13. Способ по любому из пп.10 или 11, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов распыляемого материала спрессовывают в пластину мишени путем аксиального прессования и эту пластину мишени отдельно от процесса прессования наклеивают или напаивают на подложку.
14. Способ по п.13, отличающийся тем, что температура процесса склеивания или пайки ниже, чем самая низкая температура плавления компонентов.
15. Способ по любому из пп.10 или 11, отличающийся тем, что компоненты напрессовывают на несущую рубку посредством изостатического прессования и образуется связь со сплошным замыканием между распыляемым материалом и несущей трубкой.
RU2008150855/02A 2006-06-01 2007-05-30 Распыляемые мишени, изготовленные способом холодного прессования RU2008150855A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006026005.8 2006-06-01
DE102006026005A DE102006026005A1 (de) 2006-06-01 2006-06-01 Kaltgepresste Sputtertargets

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2008150855A true RU2008150855A (ru) 2010-07-20

Family

ID=38421730

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008150855/02A RU2008150855A (ru) 2006-06-01 2007-05-30 Распыляемые мишени, изготовленные способом холодного прессования

Country Status (9)

Country Link
US (1) US20090277777A1 (ru)
EP (1) EP2024529A1 (ru)
JP (1) JP2009538984A (ru)
KR (1) KR20090031499A (ru)
CN (1) CN101460650A (ru)
DE (1) DE102006026005A1 (ru)
RU (1) RU2008150855A (ru)
WO (1) WO2007137824A1 (ru)
ZA (1) ZA200810662B (ru)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007060306B4 (de) * 2007-11-29 2011-12-15 W.C. Heraeus Gmbh Magnetische Shunts in Rohrtargets
KR101249566B1 (ko) * 2009-07-27 2013-04-01 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 Ｃｕ-Ｇａ 소결체 스퍼터링 타깃 및 동 타깃의 제조 방법
CN102234765B (zh) * 2010-04-23 2013-04-17 昆明物理研究所 一种生长碲镉汞薄膜的靶材制备方法
JP4948634B2 (ja) 2010-09-01 2012-06-06 Ｊｘ日鉱日石金属株式会社 インジウムターゲット及びその製造方法
JP5883022B2 (ja) * 2010-11-30 2016-03-09 ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー 銅及びインジウムを含む合金スパッタターゲットの修復
US9150958B1 (en) 2011-01-26 2015-10-06 Apollo Precision Fujian Limited Apparatus and method of forming a sputtering target
JP5140169B2 (ja) 2011-03-01 2013-02-06 Ｊｘ日鉱日石金属株式会社 インジウムターゲット及びその製造方法
JP5026611B1 (ja) * 2011-09-21 2012-09-12 Ｊｘ日鉱日石金属株式会社 積層構造体及びその製造方法
JP5074628B1 (ja) * 2012-01-05 2012-11-14 Ｊｘ日鉱日石金属株式会社 インジウム製スパッタリングターゲット及びその製造方法
US9761421B2 (en) 2012-08-22 2017-09-12 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Indium cylindrical sputtering target and manufacturing method thereof
WO2015002253A1 (ja) * 2013-07-05 2015-01-08 Ａｇｃセラミックス株式会社 スパッタリングターゲット及びその製造方法
CN104919080B (zh) 2013-07-08 2018-10-16 Jx日矿日石金属株式会社 溅射靶及其制造方法
JP2015017297A (ja) * 2013-07-10 2015-01-29 三菱マテリアル株式会社 Ｉｎ系円筒形スパッタリングターゲットおよびその製造方法
EP2947175A1 (en) * 2014-05-21 2015-11-25 Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG CuSn, CuZn and Cu2ZnSn sputter targets
US11450516B2 (en) * 2019-08-14 2022-09-20 Honeywell International Inc. Large-grain tin sputtering target

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT388752B (de) * 1986-04-30 1989-08-25 Plansee Metallwerk Verfahren zur herstellung eines targets fuer die kathodenzerstaeubung
DE4115663A1 (de) * 1991-05-14 1992-11-19 Leybold Ag Verfahren zur herstellung eines targets, insbesondere eines rohrtargets einer sputtervorrichtung
FR2680799B1 (fr) * 1991-09-03 1993-10-29 Elf Aquitaine Ste Nale Element de cible pour pulverisation cathodique, procede de preparation dudit element et cibles, notamment de grande surface, realisees a partir de cet element.
US5342571A (en) * 1992-02-19 1994-08-30 Tosoh Smd, Inc. Method for producing sputtering target for deposition of titanium, aluminum and nitrogen coatings, sputtering target made thereby, and method of sputtering with said targets
EP0834594B1 (en) * 1995-05-18 2004-11-10 Asahi Glass Company Ltd. Process for producing sputtering target
DK0871793T3 (da) * 1995-08-31 2002-09-23 Bekaert Sa Nv Fremgangsmåde til fremstilling af genstande af indium-tin-oxid-(ITO)-legeringer
JPH10270733A (ja) * 1997-01-24 1998-10-09 Asahi Chem Ind Co Ltd ｐ型半導体、ｐ型半導体の製造方法、光起電力素子、発光素子
US6010583A (en) * 1997-09-09 2000-01-04 Sony Corporation Method of making unreacted metal/aluminum sputter target
US6749103B1 (en) * 1998-09-11 2004-06-15 Tosoh Smd, Inc. Low temperature sputter target bonding method and target assemblies produced thereby
JP4826066B2 (ja) * 2004-04-27 2011-11-30 住友金属鉱山株式会社 非晶質の透明導電性薄膜およびその製造方法、並びに、該非晶質の透明導電性薄膜を得るためのスパッタリングターゲットおよびその製造方法
US7833821B2 (en) * 2005-10-24 2010-11-16 Solopower, Inc. Method and apparatus for thin film solar cell manufacturing

Also Published As

Publication number Publication date
CN101460650A (zh) 2009-06-17
DE102006026005A1 (de) 2007-12-06
US20090277777A1 (en) 2009-11-12
JP2009538984A (ja) 2009-11-12
ZA200810662B (en) 2009-12-30
KR20090031499A (ko) 2009-03-26
EP2024529A1 (de) 2009-02-18
WO2007137824A1 (de) 2007-12-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2008150855A (ru) Распыляемые мишени, изготовленные способом холодного прессования
JP6464096B2 (ja) 合金
WO2015085650A1 (zh) 一种W-Ti合金靶材组件扩散焊接方法
JP6753869B2 (ja) 複合材料を製作するための方法
WO2012066764A1 (ja) バッキングプレート、ターゲットアセンブリ及びスパッタリング用ターゲット
US20130323530A1 (en) Active solder
CN102409300B (zh) 氧化物陶瓷溅射靶及其制备方法和所用的钎焊合金
CN105220121B (zh) 一种靶材组件及其制备方法
CN102409299A (zh) 一种氧化物陶瓷溅射靶及其制备方法和所用的钎焊合金
JP5069051B2 (ja) ニッケル合金スパッタリングターゲット
US20060175198A1 (en) Method of manufacturing a sputter target
KR20060101297A (ko) 스퍼터링 타겟 제조용 땜납합금 및 이를 이용한 스퍼터링타겟
CA2375783C (en) Process for manufacturing an evaporation source
CN102286742A (zh) 一种金刚石表面金属化方法
TW200604362A (en) Backing plate for sputter targets
Xu et al. Effect of Ag and Cu co-addition on the microstructure evolution, interface behavior and mechanical properties of Sn-5Sb based solder joints subjected to different thermal aging conditions
Cheng et al. Intermetallic compounds formed during the reflow and aging of Sn-3.8 Ag-0.7 Cu and Sn-20In-2Ag-0.5 Cu solder ball grid array packages
Rasbudin et al. The effect of multiple reflow on intermetallic layer of Sn-4.0 AgCu/Cu by using microwave and reflow soldering
CZ2007356A3 (cs) Zpusob výroby naprašovacích targetu
CN106180721A (zh) 铜铟镓硒靶材金属化层制备方法
TW200643193A (en) Solder alloy for producing sputtering target and sputtering target using the same
CN202208757U (zh) 一种陶瓷溅射靶
WANG et al. Wettability and microstructure of Sn-Ag-Cu-In solder
KR20060054074A (ko) 알루미늄-네오디뮴 합금 스퍼터링용 적층체
JP6273734B2 (ja) 平板形スパッタリングターゲットとその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20100531