RU2008111820A - Электролит для нанесения гальванических покрытий методом химического восстановления и способ получения элемента высокотемпературного устройства с применением такого электролита - Google Patents

Электролит для нанесения гальванических покрытий методом химического восстановления и способ получения элемента высокотемпературного устройства с применением такого электролита Download PDF

Info

Publication number
RU2008111820A
RU2008111820A RU2008111820/02A RU2008111820A RU2008111820A RU 2008111820 A RU2008111820 A RU 2008111820A RU 2008111820/02 A RU2008111820/02 A RU 2008111820/02A RU 2008111820 A RU2008111820 A RU 2008111820A RU 2008111820 A RU2008111820 A RU 2008111820A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
layer
electrolyte
alloy
substrate
chemical reduction
Prior art date
Application number
RU2008111820/02A
Other languages
English (en)
Inventor
Хироси ЯКУВА (JP)
Хироси ЯКУВА
Original Assignee
Ибара Корпорейшн (JP)
Ибара Корпорейшн
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ибара Корпорейшн (JP), Ибара Корпорейшн filed Critical Ибара Корпорейшн (JP)
Publication of RU2008111820A publication Critical patent/RU2008111820A/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/48Coating with alloys
    • C23C18/50Coating with alloys with alloys based on iron, cobalt or nickel

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)

Abstract

1. Электролит для нанесения гальванического покрытия методом химического восстановления для формирования на подложке сплава Ni-Re-B, содержащего не менее 50 ат.% Re, путем нанесения гальванического покрытия методом химического восстановления; упомянутый электролит имеет pH от 6 до 8 и включает компонент, обеспечивающий источник поступления металла и содержащий Ni2+ и ReО4 - в равных эквивалентах в диапазоне от 0,01 до 0,5 моль/л; компонент-комплексообразователь, содержащий лимонную кислоту и, по меньшей мере, еще одну органическую кислоту при отношении молярной концентрации лимонной кислоты к сумме Ni2+ и ReО4 -, находящемся в диапазоне от 1/20 до 1/5, и при отношении молярной концентрации общего количества органической кислоты, включая упомянутую лимонную кислоту и упомянутую, по меньшей мере, еще одну органическую кислоту, к сумме Ni2+ и ReО4 -, находящемся в диапазоне от 1/2 до 10; и компонент-восстановитель, содержащий диметиламинборан при отношении молярной концентрации диметиламинборана к сумме Ni2+ и ReО4 -, находящемся в диапазоне от 1/4 до 2. ! 2. Электролит для нанесения гальванического покрытия методом химического восстановления по п.1, в котором упомянутая, по меньшей мере, еще одна органическая кислота представляет собой органическую кислоту с более слабой комплексообразующей способностью в отношении Re, чем лимонная кислота. ! 3. Электролит для нанесения гальванического покрытия методом химического восстановления по п.2, в котором органическая кислота с более слабой комплексообразующей способностью в отношении Re, чем лимонная кислота, представляет собой, по меньшей мере, одну из следующих кислот: янтарную кислоту, яблочную ки�

Claims (11)

1. Электролит для нанесения гальванического покрытия методом химического восстановления для формирования на подложке сплава Ni-Re-B, содержащего не менее 50 ат.% Re, путем нанесения гальванического покрытия методом химического восстановления; упомянутый электролит имеет pH от 6 до 8 и включает компонент, обеспечивающий источник поступления металла и содержащий Ni2+ и ReО4- в равных эквивалентах в диапазоне от 0,01 до 0,5 моль/л; компонент-комплексообразователь, содержащий лимонную кислоту и, по меньшей мере, еще одну органическую кислоту при отношении молярной концентрации лимонной кислоты к сумме Ni2+ и ReО4-, находящемся в диапазоне от 1/20 до 1/5, и при отношении молярной концентрации общего количества органической кислоты, включая упомянутую лимонную кислоту и упомянутую, по меньшей мере, еще одну органическую кислоту, к сумме Ni2+ и ReО4-, находящемся в диапазоне от 1/2 до 10; и компонент-восстановитель, содержащий диметиламинборан при отношении молярной концентрации диметиламинборана к сумме Ni2+ и ReО4-, находящемся в диапазоне от 1/4 до 2.
2. Электролит для нанесения гальванического покрытия методом химического восстановления по п.1, в котором упомянутая, по меньшей мере, еще одна органическая кислота представляет собой органическую кислоту с более слабой комплексообразующей способностью в отношении Re, чем лимонная кислота.
3. Электролит для нанесения гальванического покрытия методом химического восстановления по п.2, в котором органическая кислота с более слабой комплексообразующей способностью в отношении Re, чем лимонная кислота, представляет собой, по меньшей мере, одну из следующих кислот: янтарную кислоту, яблочную кислоту, молочную кислоту и глицин.
4. Способ получения элемента высокотемпературного устройства, включающий стадии:
нанесения на подложку из сплава на основе Ni гальванического покрытия методом химического восстановления при температуре от 60 до 80°C с применением электролита для нанесения гальванического покрытия методом химического восстановления по п.1 для формирования на подложке слоя сплава Ni-(50-60 ат.%) Re-B; и
проведения термообработки при температуре не менее 700°C для формирования на поверхности подложки диффузионного барьерного слоя сплава Ni-(20-50 ат.%)Re-(10-40 ат.%)Cr-(0,1-10 ат.%)B.
5. Способ по п.4, дополнительно включающий стадию обеспечения по мере необходимости источника Cr для Re-содержащего слоя.
6. Способ получения элемента высокотемпературного устройства, включающий стадии:
нанесения на подложку из сплава на основе Ni гальванического покрытия методом химического восстановления с применением электролита для нанесения гальванического покрытия методом химического восстановления по п.1 для формирования на подложке Re-содержащего слоя сплава Ni-(50-60 ат.%)Re-B;
формирования на Re-содержащем слое наружного слоя, состоящего, по меньшей мере, из одного слоя сплава на основе Ni; и
проведения термообработки для осуществления диффузии алюминия при температуре не менее 700°C для формирования диффузионного барьерного слоя из сплава Ni-(20-50 ат.%)Re-(10-40 ат.%)Cr-(0,1-10 ат.%)B, расположенного вблизи подложки, и коррозионностойкого слоя, получаемого при диффузии алюминия и расположенного с наружной стороны диффузионного барьерного слоя.
7. Способ по п.6, дополнительно включающий стадию обеспечения по мере необходимости источника Cr для Re-содержащего слоя.
8. Способ получения элемента высокотемпературного устройства, включающий стадии:
нанесения на подложку из сплава на основе Ni гальванического покрытия методом химического восстановления с применением электролита для нанесения гальванических покрытий методом химического восстановления по п.1 для формирования на подложке Re-содержащего слоя сплава Ni-(50-60 ат.%)Re-B;
формирования W-содержащего слоя, который служит в качестве источника поступления W, до или после стадии формирования Re-содержащего слоя;
формирования наружного слоя, состоящего, по меньшей мере, из одного слоя сплава на основе Ni, после формирования Re-содержащего слоя и W-содержащего слоя; и
проведения термообработки для осуществления диффузии алюминия при температуре не менее 700°С для формирования диффузионного барьерного слоя из сплава Ni-(20-50 ат.%)Re-(10-40 ат.%)Cr-(5-10 ат.%)W-(0,1-10 ат.%)B, расположенного вблизи подложки, и коррозионностойкого слоя, получаемого при диффузии алюминия и расположенного с наружной стороны диффузионного барьерного слоя.
9. Способ по п.8, дополнительно включающий стадию обеспечения по мере необходимости источника Cr для Re-содержащего слоя.
10. Способ по п.8, в котором W-содержащий слой представляет собой слой Ni-(10-15ат.%)W-(0,1-10 ат.%)B и формируется путем нанесения гальванического покрытия методом химического восстановления с применением Na-содержащего электролита, содержащего от 0,03 до 0,2 моль/л Ni2+, от 0,03 до 0,4 моль/л WО42-, от 0,03 до 0,4 моль/л лимонной кислоты или цитрата натрия и от 0,03 до 0,4 моль/л диметиламинборана, pH Na-содержащего электролита регулируется в диапазоне от 6 до 8 с помощью гидроксида натрия.
11. Способ по п.10, дополнительно включающий стадию обеспечения по мере необходимости источника Cr для Re-содержащего слоя.
RU2008111820/02A 2007-03-29 2008-03-27 Электролит для нанесения гальванических покрытий методом химического восстановления и способ получения элемента высокотемпературного устройства с применением такого электролита RU2008111820A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007088430 2007-03-29
JP2007-088430 2007-03-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2008111820A true RU2008111820A (ru) 2009-10-10

Family

ID=39712463

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008111820/02A RU2008111820A (ru) 2007-03-29 2008-03-27 Электролит для нанесения гальванических покрытий методом химического восстановления и способ получения элемента высокотемпературного устройства с применением такого электролита

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8012251B2 (ru)
EP (1) EP1978128A2 (ru)
JP (1) JP5210017B2 (ru)
CN (1) CN101275228B (ru)
RU (1) RU2008111820A (ru)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105839082A (zh) * 2016-06-13 2016-08-10 上海应用技术学院 一种Ce-Ni-B/GO化学复合沉积层及其超声波辅助制备方法
ES2826441T3 (es) * 2017-06-02 2021-05-18 Atotech Deutschland Gmbh Baños de metalizado no electrolítico de aleación de níquel, un método de deposición de aleaciones de níquel, depósitos de aleación de níquel y usos de dichos depósitos de aleación de níquel formados
US20220389588A1 (en) * 2019-11-20 2022-12-08 Atotech Deutschland GmbH & Co. KG Electroless nickel alloy plating baths, a method for deposition of nickel alloys, nickel alloy deposits and uses of such formed nickel alloy deposits

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1129984A (en) * 1964-10-30 1968-10-09 Usa Electroless deposition of nickel-phosphorus alloys
US4152164A (en) * 1976-04-26 1979-05-01 Michael Gulla Electroless nickel plating
JP2866486B2 (ja) 1991-03-26 1999-03-08 学校法人早稲田大学 無電解Ni−Re−P合金薄膜抵抗体
JP2001192850A (ja) * 2000-01-11 2001-07-17 Ebe Katsuo 摺動部品用表面処理液及び摺動部品の表面処理方法及び摺動部品
JP3979791B2 (ja) * 2000-03-08 2007-09-19 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置およびその製造方法
JP3654354B2 (ja) * 2001-05-28 2005-06-02 学校法人早稲田大学 超lsi配線板及びその製造方法
US20040126548A1 (en) * 2001-05-28 2004-07-01 Waseda University ULSI wiring and method of manufacturing the same
WO2003038151A1 (fr) 2001-10-31 2003-05-08 Japan Science And Technology Agency Revetement en alliage recrni pour barriere de diffusion
EP1449938A4 (en) * 2001-10-31 2004-11-24 Japan Science & Tech Agency ReCr ALLOY COVER FOR DIFFUSION BARRIER
JP4323816B2 (ja) 2002-01-18 2009-09-02 敏夫 成田 Cr(III)含有浴を用いた電解めっきによるRe−Cr合金皮膜の形成方法
EP1467002A4 (en) 2002-01-18 2007-02-28 Japan Science & Tech Agency METHOD FOR PRODUCING A COATING FILM FROM RE-ALLOYING AT HIGH RE-GALVITY BY GALVANIZING
RU2374359C2 (ru) * 2003-05-09 2009-11-27 Басф Акциенгезельшафт Составы для обесточенного осаждения тройных материалов для промышленности полупроводников
US7134182B2 (en) * 2003-11-17 2006-11-14 Headway Technologies, Inc. Method to form an embedded micro-pedestal in a conductive layer
JP4285222B2 (ja) * 2003-12-05 2009-06-24 富士電機デバイステクノロジー株式会社 無電解メッキの前処理方法、該方法を含む磁気記録媒体用基板の製造方法、並びに該製造方法で製造される磁気記録媒体用基板
EP1715081A1 (en) 2004-01-15 2006-10-25 Ebara Corporation Alloy coating for diffusion barrier, method for forming same, and high-temperature device member
JP4297001B2 (ja) 2004-07-06 2009-07-15 豊田合成株式会社 エアバッグ装置
TW200734482A (en) * 2005-03-18 2007-09-16 Applied Materials Inc Electroless deposition process on a contact containing silicon or silicide
CN101278074B (zh) * 2005-07-13 2011-12-14 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 用于TFT铜栅工艺的无电镀NiWP粘附层和覆盖层
JP5398175B2 (ja) * 2008-06-03 2014-01-29 富士フイルム株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US8012251B2 (en) 2011-09-06
JP5210017B2 (ja) 2013-06-12
EP1978128A2 (en) 2008-10-08
US20080241406A1 (en) 2008-10-02
CN101275228B (zh) 2012-11-21
JP2008266788A (ja) 2008-11-06
CN101275228A (zh) 2008-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100408202C (zh) 化学镀溶液和方法
CN107201512B (zh) 镀铜液及镀铜方法
TWI457462B (zh) 無電式鍍金浴,無電式鍍金方法及電子零件
CN104105819A (zh) 在挠性基材上无电沉积镍-磷合金的方法
RU2008111820A (ru) Электролит для нанесения гальванических покрытий методом химического восстановления и способ получения элемента высокотемпературного устройства с применением такого электролита
CN108866548B (zh) 一种金属镀层及其制备方法和应用
EP2639335B1 (en) Alkaline plating bath for electroless deposition of cobalt alloys
US20160108254A1 (en) Zinc immersion coating solutions, double-zincate method, method of forming a metal plating film, and semiconductor device
Yang et al. Interface Reaction Between Electroless Ni–Sn–P Metallization and Lead-Free Sn–3.5 Ag Solder with Suppressed Ni 3 P Formation
TWI767101B (zh) 聚醯亞胺樹脂上的金屬皮膜形成方法
KR20210045505A (ko) 부동태 형성성 경금속 상의 열처리식 도전성 피막 형성 방법
JP6781878B2 (ja) シリコン基板上への導電性皮膜形成方法
CN110195244A (zh) 一种用于抑制印制电路板电镀锡锡须生长的方法
JP5766318B2 (ja) リードフレーム
JP6616637B2 (ja) 透明導電膜上への導電性皮膜形成方法
JP6950051B1 (ja) 無電解Ni−Pめっき用触媒液、および該触媒液を用いた無電解Ni−Pめっき皮膜の形成方法
JP2004339578A (ja) コバルト系合金めっき液、めっき方法及びめっき物
CN111164236A (zh) 化学镀钯液及化学镀钯膜
TW201341598A (zh) 鍍銀電解液及其電鍍方法
US20230349049A1 (en) Multilayer corrosion system
CN114934268B (zh) 一种镁合金化学镀镍磷镀液及其施镀工艺
JP2009019225A5 (ru)
JP2022183021A (ja) 無電解Co-Wめっき皮膜、および無電解Co-Wめっき液
RU2605737C2 (ru) Способ химического никелирования алюминиевых контактных площадок перед иммерсионным золочением
US20120114870A1 (en) Manufacturing method of noble metal plating layer

Legal Events

Date Code Title Description
FA92 Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted)

Effective date: 20120821