RU2007119782A - Износостойкие покрытия, полученные посредством плазменного химического осаждения из паровой фазы - Google Patents

Износостойкие покрытия, полученные посредством плазменного химического осаждения из паровой фазы Download PDF

Info

Publication number
RU2007119782A
RU2007119782A RU2007119782/04A RU2007119782A RU2007119782A RU 2007119782 A RU2007119782 A RU 2007119782A RU 2007119782/04 A RU2007119782/04 A RU 2007119782/04A RU 2007119782 A RU2007119782 A RU 2007119782A RU 2007119782 A RU2007119782 A RU 2007119782A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
layer
deposition
atmospheric pressure
layers
glow discharge
Prior art date
Application number
RU2007119782/04A
Other languages
English (en)
Inventor
Аарон М. ГЭБЕЛНИК (US)
Аарон М. ГЭБЕЛНИК
Кристина А. ЛАМБЕРТ (US)
Кристина А. ЛАМБЕРТ
Джон М. ВАРАКОМСКИ (US)
Джон М. ВАРАКОМСКИ
Людо М. АРТС (BE)
Людо М. АРТС
Original Assignee
Дау Глобал Текнолоджиз Инк. (Us)
Дау Глобал Текнолоджиз Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Дау Глобал Текнолоджиз Инк. (Us), Дау Глобал Текнолоджиз Инк. filed Critical Дау Глобал Текнолоджиз Инк. (Us)
Publication of RU2007119782A publication Critical patent/RU2007119782A/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C16/0272—Deposition of sub-layers, e.g. to promote the adhesion of the main coating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/62—Plasma-deposition of organic layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
    • C08G77/04—Polysiloxanes
    • C08G77/22—Polysiloxanes containing silicon bound to organic groups containing atoms other than carbon, hydrogen and oxygen
    • C08G77/26—Polysiloxanes containing silicon bound to organic groups containing atoms other than carbon, hydrogen and oxygen nitrogen-containing groups
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C23C16/401—Oxides containing silicon
    • C23C16/402—Silicon dioxide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • C23C16/45563—Gas nozzles
    • C23C16/45565—Shower nozzles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D2201/00—Polymeric substrate or laminate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D7/00—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
    • B05D7/50—Multilayers
    • B05D7/52—Two layers
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31652—Of asbestos
    • Y10T428/31663—As siloxane, silicone or silane

Abstract

1. Способ получения многослойного покрытия на поверхности органической полимерной подложки, имеющей первую и вторую поверхность, посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении, стадии способа включают в себя осаждение слоя (первого слоя) полимеризованного в плазме, оптически прозрачного кремнийорганического соединения на поверхности органической полимерной подложки посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении газообразной смеси, содержащей реагент, содержащий кремний и, необязательно, окислитель, на первой стадии, а после этого, на второй стадии, осаждение по существу однородного слоя (второго слоя) полимерного силоксана или соединения оксида кремния на открытой поверхности указанного первого слоя посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении газообразной смеси, содержащей окислитель и реагент, содержащий кремний, где многослойное покрытие имеет толщину, по меньшей мере, 2,0 мкм, и устойчивость к истиранию, демонстрирующую изменение, равное или меньшее, чем дельта 20 единиц мутности, после 500 циклов Табера, измеренную в соответствии с ASTM D1044, колеса CS10F, масса 500 г.2. Способ получения многослойного покрытия на поверхности органической полимерной подложки, имеющей первую и вторую поверхность, посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении, стадии способа включают в себя 1) осаждение слоя (первого слоя) полимеризованного в плазме, высоковязкого кремнийорганического соединения на поверхности органической полимерной подложки посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении газообразной смеси, содержащей реагент, с

Claims (26)

1. Способ получения многослойного покрытия на поверхности органической полимерной подложки, имеющей первую и вторую поверхность, посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении, стадии способа включают в себя осаждение слоя (первого слоя) полимеризованного в плазме, оптически прозрачного кремнийорганического соединения на поверхности органической полимерной подложки посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении газообразной смеси, содержащей реагент, содержащий кремний и, необязательно, окислитель, на первой стадии, а после этого, на второй стадии, осаждение по существу однородного слоя (второго слоя) полимерного силоксана или соединения оксида кремния на открытой поверхности указанного первого слоя посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении газообразной смеси, содержащей окислитель и реагент, содержащий кремний, где многослойное покрытие имеет толщину, по меньшей мере, 2,0 мкм, и устойчивость к истиранию, демонстрирующую изменение, равное или меньшее, чем дельта 20 единиц мутности, после 500 циклов Табера, измеренную в соответствии с ASTM D1044, колеса CS10F, масса 500 г.
2. Способ получения многослойного покрытия на поверхности органической полимерной подложки, имеющей первую и вторую поверхность, посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении, стадии способа включают в себя 1) осаждение слоя (первого слоя) полимеризованного в плазме, высоковязкого кремнийорганического соединения на поверхности органической полимерной подложки посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении газообразной смеси, содержащей реагент, содержащий кремний и необязательно окислитель, а после этого 2) осаждение однородного слоя (второго слоя) соединения полимерного силоксана или оксида кремния на открытой поверхности указанного первого слоя посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении газообразной смеси, содержащей окислитель и реагент, содержащий кремний, а после этого повторение стадии 1) и 2), по меньшей мере, еще раз, для получения монолитного, многослойного износостойкого покрытия.
3. Способ получения многослойного покрытия на поверхности органической полимерной подложки, имеющей первую и вторую поверхность, посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении, стадии способа включают в себя 1) осаждение слоя (первого слоя) полимеризованного в плазме, высоковязкого кремнийорганического соединения формулы SiNwCxOyHz на поверхности органической полимерной подложки посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении газообразной смеси, содержащей реагент, содержащий кремний и, необязательно, окислитель, а после этого, 2) осаждение однородного слоя (второго слоя) соединения полимерного силоксана или оксида кремния формулы SiNw'Cx'Oy'Hz' на открытой поверхности указанного первого слоя посредством плазменного осаждения при атмосферном давлении газообразной смеси, содержащей окислитель и реагент, содержащий кремний, где:
w представляет собой число от 0 до 1,0,
x представляет собой число от 0,1 до 3,0,
y представляет собой число от 0,5 до 5,0,
z представляет собой число от 0,1 до 5,0,
w' представляет собой число от 0 до 1,0,
x' представляет собой число от 0 до 1,0,
y' представляет собой число от 1,0 до 5,0,
z' представляет собой число от 0,1 до 10,0,
где многослойное покрытие имеет толщину, по меньшей мере, 2,0 мкм, улучшенную адгезию на подложке и устойчивость к истиранию, равную или меньшую, чем дельта 20 единиц мутности, после 500 циклов Табера, измеренную в соответствии с ASTM D1044, колеса CS10F, масса 500 г.
4. Способ по п.3, в котором стадии 1) и 2) повторяют, по меньшей мере, еще раз, для получения многослойного, износостойкого покрытия, имеющего улучшенную гибкость, износостойкость и планарность, и однородность поверхности.
5. Способ получения покрытия на поверхности органической полимерной подложки, имеющей первую и вторую поверхность, посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении, стадии способа включают в себя осаждение слоя полимеризованного в плазме, оптически прозрачного, высоковязкого кремнийорганического соединения на поверхности органической полимерной подложки посредством осаждения в тлеющем разряде при атмосферном давлении газообразной смеси, содержащей реагент, содержащий кремний и, необязательно, окислитель, где условия осаждения являются такими, что слой осажденного кремнийорганического соединения имеет среднюю толщину, по меньшей мере, 2,0 мкм.
6. Способ по п.5, в котором слой кремнийорганического соединения осаждается на поверхности органической полимерной подложки при линейной скорости осаждения, по меньшей мере, 10 см/мин.
7. Способ по любому из пп.1-6, в котором второй слой по существу не содержит органических остатков.
8. Композитная структура, содержащая полимерную подложку, имеющую первую и вторую поверхность, где первая и/или вторая поверхность имеет один или несколько слоев осажденного кремнийорганического соединения и один или несколько слоев соединения полимерного силоксана или оксида кремния, указанные осажденные слои кремнийорганического соединения и полимерного силоксана или оксида кремния превосходят 2 мкм по общей толщине.
9. Композитная структура по п.8, в которой полимерная подложка представляет собой один или несколько поликарбонатных слоев, в форме пленки и/или листа.
10. Композитная структура по п.8, в которой полимерная подложка представляет собой один или несколько поли(мет)акрилатных слоев, в форме пленки и/или листа.
11. Композитная структура по п.8, в которой полимерная подложка представляет собой ламинат, содержащий один или несколько поликарбонатных и один или несколько поли(мет)акрилатных слоев, в форме пленки или листа, и осажденные слои кремнийорганического соединения и полимерного силоксана или оксида кремния прилипают к поли(мет)акрилатному слою.
12. Композитная структура по п.10, в которой один или несколько поли(мет)акрилатных полимерных слоев содержат поперечно-сшитый поли(мет)акрилатный полимер.
13. Композитная структура по п.11, в которой один или несколько поли(мет)акрилатных полимерных слоев содержат поперечно-сшитый поли(мет)акрилатный полимер.
14. Композитная структура по пп.9-12 или 13, в которой один или несколько поликарбонатных слоев и/или один или несколько поли(мет)акрилатных слоев дополнительно содержат одно или несколько УФ-поглощающих соединений.
15. Облицовочный материал в форме листа, ламината, экструдированной структуры или сборки, содержащей композитную структуру по пп.11, 12 или 13.
16. Облицовочный материал в форме листа, ламината, экструдированной структуры или сборки, содержащей композитную структуру по п.14.
17. Автомобиль или здание, содержащее облицовочный материал по п.15.
18. Автомобиль или здание, содержащее облицовочный материал по п.16.
19. Автомобиль или здание по п.17, в которых облицовочный материал ориентируется поверхностью покрытия из полимерного силоксана или оксида кремния наружу от здания или автомобиля.
20. Автомобиль или здание по п.18, в которых облицовочный материал ориентируется поверхностью покрытия из полимерного силоксана или оксида кремния наружу от здания или автомобиля.
21. Композитная структура по п.14, в которой УФ поглотитель прививается, сополимеризуется или иным образом связывается с одним или несколькими поликарбонатными слоями и/или одним или несколькими поли(мет)акрилатными слоями.
22. Способ по любому из пп.1-6, в котором покрытие наносится на первую и вторую поверхность органической полимерной подложки.
23. Способ по любому из п.7, в котором покрытие наносится на первую и вторую поверхность органической полимерной подложки.
24. Композитная структура по п.8, в которой первая и вторая поверхность органической полимерной подложки независимо имеет один или несколько слоев осажденного кремнийорганического соединения и независимо имеет один или несколько слоев соединения полимерного силоксана или оксида кремния, указанные осажденные слои кремнийорганического соединения и полимерного силоксана или оксида кремния превосходят 2 мкм по общей толщине.
25. Композитная структура по п.10, в которой поли(мет)акрилат представляет собой смесь и/или сополимер, и/или взаимопроникающую сетку первого (мет)акрилата и второго (мет)акрилата, так что присутствуют, по меньшей мере, две фазы, при этом одна фаза представляет собой сплошную фазу, а вторая фаза представляет собой дисперсную фазу, и где сплошная фаза имеет более высокую Tg, чем дисперсная фаза.
26. Композитная структура по п.25, в которой сплошная фаза является обогащенной метилметакрилатом, а дисперсная фаза является обогащенной н-бутилакрилатом.
RU2007119782/04A 2004-10-29 2005-10-06 Износостойкие покрытия, полученные посредством плазменного химического осаждения из паровой фазы RU2007119782A (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US62369004P 2004-10-29 2004-10-29
US60/623,690 2004-10-29
PCT/US2005/035887 WO2006049794A2 (en) 2004-10-29 2005-10-06 Abrasion resistant coatings by plasma enhanced chemical vapor deposition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2007119782A true RU2007119782A (ru) 2008-12-10

Family

ID=36319603

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007119782/04A RU2007119782A (ru) 2004-10-29 2005-10-06 Износостойкие покрытия, полученные посредством плазменного химического осаждения из паровой фазы

Country Status (11)

Country Link
US (1) US20070264508A1 (ru)
EP (1) EP1807548A2 (ru)
JP (1) JP2008518109A (ru)
KR (1) KR20070072900A (ru)
CN (1) CN101048533A (ru)
BR (1) BRPI0516670A (ru)
CA (1) CA2582286A1 (ru)
MX (1) MX2007005123A (ru)
RU (1) RU2007119782A (ru)
TW (1) TW200624594A (ru)
WO (1) WO2006049794A2 (ru)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8216679B2 (en) * 2005-07-27 2012-07-10 Exatec Llc Glazing system for vehicle tops and windows
US20070196633A1 (en) * 2005-11-30 2007-08-23 Coak Craig E Durable transparent coatings for polymeric substrates
US8313812B2 (en) 2005-11-30 2012-11-20 The Boeing Company Durable transparent coatings for aircraft passenger windows
WO2008042128A1 (en) * 2006-10-03 2008-04-10 Dow Global Technologies, Inc. Improved plasma electrode
FR2909187B1 (fr) 2006-11-23 2009-01-02 Essilor Int Article d'optique comportant un revetement anti-abrasion et anti-rayures bicouche, et procede de fabrication
JP4420052B2 (ja) * 2007-04-06 2010-02-24 東洋製罐株式会社 蒸着膜を備えたプラスチック成形品の製造方法
WO2008144615A1 (en) * 2007-05-21 2008-11-27 Dow Global Technologies Inc. Coated object
JP2010535291A (ja) * 2007-07-30 2010-11-18 ダウ グローバル テクノロジーズ インコーポレイティド 大気圧プラズマ化学蒸着方法
US20100255216A1 (en) * 2007-11-29 2010-10-07 Haley Jr Robert P Process and apparatus for atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapor deposition coating of a substrate
JP5610265B2 (ja) * 2008-02-20 2014-10-22 ダイキョーニシカワ株式会社 樹脂成形体
US8389107B2 (en) 2008-03-24 2013-03-05 Biovation, Llc Cellulosic biolaminate composite assembly and related methods
US20100015420A1 (en) 2008-03-24 2010-01-21 Michael Riebel Biolaminate composite assembly and related methods
US8163357B2 (en) * 2009-03-26 2012-04-24 Signet Armorlite, Inc. Scratch-resistant coatings with improved adhesion to inorganic thin film coatings
JP5776132B2 (ja) * 2009-04-03 2015-09-09 凸版印刷株式会社 成膜装置
US8206794B2 (en) 2009-05-04 2012-06-26 The Boeing Company System and method for applying abrasion-resistant coatings
JP2011144412A (ja) 2010-01-13 2011-07-28 Honda Motor Co Ltd プラズマ成膜装置
JP2011252085A (ja) 2010-06-02 2011-12-15 Honda Motor Co Ltd プラズマ成膜方法
GB201112077D0 (en) * 2011-07-14 2011-08-31 Surface Innovations Ltd A method of producing a functionalised surface and surfaces made thereby
CN103732337B (zh) * 2011-08-26 2017-03-08 埃克阿泰克有限责任公司 有机树脂层压板、制造和使用该有机树脂层压板的方法
US9168719B2 (en) * 2011-09-06 2015-10-27 Honeywell International Inc. Surface treated yarn and fabric with enhanced physical and adhesion properties and the process of making
RU2477763C1 (ru) * 2012-01-11 2013-03-20 Федеральное Государственное Автономное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Сибирский Федеральный Университет" (Сфу) Способ получения полимерного нанокомпозиционного материала
WO2013113875A1 (en) * 2012-02-02 2013-08-08 Centre De Recherche Public Henri Tudor Superamphiphobic surfaces by atmospheric plasma polymerization
JP6042156B2 (ja) * 2012-09-27 2016-12-14 学校法人慶應義塾 積層体とその製造方法
JP2014133408A (ja) * 2012-12-10 2014-07-24 Sumitomo Chemical Co Ltd 表面処理積層フィルム及びそれを用いた偏光板
JP6135847B2 (ja) * 2013-03-11 2017-05-31 国立大学法人名古屋大学 撥水性薄膜の製造方法および撥水処理装置
CN103485219A (zh) * 2013-10-14 2014-01-01 无锡通用钢绳有限公司 一种钢丝绳
JP6521584B2 (ja) * 2014-07-17 2019-05-29 株式会社小糸製作所 透光性樹脂部材
TW201704019A (zh) * 2015-04-30 2017-02-01 康寧公司 含具有適度黏附性、殘留強度及透光性之膜的玻璃物件
ES2663507T3 (es) * 2015-07-13 2018-04-13 Hec High End Coating Gmbh Procedimiento para la fabricación de sustratos recubiertos
CA3090420A1 (en) * 2017-02-06 2018-08-09 Mathilde GOSSELIN Physical deposition of siliceous particles on plastic support to enhance surface properties
WO2019083949A2 (en) 2017-10-27 2019-05-02 Corning Incorporated METHODS OF TREATING A SURFACE OF AN ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA POLYMER MATERIAL
TWI699441B (zh) * 2019-06-21 2020-07-21 逢甲大學 大氣常壓低溫電漿鍍製抗刮疏水層的方法
CN111675966B (zh) * 2020-06-09 2022-01-11 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 一种保护涂层及其制备方法
CN114308574B (zh) * 2021-12-23 2023-04-07 清华大学 用于不粘锅的涂层及其制备方法、用于不粘锅的复合层及不粘锅

Family Cites Families (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3415796A (en) * 1966-03-24 1968-12-10 Rohm & Haas Extruded matte finish acrylic film
US3473949A (en) * 1966-05-09 1969-10-21 Gen Motors Corp Method of forming acrylic resin surface coatings
US3562235A (en) * 1968-06-07 1971-02-09 Rohm & Haas Multistage emulsion polymerization of alkyl acrylates and alkyl methacrylates
US3654069A (en) * 1969-11-12 1972-04-04 Rohm & Haas Polystyrene laminate and adhesive-coated film for lamination to polystyrene
US3812205A (en) * 1970-04-13 1974-05-21 Rohm & Haas Process for preparing graftlinked heteropolymer film
US3900673A (en) * 1972-08-28 1975-08-19 Libbey Owens Ford Co Automotive glazing structure
US4059469A (en) * 1974-02-01 1977-11-22 Libbey-Owens-Ford Company Glazing units, methods of making the same and adhesion promoters therefor
CA1077787A (en) * 1975-11-21 1980-05-20 National Aeronautics And Space Administration Abrasion resistant coatings for plastic surfaces
US4242403A (en) * 1976-08-02 1980-12-30 Libbey-Owens-Ford Company Automotive glazing units and method of producing the same
US4374955A (en) * 1980-06-11 1983-02-22 California Institute Of Technology N-Butyl acrylate polymer composition for solar cell encapsulation and method
US4435476A (en) * 1982-08-18 1984-03-06 Foster Grant Corporation Method of making an abrasion resistant coating on a solid substrate and articles produced thereby
US4737379A (en) * 1982-09-24 1988-04-12 Energy Conversion Devices, Inc. Plasma deposited coatings, and low temperature plasma method of making same
US4469743A (en) * 1983-03-14 1984-09-04 E. I. Du Pont De Nemours And Company Polyvinyl butyral laminates
US4666808A (en) * 1983-04-01 1987-05-19 Kyocera Corp. Amorphous silicon electrophotographic sensitive member
DE3413019A1 (de) * 1984-04-06 1985-10-17 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren zum aufbringen einer duennen, transparenten schicht auf der oberflaeche optischer elemente
FR2631346B1 (fr) * 1988-05-11 1994-05-20 Air Liquide Revetement protecteur multicouche pour substrat, procede de protection de substrat par depot par plasma d'un tel revetement, revetements obtenus et leurs applications
US5134021A (en) * 1990-01-04 1992-07-28 Toray Industries, Inc. Anti-fogging film
FR2661688B1 (fr) * 1990-05-02 1992-07-17 Air Liquide Revetement multicouche pour substrat polycarbonate et procede d'elaboration d'un tel revetement.
US5126208A (en) * 1990-10-12 1992-06-30 Dow Corning Corporation Optical laminates
US5527629A (en) * 1990-12-17 1996-06-18 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Process of depositing a layer of silicon oxide bonded to a substrate of polymeric material using high pressure and electrical discharge
FR2673633B1 (fr) * 1991-03-06 1993-06-11 Air Liquide Revetement multicouche pour substrat polycarbonate.
US5224441A (en) * 1991-09-27 1993-07-06 The Boc Group, Inc. Apparatus for rapid plasma treatments and method
US5298587A (en) * 1992-12-21 1994-03-29 The Dow Chemical Company Protective film for articles and method
FR2704558B1 (fr) * 1993-04-29 1995-06-23 Air Liquide Procede et dispositif pour creer un depot d'oxyde de silicium sur un substrat solide en defilement.
US5433786A (en) * 1993-08-27 1995-07-18 The Dow Chemical Company Apparatus for plasma enhanced chemical vapor deposition comprising shower head electrode with magnet disposed therein
US5718967A (en) * 1995-10-13 1998-02-17 The Dow Chemical Company Coated plastic substrate
US6106659A (en) * 1997-07-14 2000-08-22 The University Of Tennessee Research Corporation Treater systems and methods for generating moderate-to-high-pressure plasma discharges for treating materials and related treated materials
JP4446597B2 (ja) * 1997-10-20 2010-04-07 ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニア 常圧プラズマジェットを使用したコーティングのデポジット
DE59904532D1 (de) * 1998-02-05 2003-04-17 Empa Polare polymerartige beschichtung
US6705127B1 (en) * 1998-10-30 2004-03-16 Corning Incorporated Methods of manufacturing soot for optical fiber preforms and preforms made by the methods
US6774018B2 (en) * 1999-02-01 2004-08-10 Sigma Laboratories Of Arizona, Inc. Barrier coatings produced by atmospheric glow discharge
US20020129902A1 (en) * 1999-05-14 2002-09-19 Babayan Steven E. Low-temperature compatible wide-pressure-range plasma flow device
DE29919142U1 (de) * 1999-10-30 2001-03-08 Agrodyn Hochspannungstechnik G Plasmadüse
GB9928781D0 (en) * 1999-12-02 2000-02-02 Dow Corning Surface treatment
US6376064B1 (en) * 1999-12-13 2002-04-23 General Electric Company Layered article with improved microcrack resistance and method of making
DE10011276A1 (de) * 2000-03-08 2001-09-13 Wolff Walsrode Ag Verwendung eines indirrekten atomosphärischen Plasmatrons zur Oberflächenbehandlung oder Beschichtung bahnförmiger Werkstoffe sowie ein Verfahren zur Behandlung oder Beschichtung bahnförmiger Werkstoffe
BR0114200B1 (pt) * 2000-10-04 2011-05-03 "método e aparelho para a formação de um revestimento em um substrato".
CN1317423C (zh) * 2000-11-14 2007-05-23 积水化学工业株式会社 常压等离子体处理方法及其装置
GB0113751D0 (en) * 2001-06-06 2001-07-25 Dow Corning Surface treatment
ATE402277T1 (de) * 2002-02-05 2008-08-15 Dow Global Technologies Inc Chemische dampfphasenabscheidung auf einem substrat mittels eines korona-plasmas
US7109070B2 (en) * 2002-08-07 2006-09-19 Schot Glas Production of a composite material having a biodegradable plastic substrate and at least one coating
EP1663518A2 (en) * 2003-09-09 2006-06-07 Dow Global Technologies Inc. Glow discharge-generated chemical vapor deposition
BRPI0515714A (pt) * 2004-09-27 2008-07-29 Dow Global Technologies Inc processo para preparar um revestimento em múltiplas camadas na superfìcie de um substrato polimérico orgánico por meio de uma deposição por plasma à pressão atmosférica

Also Published As

Publication number Publication date
MX2007005123A (es) 2007-06-25
KR20070072900A (ko) 2007-07-06
CN101048533A (zh) 2007-10-03
EP1807548A2 (en) 2007-07-18
WO2006049794A3 (en) 2006-08-24
WO2006049794A2 (en) 2006-05-11
JP2008518109A (ja) 2008-05-29
US20070264508A1 (en) 2007-11-15
BRPI0516670A (pt) 2008-09-16
CA2582286A1 (en) 2006-05-11
TW200624594A (en) 2006-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2007119782A (ru) Износостойкие покрытия, полученные посредством плазменного химического осаждения из паровой фазы
JP2008518109A5 (ru)
US11174361B2 (en) Urea (multi)-urethane (meth)acrylate-silane compositions and articles including the same
TWI610806B (zh) 障壁膜，製造該障壁膜之方法，及包含該障壁膜之物件
CN115551955B (zh) 氟化偶联剂和使用其制备的氟化(共)聚合物层
US10804419B2 (en) Photovoltaic devices with encapsulating barrier film
JP2003529462A (ja) ポリマー層でコーティングされた透明基体
WO2012106184A2 (en) Vapor-deposited coating for barrier films and methods of making and using the same
CN115485620A (zh) 氟化光引发剂和使用其制备的氟化(共)聚合物层
CN115701282A (zh) 包含至少一个使用氟化光引发剂制备的氟化(共)聚合物层的多层光学膜及其制备和使用方法
TW201505835A (zh) 用於障壁膜之塗層及其製造與使用方法

Legal Events

Date Code Title Description
FA94 Acknowledgement of application withdrawn (non-payment of fees)

Effective date: 20101112