RU2005111235A - Емкостный датчик давления и способ итерактивной оптимизации габаритов датчика давления - Google Patents
Емкостный датчик давления и способ итерактивной оптимизации габаритов датчика давления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005111235A RU2005111235A RU2005111235/28A RU2005111235A RU2005111235A RU 2005111235 A RU2005111235 A RU 2005111235A RU 2005111235/28 A RU2005111235/28 A RU 2005111235/28A RU 2005111235 A RU2005111235 A RU 2005111235A RU 2005111235 A RU2005111235 A RU 2005111235A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- tension
- support ring
- sensor according
- decoupling
- ring
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/04—Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Claims (15)
1. Датчик давления, включающий в себя месдозу, в основном с цилиндрическим основанием первого диаметра и первой толщины, закрепленную на одной торцевой поверхности основания измерительную мембрану второго диаметра и второй толщины, упругое уплотнительное кольцо третьего диаметра и третьей толщины, опорное кольцо четвертого наружного диаметра, четвертого внутреннего диаметра и четвертой толщины, причем опорное кольцо прочно соединено с обращенной от измерительной мембраны торцевой стороной месдозы, зажимное кольцо с первыми средствами зацепления и корпус для размещения месдозы, причем корпус имеет упорную осевую поверхность для уплотнительного кольца и вторые средства зацепления, которые входят в первые средства зацепления, причем месдоза посредством зажимного кольца аксиально зажата между упругим уплотнительным кольцом, которое расположено между упорной осевой поверхностью корпуса и торцевой стороной месдозы со стороны мембраны, и опорным кольцом, отличающийся тем, что между зажимным и опорным кольцами расположен жесткий развязывающий элемент и габариты опорного кольца и развязывающего элемента согласованы с габаритами уплотнительного кольца и месдозы, причем, что обусловленная осевым зажатием месдозы радиальная деформация торцевой поверхности со стороны мембраны мала, при этом погрешность натяжения датчика давления вследствие уменьшения осевого зажимного усилия, по меньшей мере, на 10% составляет не более чем примерно 0,02%, а температурный гистерезис натяжения не более чем примерно 0,03%.
2. Датчик по п.1, отличающийся тем, что внутренний диаметр опорного кольца выбран так, что погрешность натяжения при уменьшении зажимного усилия, по меньшей мере, на 20% составляет не более чем примерно 0,02%.
3. Датчик по п.1, отличающийся тем, что внутренний диаметр опорного кольца выбран так, что погрешность натяжения при уменьшении зажимного усилия, по меньшей мере, на 10% или, по меньшей мере, на 20% составляет не более чем примерно 0,01%.
4. Датчик по п.1, отличающийся тем, что температурный гистерезис натяжения составляет не более 0,02% и, в частности, предпочтительно не более 0,01%.
5. Датчик по одному из пп.1-4, отличающийся тем, что основание и измерительная мембрана состоят из одного и того же материала, в частности керамического материала.
6. Датчик по п.5, отличающийся тем, что опорное кольцо и/или развязывающий элемент состоят из того же материала, что и основание.
7. Датчик по п.1, отличающийся тем, что опорное кольцо имеет, по меньшей мере, толщину основания.
8. Датчик по п.1, отличающийся тем, что развязывающий элемент содержит развязывающую пластину.
9. Датчик по п.8, отличающийся тем, что развязывающая пластина имеет диаметр, равный наружному диаметру опорного кольца.
10. Датчик по п.8 или 9, отличающийся тем, что развязывающая пластина соединена с опорным кольцом непрочно.
11. Датчик по п.1, отличающийся тем, что развязывающий элемент содержит развязывающее кольцо.
12. Датчик по п.11, отличающийся тем, что развязывающее кольцо имеет приблизительно те же габариты, что и опорное кольцо.
13. Датчик по одному из п.11 или 12, отличающийся тем, что между опорным и развязывающим кольцами предусмотрены средства для снижения трения.
14. Датчик по п.11, отличающийся тем, что коэффициент трения сцепления между опорным и развязывающим кольцами составляет менее 0,2.
15. Способ итерактивной оптимизации габаритов опорного кольца и развязывающего элемента для датчика давления по одному из предыдущих пунктов, включающий в себя следующие этапы:
(i) - установление геометрической формы опорного кольца и развязывающего элемента;
(ii) - расчет первого изменения натяжения датчика давления под первым осевым зажимным усилием;
(iii) - расчет второго изменения натяжения датчика давления под вторым осевым зажимным усилием;
(iv) - определение погрешности натяжения за счет сравнения первого и второго изменений натяжения;
(v) - оценка погрешности натяжения;
(vi) - определение и оценка температурного гистерезиса натяжения, при необходимости с условием, что погрешность натяжения достаточно мала;
(vii) - изменение геометрической формы опорного кольца и, при необходимости, развязывающего элемента и повторение этапов (ii)-(vii) до тех пор, пока не будет найдена подходящая геометрическая форма для достаточно малой погрешности натяжения и достаточно малого температурного гистерезиса натяжения.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10243079A DE10243079A1 (de) | 2002-09-16 | 2002-09-16 | Kapazitiver Drucksensor |
DE10243079.9 | 2002-09-16 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2005111235A true RU2005111235A (ru) | 2006-02-10 |
RU2301411C2 RU2301411C2 (ru) | 2007-06-20 |
Family
ID=31896094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2005111235/28A RU2301411C2 (ru) | 2002-09-16 | 2003-09-09 | Емкостный датчик давления и способ итерактивной оптимизации габаритов датчика давления |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1540293B1 (ru) |
JP (1) | JP4147222B2 (ru) |
CN (1) | CN100353154C (ru) |
AT (1) | ATE433566T1 (ru) |
AU (1) | AU2003267330A1 (ru) |
DE (2) | DE10243079A1 (ru) |
RU (1) | RU2301411C2 (ru) |
WO (1) | WO2004031716A1 (ru) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69312941T2 (de) * | 1993-11-30 | 1998-03-12 | Alcan Int Ltd | Verfahren und Vorrichtung zur Trocknung von festem Material aus einer Suspension |
DE102004031582A1 (de) | 2004-06-29 | 2006-02-09 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Duckaufnehmer |
US7240561B2 (en) | 2004-09-29 | 2007-07-10 | Rosemount Inc. | Process adapter |
CH702915A1 (de) * | 2010-03-18 | 2011-09-30 | Kistler Holding Ag | Sensor mit verformungs-entkoppelter einspannungsvorrichtung. |
CN102141455B (zh) * | 2010-12-10 | 2014-06-25 | 北京航空航天大学 | 一种非介入式压力测量方法 |
DE102010063065A1 (de) * | 2010-12-14 | 2012-06-14 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensor und Verfahren zu dessen Herstellung+ |
DE102010061322A1 (de) | 2010-12-17 | 2012-06-21 | Turck Holding Gmbh | Drucksensor mit Zwischenring |
DE102011005705B4 (de) * | 2011-03-17 | 2014-07-03 | Ifm Electronic Gmbh | Kapazitiver Drucksensor |
DE102011006431A1 (de) | 2011-03-30 | 2012-10-04 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Keramische Druckmesszelle und Drucksensor mit einer solchen Druckmesszelle |
DE102013103028A1 (de) * | 2013-03-25 | 2014-09-25 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Sinterkörper mit mehreren Werkstoffen und Druckmessgerät mit einem solchen Sinterkörper |
DE102013225335A1 (de) | 2013-12-10 | 2014-11-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Druckmessumformer zur Prozessinstrumentierung |
CN106461490B (zh) * | 2014-08-01 | 2019-06-11 | Vega格里沙贝两合公司 | 压力测量装置和用于制造压力测量装置的方法 |
WO2017180670A2 (en) * | 2016-04-11 | 2017-10-19 | The Alfred E. Mann Foundation For Scientific Research | Pressure sensors with tensioned membranes |
DE102018115290A1 (de) * | 2018-06-26 | 2020-01-02 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Drucksensor mit keramischer Druckmesszelle und medienbeständiger Prozessdichtung |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61138135A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-06-25 | Nippon Denso Co Ltd | 圧力検出器 |
JPH02311729A (ja) * | 1989-05-26 | 1990-12-27 | Delphi Co Ltd | 薄膜型圧力センサ |
US5157972A (en) * | 1991-03-29 | 1992-10-27 | Rosemount Inc. | Pressure sensor with high modules support |
JPH05223674A (ja) * | 1992-02-17 | 1993-08-31 | Yokogawa Electric Corp | 差圧伝送器 |
DE4213857C2 (de) * | 1992-04-27 | 1995-10-19 | Endress Hauser Gmbh Co | Vorrichtung zum Messen von Druck und Differenzdruck |
DE4219178C2 (de) * | 1992-06-09 | 1996-04-25 | Mannesmann Ag | Einspanneinheit für einen Drucksensor |
DE4407212C1 (de) * | 1992-10-12 | 1995-08-03 | Fibronix Sensoren Gmbh | Drucksensor |
DE4416978C2 (de) * | 1994-05-13 | 2000-09-07 | Ifm Electronic Gmbh | Drucksensor |
EP0757237B1 (de) * | 1995-08-01 | 2002-04-10 | Endress + Hauser GmbH + Co. | Druckaufnehmer |
US6055864A (en) * | 1998-04-14 | 2000-05-02 | Mannesmann Vdo Ag | Pressure sensor and method for its production |
US6363790B1 (en) * | 1998-10-23 | 2002-04-02 | Endress + Hauser Gmbh + Co. | Pressure sensor |
EP1106982B1 (de) * | 1999-12-10 | 2005-02-09 | Endress + Hauser GmbH + Co. KG | Druckmessgerät |
-
2002
- 2002-09-16 DE DE10243079A patent/DE10243079A1/de not_active Withdrawn
-
2003
- 2003-09-09 AU AU2003267330A patent/AU2003267330A1/en not_active Abandoned
- 2003-09-09 CN CNB038219654A patent/CN100353154C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-09-09 EP EP03747993A patent/EP1540293B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-09 AT AT03747993T patent/ATE433566T1/de not_active IP Right Cessation
- 2003-09-09 JP JP2004540601A patent/JP4147222B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-09-09 DE DE50311590T patent/DE50311590D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-09 RU RU2005111235/28A patent/RU2301411C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2003-09-09 WO PCT/EP2003/010009 patent/WO2004031716A1/de active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2004031716A1 (de) | 2004-04-15 |
EP1540293A1 (de) | 2005-06-15 |
EP1540293B1 (de) | 2009-06-10 |
CN1682102A (zh) | 2005-10-12 |
DE10243079A1 (de) | 2004-03-25 |
AU2003267330A1 (en) | 2004-04-23 |
ATE433566T1 (de) | 2009-06-15 |
CN100353154C (zh) | 2007-12-05 |
JP4147222B2 (ja) | 2008-09-10 |
JP2005539240A (ja) | 2005-12-22 |
DE50311590D1 (de) | 2009-07-23 |
RU2301411C2 (ru) | 2007-06-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2005111235A (ru) | Емкостный датчик давления и способ итерактивной оптимизации габаритов датчика давления | |
RU2005102483A (ru) | Емкостный датчик давления | |
ATE413594T1 (de) | Drucksensor | |
CN1013712B (zh) | 差压传感器 | |
US3232114A (en) | Pressure transducer | |
US5255427A (en) | Ceramic hollow bodies and method of manufacturing such bodies | |
JPH0534231A (ja) | 圧電型圧力センサ | |
JPS63218832A (ja) | 管内圧力変化検知変換器 | |
CN1149931A (zh) | 半导体压力传感器及其制造方法 | |
ATE291221T1 (de) | Membran druckmessaufnehmer mit dichtung mit federring gegen verformung | |
JP2009115674A (ja) | 燃焼圧センサ | |
JP2004157069A (ja) | ガス透過率測定装置 | |
US4648480A (en) | Condenser microphone having resistance against high-temperature and radioactive rays | |
CN210005152U (zh) | 一种新型压力传感器 | |
SU573730A1 (ru) | Способ креплени плоской мембраны датчика давлени | |
SU1663462A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени | |
JPH01169303A (ja) | 歪検出器の製作方法 | |
JPS6346832Y2 (ru) | ||
SU1493891A1 (ru) | Датчик давлени | |
RU1809338C (ru) | Датчик давлени | |
RU2029234C1 (ru) | Способ измерения внутреннего диаметра труб и устройство для его осуществления | |
JPS5932914Y2 (ja) | 圧力計 | |
FR2821426A1 (fr) | Dispositif de mesure de la pression au sein d'une enceinte et procede utilisant ce dispositif | |
JPS61266931A (ja) | 圧力センサ | |
CHEN | Conservation laws in elasticity of the J-integral type[Ph. D. Thesis] |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150910 |