RU2005111235A - Емкостный датчик давления и способ итерактивной оптимизации габаритов датчика давления - Google Patents

Емкостный датчик давления и способ итерактивной оптимизации габаритов датчика давления Download PDF

Info

Publication number
RU2005111235A
RU2005111235A RU2005111235/28A RU2005111235A RU2005111235A RU 2005111235 A RU2005111235 A RU 2005111235A RU 2005111235/28 A RU2005111235/28 A RU 2005111235/28A RU 2005111235 A RU2005111235 A RU 2005111235A RU 2005111235 A RU2005111235 A RU 2005111235A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
tension
support ring
sensor according
decoupling
ring
Prior art date
Application number
RU2005111235/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2301411C2 (ru
Inventor
Ульферт ДРЭВЕС (DE)
Ульферт ДРЭВЕС
Игорь ГЕТМАН (DE)
Игорь ГЕТМАН
Франк ХЕГНЕР (DE)
Франк ХЕГНЕР
Original Assignee
Эндресс+Хаузер Гмбх+Ко. Кг (De)
Эндресс+Хаузер Гмбх+Ко. Кг
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эндресс+Хаузер Гмбх+Ко. Кг (De), Эндресс+Хаузер Гмбх+Ко. Кг filed Critical Эндресс+Хаузер Гмбх+Ко. Кг (De)
Publication of RU2005111235A publication Critical patent/RU2005111235A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2301411C2 publication Critical patent/RU2301411C2/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/04Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0075Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Claims (15)

1. Датчик давления, включающий в себя месдозу, в основном с цилиндрическим основанием первого диаметра и первой толщины, закрепленную на одной торцевой поверхности основания измерительную мембрану второго диаметра и второй толщины, упругое уплотнительное кольцо третьего диаметра и третьей толщины, опорное кольцо четвертого наружного диаметра, четвертого внутреннего диаметра и четвертой толщины, причем опорное кольцо прочно соединено с обращенной от измерительной мембраны торцевой стороной месдозы, зажимное кольцо с первыми средствами зацепления и корпус для размещения месдозы, причем корпус имеет упорную осевую поверхность для уплотнительного кольца и вторые средства зацепления, которые входят в первые средства зацепления, причем месдоза посредством зажимного кольца аксиально зажата между упругим уплотнительным кольцом, которое расположено между упорной осевой поверхностью корпуса и торцевой стороной месдозы со стороны мембраны, и опорным кольцом, отличающийся тем, что между зажимным и опорным кольцами расположен жесткий развязывающий элемент и габариты опорного кольца и развязывающего элемента согласованы с габаритами уплотнительного кольца и месдозы, причем, что обусловленная осевым зажатием месдозы радиальная деформация торцевой поверхности со стороны мембраны мала, при этом погрешность натяжения датчика давления вследствие уменьшения осевого зажимного усилия, по меньшей мере, на 10% составляет не более чем примерно 0,02%, а температурный гистерезис натяжения не более чем примерно 0,03%.
2. Датчик по п.1, отличающийся тем, что внутренний диаметр опорного кольца выбран так, что погрешность натяжения при уменьшении зажимного усилия, по меньшей мере, на 20% составляет не более чем примерно 0,02%.
3. Датчик по п.1, отличающийся тем, что внутренний диаметр опорного кольца выбран так, что погрешность натяжения при уменьшении зажимного усилия, по меньшей мере, на 10% или, по меньшей мере, на 20% составляет не более чем примерно 0,01%.
4. Датчик по п.1, отличающийся тем, что температурный гистерезис натяжения составляет не более 0,02% и, в частности, предпочтительно не более 0,01%.
5. Датчик по одному из пп.1-4, отличающийся тем, что основание и измерительная мембрана состоят из одного и того же материала, в частности керамического материала.
6. Датчик по п.5, отличающийся тем, что опорное кольцо и/или развязывающий элемент состоят из того же материала, что и основание.
7. Датчик по п.1, отличающийся тем, что опорное кольцо имеет, по меньшей мере, толщину основания.
8. Датчик по п.1, отличающийся тем, что развязывающий элемент содержит развязывающую пластину.
9. Датчик по п.8, отличающийся тем, что развязывающая пластина имеет диаметр, равный наружному диаметру опорного кольца.
10. Датчик по п.8 или 9, отличающийся тем, что развязывающая пластина соединена с опорным кольцом непрочно.
11. Датчик по п.1, отличающийся тем, что развязывающий элемент содержит развязывающее кольцо.
12. Датчик по п.11, отличающийся тем, что развязывающее кольцо имеет приблизительно те же габариты, что и опорное кольцо.
13. Датчик по одному из п.11 или 12, отличающийся тем, что между опорным и развязывающим кольцами предусмотрены средства для снижения трения.
14. Датчик по п.11, отличающийся тем, что коэффициент трения сцепления между опорным и развязывающим кольцами составляет менее 0,2.
15. Способ итерактивной оптимизации габаритов опорного кольца и развязывающего элемента для датчика давления по одному из предыдущих пунктов, включающий в себя следующие этапы:
(i) - установление геометрической формы опорного кольца и развязывающего элемента;
(ii) - расчет первого изменения натяжения датчика давления под первым осевым зажимным усилием;
(iii) - расчет второго изменения натяжения датчика давления под вторым осевым зажимным усилием;
(iv) - определение погрешности натяжения за счет сравнения первого и второго изменений натяжения;
(v) - оценка погрешности натяжения;
(vi) - определение и оценка температурного гистерезиса натяжения, при необходимости с условием, что погрешность натяжения достаточно мала;
(vii) - изменение геометрической формы опорного кольца и, при необходимости, развязывающего элемента и повторение этапов (ii)-(vii) до тех пор, пока не будет найдена подходящая геометрическая форма для достаточно малой погрешности натяжения и достаточно малого температурного гистерезиса натяжения.
RU2005111235/28A 2002-09-16 2003-09-09 Емкостный датчик давления и способ итерактивной оптимизации габаритов датчика давления RU2301411C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10243079A DE10243079A1 (de) 2002-09-16 2002-09-16 Kapazitiver Drucksensor
DE10243079.9 2002-09-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2005111235A true RU2005111235A (ru) 2006-02-10
RU2301411C2 RU2301411C2 (ru) 2007-06-20

Family

ID=31896094

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005111235/28A RU2301411C2 (ru) 2002-09-16 2003-09-09 Емкостный датчик давления и способ итерактивной оптимизации габаритов датчика давления

Country Status (8)

Country Link
EP (1) EP1540293B1 (ru)
JP (1) JP4147222B2 (ru)
CN (1) CN100353154C (ru)
AT (1) ATE433566T1 (ru)
AU (1) AU2003267330A1 (ru)
DE (2) DE10243079A1 (ru)
RU (1) RU2301411C2 (ru)
WO (1) WO2004031716A1 (ru)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69312941T2 (de) * 1993-11-30 1998-03-12 Alcan Int Ltd Verfahren und Vorrichtung zur Trocknung von festem Material aus einer Suspension
DE102004031582A1 (de) 2004-06-29 2006-02-09 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Duckaufnehmer
US7240561B2 (en) 2004-09-29 2007-07-10 Rosemount Inc. Process adapter
CH702915A1 (de) * 2010-03-18 2011-09-30 Kistler Holding Ag Sensor mit verformungs-entkoppelter einspannungsvorrichtung.
CN102141455B (zh) * 2010-12-10 2014-06-25 北京航空航天大学 一种非介入式压力测量方法
DE102010063065A1 (de) * 2010-12-14 2012-06-14 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Drucksensor und Verfahren zu dessen Herstellung+
DE102010061322A1 (de) 2010-12-17 2012-06-21 Turck Holding Gmbh Drucksensor mit Zwischenring
DE102011005705B4 (de) * 2011-03-17 2014-07-03 Ifm Electronic Gmbh Kapazitiver Drucksensor
DE102011006431A1 (de) 2011-03-30 2012-10-04 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Keramische Druckmesszelle und Drucksensor mit einer solchen Druckmesszelle
DE102013103028A1 (de) * 2013-03-25 2014-09-25 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Sinterkörper mit mehreren Werkstoffen und Druckmessgerät mit einem solchen Sinterkörper
DE102013225335A1 (de) 2013-12-10 2014-11-13 Siemens Aktiengesellschaft Druckmessumformer zur Prozessinstrumentierung
CN106461490B (zh) * 2014-08-01 2019-06-11 Vega格里沙贝两合公司 压力测量装置和用于制造压力测量装置的方法
WO2017180670A2 (en) * 2016-04-11 2017-10-19 The Alfred E. Mann Foundation For Scientific Research Pressure sensors with tensioned membranes
DE102018115290A1 (de) * 2018-06-26 2020-01-02 Endress+Hauser SE+Co. KG Drucksensor mit keramischer Druckmesszelle und medienbeständiger Prozessdichtung

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61138135A (ja) * 1984-12-10 1986-06-25 Nippon Denso Co Ltd 圧力検出器
JPH02311729A (ja) * 1989-05-26 1990-12-27 Delphi Co Ltd 薄膜型圧力センサ
US5157972A (en) * 1991-03-29 1992-10-27 Rosemount Inc. Pressure sensor with high modules support
JPH05223674A (ja) * 1992-02-17 1993-08-31 Yokogawa Electric Corp 差圧伝送器
DE4213857C2 (de) * 1992-04-27 1995-10-19 Endress Hauser Gmbh Co Vorrichtung zum Messen von Druck und Differenzdruck
DE4219178C2 (de) * 1992-06-09 1996-04-25 Mannesmann Ag Einspanneinheit für einen Drucksensor
DE4407212C1 (de) * 1992-10-12 1995-08-03 Fibronix Sensoren Gmbh Drucksensor
DE4416978C2 (de) * 1994-05-13 2000-09-07 Ifm Electronic Gmbh Drucksensor
EP0757237B1 (de) * 1995-08-01 2002-04-10 Endress + Hauser GmbH + Co. Druckaufnehmer
US6055864A (en) * 1998-04-14 2000-05-02 Mannesmann Vdo Ag Pressure sensor and method for its production
US6363790B1 (en) * 1998-10-23 2002-04-02 Endress + Hauser Gmbh + Co. Pressure sensor
EP1106982B1 (de) * 1999-12-10 2005-02-09 Endress + Hauser GmbH + Co. KG Druckmessgerät

Also Published As

Publication number Publication date
WO2004031716A1 (de) 2004-04-15
EP1540293A1 (de) 2005-06-15
EP1540293B1 (de) 2009-06-10
CN1682102A (zh) 2005-10-12
DE10243079A1 (de) 2004-03-25
AU2003267330A1 (en) 2004-04-23
ATE433566T1 (de) 2009-06-15
CN100353154C (zh) 2007-12-05
JP4147222B2 (ja) 2008-09-10
JP2005539240A (ja) 2005-12-22
DE50311590D1 (de) 2009-07-23
RU2301411C2 (ru) 2007-06-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2005111235A (ru) Емкостный датчик давления и способ итерактивной оптимизации габаритов датчика давления
RU2005102483A (ru) Емкостный датчик давления
ATE413594T1 (de) Drucksensor
CN1013712B (zh) 差压传感器
US3232114A (en) Pressure transducer
US5255427A (en) Ceramic hollow bodies and method of manufacturing such bodies
JPH0534231A (ja) 圧電型圧力センサ
JPS63218832A (ja) 管内圧力変化検知変換器
CN1149931A (zh) 半导体压力传感器及其制造方法
ATE291221T1 (de) Membran druckmessaufnehmer mit dichtung mit federring gegen verformung
JP2009115674A (ja) 燃焼圧センサ
JP2004157069A (ja) ガス透過率測定装置
US4648480A (en) Condenser microphone having resistance against high-temperature and radioactive rays
CN210005152U (zh) 一种新型压力传感器
SU573730A1 (ru) Способ креплени плоской мембраны датчика давлени
SU1663462A1 (ru) Устройство дл измерени давлени
JPH01169303A (ja) 歪検出器の製作方法
JPS6346832Y2 (ru)
SU1493891A1 (ru) Датчик давлени
RU1809338C (ru) Датчик давлени
RU2029234C1 (ru) Способ измерения внутреннего диаметра труб и устройство для его осуществления
JPS5932914Y2 (ja) 圧力計
FR2821426A1 (fr) Dispositif de mesure de la pression au sein d'une enceinte et procede utilisant ce dispositif
JPS61266931A (ja) 圧力センサ
CHEN Conservation laws in elasticity of the J-integral type[Ph. D. Thesis]

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150910