RU2005102483A - Емкостный датчик давления - Google Patents
Емкостный датчик давления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005102483A RU2005102483A RU2005102483/28A RU2005102483A RU2005102483A RU 2005102483 A RU2005102483 A RU 2005102483A RU 2005102483/28 A RU2005102483/28 A RU 2005102483/28A RU 2005102483 A RU2005102483 A RU 2005102483A RU 2005102483 A RU2005102483 A RU 2005102483A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pressure sensor
- support ring
- sensor according
- measuring cell
- ring
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/02—Arrangements for preventing, or for compensating for, effects of inclination or acceleration of the measuring device; Zero-setting means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Claims (12)
1. Датчик давления, содержащий измерительную ячейку давления, содержащую, по существу, цилиндрический основной корпус с первым диаметром и первой толщиной, установленную на торцевой поверхности основного корпуса измерительную мембрану со вторым диаметром и второй толщиной, при этом указанная ячейка зажата в осевом направлении между упругим уплотнительным кольцом с третьим диаметром и третьей толщиной, которое прилегает к расположенной со стороны мембраны торцевой поверхности измерительной ячейки давления, и опорным кольцом с четвертым наружным диаметром, четвертым внутренним диаметром и четвертой толщиной, при этом опорное кольцо является опорой для противоположной измерительной мембране задней торцевой поверхности ячейки, отличающийся тем, что размеры опорного кольца так согласованы с размерами уплотнительного кольца и измерительной ячейки давления, что обусловленная осевым зажимом ячейки измерения давления радиальная деформация расположенной со стороны мембраны торцевой поверхности настолько мала, что обусловленная зажимом погрешность датчика давления при уменьшении радиальной зажимной силы, по меньшей мере, на 10% составляет не более чем 0,02%.
2. Датчик давления по п.1, отличающийся тем, что внутренний диаметр опорного кольца выбран так, что обусловленная натяжением погрешность при уменьшении зажимной силы, по меньшей мере, на 20% составляет не более чем 0,02%.
3. Датчик давления по п.1, отличающийся тем, что внутренний диаметр опорного кольца выбран так, что обусловленная зажимом погрешность при уменьшении зажимной силы, по меньшей мере, на 10 или 20% составляет не более чем около 0,01%.
4. Датчик давления по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что осевая зажимная сила составляет 350-550 Н.
5. Датчик давления по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что основной корпус и измерительная мембрана имеют одинаковый материал, в частности, керамический материал.
6. Датчик давления по п.5, отличающийся тем, что опорное кольцо и основной корпус имеют одинаковый материал.
7. Датчик давления по п.6, отличающийся тем, что опорное кольцо неподвижно соединено с основным корпусом.
8. Датчик давления по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что опорное кольцо имеет, по меньшей мере, толщину основного корпуса.
9. Датчик давления по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что дополнительно содержит корпус с камерой для размещения измерительной ячейки давления, при этом корпус имеет внутри осевую упорную поверхность, на которую в осевом направлении опирается уплотнительное кольцо, и резьбовое кольцо, которое входит в зацепление с внутренней резьбой в стенке камеры измерительной ячейки и оказывает осевое зажимное усилие на заднюю сторону опорного кольца, противоположную измерительной ячейке давления.
10. Датчик давления по п.9, отличающийся тем, что дополнительно содержит средства для минимизации трения между резьбовым кольцом и опорным кольцом.
11. Датчик давления по п.9, отличающийся тем, что коэффициент трения сцепления между опорным кольцом и резьбовым кольцом составляет менее 0,2.
12. Способ итеративной оптимизации размеров опорного кольца для датчика давления по любому из пп.1-3, содержащий стадии:
(i) выбор геометрических размеров для опорного кольца;
(ii) вычисление первого изменения зажима датчика давления при первой осевой зажимной силе;
(iii) вычисление второго изменения зажима датчика давления при второй осевой зажимной силе;
(iv) определение обусловленной зажимом погрешности посредством сравнения первого изменения зажима со вторым изменением зажима;
(v) оценка обусловленной зажимом погрешности; и
(vi) варьирование геометрических размеров опорного кольца и повторения стадий (ii)-(vi) до нахождения подходящих геометрических размеров для достаточно малой обусловленной зажимом погрешности.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10229703.7 | 2002-07-02 | ||
DE10229703A DE10229703A1 (de) | 2002-07-02 | 2002-07-02 | Kapazitiver Drucksensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2005102483A true RU2005102483A (ru) | 2006-01-20 |
RU2295708C2 RU2295708C2 (ru) | 2007-03-20 |
Family
ID=29723632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2005102483/28A RU2295708C2 (ru) | 2002-07-02 | 2003-07-01 | Емкостный датчик давления и способ итеративной оптимизации размеров опорного кольца для датчика давления |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7150197B2 (ru) |
EP (1) | EP1518097B1 (ru) |
CN (1) | CN100338452C (ru) |
AT (1) | ATE513193T1 (ru) |
AU (1) | AU2003238064A1 (ru) |
DE (1) | DE10229703A1 (ru) |
RU (1) | RU2295708C2 (ru) |
WO (1) | WO2004005875A1 (ru) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090120194A1 (en) * | 2007-11-08 | 2009-05-14 | Honeywell International Inc. | Silicon pressure sensor |
DE202008009317U1 (de) * | 2008-07-11 | 2008-09-18 | Kempchen Leuna Gmbh | Dichtungsanordnung für eine Flanschverbindung |
DE102010029955A1 (de) * | 2010-06-10 | 2011-12-15 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensor mit einer zylindrischen Druckmesszelle |
DE102010063065A1 (de) * | 2010-12-14 | 2012-06-14 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensor und Verfahren zu dessen Herstellung+ |
DE102011006431A1 (de) | 2011-03-30 | 2012-10-04 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Keramische Druckmesszelle und Drucksensor mit einer solchen Druckmesszelle |
DE102011078557A1 (de) | 2011-07-01 | 2013-01-03 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Verfahren zum Betreiben eines Absolut- oder Relativdrucksensors mit einem kapazitiven Wandler |
US8984952B2 (en) | 2012-09-07 | 2015-03-24 | Dynisco Instruments Llc | Capacitive pressure sensor |
US9103738B2 (en) | 2012-09-07 | 2015-08-11 | Dynisco Instruments Llc | Capacitive pressure sensor with intrinsic temperature compensation |
US8943895B2 (en) | 2012-09-07 | 2015-02-03 | Dynisco Instruments Llc | Capacitive pressure sensor |
DE102013103028A1 (de) * | 2013-03-25 | 2014-09-25 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Sinterkörper mit mehreren Werkstoffen und Druckmessgerät mit einem solchen Sinterkörper |
DE102013105363A1 (de) | 2013-05-24 | 2014-11-27 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Wirbelströmungsmesssensor und Wirbelströmungsmessaufnehmer zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit eines Fluids |
DE102015110259A1 (de) | 2015-06-25 | 2016-12-29 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensormodul Messanordnung mit einem Drucksensormodul |
DE102015219070A1 (de) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums |
CN107685230B (zh) * | 2017-10-20 | 2024-07-09 | 平顶山市恒盛工贸有限公司 | 一种用于拆卸内部有压力设备的装置和拆卸方法 |
DE102021107078A1 (de) | 2021-03-22 | 2022-09-22 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Vorrichtung aus einem ersten Bauteil und einem zweiten Bauteil |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4370890A (en) * | 1980-10-06 | 1983-02-01 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure transducer with isolated sensing diaphragm |
EP0380661A4 (en) * | 1987-10-07 | 1991-08-14 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Semiconducteur thin-film pressure sensor and method of producing the same |
DE3901492A1 (de) * | 1988-07-22 | 1990-01-25 | Endress Hauser Gmbh Co | Drucksensor und verfahren zu seiner herstellung |
DE3912177A1 (de) * | 1989-04-13 | 1990-10-18 | Siemens Ag | Drucksensor fuer den verbrennungsraum von kolben-verbrennungsmotoren |
US5132658A (en) * | 1990-04-19 | 1992-07-21 | Sensym, Inc. | Micromachined silicon potentiometer responsive to pressure |
US5289721A (en) * | 1990-09-10 | 1994-03-01 | Nippondenso Co., Ltd. | Semiconductor pressure sensor |
US5163326A (en) * | 1991-03-08 | 1992-11-17 | Rosemount Inc. | Line pressure compensator for a pressure transducer |
JPH05223674A (ja) * | 1992-02-17 | 1993-08-31 | Yokogawa Electric Corp | 差圧伝送器 |
DE4213857C2 (de) * | 1992-04-27 | 1995-10-19 | Endress Hauser Gmbh Co | Vorrichtung zum Messen von Druck und Differenzdruck |
DE4219177C2 (de) * | 1992-06-09 | 1996-07-18 | Mannesmann Ag | Gehäuseeinspannung für einen Sensor |
US5386729A (en) * | 1993-09-22 | 1995-02-07 | The Babcock & Wilcox Company | Temperature compensated microbend fiber optic differential pressure transducer |
DE4416978C2 (de) * | 1994-05-13 | 2000-09-07 | Ifm Electronic Gmbh | Drucksensor |
EP0757237B1 (de) * | 1995-08-01 | 2002-04-10 | Endress + Hauser GmbH + Co. | Druckaufnehmer |
DE19813756A1 (de) * | 1998-03-27 | 1999-10-07 | Siemens Ag | Messung des Drucks eines Fluids |
US6055864A (en) * | 1998-04-14 | 2000-05-02 | Mannesmann Vdo Ag | Pressure sensor and method for its production |
US6111340A (en) * | 1999-04-12 | 2000-08-29 | Schlumberger Technology Corporation | Dual-mode thickness-shear quartz pressure sensors for high pressure and high temperature applications |
JP2001343300A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-14 | Denso Corp | 圧力検出装置 |
-
2002
- 2002-07-02 DE DE10229703A patent/DE10229703A1/de not_active Withdrawn
-
2003
- 2003-07-01 RU RU2005102483/28A patent/RU2295708C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2003-07-01 CN CNB038155435A patent/CN100338452C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-07-01 US US10/518,546 patent/US7150197B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-07-01 EP EP03735695A patent/EP1518097B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-07-01 WO PCT/EP2003/006961 patent/WO2004005875A1/de not_active Application Discontinuation
- 2003-07-01 AT AT03735695T patent/ATE513193T1/de active
- 2003-07-01 AU AU2003238064A patent/AU2003238064A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1518097B1 (de) | 2011-06-15 |
US7150197B2 (en) | 2006-12-19 |
US20060096381A1 (en) | 2006-05-11 |
DE10229703A1 (de) | 2004-01-15 |
RU2295708C2 (ru) | 2007-03-20 |
EP1518097A1 (de) | 2005-03-30 |
CN1668905A (zh) | 2005-09-14 |
AU2003238064A1 (en) | 2004-01-23 |
CN100338452C (zh) | 2007-09-19 |
ATE513193T1 (de) | 2011-07-15 |
WO2004005875A1 (de) | 2004-01-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2005102483A (ru) | Емкостный датчик давления | |
US8925388B2 (en) | Pressure sensor having a cylindrical pressure measuring cell | |
RU2005111235A (ru) | Емкостный датчик давления и способ итерактивной оптимизации габаритов датчика давления | |
JP4909897B2 (ja) | 分離を実施するデバイス、方法、および装置 | |
ATE413594T1 (de) | Drucksensor | |
EP2039967B1 (en) | Shaft sealing device | |
JP2007046755A (ja) | 管端部接続体及びゼオライト分離膜エレメント | |
CN109807651A (zh) | 一种薄壁异形篦齿零件防变形的夹具 | |
DE50004126D1 (de) | Leckdetektoranordnung und -System | |
ATE291221T1 (de) | Membran druckmessaufnehmer mit dichtung mit federring gegen verformung | |
JP4468996B2 (ja) | 隔膜式圧力センサ | |
US6575048B1 (en) | Sensor positioning assembly | |
JPH08313379A (ja) | 圧力センサ | |
JP4383618B2 (ja) | 自動弁 | |
JP2002022589A (ja) | 耐腐食性のダイヤフラム圧力センサ | |
JP3314090B2 (ja) | ガス圧支承装置 | |
JP2009115674A (ja) | 燃焼圧センサ | |
US7249515B2 (en) | Capacitive pressure sensor | |
CN216433350U (zh) | 一种抽空泵用气管压力测定装置 | |
FR2605468A1 (fr) | Pompe electromagnetique a induction | |
CN112556925B (zh) | 火药真空安定性试验用压力传感器性能测试装置及方法 | |
CN210513536U (zh) | 一种压力表快速安装装置 | |
JPH1072093A (ja) | 圧力タンク | |
CN212301436U (zh) | 一种可调节的试件筒后板 | |
JPH0342328Y2 (ru) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150702 |