RU2005102483A - Емкостный датчик давления - Google Patents

Емкостный датчик давления Download PDF

Info

Publication number
RU2005102483A
RU2005102483A RU2005102483/28A RU2005102483A RU2005102483A RU 2005102483 A RU2005102483 A RU 2005102483A RU 2005102483/28 A RU2005102483/28 A RU 2005102483/28A RU 2005102483 A RU2005102483 A RU 2005102483A RU 2005102483 A RU2005102483 A RU 2005102483A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pressure sensor
support ring
sensor according
measuring cell
ring
Prior art date
Application number
RU2005102483/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2295708C2 (ru
Inventor
Ульферт ДРЭВЕС (DE)
Ульферт ДРЭВЕС
Игорь ГЕТМАН (DE)
Игорь ГЕТМАН
Франк ХЕГНЕР (DE)
Франк ХЕГНЕР
Original Assignee
Эндресс+Хаузер Гмбх+Ко. Кг (De)
Эндресс+Хаузер Гмбх+Ко. Кг
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эндресс+Хаузер Гмбх+Ко. Кг (De), Эндресс+Хаузер Гмбх+Ко. Кг filed Critical Эндресс+Хаузер Гмбх+Ко. Кг (De)
Publication of RU2005102483A publication Critical patent/RU2005102483A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2295708C2 publication Critical patent/RU2295708C2/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/02Arrangements for preventing, or for compensating for, effects of inclination or acceleration of the measuring device; Zero-setting means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0075Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Claims (12)

1. Датчик давления, содержащий измерительную ячейку давления, содержащую, по существу, цилиндрический основной корпус с первым диаметром и первой толщиной, установленную на торцевой поверхности основного корпуса измерительную мембрану со вторым диаметром и второй толщиной, при этом указанная ячейка зажата в осевом направлении между упругим уплотнительным кольцом с третьим диаметром и третьей толщиной, которое прилегает к расположенной со стороны мембраны торцевой поверхности измерительной ячейки давления, и опорным кольцом с четвертым наружным диаметром, четвертым внутренним диаметром и четвертой толщиной, при этом опорное кольцо является опорой для противоположной измерительной мембране задней торцевой поверхности ячейки, отличающийся тем, что размеры опорного кольца так согласованы с размерами уплотнительного кольца и измерительной ячейки давления, что обусловленная осевым зажимом ячейки измерения давления радиальная деформация расположенной со стороны мембраны торцевой поверхности настолько мала, что обусловленная зажимом погрешность датчика давления при уменьшении радиальной зажимной силы, по меньшей мере, на 10% составляет не более чем 0,02%.
2. Датчик давления по п.1, отличающийся тем, что внутренний диаметр опорного кольца выбран так, что обусловленная натяжением погрешность при уменьшении зажимной силы, по меньшей мере, на 20% составляет не более чем 0,02%.
3. Датчик давления по п.1, отличающийся тем, что внутренний диаметр опорного кольца выбран так, что обусловленная зажимом погрешность при уменьшении зажимной силы, по меньшей мере, на 10 или 20% составляет не более чем около 0,01%.
4. Датчик давления по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что осевая зажимная сила составляет 350-550 Н.
5. Датчик давления по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что основной корпус и измерительная мембрана имеют одинаковый материал, в частности, керамический материал.
6. Датчик давления по п.5, отличающийся тем, что опорное кольцо и основной корпус имеют одинаковый материал.
7. Датчик давления по п.6, отличающийся тем, что опорное кольцо неподвижно соединено с основным корпусом.
8. Датчик давления по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что опорное кольцо имеет, по меньшей мере, толщину основного корпуса.
9. Датчик давления по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что дополнительно содержит корпус с камерой для размещения измерительной ячейки давления, при этом корпус имеет внутри осевую упорную поверхность, на которую в осевом направлении опирается уплотнительное кольцо, и резьбовое кольцо, которое входит в зацепление с внутренней резьбой в стенке камеры измерительной ячейки и оказывает осевое зажимное усилие на заднюю сторону опорного кольца, противоположную измерительной ячейке давления.
10. Датчик давления по п.9, отличающийся тем, что дополнительно содержит средства для минимизации трения между резьбовым кольцом и опорным кольцом.
11. Датчик давления по п.9, отличающийся тем, что коэффициент трения сцепления между опорным кольцом и резьбовым кольцом составляет менее 0,2.
12. Способ итеративной оптимизации размеров опорного кольца для датчика давления по любому из пп.1-3, содержащий стадии:
(i) выбор геометрических размеров для опорного кольца;
(ii) вычисление первого изменения зажима датчика давления при первой осевой зажимной силе;
(iii) вычисление второго изменения зажима датчика давления при второй осевой зажимной силе;
(iv) определение обусловленной зажимом погрешности посредством сравнения первого изменения зажима со вторым изменением зажима;
(v) оценка обусловленной зажимом погрешности; и
(vi) варьирование геометрических размеров опорного кольца и повторения стадий (ii)-(vi) до нахождения подходящих геометрических размеров для достаточно малой обусловленной зажимом погрешности.
RU2005102483/28A 2002-07-02 2003-07-01 Емкостный датчик давления и способ итеративной оптимизации размеров опорного кольца для датчика давления RU2295708C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10229703.7 2002-07-02
DE10229703A DE10229703A1 (de) 2002-07-02 2002-07-02 Kapazitiver Drucksensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2005102483A true RU2005102483A (ru) 2006-01-20
RU2295708C2 RU2295708C2 (ru) 2007-03-20

Family

ID=29723632

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005102483/28A RU2295708C2 (ru) 2002-07-02 2003-07-01 Емкостный датчик давления и способ итеративной оптимизации размеров опорного кольца для датчика давления

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7150197B2 (ru)
EP (1) EP1518097B1 (ru)
CN (1) CN100338452C (ru)
AT (1) ATE513193T1 (ru)
AU (1) AU2003238064A1 (ru)
DE (1) DE10229703A1 (ru)
RU (1) RU2295708C2 (ru)
WO (1) WO2004005875A1 (ru)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090120194A1 (en) * 2007-11-08 2009-05-14 Honeywell International Inc. Silicon pressure sensor
DE202008009317U1 (de) * 2008-07-11 2008-09-18 Kempchen Leuna Gmbh Dichtungsanordnung für eine Flanschverbindung
DE102010029955A1 (de) * 2010-06-10 2011-12-15 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Drucksensor mit einer zylindrischen Druckmesszelle
DE102010063065A1 (de) * 2010-12-14 2012-06-14 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Drucksensor und Verfahren zu dessen Herstellung+
DE102011006431A1 (de) 2011-03-30 2012-10-04 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Keramische Druckmesszelle und Drucksensor mit einer solchen Druckmesszelle
DE102011078557A1 (de) * 2011-07-01 2013-01-03 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Betreiben eines Absolut- oder Relativdrucksensors mit einem kapazitiven Wandler
US9103738B2 (en) 2012-09-07 2015-08-11 Dynisco Instruments Llc Capacitive pressure sensor with intrinsic temperature compensation
US8984952B2 (en) 2012-09-07 2015-03-24 Dynisco Instruments Llc Capacitive pressure sensor
US8943895B2 (en) 2012-09-07 2015-02-03 Dynisco Instruments Llc Capacitive pressure sensor
DE102013103028A1 (de) * 2013-03-25 2014-09-25 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Sinterkörper mit mehreren Werkstoffen und Druckmessgerät mit einem solchen Sinterkörper
DE102013105363A1 (de) * 2013-05-24 2014-11-27 Endress + Hauser Flowtec Ag Wirbelströmungsmesssensor und Wirbelströmungsmessaufnehmer zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit eines Fluids
DE102015110259A1 (de) * 2015-06-25 2016-12-29 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Drucksensormodul Messanordnung mit einem Drucksensormodul
DE102015219070A1 (de) * 2015-10-02 2017-04-06 Robert Bosch Gmbh Sensorvorrichtung zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums
CN107685230A (zh) * 2017-10-20 2018-02-13 平顶山市恒盛工贸有限公司 一种用于拆卸内部有压力设备的装置和拆卸方法
DE102021107078A1 (de) 2021-03-22 2022-09-22 Endress+Hauser SE+Co. KG Vorrichtung aus einem ersten Bauteil und einem zweiten Bauteil

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4370890A (en) * 1980-10-06 1983-02-01 Rosemount Inc. Capacitive pressure transducer with isolated sensing diaphragm
US5167158A (en) * 1987-10-07 1992-12-01 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Semiconductor film pressure sensor and method of manufacturing same
DE3901492A1 (de) * 1988-07-22 1990-01-25 Endress Hauser Gmbh Co Drucksensor und verfahren zu seiner herstellung
DE3912177A1 (de) * 1989-04-13 1990-10-18 Siemens Ag Drucksensor fuer den verbrennungsraum von kolben-verbrennungsmotoren
US5132658A (en) * 1990-04-19 1992-07-21 Sensym, Inc. Micromachined silicon potentiometer responsive to pressure
US5289721A (en) * 1990-09-10 1994-03-01 Nippondenso Co., Ltd. Semiconductor pressure sensor
US5163326A (en) * 1991-03-08 1992-11-17 Rosemount Inc. Line pressure compensator for a pressure transducer
JPH05223674A (ja) * 1992-02-17 1993-08-31 Yokogawa Electric Corp 差圧伝送器
DE4213857C2 (de) * 1992-04-27 1995-10-19 Endress Hauser Gmbh Co Vorrichtung zum Messen von Druck und Differenzdruck
DE4219177C2 (de) * 1992-06-09 1996-07-18 Mannesmann Ag Gehäuseeinspannung für einen Sensor
US5386729A (en) * 1993-09-22 1995-02-07 The Babcock & Wilcox Company Temperature compensated microbend fiber optic differential pressure transducer
DE4416978C2 (de) * 1994-05-13 2000-09-07 Ifm Electronic Gmbh Drucksensor
EP0757237B1 (de) * 1995-08-01 2002-04-10 Endress + Hauser GmbH + Co. Druckaufnehmer
DE19813756A1 (de) * 1998-03-27 1999-10-07 Siemens Ag Messung des Drucks eines Fluids
US6055864A (en) * 1998-04-14 2000-05-02 Mannesmann Vdo Ag Pressure sensor and method for its production
US6111340A (en) * 1999-04-12 2000-08-29 Schlumberger Technology Corporation Dual-mode thickness-shear quartz pressure sensors for high pressure and high temperature applications
JP2001343300A (ja) * 2000-06-05 2001-12-14 Denso Corp 圧力検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN1668905A (zh) 2005-09-14
EP1518097B1 (de) 2011-06-15
US20060096381A1 (en) 2006-05-11
EP1518097A1 (de) 2005-03-30
AU2003238064A1 (en) 2004-01-23
ATE513193T1 (de) 2011-07-15
DE10229703A1 (de) 2004-01-15
WO2004005875A1 (de) 2004-01-15
RU2295708C2 (ru) 2007-03-20
US7150197B2 (en) 2006-12-19
CN100338452C (zh) 2007-09-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2005102483A (ru) Емкостный датчик давления
US8925388B2 (en) Pressure sensor having a cylindrical pressure measuring cell
RU2005111235A (ru) Емкостный датчик давления и способ итерактивной оптимизации габаритов датчика давления
JP4909897B2 (ja) 分離を実施するデバイス、方法、および装置
ATE413594T1 (de) Drucksensor
EP2039967B1 (en) Shaft sealing device
CN87202741U (zh) 加工薄壁筒形工件的夹具
ATE291221T1 (de) Membran druckmessaufnehmer mit dichtung mit federring gegen verformung
JP4468996B2 (ja) 隔膜式圧力センサ
US6575048B1 (en) Sensor positioning assembly
CN114485451A (zh) 一种高精度的光纤光栅应力应变传感器
JPH08313379A (ja) 圧力センサ
JP4383618B2 (ja) 自動弁
JP2002022589A (ja) 耐腐食性のダイヤフラム圧力センサ
JP3314090B2 (ja) ガス圧支承装置
JP2009115674A (ja) 燃焼圧センサ
US7249515B2 (en) Capacitive pressure sensor
CN216433350U (zh) 一种抽空泵用气管压力测定装置
US8661892B2 (en) Filling-level measuring device
FR2605468A1 (fr) Pompe electromagnetique a induction
CN112556925B (zh) 火药真空安定性试验用压力传感器性能测试装置及方法
CN210513536U (zh) 一种压力表快速安装装置
JPH1072093A (ja) 圧力タンク
SU1290112A1 (ru) Переносной измеритель давлени в трубопроводе
JPH0342328Y2 (ru)

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150702