JPH05223674A - 差圧伝送器 - Google Patents
差圧伝送器Info
- Publication number
- JPH05223674A JPH05223674A JP2962492A JP2962492A JPH05223674A JP H05223674 A JPH05223674 A JP H05223674A JP 2962492 A JP2962492 A JP 2962492A JP 2962492 A JP2962492 A JP 2962492A JP H05223674 A JPH05223674 A JP H05223674A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- housing
- variation
- differential pressure
- seal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 周囲の温度変化によるスパン変化が小さな差
圧伝送器を提供することを目的とする。 【構成】 内部に封入液が満たされたハウジングと、該
ハウジングの両側に設けられ、前記ハウジングと膨張係
数の異なる一対のシールダイアフラムと、該シールダイ
アフラムが一定以上ハウジング側に変位するのを禁止す
る移動阻止手段と、前記ハウジング内に設けられた圧力
−電気変換素子を有するシリコンダイアフラムと、前記
ハウジングに前記差圧センサと共に高圧室,低圧室に２
分するように設けられ、前記ハウジングと膨張係数が異
なるセンタダイアフラムとを有する差圧伝送器におい
て、温度変化による硬さの変化の割合をセンタダイアフ
ラム７とシールダイアフラム１２,１３とで略等しくす
るように構成する。
圧伝送器を提供することを目的とする。 【構成】 内部に封入液が満たされたハウジングと、該
ハウジングの両側に設けられ、前記ハウジングと膨張係
数の異なる一対のシールダイアフラムと、該シールダイ
アフラムが一定以上ハウジング側に変位するのを禁止す
る移動阻止手段と、前記ハウジング内に設けられた圧力
−電気変換素子を有するシリコンダイアフラムと、前記
ハウジングに前記差圧センサと共に高圧室,低圧室に２
分するように設けられ、前記ハウジングと膨張係数が異
なるセンタダイアフラムとを有する差圧伝送器におい
て、温度変化による硬さの変化の割合をセンタダイアフ
ラム７とシールダイアフラム１２,１３とで略等しくす
るように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、内部に封入液が満たさ
れたハウジングと、該ハウジングの両側に設けられ、前
記ハウジングと膨張係数の異なる一対のシールダイアフ
ラムと、該シールダイアフラムが一定以上ハウジング側
に変位するのを禁止する移動阻止手段と、前記ハウジン
グ内に設けられた圧力−電気変換素子を有するシリコン
ダイアフラムと、前記ハウジングに前記差圧センサと共
に高圧室,低圧室に２分するように設けられ、前記ハウ
ジングと膨張係数が異なるセンタダイアフラムとを有す
る差圧伝送器に関する。
れたハウジングと、該ハウジングの両側に設けられ、前
記ハウジングと膨張係数の異なる一対のシールダイアフ
ラムと、該シールダイアフラムが一定以上ハウジング側
に変位するのを禁止する移動阻止手段と、前記ハウジン
グ内に設けられた圧力−電気変換素子を有するシリコン
ダイアフラムと、前記ハウジングに前記差圧センサと共
に高圧室,低圧室に２分するように設けられ、前記ハウ
ジングと膨張係数が異なるセンタダイアフラムとを有す
る差圧伝送器に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、差圧伝送器においては、ハウジ
ングは鋼、センタダイアフラムは高張力鋼や恒弾性材
料、シールダイアフラムはステンレス鋼や被測定液体が
腐食性流体の場合には、ステンレス鋼より更に耐食性の
高い材料が用いられている。
ングは鋼、センタダイアフラムは高張力鋼や恒弾性材
料、シールダイアフラムはステンレス鋼や被測定液体が
腐食性流体の場合には、ステンレス鋼より更に耐食性の
高い材料が用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のようにハウジン
グ,センタダイアフラム,シールダイアフラムの材質が異
なるために、膨張係数も当然異なっている。
グ,センタダイアフラム,シールダイアフラムの材質が異
なるために、膨張係数も当然異なっている。
【０００４】よって、差圧伝送器において、周囲温度が
変化すると、センタダイアフラム及びシールダイアフラ
ムは、径の方向に引っ張り、又は、圧縮の力が作用し、
センタダイアフラム,シールダイアフラムの硬さが変化
することにより、スパン変化が生じるという問題点があ
る。
変化すると、センタダイアフラム及びシールダイアフラ
ムは、径の方向に引っ張り、又は、圧縮の力が作用し、
センタダイアフラム,シールダイアフラムの硬さが変化
することにより、スパン変化が生じるという問題点があ
る。
【０００５】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、周囲温度の変化によるスパン変化が
小さな差圧伝送器を提供することにある。
ので、その目的は、周囲温度の変化によるスパン変化が
小さな差圧伝送器を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明は、内部に封入液が満たされたハウジングと、該ハウ
ジングの両側に設けられ、前記ハウジングと膨張係数の
異なる一対のシールダイアフラムと、該シールダイアフ
ラムが一定以上ハウジング側に変位するのを禁止する移
動阻止手段と、前記ハウジング内に設けられた圧力−電
気変換素子を有するシリコンダイアフラムと、前記ハウ
ジングに前記差圧センサと共に高圧室,低圧室に２分す
るように設けられ、前記ハウジングと膨張係数が異なる
センタダイアフラムとを有する差圧伝送器において、温
度変化による硬さの変化の割合を前記センタダイアフラ
ムとシールダイアフラムとで略等しくしたものである。
明は、内部に封入液が満たされたハウジングと、該ハウ
ジングの両側に設けられ、前記ハウジングと膨張係数の
異なる一対のシールダイアフラムと、該シールダイアフ
ラムが一定以上ハウジング側に変位するのを禁止する移
動阻止手段と、前記ハウジング内に設けられた圧力−電
気変換素子を有するシリコンダイアフラムと、前記ハウ
ジングに前記差圧センサと共に高圧室,低圧室に２分す
るように設けられ、前記ハウジングと膨張係数が異なる
センタダイアフラムとを有する差圧伝送器において、温
度変化による硬さの変化の割合を前記センタダイアフラ
ムとシールダイアフラムとで略等しくしたものである。
【０００７】
【作用】本発明の差圧伝送器において、温度変化による
硬さの変化の割合をセンタダイアフラムとシールダイア
フラムとで略等しくしたことにより、温度変化によるス
パン変化が小さくなる。
硬さの変化の割合をセンタダイアフラムとシールダイア
フラムとで略等しくしたことにより、温度変化によるス
パン変化が小さくなる。
【０００８】
【実施例】次に図面を用いて本発明の一実施例を説明す
る。図１は本発明の一実施例を説明する差圧伝送器の断
面構成図である。図において、１は首部１Ａ,受圧部１
Ｂより構成されるハウジングである。このハウジング１
の受圧部１Ｂの一方の側面には、中央部に導入口４が穿
設された高圧側フランジ２が、他方の側面には、中央部
に導入口５が穿設された低圧側フランジ３がＯリング１
８を介して取り付けられている。そして、高圧側フラン
ジ２とハウジング１との間には、圧力導入室１０が、低
圧側フランジ３とハウジング１との間には圧力導入室１
１がそれぞれ形成されている。更に、圧力導入室１０,
１１のハウジング１側の面には、波形に形成された移動
阻止手段としてのバックアッププレート１０Ａ,１１Ａ
が設けられている。
る。図１は本発明の一実施例を説明する差圧伝送器の断
面構成図である。図において、１は首部１Ａ,受圧部１
Ｂより構成されるハウジングである。このハウジング１
の受圧部１Ｂの一方の側面には、中央部に導入口４が穿
設された高圧側フランジ２が、他方の側面には、中央部
に導入口５が穿設された低圧側フランジ３がＯリング１
８を介して取り付けられている。そして、高圧側フラン
ジ２とハウジング１との間には、圧力導入室１０が、低
圧側フランジ３とハウジング１との間には圧力導入室１
１がそれぞれ形成されている。更に、圧力導入室１０,
１１のハウジング１側の面には、波形に形成された移動
阻止手段としてのバックアッププレート１０Ａ,１１Ａ
が設けられている。
【０００９】ハウジング１の内部には、圧力測定室６が
形成され、連通孔１４及び連通孔１５を介して圧力導入
室１０及び圧力導入室１１に接続されている。又、圧力
導入室１０,１１には、バックアッププレート１０Ａ,１
１Ａを覆うようにシールダイアフラム１２,１３が設け
られている。
形成され、連通孔１４及び連通孔１５を介して圧力導入
室１０及び圧力導入室１１に接続されている。又、圧力
導入室１０,１１には、バックアッププレート１０Ａ,１
１Ａを覆うようにシールダイアフラム１２,１３が設け
られている。
【００１０】一方、圧力測定室６には、両面にバックプ
レート６Ａ,６Ｂが形成されたセンタダイアフラム７で
２分されている。ハウジング１の首部１Ａには、上面が
開放されたセンサ室８２が形成され、このセンサ室８２
を塞ぐように支持体９が取り付けられている。支持体９
には、シリコンダイアフラム８が設けられ、シリコンダ
イアフラム８と支持体９との間には、センサ室８１が形
成されている。そして、シリコンダイアフラム８上に
は、圧力−電気変換素子としてのストレインゲージ８０
が取り付けられている。
レート６Ａ,６Ｂが形成されたセンタダイアフラム７で
２分されている。ハウジング１の首部１Ａには、上面が
開放されたセンサ室８２が形成され、このセンサ室８２
を塞ぐように支持体９が取り付けられている。支持体９
には、シリコンダイアフラム８が設けられ、シリコンダ
イアフラム８と支持体９との間には、センサ室８１が形
成されている。そして、シリコンダイアフラム８上に
は、圧力−電気変換素子としてのストレインゲージ８０
が取り付けられている。
【００１１】又、圧力測定室６とセンサ室８１とは連通
孔１６で、圧力測定室６とセンサ室８２とは連通孔１７
とで、それぞれ連絡されている。そして、連通孔１４,
圧力測定室６,連通孔１６及びセンサ室８１は封入液１
０１で、連通孔１５,圧力測定室６,連通孔１７及びセン
サ室８２は封入液１０２で、それぞれ充填されている。
孔１６で、圧力測定室６とセンサ室８２とは連通孔１７
とで、それぞれ連絡されている。そして、連通孔１４,
圧力測定室６,連通孔１６及びセンサ室８１は封入液１
０１で、連通孔１５,圧力測定室６,連通孔１７及びセン
サ室８２は封入液１０２で、それぞれ充填されている。
【００１２】また、本実施例では、センタダイアフラム
７とシールダイアフラム１２,１３の材質を、温度変化
による硬さの変化の割合が略等しくなるような材質に設
定している。
７とシールダイアフラム１２,１３の材質を、温度変化
による硬さの変化の割合が略等しくなるような材質に設
定している。
【００１３】次に、上記構成の作動を説明する。高圧側
に作用する圧力ＰH,低圧側に作用する圧力ＰLは、それ
ぞれシールダイアフラム１２,１３及び封入液１０１,１
０２を介してシリコンダイアフラム８のそれぞれの面に
作用し、シリコンダイアフラム８は撓む。この撓みをス
トレインゲージ８０で検出し、ストレインゲージ８０は
差圧を電気信号に変換し出力する。この時、センタダイ
アフラム７が低圧側に変形し、差圧による封入液１０
１,１０２移動を吸収する。
に作用する圧力ＰH,低圧側に作用する圧力ＰLは、それ
ぞれシールダイアフラム１２,１３及び封入液１０１,１
０２を介してシリコンダイアフラム８のそれぞれの面に
作用し、シリコンダイアフラム８は撓む。この撓みをス
トレインゲージ８０で検出し、ストレインゲージ８０は
差圧を電気信号に変換し出力する。この時、センタダイ
アフラム７が低圧側に変形し、差圧による封入液１０
１,１０２移動を吸収する。
【００１４】又、高圧側又は低圧側に過大圧が作用する
と、過大圧が作用した方のシールダイアフラム１２又は
１３がバックプレート１０Ａ又は１１Ａに着座すると共
に、連通孔１４又は１５の開口を塞ぐので、シリコンダ
イアフラム８へそれ以上の圧力の伝達されないようにな
っている。
と、過大圧が作用した方のシールダイアフラム１２又は
１３がバックプレート１０Ａ又は１１Ａに着座すると共
に、連通孔１４又は１５の開口を塞ぐので、シリコンダ
イアフラム８へそれ以上の圧力の伝達されないようにな
っている。
【００１５】又、ダイアフラムの硬さを表す定数とし
て、単位面積当たりの排除容量をΦとし、センタダイア
フラム７のみがＫc(％)硬さが変化したとすると、差圧
伝送器の出力としてのスパンエラーＺc(％)は、 Φs≫Φc の場合、 (Φs;シールダイアフラム,Φc;セン
タダイアフラム) Ｚc＝−２×（Φs／Φc）×Ｋc で表される。
て、単位面積当たりの排除容量をΦとし、センタダイア
フラム７のみがＫc(％)硬さが変化したとすると、差圧
伝送器の出力としてのスパンエラーＺc(％)は、 Φs≫Φc の場合、 (Φs;シールダイアフラム,Φc;セン
タダイアフラム) Ｚc＝−２×（Φs／Φc）×Ｋc で表される。
【００１６】同様に、シールダイアフラム１２,１３の
みが、Ｋs(％)硬さが変化したとすると、差圧伝送器と
してのスパンエラーＺc(％)は、 Φs≫Φc の場合、 Ｚc＝２×（Φs／Φc）×Ｋc となる。
みが、Ｋs(％)硬さが変化したとすると、差圧伝送器と
してのスパンエラーＺc(％)は、 Φs≫Φc の場合、 Ｚc＝２×（Φs／Φc）×Ｋc となる。
【００１７】よって、本実施例のようにそれぞれのダイ
アフラム７,１２,１３の硬さ変化の割合Ｋc及びＫsの値
を略等しくすれば、差圧伝送器としてのスパンエラーを
小さくすることが可能となる。
アフラム７,１２,１３の硬さ変化の割合Ｋc及びＫsの値
を略等しくすれば、差圧伝送器としてのスパンエラーを
小さくすることが可能となる。
【００１８】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、周囲
温度の変化によるスパン変化が小さな差圧伝送器を実現
することことができる。
温度の変化によるスパン変化が小さな差圧伝送器を実現
することことができる。
【図１】本発明の一実施例を説明する差圧伝送器の断面
構成図である。
構成図である。
１ ハウジング ７ センタダイアフラム ８ シリコンダイアフラム １２,１３ シールダイアフラム
Claims (1)
- 【請求項１】 内部に封入液が満たされたハウジング
と、該ハウジングの両側に設けられ、前記ハウジングと
膨張係数の異なる一対のシールダイアフラムと、該シー
ルダイアフラムが一定以上ハウジング側に変位するのを
禁止する移動阻止手段と、前記ハウジング内に設けられ
た圧力−電気変換素子を有するシリコンダイアフラム
と、前記ハウジングに前記差圧センサと共に高圧室,低
圧室に２分するように設けられ、前記ハウジングと膨張
係数が異なるセンタダイアフラムとを有する差圧伝送器
において、 温度変化による硬さの変化の割合を前記センタダイアフ
ラムとシールダイアフラムとで略等しくしたことを特徴
とする差圧伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2962492A JPH05223674A (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2962492A JPH05223674A (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 差圧伝送器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223674A true JPH05223674A (ja) | 1993-08-31 |
Family
ID=12281247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2962492A Pending JPH05223674A (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05223674A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005539240A (ja) * | 2002-09-16 | 2005-12-22 | エンドレス ウント ハウザー ゲーエムベーハー ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 静電容量式圧力センサ |
| US7150197B2 (en) * | 2002-07-02 | 2006-12-19 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Capacitive pressure sensor |
-
1992
- 1992-02-17 JP JP2962492A patent/JPH05223674A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7150197B2 (en) * | 2002-07-02 | 2006-12-19 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Capacitive pressure sensor |
| JP2005539240A (ja) * | 2002-09-16 | 2005-12-22 | エンドレス ウント ハウザー ゲーエムベーハー ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 静電容量式圧力センサ |
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