RU2005107328A - Устройство измерения давления с емкостным датчиком в цепи обратной связи усилителя - Google Patents

Устройство измерения давления с емкостным датчиком в цепи обратной связи усилителя Download PDF

Info

Publication number
RU2005107328A
RU2005107328A RU2005107328/28A RU2005107328A RU2005107328A RU 2005107328 A RU2005107328 A RU 2005107328A RU 2005107328/28 A RU2005107328/28 A RU 2005107328/28A RU 2005107328 A RU2005107328 A RU 2005107328A RU 2005107328 A RU2005107328 A RU 2005107328A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
measuring device
pressure measuring
pressure
circuit
amplifier
Prior art date
Application number
RU2005107328/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2319124C2 (ru
Inventor
Джон П. ШУЛЬТЕ (US)
Джон П. ШУЛЬТЕ
Original Assignee
Роузмаунт Инк. (US)
Роузмаунт Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Роузмаунт Инк. (US), Роузмаунт Инк. filed Critical Роузмаунт Инк. (US)
Publication of RU2005107328A publication Critical patent/RU2005107328A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2319124C2 publication Critical patent/RU2319124C2/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/12Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
    • G01L9/125Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor with temperature compensating means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Claims (28)

1. Устройство измерения давления для регистрации давления в промышленном производстве, содержащее цифровую схему синхронизации, обеспечивающую возбуждающий синхросигнал и управляющий выходной сигнал; первый интегратор, включающий в себя первый ключ, управляемый управляющим выходным сигналом, первый усилитель, а также емкостной преобразователь давления, контактирующий с жидкостью, использующейся в промышленном производстве, а также имеющий первую чувствительную к давлению емкость, электрически включенную в цепь обратной связи усилителя между выходом и входом первого усилителя, первый ключ, включенный параллельно первой чувствительной к давлению емкости; усилитель, обеспечивающий выходной сигнал, отображающий давление; а также первую эталонную емкость, не чувствительную к давлению и включенную между возбуждающим синхронизатором и входом первого усилителя.
2. Устройство измерения давления по п.1, дополнительно содержащее суммирующую схему, получающую выходной сигнал первого усилителя и первый опорный потенциал; причем суммирующая схема обеспечивает выходной сигнал, отображающий давление.
3. Устройство измерения давления по п.2, дополнительно содержащее второй интегратор, включающий в себя второй ключ, управляемый управляющим выходным сигналом, второй усилитель, а также вторую чувствительную к давлению емкость, включенную в цепь обратной связи второго усилителя между выходом и входом второго усилителя, второй ключ, включенный параллельно второй чувствительной к давлению емкости, а также соединение выхода второго усилителя с суммирующей схемой; а также вторую эталонную емкость, не чувствительную к давлению и включенную между возбуждающим синхронизатором и входом второго усилителя.
4. Устройство измерения давления по п.1, дополнительно содержащее первый делитель напряжения, включенный между возбуждающим синхросигналом и первым эталонным конденсатором.
5. Устройство измерения давления по п.4, дополнительно содержащее второй делитель напряжения, включенный между возбуждающим синхросигналом и вторым эталонным конденсатором.
6. Устройство измерения давления по п.4, в котором первый делитель напряжения содержит подогнанный по лазерной технологии резистор.
7. Устройство измерения давления по п.4, в котором первый делитель напряжения содержит регулируемый вручную потенциометр.
8. Устройство измерения давления по п.2, дополнительно содержащее регулируемую потенциальную схему, обеспечивающую первый опорный потенциал.
9. Устройство измерения давления по п.8, в котором регулируемая потенциальная схема включает в себя подогнанный по лазерной технологии резистор.
10. Устройство измерения давления по п.8, в котором регулируемая потенциальная схема включает в себя регулируемый вручную потенциометр.
11. Устройство измерения давления по п.8, в котором регулируемая потенциальная схема включает в себя аналоговый переключаемый делитель.
12. Устройство измерения давления по п.8, в котором регулируемая потенциальная схема включает в себя управляемое напряжением сопротивление.
13. Устройство измерения давления по п.8, в котором регулируемая потенциальная схема включает в себя емкостной делитель.
14. Устройство измерения давления по п.8, в котором регулируемая потенциальная схема включает в себя усилитель с программируемым коэффициентом усиления.
15. Устройство измерения дифференциального давления, содержащее первую и вторую эталонные емкости; первый интегратор, включающий первую чувствительную к давлению емкость, причем первый интегратор имеет первый вход, соединенный с первой эталонной емкостью, а также выход первого интегратора, изменяющийся в зависимости от первого отношения первой эталонной емкости к первой чувствительной к давлению емкости; второй интегратор, включающий вторую чувствительную к давлению емкость, причем второй интегратор имеет второй вход, соединенный со второй эталонной емкостью, а также выход второго интегратора, изменяющийся в зависимости от второго отношения второй эталонной емкости ко второй чувствительной к давлению емкости; суммирующую схему, получающую выходные сигналы первого и второго интеграторов и обеспечивающую выходной сигнал, амплитуда которого отображает дифференциальное давление между первым и вторым регистрируемыми давлениями; цифровую схему синхронизатора, подающую первый и второй возбуждающие синхросигналы на первый и второй эталонные конденсаторы, соответственно; а также первое отношение согласовано со вторым, когда первое регистрируемое давление практически равно второму регистрируемому давлению в пределах диапазона устройства измерения дифференциального давления.
16. Устройство измерения дифференциального давления по п.15, в котором первая эталонная емкость согласована со второй эталонной емкостью.
17. Устройство измерения дифференциального давления по п.15, в котором первая чувствительная к давлению емкость согласована со второй чувствительной к давлению емкостью, когда первое регистрируемое давление практически равно второму регистрируемому давлению в пределах диапазона устройства измерения дифференциального давления.
18. Устройство измерения дифференциального давления по п.15, в котором первая и вторая чувствительные к давлению емкости регистрируют первое и второе абсолютные давления, соответственно.
19. Устройство измерения дифференциального давления по п.15, в котором цифровая схема синхронизатора подает восстанавливающий синхросигнал к первой и второй схемам зарядовых интеграторов.
20. Устройство измерения дифференциального давления по п.15, содержащее схему выборки, получающую выходной сигнал суммирующей схемы и обеспечивающую двухпроводной 4-20 мА аналоговый выходной сигнал преобразователя, отображающий дифференциальное давление.
21. Устройство измерения дифференциального давления по п.20, в котором цифровая схема синхронизатора формирует фазу синхросигнала выборки, который подается на схему выборки.
22. Устройство измерения дифференциального давления по п.15, содержащее схему выборки, получающую выходной сигнал суммирующей схемы, что обеспечивает цифровое измерительное устройство, выходной сигнал которого отображает дифференциальное давление.
23. Устройство измерения дифференциального давления по п.15, в котором первый возбуждающий синхросигнал инвертирован относительно второго возбуждающего синхросигнала.
24. Устройство измерения дифференциального давления по п.23, в котором суммирующая схема содержит дифференциальный усилитель, а выходной сигнал суммирующей схемы отображает разность между первым и вторым выходами интегратора.
25. Устройство измерения дифференциального давления по п.15, в котором второй возбуждающий синхросигнал находится в противофазе с первым возбуждающим синхросигналом.
26. Устройство измерения дифференциального давления по п.25, в котором суммирующая схема содержит дифференциальный усилитель, а выходной сигнал суммирующей схемы отображает сумму первого и второго выходов интегратора.
27. Устройство измерения дифференциального давления по п.15, в котором суммирующая схема содержит первое входное сопротивление, включенное в схему первого интегратора, и содержит второе входное сопротивление, включенное в схему второго интегратора, причем сопротивление, выбранное из первого входного резистора и второго входного резистора, представляет собой подстроечное сопротивление.
28. Устройство измерения дифференциального давления по п.15, в котором суммирующая схема подключена непосредственно к двухпроводному 4-20 мА аналоговому выходу преобразователя, который формирует выходной сигнал, отображающий дифференциальное давление.
RU2005107328/28A 2002-08-16 2003-07-28 Устройство измерения давления с емкостным датчиком в цепи обратной связи усилителя RU2319124C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/222,260 US6828802B2 (en) 2002-08-16 2002-08-16 Pressure measurement device including a capacitive sensor in an amplifier feedback path
US10/222,260 2002-08-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2005107328A true RU2005107328A (ru) 2005-08-10
RU2319124C2 RU2319124C2 (ru) 2008-03-10

Family

ID=31714917

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005107328/28A RU2319124C2 (ru) 2002-08-16 2003-07-28 Устройство измерения давления с емкостным датчиком в цепи обратной связи усилителя

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6828802B2 (ru)
JP (1) JP2005535900A (ru)
CN (1) CN1675527B (ru)
AU (1) AU2003265312A1 (ru)
DE (1) DE10393130B4 (ru)
RU (1) RU2319124C2 (ru)
WO (1) WO2004017036A2 (ru)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006002301A1 (en) * 2004-06-21 2006-01-05 Kele, Inc. Measuring the capacitance of a capacitive sensor with a microprocessor
FI117733B (fi) 2005-05-10 2007-01-31 Micro Analog Syst Oy Lineaarisoijapiiri
WO2007126731A2 (en) * 2006-03-29 2007-11-08 Rosemount Inc. Capacitance sensing circuit
WO2007111611A1 (en) * 2006-03-29 2007-10-04 Freescale Semiconductor, Inc. Methods and apparatus for differential signaling using absolute pressure sensors
DE102006052748A1 (de) * 2006-08-14 2008-04-30 Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg Oszilloskop-Tastkopf
CH698425B1 (de) * 2006-12-01 2009-08-14 Hsr Hochschule Fuer Technik Ra Anordnung zum Messen einer physikalischen Grösse.
US8766720B2 (en) * 2012-06-29 2014-07-01 Siemens Energy, Inc. Hybrid load differential amplifier operable in a high temperature environment of a turbine engine
JP5760652B2 (ja) * 2011-04-28 2015-08-12 セイコーエプソン株式会社 物理量検出装置および電子機器
DE102014200052A1 (de) * 2014-01-07 2015-07-09 Volkswagen Aktiengesellschaft Schaltungsanordnung mit einem Steuergerät mit integrierter oder nachgeschalteter Trenneinrichtung
DE102015008485A1 (de) * 2015-07-01 2017-01-05 Leopold Kostal Gmbh & Co. Kg Verfahren zum Messen eines Kapazitätswertes
CN105404420B (zh) * 2015-11-04 2018-03-09 宸鸿科技(厦门)有限公司 压力感测信号处理方法及其系统
US10070222B1 (en) * 2017-02-16 2018-09-04 Akustica, Inc. Microphone system having microphone transducer in feedback loop with adjustable frequency -3dB point and improved settling speed

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4149231A (en) * 1977-05-04 1979-04-10 Bunker Ramo Corporation Capacitance-to-voltage transformation circuit
US4187459A (en) 1978-02-13 1980-02-05 Automatic Systems Laboratories Limited Digital measurement of impedance ratios
US4322977A (en) * 1980-05-27 1982-04-06 The Bendix Corporation Pressure measuring system
US4598381A (en) 1983-03-24 1986-07-01 Rosemount Inc. Pressure compensated differential pressure sensor and method
JPS6165114A (ja) * 1984-09-06 1986-04-03 Yokogawa Hokushin Electric Corp 容量式変換装置
JPS6180336A (ja) 1984-09-26 1986-04-23 Nec Corp プログラム試験方式
US4743836A (en) * 1985-12-06 1988-05-10 United Technologies Corporation Capacitive circuit for measuring a parameter having a linear output voltage
US4831325A (en) 1987-04-01 1989-05-16 General Signal Corporation Capacitance measuring circuit
US5028876A (en) * 1989-01-30 1991-07-02 Dresser Industries, Inc. Precision capacitive transducer circuits and methods
JPH04329371A (ja) * 1991-05-01 1992-11-18 Nissan Motor Co Ltd 静電容量式力学量センサ
JPH06180336A (ja) 1992-12-14 1994-06-28 Nippondenso Co Ltd 静電容量式物理量検出装置
US5606513A (en) 1993-09-20 1997-02-25 Rosemount Inc. Transmitter having input for receiving a process variable from a remote sensor
JP3218448B2 (ja) 1994-10-20 2001-10-15 株式会社トーキン 静電容量型圧力センサ
JP3218449B2 (ja) 1994-10-21 2001-10-15 株式会社トーキン 静電容量型圧力センサ
US5637802A (en) 1995-02-28 1997-06-10 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates
JP2972552B2 (ja) * 1995-05-26 1999-11-08 日本電気株式会社 容量型センサ用検出回路および検出方法
DE19625666C1 (de) * 1996-06-26 1998-01-15 Siemens Ag Ausleseschaftung und kapazitiv messender Senser
US5942692A (en) * 1997-04-10 1999-08-24 Mks Instruments, Inc. Capacitive pressure sensing method and apparatus avoiding interelectrode capacitance by driving with in-phase excitation signals
US5770802A (en) * 1997-04-16 1998-06-23 Texas Instruments Incorporated Sensor with improved capacitive to voltage converter integrated circuit
JPH11211596A (ja) * 1998-01-28 1999-08-06 Fujikoki Corp 静電容量型圧力センサ用圧力検出回路
EP1101079B1 (en) * 1998-07-07 2003-09-10 THE GOODYEAR TIRE & RUBBER COMPANY Dual output capacitance interface circuit
JP4352562B2 (ja) * 2000-03-02 2009-10-28 株式会社デンソー 信号処理装置
US6518880B2 (en) * 2000-06-28 2003-02-11 Denso Corporation Physical-quantity detection sensor
US6516672B2 (en) * 2001-05-21 2003-02-11 Rosemount Inc. Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter
JP4336066B2 (ja) * 2001-07-11 2009-09-30 株式会社豊田中央研究所 静電容量型センサ装置
SG104277A1 (en) * 2001-09-24 2004-06-21 Inst Of Microelectronics Circuit for measuring changes in capacitor gap using a switched capacitor technique

Also Published As

Publication number Publication date
DE10393130B4 (de) 2019-01-24
WO2004017036A3 (en) 2004-03-25
JP2005535900A (ja) 2005-11-24
CN1675527B (zh) 2010-07-21
RU2319124C2 (ru) 2008-03-10
US6828802B2 (en) 2004-12-07
WO2004017036A2 (en) 2004-02-26
US20040032268A1 (en) 2004-02-19
DE10393130T5 (de) 2005-08-25
CN1675527A (zh) 2005-09-28
AU2003265312A1 (en) 2004-03-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2005107328A (ru) Устройство измерения давления с емкостным датчиком в цепи обратной связи усилителя
EP0375300B1 (en) A combined output and drive circuit for a mass flow transducer
JP4906006B2 (ja) 静電容量検出回路
JPH04230599A (ja) 測定値検出および伝送装置
GB1335349A (en) Transducer circuitry for converting an input parameter to a dc current signal
US8164352B2 (en) Capacitance detecting apparatus
JPH07507391A (ja) 圧力トランスジューサの補正装置
EP0411058B1 (en) Capacitive pressure sensor
CN104101368A (zh) 基于全差分开关电容原理的电容式传感器检测读出电路
CA2136760C (en) Digital transducer system
US4459856A (en) CMOS Bridge for capacitive pressure transducers
JPH0774767B2 (ja) 容量性圧力変換システム
JPS6344176A (ja) 多重変換器からディジタル出力を得るシステム及び方法
CN102226825B (zh) 全数字差动电容检测装置
RU2379831C2 (ru) Мультифазная измерительная система с синхронизированными сигма-дельта конверторами
JPS6336246Y2 (ru)
EP3029444B1 (en) Capacitive sensor
CN202453137U (zh) 数字式压力差压变送器
CN107314799B (zh) 一种用于纳升级液位传感器的微弱电容检测电路
RU2272298C1 (ru) Емкостный преобразователь перемещений
SU1026079A1 (ru) Устройство дл измерени составл ющих комплексного сопротивлени датчиков
CN115840061A (zh) 一种石英挠性加速度计数字闭环控制及测量电路
SU1597548A1 (ru) Датчик угла наклона объекта
RU2168729C1 (ru) Емкостной преобразователь
RU2185605C1 (ru) Емкостный измеритель уровня

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180729