JP3218448B2 - 静電容量型圧力センサ - Google Patents

静電容量型圧力センサ

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JP3218448B2
JP3218448B2 JP25494094A JP25494094A JP3218448B2 JP 3218448 B2 JP3218448 B2 JP 3218448B2 JP 25494094 A JP25494094 A JP 25494094A JP 25494094 A JP25494094 A JP 25494094A JP 3218448 B2 JP3218448 B2 JP 3218448B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧力を検出する静電容
量型圧力センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、静電容量型圧力センサして、
図２に示すものが知られている。この静電容量型圧力セ
ンサは、発振回路１と、これに接続されているスイッチ
トキャパシタ回路２と、これに接続されている整流回路
３とを具備している。
【０００３】前記スイッチトキャパシタ回路２は、オペ
アンプ４と、このオペアンプ４の反転入力端子と前記発
振回路１との間に接続されている感圧コンデンサ５と、
前記オペアンプ４の反転入力端子と出力端子の間に接続
されている増幅度設定用のコンデンサ６と、このコンデ
ンサ６に並列に接続されていると共に前記発振回路１に
接続されているアナログスイッチ７と、前記オペアンプ
４の反転入力端子に接続されている基準コンデンサ８
と、この基準コンデンサ８と前記発振回路１の間に接続
されているインバータ９とを有する。
【０００４】この静電容量型圧力センサにおいては、前
記アナログスイッチ７を発振回路１と同期してスイッチ
ングさせると、感圧コンデンサ５と基準コンデンサ８の
静電容量の差に比例した半波の振幅変調の出力が得られ
る。この場合に、前記感圧コンデンサ５とコンデンサ６
と基準コンデンサ８の静電容量をそれぞれＣs 、Ｃiお
よびＣr とすると、出力電圧Ｖout は，次の数１で表さ
れる。
【０００５】
【数１】 この数１において、Ｖp は感圧コンデンサと基準コンデ
ンサへの印加電圧である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の静電容量型圧力
センサにおいては、ダイアフラムの変位が印加圧力に比
例するから、感圧コンデンサ５の静電容量Ｃs が次の数
２で表される。
【０００７】
【数２】 この数２において、ｗ（p)は印加電圧に対するダイヤフ
ラムの変位量を示し、εは空気の誘電率を示し、Ｓはダ
イヤフラムの面積を示し、ｄはダイヤフラムのギャップ
長を示している。
【０００８】従来の静電容量型圧力センサにおいては、
前記数１および数２から明らかなように、出力電圧Ｖｏ
ｕｔは、印加圧力に比例しないという問題がある。
【０００９】本発明の目的は、出力電圧が印加圧力に比
例する静電容量型圧力センサを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために、発振回路と、この発振回路の出力端子に
接続されているスイッチトキャパシタ回路とを具備し、
前記スイッチトキャパシタ回路は、オペアンプと、この
オペアンプの反転入力端子と前記発振回路との間に接続
されている基準コンデンサと、前記オペアンプの反転入
力端子と出力端子の間に接続されている感圧コンデンサ
と、この感圧コンデンサに並列に接続されていると共に
前記発振回路に接続されているアナログスイッチとを有
することを特徴とする。
【００１１】
【実施例】次に、本発明の１実施例を図面に基いて詳細
に説明する。
【００１２】図１に示すように、本発明の静電容量型圧
力センサは、発振回路１と、この発振回路１の出力端子
に接続されているスイッチトキャパシタ回路１０と、こ
のスイッチトキャパシタ回路１０の出力端子に接続され
ているサンプルホールド回路１１と、前記発振回路１の
出力端子と前記サンプルホールド回路１１との間に接続
されているモノステーブルマルチバイブレータ１２と、
前記サンプルホールド回路１１の出力端子に接続されて
いる増幅器１３とを具備している。
【００１３】前記スイッチトキャパシタ回路１１は、オ
ペアンプ４と、このオペアンプ４の反転入力端子と前記
発振回路１との間に接続されている基準コンデンサ８
と、前記オペアンプ４の反転入力端子と出力端子の間に
接続されている感圧コンデンサ５と、この感圧コンデン
サ５に並列に接続されていると共に前記発振回路１に接
続されているアナログスイッチ７とを有する。前記感圧
コンデンサ５は、外部から印加される圧力に応じてダイ
アフラムが変形しこのダイアフラムの変位に比例して静
電容量が変化するものである。
【００１４】前記アナログスイッチ７を発振回路１と同
期してスイッチングさせると、感圧コンデンサ５と基準
コンデンサ８の静電容量の差に比例した半波の振幅変調
の出力が得られる。この出力電圧Ｖout は，次の数３で
表される。
【００１５】
【数３】
【００１６】前記発振回路１の出力信号を受けるモノス
テーブルマルチバイブレータ１２は、タイミングパルス
を生成して前記サンプルホールド回路１１に与える。こ
のサンプルホールド回路１１は、タイミングパルスを受
けた時点のオペアンプ４の出力を保持して増幅器１３に
与える。前記感圧コンデンサ５への圧力が零である時と
所定の圧力の印加時の静電容量にばらつきがあっても、
前記増幅器１３のゲインとオフセットを調整すれば所定
の出力が得られる。
【００１７】
【発明の効果】本発明の静電容量型圧力センサは、出力
電圧が印加圧力に比例している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例を示すブロック図である。
【図２】従来の静電容量型圧力センサを示すブロック図
である。
【符号の説明】
１ 発振回路 ２ スイッチトキャパシタ回路 ３ 整流回路 ４ オペアンプ ５ 感圧コンデンサ ６ コンデンサ ７ アナログスイッチ ８ 基準コンデンサ ９ インバータ １０ スイッチトキャパシタ回路 １１ サンプルホールド回路 １２ モノステーブルマルチバイブレータ １３ 増幅器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−231973（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−223710（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−225162（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−6537（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 9/12 G01L 1/14

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 発振回路と、この発振回路の出力端子に
    接続されているスイッチトキャパシタ回路とを具備し、
    前記スイッチトキャパシタ回路は、オペアンプと、この
    オペアンプの反転入力端子と前記発振回路との間に接続
    されている基準コンデンサと、前記オペアンプの反転入
    力端子と出力端子の間に接続されている感圧コンデンサ
    と、この感圧コンデンサに並列に接続されていると共に
    前記発振回路に接続されているアナログスイッチとを有
    することを特徴とする静電容量型圧力センサ。
  2. 【請求項２】 発振回路と、この発振回路の出力端子に
    接続されているスイッチトキャパシタ回路と、このスイ
    ッチトキャパシタ回路の出力端子に接続されているサン
    プルホールド回路と、前記発振回路の出力端子と前記サ
    ンプルホールド回路との間に接続されているモノステー
    ブルマルチバイブレータとを具備し、前記スイッチトキ
    ャパシタ回路は、オペアンプと、このオペアンプの反転
    入力端子と前記発振回路との間に接続されている基準コ
    ンデンサと、前記オペアンプの反転入力端子と出力端子
    の間に接続されている感圧コンデンサと、この感圧コン
    デンサに並列に接続されていると共に前記発振回路に接
    続されているアナログスイッチとを有することを特徴と
    する静電容量型圧力センサ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2007091419A1 (ja) * 2006-02-07 2007-08-16 Pioneer Corporation 静電容量検出装置
KR100949565B1 (ko) 2008-04-02 2010-03-25 (주)엠아이디티 정전용량식 입력센서의 정전용량 추출회로

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6828802B2 (en) 2002-08-16 2004-12-07 Rosemount Inc. Pressure measurement device including a capacitive sensor in an amplifier feedback path
JP5760652B2 (ja) * 2011-04-28 2015-08-12 セイコーエプソン株式会社 物理量検出装置および電子機器

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007091419A1 (ja) * 2006-02-07 2007-08-16 Pioneer Corporation 静電容量検出装置
JP4902552B2 (ja) * 2006-02-07 2012-03-21 パイオニア株式会社 静電容量検出装置
US8164352B2 (en) 2006-02-07 2012-04-24 Pioneer Corporation Capacitance detecting apparatus
KR100949565B1 (ko) 2008-04-02 2010-03-25 (주)엠아이디티 정전용량식 입력센서의 정전용량 추출회로

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