JPH0968472A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH0968472A JPH0968472A JP22390195A JP22390195A JPH0968472A JP H0968472 A JPH0968472 A JP H0968472A JP 22390195 A JP22390195 A JP 22390195A JP 22390195 A JP22390195 A JP 22390195A JP H0968472 A JPH0968472 A JP H0968472A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- capacitor
- input terminal
- pressure
- operational amplifier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 出力電圧が温度に対して変動しない静電容量
型圧力センサを提供する。 【解決手段】 本発明の圧力センサは、パルス信号を発
生するパルス発生回路１と、これの出力端子に接続され
ているスイッチドキャパシタ回路８とを具備する。スイ
ッチドキャパシタ回路８は、オペアンプ３の反転入力端
子とパルス発生回路１との間に接続されている基準コン
デンサ４と、オペアンプ３の反転入力端子と出力端子の
間に接続されている感圧コンデンサ５と、この感圧コン
デンサ５に並列に接続されていると共にパルス発生回路
１に接続されているアナログスイッチ６と、オペアンプ
３の非反転入力端子に接続されている温度補償回路７と
を有する。
型圧力センサを提供する。 【解決手段】 本発明の圧力センサは、パルス信号を発
生するパルス発生回路１と、これの出力端子に接続され
ているスイッチドキャパシタ回路８とを具備する。スイ
ッチドキャパシタ回路８は、オペアンプ３の反転入力端
子とパルス発生回路１との間に接続されている基準コン
デンサ４と、オペアンプ３の反転入力端子と出力端子の
間に接続されている感圧コンデンサ５と、この感圧コン
デンサ５に並列に接続されていると共にパルス発生回路
１に接続されているアナログスイッチ６と、オペアンプ
３の非反転入力端子に接続されている温度補償回路７と
を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、静電容量型圧力セ
ンサの検出回路に関する。
ンサの検出回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、静電容量型圧力センサとして
図２に示すものが知られている。この静電容量型圧力セ
ンサは、パルス信号を発生するパルス発生回路１と、こ
れに接続されているスイッチドキャパシタ回路２とを具
備している。
図２に示すものが知られている。この静電容量型圧力セ
ンサは、パルス信号を発生するパルス発生回路１と、こ
れに接続されているスイッチドキャパシタ回路２とを具
備している。
【０００３】前記スイッチドキャパシタ回路２は、オペ
アンプ３と、このオペアンプ３の反転入力端子と前記パ
ルス発生回路１との間に接続されている基準コンデンサ
４と、前記オペアンプ５の反転入力端子と出力端子の間
に接続されている感圧コンデンサ５と、この感圧コンデ
ンサ５に並列に接続されていると共に前記パルス発生回
路１に接続されているアナログスイッチ６とを有する。
アンプ３と、このオペアンプ３の反転入力端子と前記パ
ルス発生回路１との間に接続されている基準コンデンサ
４と、前記オペアンプ５の反転入力端子と出力端子の間
に接続されている感圧コンデンサ５と、この感圧コンデ
ンサ５に並列に接続されていると共に前記パルス発生回
路１に接続されているアナログスイッチ６とを有する。
【０００４】この静電容量型圧力センサにおいては、前
記アナログスイッチ６をパルス発生回路１と同期してス
イッチングさせると、感圧コンデンサ５と基準コンデン
サ４の静電容量の差に比例した半波の振幅変調の出力が
得られる。この出力電圧Ｖou t は、次の数１で表され
る。
記アナログスイッチ６をパルス発生回路１と同期してス
イッチングさせると、感圧コンデンサ５と基準コンデン
サ４の静電容量の差に比例した半波の振幅変調の出力が
得られる。この出力電圧Ｖou t は、次の数１で表され
る。
【０００５】
【数１】
【０００６】ただし、数１において、Ｖp は感圧コンデ
ンサ５と基準コンデンサ４への印加電圧であり、Ｃs お
よびＣr は感圧コンデンサ５と基準コンデンサ４の静電
容量である。
ンサ５と基準コンデンサ４への印加電圧であり、Ｃs お
よびＣr は感圧コンデンサ５と基準コンデンサ４の静電
容量である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の静電容量型の圧
力センサでは、出力電圧が温度によって変動して印加圧
力に対して正確な出力電圧が出力されないから、圧力セ
ンサとしての精度を著しく悪化させ、また、温度により
出力電圧が変動するため圧力センサの利用範囲が狭めら
れていた。
力センサでは、出力電圧が温度によって変動して印加圧
力に対して正確な出力電圧が出力されないから、圧力セ
ンサとしての精度を著しく悪化させ、また、温度により
出力電圧が変動するため圧力センサの利用範囲が狭めら
れていた。
【０００８】本発明の目的は、出力電圧が温度に対して
変動しない静電容量型圧力センサを提供することにあ
る。
変動しない静電容量型圧力センサを提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために、パルス信号を発生するパルス発生回路
と、このパルス発生回路の出力端子に接続されているス
イッチドキャパシタ回路とを具備し、前記スイッチドキ
ャパシタ回路は、オペアンプの反転入力端子と前記パル
ス発生回路との間に接続されている基準コンデンサと前
記オペアンプの反転入力端子と出力端子の間に接続され
ている感圧コンデンサと、この感圧コンデンサに並列に
接続されていると共に前記パルス発生回路に接続されて
いるアナログスイッチを有する静電容量型圧力センサに
おいて、前記オペアンプの非反転入力端子に温度補償回
路を有することを特徴とする。
決するために、パルス信号を発生するパルス発生回路
と、このパルス発生回路の出力端子に接続されているス
イッチドキャパシタ回路とを具備し、前記スイッチドキ
ャパシタ回路は、オペアンプの反転入力端子と前記パル
ス発生回路との間に接続されている基準コンデンサと前
記オペアンプの反転入力端子と出力端子の間に接続され
ている感圧コンデンサと、この感圧コンデンサに並列に
接続されていると共に前記パルス発生回路に接続されて
いるアナログスイッチを有する静電容量型圧力センサに
おいて、前記オペアンプの非反転入力端子に温度補償回
路を有することを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、本発明の１実施例を図面に
基いて詳細に説明する。
基いて詳細に説明する。
【００１１】図１に示すように、本発明の静電容量型圧
力センサは、パルス発生回路１と、このパルス発生回路
１の出力端子に接続されているスイッチドキャパシタ回
路８とを具備している。
力センサは、パルス発生回路１と、このパルス発生回路
１の出力端子に接続されているスイッチドキャパシタ回
路８とを具備している。
【００１２】前記スイッチドキャパシタ回路８は、オペ
アンプ３と、このオペアンプ３の反転入力端子と前記パ
ルス発生回路１との間に接続されている基準コンデンサ
４と、前記オペアンプ３の反転入力端子と出力端子間に
接続されている感圧コンデンサ５と、この感圧コンデン
サ５に並列に接続されていると共に前記パルス発生回路
１に接続されているアナログスイッチ６と、前記オペア
ンプ３の非反転入力端子に接続している温度補償回路７
を有する。
アンプ３と、このオペアンプ３の反転入力端子と前記パ
ルス発生回路１との間に接続されている基準コンデンサ
４と、前記オペアンプ３の反転入力端子と出力端子間に
接続されている感圧コンデンサ５と、この感圧コンデン
サ５に並列に接続されていると共に前記パルス発生回路
１に接続されているアナログスイッチ６と、前記オペア
ンプ３の非反転入力端子に接続している温度補償回路７
を有する。
【００１３】前記感圧コンデンサ５は、外部から印加さ
れる圧力に応じてダイアフラムが変形しこのダイアフラ
ムの変位に比較して静電容量が変化するものである。前
記アナログスイッチ６をパルス発生回路１と同期してス
イッチングさせると、感圧コンデンサ５と基準コンデン
サ４の静電容量の差に比例した半波の振幅変調の出力が
得られる。この出力電圧Ｖout は、次の数２で表され
る。
れる圧力に応じてダイアフラムが変形しこのダイアフラ
ムの変位に比較して静電容量が変化するものである。前
記アナログスイッチ６をパルス発生回路１と同期してス
イッチングさせると、感圧コンデンサ５と基準コンデン
サ４の静電容量の差に比例した半波の振幅変調の出力が
得られる。この出力電圧Ｖout は、次の数２で表され
る。
【００１４】
【数２】
【００１５】この数２において、ＶR は前記オペアンプ
３の非反転入力端子への印加電圧である。このＶR の印
加電圧としてサーミスタ等の素子により構成されている
温度補償回路７の出力を用いることによりＶR の印加電
圧を変えて温度変化による出力電圧の変動のない静電容
量型圧力センサが得られる。
３の非反転入力端子への印加電圧である。このＶR の印
加電圧としてサーミスタ等の素子により構成されている
温度補償回路７の出力を用いることによりＶR の印加電
圧を変えて温度変化による出力電圧の変動のない静電容
量型圧力センサが得られる。
【００１６】
【発明の効果】本発明の静電容量型圧力センサは、出力
電圧が温度により変動しない。
電圧が温度により変動しない。
【図１】本発明の１実施例を示すブロック図である。
【図２】従来の静電容量型の圧力センサを示すブロック
図である。
図である。
１ パルス発生回路 ２ スイッチドキャパシタ回路 ３ 基準コンデンサ ４ 感圧コンデンサ ５ オペアンプ ６ アナログスイッチ ７ 温度補償回路 ８ スイッチドキャパシタ回路
Claims (1)
- 【請求項１】 パルス信号を発生するパルス発生回路
と、このパルス発生回路の出力端子に接続されているス
イッチドキャパシタ回路とを具備し、前記スイッチドキ
ャパシタ回路は、オペアンプの反転入力端子と前記パル
ス発生回路との間に接続されている基準コンデンサと前
記オペアンプの反転入力端子と出力端子の間に接続され
ている感圧コンデンサと、この感圧コンデンサに並列に
接続されていると共に前記パルス発生回路に接続されて
いるアナログスイッチを有する静電容量型圧力センサに
おいて、前記オペアンプの非反転入力端子に温度補償回
路を有することを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22390195A JPH0968472A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22390195A JPH0968472A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0968472A true JPH0968472A (ja) | 1997-03-11 |
Family
ID=16805490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22390195A Withdrawn JPH0968472A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0968472A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006058084A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Denso Corp | 容量式物理量検出装置 |
| JP2009020094A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Freescale Semiconductor Inc | センサユニット |
| JP2019101043A (ja) * | 2017-12-07 | 2019-06-24 | イーエム・ミクロエレクトロニク−マリン・エス アー | 物理的パラメーターを測定する電子デバイス |
-
1995
- 1995-08-31 JP JP22390195A patent/JPH0968472A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006058084A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Denso Corp | 容量式物理量検出装置 |
| JP2009020094A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Freescale Semiconductor Inc | センサユニット |
| JP2019101043A (ja) * | 2017-12-07 | 2019-06-24 | イーエム・ミクロエレクトロニク−マリン・エス アー | 物理的パラメーターを測定する電子デバイス |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4149231A (en) | Capacitance-to-voltage transformation circuit | |
| US4584885A (en) | Capacitive detector for transducers | |
| US4054833A (en) | Capacitance measuring system | |
| AU730847B2 (en) | Impedance detection apparatus and method | |
| EP0136248B1 (en) | Capacitive pressure transducer signal conditioning circuit | |
| US4656871A (en) | Capacitor sensor and method | |
| JP2000065664A (ja) | 静電容量式力学量センサ | |
| US20060250267A1 (en) | Capacitive-type physical quantity sensor | |
| US6316948B1 (en) | Charge balance network with floating ground capacitive sensing | |
| US4449409A (en) | Pressure measurement system with a constant settlement time | |
| EP1424562B1 (en) | Sensor capacity sensing apparatus and sensor capacity sensing method | |
| JPH0968472A (ja) | 圧力センサ | |
| JPH08327677A (ja) | 容量型センサ用検出回路および検出方法 | |
| JP2005140657A (ja) | 静電容量型センサの容量変化検出回路 | |
| JP4272267B2 (ja) | 静電容量型センサ回路 | |
| JP3218448B2 (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
| CN212133679U (zh) | 一种陀螺传感器模块 | |
| JP3804242B2 (ja) | 静電サーボ式物理量検出装置 | |
| JP2520137B2 (ja) | 位置検出装置 | |
| JP3218449B2 (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
| KR100302459B1 (ko) | 미세 거리/위치 측정용 정전 용량형 센서 콘트롤러의 비선형성 보정장치 | |
| JP3341363B2 (ja) | 湿度検出装置 | |
| JPH08292107A (ja) | 温度検出装置におけるサーミスタ素子の選択方法及び温度検出装置 | |
| JPH0454800A (ja) | 超音波センサ | |
| JP3356888B2 (ja) | 静電容量式センサの信号処理回路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021105 |