RU2004131678A - Оптический резонатор с высокой пиковой мощностью и комбинация из нескольких таких оптических резонаторов, предназначенных, в частности, для возбуждения генератора света в крайнем ультрафиолетовом диапазоне - Google Patents

Оптический резонатор с высокой пиковой мощностью и комбинация из нескольких таких оптических резонаторов, предназначенных, в частности, для возбуждения генератора света в крайнем ультрафиолетовом диапазоне Download PDF

Info

Publication number
RU2004131678A
RU2004131678A RU2004131678/28A RU2004131678A RU2004131678A RU 2004131678 A RU2004131678 A RU 2004131678A RU 2004131678/28 A RU2004131678/28 A RU 2004131678/28A RU 2004131678 A RU2004131678 A RU 2004131678A RU 2004131678 A RU2004131678 A RU 2004131678A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
optical
resonator
light pulses
laser
rods
Prior art date
Application number
RU2004131678/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2321121C2 (ru
Inventor
Пьер Ив ТРО (FR)
Пьер Ив ТРО
Жан-Марк ВЕЛЕРС (FR)
Жан-Марк ВЕЛЕРС
Мишель ЖИЛЬБЕР (FR)
Мишель ЖИЛЬБЕР
Original Assignee
Коммиссариат А Л` Энержи Атомик (Fr)
Коммиссариат А Л` Энержи Атомик
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Коммиссариат А Л` Энержи Атомик (Fr), Коммиссариат А Л` Энержи Атомик filed Critical Коммиссариат А Л` Энержи Атомик (Fr)
Publication of RU2004131678A publication Critical patent/RU2004131678A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2321121C2 publication Critical patent/RU2321121C2/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
    • H01S3/2383—Parallel arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
    • H01S3/1123—Q-switching
    • H01S3/117—Q-switching using intracavity acousto-optic devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06—Construction or shape of active medium
    • H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
    • H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
    • H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
    • H01S3/1123—Q-switching
    • H01S3/127—Plural Q-switches

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Claims (17)

1. Оптический резонатор с твердотельной усилительной средой, причем импульсный режим работы и накачку этого оптического резонатора обеспечивают с использованием непрерывно работающих диодов, и отличающийся тем, что содержит по меньшей мере два лазерных стержня, по меньшей мере одно средство включения световых импульсов, причем это средство включения установлено в части резонатора, в которой лазерный луч, генерируемый резонатором, имеет наименьшую степень расхождения, и два зеркала, которые ограничивают этот резонатор, одно из которых имеет высокую отражательную способность и другое выполнено частично отражающим.
2. Оптический резонатор по п.1, в котором лазерные стержни изготовлены из изотропного материала, такого как Nd:YAG или Yb:YAG, причем объемный резонатор также содержит средство поворота плоскости поляризации, установленное на пути луча в каждом из промежутков, сформированных двумя последовательно установленными стержнями, причем этот поворот, предпочтительно, составляет 90°.
3. Оптический резонатор по п.1, также содержащий, предпочтительно, рассеивающую линзу, установленную в середине каждого интервала между двумя соседними стержнями.
4. Оптический резонатор по п.1, в котором лазерный материал, из которого изготовлены лазерные стержни, выбирают из группы, включающей Nd:YAG, Nd:YLF, Nd:YALO, Yb:YAG, Nd:ScO3 и Yb:Y2O3.
5. Оптический резонатор по п.1, содержащий два стержня (38а, 38b), предпочтительно, изготовленные из, по существу, идентичного лазерного материала, и средство поворота плоскости поляризации установлено в объемном резонаторе между этими двумя стержнями.
6. Оптический резонатор по п.3, в котором средство включения импульсов, установленное в каждом импульсном оптическом резонаторе, содержит два модулятора добротности, расположенные в объемном резонаторе с каждой стороны средства поворота плоскости поляризации между средством поворота плоскости поляризации и лазерными стержнями.
7. Оптический резонатор по п.1, в котором средство (50, 52) включения представляет собой средство акустооптического типа.
8. Оптический резонатор по п.1, соединенный с одним или несколькими усилителями с одним проходом.
9. Лазерное устройство, отличающееся тем, что содержит по меньшей мере три импульсных оптических резонатора (2, 4, 6) по п.1 и средство (14) передачи этих световых импульсов, по существу, в одно место на цели (16) и, по существу, в один и тот же момент времени в этом месте, и что устройство также содержит средство (18) управления импульсными оптическими резонаторами, причем это средство управления выполнено так, что все средства включения, входящие в состав устройства, работают синхронно.
10. Устройство по п.9, содержащее, по меньшей мере, десять импульсных оптических резонаторов (2, 4, 6), установленных параллельно.
11. Устройство по п.9, в котором средство передачи световых импульсов содержит средство (80, 82, 90, 92) передачи этих световых импульсов на цель (16) по одному пути.
12. Устройство по п.9, также содержащее средство (74, 76, 78) модификации пространственного распределения светового импульса, получаемого в результате сложения световых импульсов, поступающих с выходов оптических резонаторов.
13. Устройство по п.9, в котором средство (18) управления оптическими резонаторами также позволяет модифицировать временное распределение светового импульса, получаемого в результате сложения световых импульсов, поступающих с выходов оптических резонаторов, для формирования составных импульсов.
14. Устройство по п.13, в котором профиль каждого составного импульса включает первый импульс воспламенения плазмы, которая образуется в результате взаимодействия световых импульсов с целью, временной интервал, в течение которого световая энергия, подаваемая на выход лазера, минимальна в течение роста плазмы, и затем второй импульс, составленный из нескольких элементарных импульсов, в соответствии с последовательностью, которая зависит от роста плазмы.
15. Устройство по п.9, также содержащее средство (18) модификации частоты повторения световых импульсов, излучаемых оптическими резонаторами, или последовательности этих световых импульсов, излучаемых оптическими резонаторами.
16. Устройство по п.13, позволяющее посылать на цель первый луч (F1) с высокой степенью фокусирования и затем прикладывать на цель остальную часть энергии света с более широкой фокусировкой.
17. Устройство по п.9, в котором цель (16) предназначена для генерирования света в крайней ультрафиолетовой области в результате взаимодействия со световыми импульсами, излучаемыми оптическими резонаторами (2, 4, 6).
RU2004131678/28A 2002-03-28 2003-03-26 Оптический резонатор с высокой пиковой мощностью и комбинация из нескольких таких оптических резонаторов, предназначенных, в частности, для возбуждения генератора света в крайнем ультрафиолетовом диапазоне RU2321121C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR02/03964 2002-03-28
FR0203964A FR2837990B1 (fr) 2002-03-28 2002-03-28 Cavite laser de forte puissance crete et association de plusieurs de ces cavites, notamment pour exciter un generateur de lumiere dans l'extreme ultraviolet

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2004131678A true RU2004131678A (ru) 2005-05-27
RU2321121C2 RU2321121C2 (ru) 2008-03-27

Family

ID=27839315

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004131678/28A RU2321121C2 (ru) 2002-03-28 2003-03-26 Оптический резонатор с высокой пиковой мощностью и комбинация из нескольких таких оптических резонаторов, предназначенных, в частности, для возбуждения генератора света в крайнем ультрафиолетовом диапазоне

Country Status (11)

Country Link
US (1) US20050117620A1 (ru)
EP (1) EP1490933B1 (ru)
JP (1) JP2005527971A (ru)
KR (1) KR100973036B1 (ru)
CN (1) CN1643750A (ru)
AT (1) ATE319205T1 (ru)
DE (1) DE60303799T2 (ru)
FR (1) FR2837990B1 (ru)
RU (1) RU2321121C2 (ru)
TW (1) TW200400673A (ru)
WO (1) WO2003084014A1 (ru)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6972421B2 (en) * 2000-06-09 2005-12-06 Cymer, Inc. Extreme ultraviolet light source
US7139294B2 (en) 2004-05-14 2006-11-21 Electro Scientific Industries, Inc. Multi-output harmonic laser and methods employing same
US7301981B2 (en) * 2004-12-09 2007-11-27 Electro Scientific Industries, Inc. Methods for synchronized pulse shape tailoring
US7396706B2 (en) * 2004-12-09 2008-07-08 Electro Scientific Industries, Inc. Synchronization technique for forming a substantially stable laser output pulse profile having different wavelength peaks
DE102004063832B4 (de) * 2004-12-29 2010-02-11 Xtreme Technologies Gmbh Anordnung zur Erzeugung eines gepulsten Laserstrahls hoher Durchschnittsleistung
JP4495014B2 (ja) * 2005-03-09 2010-06-30 富士通株式会社 波長多重光通信装置
US7522642B2 (en) * 2006-03-29 2009-04-21 Amo Development Llc Method and system for laser amplification using a dual crystal Pockels cell
JP5165210B2 (ja) * 2006-04-18 2013-03-21 三菱電機株式会社 Ｑスイッチレーザ装置
CN100438232C (zh) * 2006-12-31 2008-11-26 陕西西大科里奥光电技术有限公司 Ld侧面泵浦准连续高功率红、绿双波长激光器
JP2009231741A (ja) * 2008-03-25 2009-10-08 Ihi Corp レーザ共振器
US8189644B2 (en) * 2009-04-27 2012-05-29 Onyx Optics, Inc. High-efficiency Ho:YAG laser
WO2011013779A1 (ja) 2009-07-29 2011-02-03 株式会社小松製作所 極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法、およびそのプログラムを記録した記録媒体
US9072152B2 (en) 2010-03-29 2015-06-30 Gigaphoton Inc. Extreme ultraviolet light generation system utilizing a variation value formula for the intensity
US9072153B2 (en) * 2010-03-29 2015-06-30 Gigaphoton Inc. Extreme ultraviolet light generation system utilizing a pre-pulse to create a diffused dome shaped target
RU2505386C2 (ru) * 2011-09-28 2014-01-27 ООО Научно-производственный центр "Лазеры и аппаратура ТМ" Способ лазерной обработки материалов и устройство для его осуществления
JP5511882B2 (ja) * 2012-04-19 2014-06-04 ギガフォトン株式会社 極端紫外光源装置
US9267844B2 (en) * 2012-05-23 2016-02-23 Honeywell International Inc. Method and apparatus for correcting bias error in ring-down spectroscopy

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1614647A1 (de) * 1959-01-28 1970-07-09 Siemens Ag Optischer Molekularverstaerker fuer impulsfoermigen Betrieb
US5016251A (en) * 1990-03-28 1991-05-14 Spectra Physics, Lpd Q-switch driver
US5164823A (en) * 1990-12-21 1992-11-17 Kaman Aerospace Corporation Imaging lidar system employing multipulse single and multiple gating for single and stacked frames
US5197074A (en) * 1991-12-26 1993-03-23 Electro Scientific Industries, Inc. Multi-function intra-resonator loss modulator and method of operating same
US5321709A (en) * 1993-05-17 1994-06-14 Cygnus Laser Corporation Pulsed intracavity nonlinear optical frequency converter
US6016324A (en) * 1994-08-24 2000-01-18 Jmar Research, Inc. Short pulse laser system
US5500865A (en) * 1994-09-13 1996-03-19 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Phased cascading of multiple nonlinear optical elements for frequency conversion
CA2273040C (en) * 1996-11-29 2004-09-21 Corporation For Laser Optics Research Monochromatic r,g,b laser light source display system and method

Also Published As

Publication number Publication date
KR20040099376A (ko) 2004-11-26
EP1490933A1 (fr) 2004-12-29
US20050117620A1 (en) 2005-06-02
FR2837990A1 (fr) 2003-10-03
FR2837990B1 (fr) 2007-04-27
ATE319205T1 (de) 2006-03-15
EP1490933B1 (fr) 2006-03-01
KR100973036B1 (ko) 2010-07-29
TW200400673A (en) 2004-01-01
DE60303799T2 (de) 2006-10-12
DE60303799D1 (de) 2006-04-27
RU2321121C2 (ru) 2008-03-27
JP2005527971A (ja) 2005-09-15
WO2003084014A1 (fr) 2003-10-09
CN1643750A (zh) 2005-07-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2004131678A (ru) Оптический резонатор с высокой пиковой мощностью и комбинация из нескольких таких оптических резонаторов, предназначенных, в частности, для возбуждения генератора света в крайнем ультрафиолетовом диапазоне
US5790574A (en) Low cost, high average power, high brightness solid state laser
US9647417B2 (en) Laser device and method
KR101189525B1 (ko) 매우 높은 반복률의 협대역 가스방전 레이저 시스템
TW200633327A (en) Multiple wavelength laser workstation
JP2007531311A5 (ru)
JP3421193B2 (ja) 波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置
KR100371125B1 (ko) 저가의 평균 전력과 휘도가 높은 고상 펄스 레이저 시스템
KR100884512B1 (ko) 고-전력 Ｅｒ：ＹＡＧ 레이저
US20070019688A1 (en) Infra-red multi-wavelength laser source
JP2009500859A (ja) ダイオード励起レーザ
CA2195597C (en) Diode-pumped laser system using uranium-doped q-switch
JPH02260479A (ja) レーザ発振装置
JP3810716B2 (ja) Ｘ線発生装置及び発生方法
WO2007006092A1 (en) Diode pumped laser
US20120195342A1 (en) Configuration for Multiwavelength Emission with a CO2 Laser
AU2006269821B2 (en) Diode pumped laser
CN115799960A (zh) 脉冲泵浦激光器的热补偿方法及装置、激光器、电子设备
JP2002176214A (ja) パルス固体レーザ装置およびその励起方法
JPS63253686A (ja) パルスレ−ザ装置
JPH01274485A (ja) パルスレーザ装置
JPH0422052A (ja) Ｘ線管及びこのｘ線管を用いたガスレーザ発振装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150327