RU2004117399A - Способ очистки изделий из берилиевой керамики от примеси углерода - Google Patents

Способ очистки изделий из берилиевой керамики от примеси углерода Download PDF

Info

Publication number
RU2004117399A
RU2004117399A RU2004117399/09A RU2004117399A RU2004117399A RU 2004117399 A RU2004117399 A RU 2004117399A RU 2004117399/09 A RU2004117399/09 A RU 2004117399/09A RU 2004117399 A RU2004117399 A RU 2004117399A RU 2004117399 A RU2004117399 A RU 2004117399A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
ceramics
berilium
cleaning products
carbon impurity
inert gas
Prior art date
Application number
RU2004117399/09A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2258331C1 (ru
Inventor
Виктор Степанович Кийко (RU)
Виктор Степанович Кийко
Юрий Николаевич Макурин (RU)
Юрий Николаевич Макурин
Виктор Петрович Корчагин (RU)
Виктор Петрович Корчагин
Original Assignee
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образовани "Уральский государственный технический университет-УПИ" (RU)
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский государственный технический университет-УПИ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образовани "Уральский государственный технический университет-УПИ" (RU), Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский государственный технический университет-УПИ" filed Critical Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образовани "Уральский государственный технический университет-УПИ" (RU)
Priority to RU2004117399/09A priority Critical patent/RU2258331C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2258331C1 publication Critical patent/RU2258331C1/ru
Publication of RU2004117399A publication Critical patent/RU2004117399A/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)

Claims (1)

  1. Способ очистки изделий из керамики BeO от примеси углерода, заключающийся в бомбардировке поверхности положительно заряженными ионами инертного газа, отличающийся тем, что бомбардировку положительно заряженными ионами инертного газа проводят при напряжениях U=0,5÷2,0 кВ, токе I=5,0÷40,0 мкА, времени τ=5-20 мин, после этой обработки изделие нагревают в вакууме 10-7-10-9 Па до температуры 450-500°С, выдерживают в течение 15-20 мин и затем обрабатывают поверхность высокочастотной водородной плазмой при давлении плазмы не более 10-5 Па, токе разряда не более I=10,0 мкА, энергии атомов водорода 5,0÷8,0 эВ.
RU2004117399/09A 2004-06-07 2004-06-07 Способ очистки изделий из бериллиевой керамики от примеси углерода RU2258331C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2004117399/09A RU2258331C1 (ru) 2004-06-07 2004-06-07 Способ очистки изделий из бериллиевой керамики от примеси углерода

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2004117399/09A RU2258331C1 (ru) 2004-06-07 2004-06-07 Способ очистки изделий из бериллиевой керамики от примеси углерода

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2258331C1 RU2258331C1 (ru) 2005-08-10
RU2004117399A true RU2004117399A (ru) 2005-11-20

Family

ID=35845173

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004117399/09A RU2258331C1 (ru) 2004-06-07 2004-06-07 Способ очистки изделий из бериллиевой керамики от примеси углерода

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2258331C1 (ru)

Also Published As

Publication number Publication date
RU2258331C1 (ru) 2005-08-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109797363B (zh) 一种弧光电子源辅助离子氮化工艺
WO2017192249A1 (en) Plasma treatment process for in-situ chamber cleaning efficiency enhancement in plasma processing chamber
WO2008026712A1 (fr) procédé de génération de plasma, procédé de gravure de film en matériau organique, procédé de génération ionique négatif et procédé de traitement par oxydation ou nitruration
RU2013158315A (ru) Способ удаления слоев для твердых углеродных слоев
WO2009149526A8 (en) Plasma process and reactor for treating metallic pieces
KR101971773B1 (ko) 기판 처리 장치
EP1639149A4 (en) METHOD FOR PRODUCING A SUPERHARD COATING FROM AMORPHIC CARBON IN THE VACUUM
KR20160074397A (ko) 플라즈마 에칭 방법
Hayashi et al. Treatment of protein using oxygen plasma produced by RF discharge
RU2004117399A (ru) Способ очистки изделий из берилиевой керамики от примеси углерода
JP2007201029A (ja) 炭素材料が被着した被処理物の清浄方法
JP2006249539A (ja) 複合表面改質処理方法、装置および表面改質処理物
JP5904537B2 (ja) 非晶質炭素膜の成膜方法
RU2238999C1 (ru) Способ импульсно-периодической имплантации ионов и плазменного осаждения покрытий
Cisternas et al. TiN coatings on titanium substrates using plasma assisted ion implantation
Borisov et al. Effective processes for arc-plasma treatment in large vacuum chambers of technological facilities
WO2017113382A1 (zh) 一种钍钨电极渗碳处理工艺
Portnov et al. Nitrogening Hammers of the Grain Crusher of the Aknar Poultry Factory
JP2009001898A (ja) 真空処理方法及び真空処理装置
RU2711065C1 (ru) Способ ионной очистки в скрещенных электрических и магнитных полях перед вакуумной ионно-плазменной обработкой
JP2013008770A (ja) 成膜装置での堆積物クリーニング方法
EP2369028B1 (en) Method for nitriding metal alloys and device for carrying out said method
JP2004031461A5 (ru)
RU2009130532A (ru) Способ формирования сверхтвердого аморфного углеродного покрытия в вакууме
CN113066740B (zh) 一种半导体设备和清洗方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20060608