RU2004117399A - Способ очистки изделий из берилиевой керамики от примеси углерода - Google Patents
Способ очистки изделий из берилиевой керамики от примеси углерода Download PDFInfo
- Publication number
- RU2004117399A RU2004117399A RU2004117399/09A RU2004117399A RU2004117399A RU 2004117399 A RU2004117399 A RU 2004117399A RU 2004117399/09 A RU2004117399/09 A RU 2004117399/09A RU 2004117399 A RU2004117399 A RU 2004117399A RU 2004117399 A RU2004117399 A RU 2004117399A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- ceramics
- berilium
- cleaning products
- carbon impurity
- inert gas
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Claims (1)
- Способ очистки изделий из керамики BeO от примеси углерода, заключающийся в бомбардировке поверхности положительно заряженными ионами инертного газа, отличающийся тем, что бомбардировку положительно заряженными ионами инертного газа проводят при напряжениях U=0,5÷2,0 кВ, токе I=5,0÷40,0 мкА, времени τ=5-20 мин, после этой обработки изделие нагревают в вакууме 10-7-10-9 Па до температуры 450-500°С, выдерживают в течение 15-20 мин и затем обрабатывают поверхность высокочастотной водородной плазмой при давлении плазмы не более 10-5 Па, токе разряда не более I=10,0 мкА, энергии атомов водорода 5,0÷8,0 эВ.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2004117399/09A RU2258331C1 (ru) | 2004-06-07 | 2004-06-07 | Способ очистки изделий из бериллиевой керамики от примеси углерода |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2004117399/09A RU2258331C1 (ru) | 2004-06-07 | 2004-06-07 | Способ очистки изделий из бериллиевой керамики от примеси углерода |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2258331C1 RU2258331C1 (ru) | 2005-08-10 |
RU2004117399A true RU2004117399A (ru) | 2005-11-20 |
Family
ID=35845173
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2004117399/09A RU2258331C1 (ru) | 2004-06-07 | 2004-06-07 | Способ очистки изделий из бериллиевой керамики от примеси углерода |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2258331C1 (ru) |
-
2004
- 2004-06-07 RU RU2004117399/09A patent/RU2258331C1/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2258331C1 (ru) | 2005-08-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109797363B (zh) | 一种弧光电子源辅助离子氮化工艺 | |
WO2017192249A1 (en) | Plasma treatment process for in-situ chamber cleaning efficiency enhancement in plasma processing chamber | |
WO2008026712A1 (fr) | procédé de génération de plasma, procédé de gravure de film en matériau organique, procédé de génération ionique négatif et procédé de traitement par oxydation ou nitruration | |
RU2013158315A (ru) | Способ удаления слоев для твердых углеродных слоев | |
WO2009149526A8 (en) | Plasma process and reactor for treating metallic pieces | |
KR101971773B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
EP1639149A4 (en) | METHOD FOR PRODUCING A SUPERHARD COATING FROM AMORPHIC CARBON IN THE VACUUM | |
KR20160074397A (ko) | 플라즈마 에칭 방법 | |
Hayashi et al. | Treatment of protein using oxygen plasma produced by RF discharge | |
RU2004117399A (ru) | Способ очистки изделий из берилиевой керамики от примеси углерода | |
JP2007201029A (ja) | 炭素材料が被着した被処理物の清浄方法 | |
JP2006249539A (ja) | 複合表面改質処理方法、装置および表面改質処理物 | |
JP5904537B2 (ja) | 非晶質炭素膜の成膜方法 | |
RU2238999C1 (ru) | Способ импульсно-периодической имплантации ионов и плазменного осаждения покрытий | |
Cisternas et al. | TiN coatings on titanium substrates using plasma assisted ion implantation | |
Borisov et al. | Effective processes for arc-plasma treatment in large vacuum chambers of technological facilities | |
WO2017113382A1 (zh) | 一种钍钨电极渗碳处理工艺 | |
Portnov et al. | Nitrogening Hammers of the Grain Crusher of the Aknar Poultry Factory | |
JP2009001898A (ja) | 真空処理方法及び真空処理装置 | |
RU2711065C1 (ru) | Способ ионной очистки в скрещенных электрических и магнитных полях перед вакуумной ионно-плазменной обработкой | |
JP2013008770A (ja) | 成膜装置での堆積物クリーニング方法 | |
EP2369028B1 (en) | Method for nitriding metal alloys and device for carrying out said method | |
JP2004031461A5 (ru) | ||
RU2009130532A (ru) | Способ формирования сверхтвердого аморфного углеродного покрытия в вакууме | |
CN113066740B (zh) | 一种半导体设备和清洗方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20060608 |