RU2003123602A - Устройство для измерения давления - Google Patents
Устройство для измерения давления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2003123602A RU2003123602A RU2003123602/28A RU2003123602A RU2003123602A RU 2003123602 A RU2003123602 A RU 2003123602A RU 2003123602/28 A RU2003123602/28 A RU 2003123602/28A RU 2003123602 A RU2003123602 A RU 2003123602A RU 2003123602 A RU2003123602 A RU 2003123602A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cavity
- body part
- pressure
- connection
- substrate
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/069—Protection against electromagnetic or electrostatic interferences
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/141—Monolithic housings, e.g. molded or one-piece housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L23/00—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
- G01L23/24—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid specially adapted for measuring pressure in inlet or exhaust ducts of internal-combustion engines
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Claims (13)
1. Устройство для измерения давления, имеющее корпус (9), в котором расположена подложка (3) с чувствительным элементом (31) и электрическими выводами (34) и который имеет первую полость (4), внутри которой заключен этот чувствительный элемент (31) и которая сообщается с первым каналом (13) подвода давления, образованным первым присоединением (12) для подвода давления, и вторую полость (5), которая герметично отделена от первой полости (4) и внутри которой заключены по меньшей мере указанные электрические выводы (34), отличающееся тем, что корпус (9) имеет герметично отделенную от первой его полости (4) и второй его полости (5) третью полость (6), которая сообщается со вторым каналом (11) подвода давления, образованным вторым присоединением (10) для подвода давления.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что корпус (9) состоит из первой корпусной детали (1) и второй выполненной предпочтительно в виде крышки корпусной детали (2).
3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что третья полость (6) корпуса ограничена обращенной от чувствительного элемента (31) стороной подложки (3) и внутренней стенкой (18) углубления, которое выполнено с обращенной к подложке (3) внутренней стороны (19) первой корпусной детали (1) и которое сообщается со вторым каналом (11) подвода давления или образует его.
4. Устройство по п.2, отличающееся тем, что первое присоединение (12) для подвода давления и второе присоединение (10) для подвода давления выполнены на первой корпусной детали (1).
5. Устройство по п.3, отличающееся тем, что между обращенной к подложке (3) внутренней стороной (19) первой корпусной детали (1) и обращенной от чувствительного элемента (31) стороной подложки (3) расположено первое уплотнение (15), герметично отделяющее третью полость (6) корпуса от первой его полости (4).
6. Устройство по п.2, отличающееся тем, что на участке взаимного прилегания первой корпусной детали (1) и второй корпусной детали (2) расположено второе уплотнение (16), герметично отделяющее первую полость (4) корпуса от второй его полости (5).
7. Устройство по п.6, отличающееся тем, что второе уплотнение (16) имеет круговой участок (16а), расположенный на участке взаимного прилегания первой корпусной детали (1) и второй корпусной детали (2), и внутренний участок (16b), который по типу перемычки соединяет между собой противолежащие стороны этого кругового участка (16а) и который уплотняет переходный участок в стыке между подложкой (3) и перегородкой (22), выполненной на второй корпусной детали (2) и отделяющей первую полость (4) корпуса от второй его полости (5).
8. Устройство по любому из пп.5-7, отличающееся тем, что первое уплотнение (15) и/или второе уплотнение (16) образованы каждое герметичным клеевым соединением и прежде всего валиком клеевого герметика.
9. Устройство по п.8, отличающееся тем, что первое герметичное клеевое соединение (15) и/или второе герметичное клеевое соединение (16) расположены каждое в основном в одной плоскости.
10. Устройство по п.2, отличающееся тем, что первое присоединение (12) для подвода давления и второе присоединение (10) для подвода давления выполнены выступающими с одной и той же стороны первой корпусной детали (1).
11. Устройство по п.2, отличающееся тем, что первое присоединение (12) для подвода давления выполнено на первой корпусной детали (1) выступающим под прямым углом ко второму присоединению (10) для подвода давления.
12. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что во второй полости (5) корпуса на подложке (3) расположены защитные конденсаторы (35), предназначенные для обеспечения электромагнитной совместимости.
13. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что оно выполнено в виде датчика разности давлений.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10223357A DE10223357A1 (de) | 2002-05-25 | 2002-05-25 | Vorrichtung zur Druckmessung |
DE10223357.8 | 2002-05-25 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2003123602A true RU2003123602A (ru) | 2005-02-20 |
RU2330252C2 RU2330252C2 (ru) | 2008-07-27 |
Family
ID=29414175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2003123602/28A RU2330252C2 (ru) | 2002-05-25 | 2003-02-19 | Устройство для измерения давления |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6993976B2 (ru) |
EP (1) | EP1521952B1 (ru) |
JP (1) | JP4582633B2 (ru) |
KR (1) | KR101011098B1 (ru) |
DE (2) | DE10223357A1 (ru) |
RU (1) | RU2330252C2 (ru) |
WO (1) | WO2003100371A1 (ru) |
Families Citing this family (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004012593A1 (de) * | 2004-03-12 | 2005-09-29 | Robert Bosch Gmbh | Sensormodul |
FR2870291B1 (fr) * | 2004-05-17 | 2006-07-07 | Renault Sas | Dispositif de prise de pression en amont et en aval d'un filtre a particules d'une ligne d'echappement |
DE102005013914A1 (de) * | 2005-03-24 | 2006-07-20 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Druckmessung |
DE102005053682A1 (de) * | 2005-11-10 | 2007-05-16 | Bosch Gmbh Robert | Sensor, Sensorbauelement und Verfahren zur Herstellung eines Sensors |
DE202006003446U1 (de) * | 2006-03-02 | 2006-05-18 | Eto Sensoric Kg | Drucksensorvorrichtung |
DE102007009692A1 (de) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Robert Bosch Gmbh | Unfallsensor |
DE102008003848A1 (de) | 2008-01-10 | 2009-07-16 | Robert Bosch Gmbh | Kunststoffgehäuse mit integrierter Steckerschnittstelle |
DE102008005153A1 (de) * | 2008-01-18 | 2009-07-23 | Robert Bosch Gmbh | Druckmessmodul |
DE102009028966A1 (de) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensor |
EP2312290B1 (de) * | 2009-10-16 | 2019-09-25 | First Sensor Mobility GmbH | Drucksensor und dessen Verwendung in einem Fluidtank |
DE102009047506A1 (de) * | 2009-12-04 | 2011-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Sensor mit einem Sensorgehäuse |
DE102009047508A1 (de) | 2009-12-04 | 2011-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Mediendichte elektrische Verbindung |
DE102009047509A1 (de) | 2009-12-04 | 2011-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Sensor mit einem Sensorgehäuse |
DE102010001075A1 (de) * | 2010-01-21 | 2011-07-28 | Robert Bosch GmbH, 70469 | Niederdrucksensor |
DE102011013912A1 (de) | 2011-03-15 | 2012-09-20 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Drucksensor |
DE102011077686A1 (de) | 2011-06-17 | 2012-12-20 | Robert Bosch Gmbh | Druckmessvorrichtung |
EP2554968B1 (en) | 2011-08-01 | 2019-01-16 | Sensata Technologies, Inc. | Sensor system for differential pressure measurement |
DE102011085652A1 (de) | 2011-11-03 | 2013-05-08 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums |
DE102012204588A1 (de) | 2012-03-22 | 2013-09-26 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks eines Mediums |
CN103278285A (zh) * | 2013-06-08 | 2013-09-04 | 无锡隆盛科技股份有限公司 | 一种压差传感器 |
DE102014212970A1 (de) | 2014-07-03 | 2016-01-07 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums in einem Messraum |
CN104101460A (zh) * | 2014-07-21 | 2014-10-15 | 无锡隆盛科技股份有限公司 | 一种压差传感器外壳 |
CN104122029B (zh) * | 2014-07-29 | 2016-09-28 | 广东科艺普实验室设备研制有限公司 | 新结构的气压压差传感器总成 |
CN107076630A (zh) * | 2014-09-03 | 2017-08-18 | 韩国株式会社科迈特 | 差压传感器 |
KR101811185B1 (ko) | 2014-09-22 | 2017-12-27 | 주식회사 코멧네트워크 | 차압센서 |
DE102014221067A1 (de) | 2014-10-16 | 2016-04-21 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums |
DE102014223984A1 (de) | 2014-11-25 | 2016-05-25 | Robert Bosch Gmbh | Gefrierfeste Drucksensoranordnung, insbesondere als Differentialdrucksensoranordnung fürDieselpartikelfilter |
DE102014223974A1 (de) | 2014-11-25 | 2016-05-25 | Robert Bosch Gmbh | lod-resistente Drucksensoranordnung |
DE102014225861A1 (de) * | 2014-12-15 | 2016-06-16 | Robert Bosch Gmbh | Sensoreinrichtung, insbesondere für die Verwendung in einem Kraftfahrzeug |
CH710760A1 (de) * | 2015-02-20 | 2016-08-31 | Kistler Holding Ag | Drucksensor mit einer druckraumseitig angebrachten Membran und Verwendung eines solchen. |
US9746390B2 (en) | 2015-02-26 | 2017-08-29 | Sensata Technologies, Inc. | Microfused silicon strain gauge (MSG) pressure sensor package |
DE102016201847A1 (de) | 2015-05-28 | 2016-12-01 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung |
DE102015222115A1 (de) | 2015-11-10 | 2017-05-11 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums und Verfahren zu ihrer Herstellung |
DE102015223850A1 (de) | 2015-12-01 | 2017-06-01 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums in einem Messraum |
CN107290099B (zh) | 2016-04-11 | 2021-06-08 | 森萨塔科技公司 | 压力传感器、用于压力传感器的插塞件和制造插塞件的方法 |
EP3236226B1 (en) | 2016-04-20 | 2019-07-24 | Sensata Technologies, Inc. | Method of manufacturing a pressure sensor |
GB2551710B (en) * | 2016-06-24 | 2020-07-01 | Perkins Engines Co Ltd | Housing for sensor assembly of after treatment system |
EP3276242B1 (en) * | 2016-07-28 | 2019-08-28 | Sensirion AG | Differential pressure sensor comprising an adaptor device |
CN206330645U (zh) * | 2016-09-05 | 2017-07-14 | 泰科电子(上海)有限公司 | 传感器组件和液位检测装置 |
US10545064B2 (en) | 2017-05-04 | 2020-01-28 | Sensata Technologies, Inc. | Integrated pressure and temperature sensor |
US10323998B2 (en) | 2017-06-30 | 2019-06-18 | Sensata Technologies, Inc. | Fluid pressure sensor |
US10724907B2 (en) | 2017-07-12 | 2020-07-28 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor element with glass barrier material configured for increased capacitive response |
US10557770B2 (en) | 2017-09-14 | 2020-02-11 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor with improved strain gauge |
DE102018221895A1 (de) | 2018-12-17 | 2020-06-18 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines vereisungsrobusten Drucksensors und vereisungsrobuster Drucksensor |
AT17013U1 (ru) * | 2019-09-05 | 2021-02-15 | Zieger Dipl Ing Andreas |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2932336A1 (de) * | 1979-08-09 | 1981-02-26 | Bosch Gmbh Robert | Steuereinrichtung zur zuendzeitpunktbestimmung und kraftstoffzumessung fuer eine brennkraftmaschine |
US4708012A (en) * | 1986-08-19 | 1987-11-24 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for high pressure testing of solid state pressure sensors |
US4850227A (en) * | 1987-12-22 | 1989-07-25 | Delco Electronics Corporation | Pressure sensor and method of fabrication thereof |
US5257547A (en) * | 1991-11-26 | 1993-11-02 | Honeywell Inc. | Amplified pressure transducer |
JP2602008Y2 (ja) * | 1993-12-03 | 1999-12-20 | 日立建機株式会社 | センサの組立て構造 |
US5747694A (en) * | 1995-07-28 | 1998-05-05 | Nippondenso Co., Ltd. | Pressure sensor with barrier in a pressure chamber |
DE19731420A1 (de) * | 1997-07-22 | 1999-01-28 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Erfassung des Drucks und der Temperatur im Saugrohr einer Brennkraftmaschine und Verfahren zu ihrer Herstellung |
WO2000042407A1 (en) * | 1999-01-11 | 2000-07-20 | Becton, Dickinson And Company | Isolated calibration adapter for sterile pressure transducer |
JP4281198B2 (ja) * | 1999-04-26 | 2009-06-17 | 株式会社デンソー | 圧力センサの組付け方法 |
JP3452835B2 (ja) * | 1999-05-28 | 2003-10-06 | 三菱電機株式会社 | 圧力センサ装置 |
JP2003315193A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Denso Corp | 圧力センサ |
-
2002
- 2002-05-25 DE DE10223357A patent/DE10223357A1/de not_active Withdrawn
-
2003
- 2003-02-19 EP EP03708035A patent/EP1521952B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-02-19 JP JP2004507783A patent/JP4582633B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-02-19 KR KR1020047000938A patent/KR101011098B1/ko active IP Right Grant
- 2003-02-19 WO PCT/DE2003/000501 patent/WO2003100371A1/de active Application Filing
- 2003-02-19 DE DE50312955T patent/DE50312955D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-02-19 US US10/466,392 patent/US6993976B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-02-19 RU RU2003123602/28A patent/RU2330252C2/ru active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2003100371A1 (de) | 2003-12-04 |
KR101011098B1 (ko) | 2011-01-25 |
JP2005527818A (ja) | 2005-09-15 |
US6993976B2 (en) | 2006-02-07 |
DE10223357A1 (de) | 2003-12-04 |
JP4582633B2 (ja) | 2010-11-17 |
EP1521952A1 (de) | 2005-04-13 |
US20050103115A1 (en) | 2005-05-19 |
KR20040111322A (ko) | 2004-12-31 |
EP1521952B1 (de) | 2010-08-04 |
DE50312955D1 (de) | 2010-09-16 |
RU2330252C2 (ru) | 2008-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2003123602A (ru) | Устройство для измерения давления | |
EP2554968B1 (en) | Sensor system for differential pressure measurement | |
US7426868B2 (en) | Sensor module | |
KR950033453A (ko) | 센서 다이를 보호하기 위해 기밀 밀봉된 응력 분리 플랫폼을 갖는 압력 센서 | |
DE60314677D1 (de) | Hermetisch dichtes Gehäuse für ein elektronisches Bauelement | |
DE60138381D1 (de) | Dichtung für einen hermetisch geschlossenen Container | |
WO2007078748A3 (en) | Design of a wet/wet amplified differential pressure sensor based on silicon piezo resistive technology | |
WO2004072842A8 (en) | Sealed force-based touch sensor | |
WO2007024911A3 (en) | Pressure sensors and methods of making the same | |
CA2533141A1 (en) | Self contained temperature sensor for borehole systems | |
WO2003100316A3 (en) | In-grade light fixture housing and hydrological barrier plate for use therein | |
ATE449530T1 (de) | Abdichtung eines steuergerätes | |
BR0101458B1 (pt) | aperfeiçoamentos em ou relativos a compressores hermeticamente vedados | |
DE69932305D1 (de) | Kompressorgehäusedichtung | |
DE60218955D1 (de) | Differentialdruck Dichtungseinrichtung mit gepumptem Fluid | |
WO2004093509A3 (fr) | Boitier comportant un conduit de circulation d’air empechant toute accumulation de liquide | |
JPH06331477A (ja) | プラスチックケーシング内の圧力センサ及び該圧力センサを製造する方法 | |
CA2058916A1 (en) | Piezoresistive pressure transducer with a conductive elastomeric seal | |
GB2383683A8 (en) | Sealed housing for a display device comprising two sealing layers | |
WO2001081796A3 (en) | Gel sealant enclosure with visual seal indication | |
WO2008148652A3 (de) | Schnell montierbares sensorgehäuse für sensoren mit luftkontakt | |
ATE475453T1 (de) | Implantierbarer temperaturfühler | |
DE60044766D1 (de) | Gehäusezusammenbau für Drucksensor | |
JP4224224B2 (ja) | 変換器のケース構造 | |
EP3943904A2 (en) | Pressure sensor apparatus |