RU2003123602A - Устройство для измерения давления - Google Patents

Устройство для измерения давления Download PDF

Info

Publication number
RU2003123602A
RU2003123602A RU2003123602/28A RU2003123602A RU2003123602A RU 2003123602 A RU2003123602 A RU 2003123602A RU 2003123602/28 A RU2003123602/28 A RU 2003123602/28A RU 2003123602 A RU2003123602 A RU 2003123602A RU 2003123602 A RU2003123602 A RU 2003123602A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cavity
body part
pressure
connection
substrate
Prior art date
Application number
RU2003123602/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2330252C2 (ru
Inventor
ФЕССЕЛЕ Томас (DE)
ФЕССЕЛЕ Томас
ХОХЕНБЕРГЕР Ханс-Мартин (DE)
ХОХЕНБЕРГЕР Ханс-Мартин
КУНТ Винфрид (DE)
Кунт Винфрид
Original Assignee
Роберт Бош ГмбХ (DE)
Роберт Бош Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Роберт Бош ГмбХ (DE), Роберт Бош Гмбх filed Critical Роберт Бош ГмбХ (DE)
Publication of RU2003123602A publication Critical patent/RU2003123602A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2330252C2 publication Critical patent/RU2330252C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007—Fluidic connecting means
    • G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/069—Protection against electromagnetic or electrostatic interferences
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/141—Monolithic housings, e.g. molded or one-piece housings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L23/00—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
    • G01L23/24—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid specially adapted for measuring pressure in inlet or exhaust ducts of internal-combustion engines

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Claims (13)

1. Устройство для измерения давления, имеющее корпус (9), в котором расположена подложка (3) с чувствительным элементом (31) и электрическими выводами (34) и который имеет первую полость (4), внутри которой заключен этот чувствительный элемент (31) и которая сообщается с первым каналом (13) подвода давления, образованным первым присоединением (12) для подвода давления, и вторую полость (5), которая герметично отделена от первой полости (4) и внутри которой заключены по меньшей мере указанные электрические выводы (34), отличающееся тем, что корпус (9) имеет герметично отделенную от первой его полости (4) и второй его полости (5) третью полость (6), которая сообщается со вторым каналом (11) подвода давления, образованным вторым присоединением (10) для подвода давления.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что корпус (9) состоит из первой корпусной детали (1) и второй выполненной предпочтительно в виде крышки корпусной детали (2).
3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что третья полость (6) корпуса ограничена обращенной от чувствительного элемента (31) стороной подложки (3) и внутренней стенкой (18) углубления, которое выполнено с обращенной к подложке (3) внутренней стороны (19) первой корпусной детали (1) и которое сообщается со вторым каналом (11) подвода давления или образует его.
4. Устройство по п.2, отличающееся тем, что первое присоединение (12) для подвода давления и второе присоединение (10) для подвода давления выполнены на первой корпусной детали (1).
5. Устройство по п.3, отличающееся тем, что между обращенной к подложке (3) внутренней стороной (19) первой корпусной детали (1) и обращенной от чувствительного элемента (31) стороной подложки (3) расположено первое уплотнение (15), герметично отделяющее третью полость (6) корпуса от первой его полости (4).
6. Устройство по п.2, отличающееся тем, что на участке взаимного прилегания первой корпусной детали (1) и второй корпусной детали (2) расположено второе уплотнение (16), герметично отделяющее первую полость (4) корпуса от второй его полости (5).
7. Устройство по п.6, отличающееся тем, что второе уплотнение (16) имеет круговой участок (16а), расположенный на участке взаимного прилегания первой корпусной детали (1) и второй корпусной детали (2), и внутренний участок (16b), который по типу перемычки соединяет между собой противолежащие стороны этого кругового участка (16а) и который уплотняет переходный участок в стыке между подложкой (3) и перегородкой (22), выполненной на второй корпусной детали (2) и отделяющей первую полость (4) корпуса от второй его полости (5).
8. Устройство по любому из пп.5-7, отличающееся тем, что первое уплотнение (15) и/или второе уплотнение (16) образованы каждое герметичным клеевым соединением и прежде всего валиком клеевого герметика.
9. Устройство по п.8, отличающееся тем, что первое герметичное клеевое соединение (15) и/или второе герметичное клеевое соединение (16) расположены каждое в основном в одной плоскости.
10. Устройство по п.2, отличающееся тем, что первое присоединение (12) для подвода давления и второе присоединение (10) для подвода давления выполнены выступающими с одной и той же стороны первой корпусной детали (1).
11. Устройство по п.2, отличающееся тем, что первое присоединение (12) для подвода давления выполнено на первой корпусной детали (1) выступающим под прямым углом ко второму присоединению (10) для подвода давления.
12. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что во второй полости (5) корпуса на подложке (3) расположены защитные конденсаторы (35), предназначенные для обеспечения электромагнитной совместимости.
13. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что оно выполнено в виде датчика разности давлений.
RU2003123602/28A 2002-05-25 2003-02-19 Устройство для измерения давления RU2330252C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10223357.8 2002-05-25
DE10223357A DE10223357A1 (de) 2002-05-25 2002-05-25 Vorrichtung zur Druckmessung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2003123602A true RU2003123602A (ru) 2005-02-20
RU2330252C2 RU2330252C2 (ru) 2008-07-27

Family

ID=29414175

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2003123602/28A RU2330252C2 (ru) 2002-05-25 2003-02-19 Устройство для измерения давления

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6993976B2 (ru)
EP (1) EP1521952B1 (ru)
JP (1) JP4582633B2 (ru)
KR (1) KR101011098B1 (ru)
DE (2) DE10223357A1 (ru)
RU (1) RU2330252C2 (ru)
WO (1) WO2003100371A1 (ru)

Families Citing this family (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004012593A1 (de) * 2004-03-12 2005-09-29 Robert Bosch Gmbh Sensormodul
FR2870291B1 (fr) * 2004-05-17 2006-07-07 Renault Sas Dispositif de prise de pression en amont et en aval d'un filtre a particules d'une ligne d'echappement
DE102005013914A1 (de) * 2005-03-24 2006-07-20 Siemens Ag Vorrichtung zur Druckmessung
DE102005053682A1 (de) * 2005-11-10 2007-05-16 Bosch Gmbh Robert Sensor, Sensorbauelement und Verfahren zur Herstellung eines Sensors
DE202006003446U1 (de) * 2006-03-02 2006-05-18 Eto Sensoric Kg Drucksensorvorrichtung
DE102007009692A1 (de) * 2007-02-28 2008-09-04 Robert Bosch Gmbh Unfallsensor
DE102008003848A1 (de) 2008-01-10 2009-07-16 Robert Bosch Gmbh Kunststoffgehäuse mit integrierter Steckerschnittstelle
DE102008005153A1 (de) * 2008-01-18 2009-07-23 Robert Bosch Gmbh Druckmessmodul
DE102009028966A1 (de) * 2009-08-28 2011-03-03 Robert Bosch Gmbh Drucksensor
PL2312290T3 (pl) * 2009-10-16 2020-06-01 First Sensor Mobility Gmbh Czujnik ciśnienia i jego zastosowanie w zbiorniku płynu
DE102009047506A1 (de) * 2009-12-04 2011-06-09 Robert Bosch Gmbh Sensor mit einem Sensorgehäuse
DE102009047509A1 (de) 2009-12-04 2011-06-09 Robert Bosch Gmbh Sensor mit einem Sensorgehäuse
DE102009047508A1 (de) 2009-12-04 2011-06-09 Robert Bosch Gmbh Mediendichte elektrische Verbindung
DE102010001075A1 (de) * 2010-01-21 2011-07-28 Robert Bosch GmbH, 70469 Niederdrucksensor
DE102011013912A1 (de) 2011-03-15 2012-09-20 Volkswagen Aktiengesellschaft Drucksensor
DE102011077686A1 (de) 2011-06-17 2012-12-20 Robert Bosch Gmbh Druckmessvorrichtung
EP2554968B1 (en) 2011-08-01 2019-01-16 Sensata Technologies, Inc. Sensor system for differential pressure measurement
DE102011085652A1 (de) 2011-11-03 2013-05-08 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums
DE102012204588A1 (de) 2012-03-22 2013-09-26 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks eines Mediums
CN103278285A (zh) * 2013-06-08 2013-09-04 无锡隆盛科技股份有限公司 一种压差传感器
DE102014212970A1 (de) 2014-07-03 2016-01-07 Robert Bosch Gmbh Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums in einem Messraum
CN104101460A (zh) * 2014-07-21 2014-10-15 无锡隆盛科技股份有限公司 一种压差传感器外壳
CN104122029B (zh) * 2014-07-29 2016-09-28 广东科艺普实验室设备研制有限公司 新结构的气压压差传感器总成
CN107076630A (zh) * 2014-09-03 2017-08-18 韩国株式会社科迈特 差压传感器
KR101811185B1 (ko) 2014-09-22 2017-12-27 주식회사 코멧네트워크 차압센서
DE102014221067A1 (de) 2014-10-16 2016-04-21 Robert Bosch Gmbh Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums
DE102014223984A1 (de) 2014-11-25 2016-05-25 Robert Bosch Gmbh Gefrierfeste Drucksensoranordnung, insbesondere als Differentialdrucksensoranordnung fürDieselpartikelfilter
DE102014223974A1 (de) 2014-11-25 2016-05-25 Robert Bosch Gmbh lod-resistente Drucksensoranordnung
DE102014225861A1 (de) * 2014-12-15 2016-06-16 Robert Bosch Gmbh Sensoreinrichtung, insbesondere für die Verwendung in einem Kraftfahrzeug
CH710760A1 (de) * 2015-02-20 2016-08-31 Kistler Holding Ag Drucksensor mit einer druckraumseitig angebrachten Membran und Verwendung eines solchen.
US9746390B2 (en) * 2015-02-26 2017-08-29 Sensata Technologies, Inc. Microfused silicon strain gauge (MSG) pressure sensor package
DE102016201847A1 (de) 2015-05-28 2016-12-01 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
DE102015222115A1 (de) 2015-11-10 2017-05-11 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE102015223850A1 (de) 2015-12-01 2017-06-01 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums in einem Messraum
CN107290099B (zh) 2016-04-11 2021-06-08 森萨塔科技公司 压力传感器、用于压力传感器的插塞件和制造插塞件的方法
EP3236226B1 (en) 2016-04-20 2019-07-24 Sensata Technologies, Inc. Method of manufacturing a pressure sensor
GB2551710B (en) * 2016-06-24 2020-07-01 Perkins Engines Co Ltd Housing for sensor assembly of after treatment system
EP3276242B1 (en) * 2016-07-28 2019-08-28 Sensirion AG Differential pressure sensor comprising an adaptor device
CN206330645U (zh) * 2016-09-05 2017-07-14 泰科电子(上海)有限公司 传感器组件和液位检测装置
US10545064B2 (en) 2017-05-04 2020-01-28 Sensata Technologies, Inc. Integrated pressure and temperature sensor
US10323998B2 (en) 2017-06-30 2019-06-18 Sensata Technologies, Inc. Fluid pressure sensor
US10724907B2 (en) 2017-07-12 2020-07-28 Sensata Technologies, Inc. Pressure sensor element with glass barrier material configured for increased capacitive response
US10557770B2 (en) 2017-09-14 2020-02-11 Sensata Technologies, Inc. Pressure sensor with improved strain gauge
DE102018221895A1 (de) 2018-12-17 2020-06-18 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines vereisungsrobusten Drucksensors und vereisungsrobuster Drucksensor
AT17013U1 (ru) * 2019-09-05 2021-02-15 Zieger Dipl Ing Andreas

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2932336A1 (de) * 1979-08-09 1981-02-26 Bosch Gmbh Robert Steuereinrichtung zur zuendzeitpunktbestimmung und kraftstoffzumessung fuer eine brennkraftmaschine
US4708012A (en) * 1986-08-19 1987-11-24 Motorola, Inc. Method and apparatus for high pressure testing of solid state pressure sensors
US4850227A (en) * 1987-12-22 1989-07-25 Delco Electronics Corporation Pressure sensor and method of fabrication thereof
US5257547A (en) * 1991-11-26 1993-11-02 Honeywell Inc. Amplified pressure transducer
JP2602008Y2 (ja) * 1993-12-03 1999-12-20 日立建機株式会社 センサの組立て構造
US5747694A (en) * 1995-07-28 1998-05-05 Nippondenso Co., Ltd. Pressure sensor with barrier in a pressure chamber
DE19731420A1 (de) * 1997-07-22 1999-01-28 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Erfassung des Drucks und der Temperatur im Saugrohr einer Brennkraftmaschine und Verfahren zu ihrer Herstellung
EP1141671A1 (en) * 1999-01-11 2001-10-10 Becton, Dickinson and Company Isolated calibration adapter for sterile pressure transducer
JP4281198B2 (ja) * 1999-04-26 2009-06-17 株式会社デンソー 圧力センサの組付け方法
JP3452835B2 (ja) * 1999-05-28 2003-10-06 三菱電機株式会社 圧力センサ装置
JP2003315193A (ja) * 2002-04-24 2003-11-06 Denso Corp 圧力センサ

Also Published As

Publication number Publication date
DE50312955D1 (de) 2010-09-16
EP1521952B1 (de) 2010-08-04
RU2330252C2 (ru) 2008-07-27
JP4582633B2 (ja) 2010-11-17
DE10223357A1 (de) 2003-12-04
WO2003100371A1 (de) 2003-12-04
KR20040111322A (ko) 2004-12-31
JP2005527818A (ja) 2005-09-15
US6993976B2 (en) 2006-02-07
EP1521952A1 (de) 2005-04-13
US20050103115A1 (en) 2005-05-19
KR101011098B1 (ko) 2011-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2003123602A (ru) Устройство для измерения давления
EP2554968B1 (en) Sensor system for differential pressure measurement
US7426868B2 (en) Sensor module
KR950033453A (ko) 센서 다이를 보호하기 위해 기밀 밀봉된 응력 분리 플랫폼을 갖는 압력 센서
DE60314677D1 (de) Hermetisch dichtes Gehäuse für ein elektronisches Bauelement
DE60138381D1 (de) Dichtung für einen hermetisch geschlossenen Container
WO2007078748A3 (en) Design of a wet/wet amplified differential pressure sensor based on silicon piezo resistive technology
WO2004072842A8 (en) Sealed force-based touch sensor
WO2007024911A3 (en) Pressure sensors and methods of making the same
DE69422663D1 (de) Nachgiebige druckausgeglichene Dichtungsvorrichtung
TW200742011A (en) Electronic parts packaging structure and method of manufacturing the same
CA2533141A1 (en) Self contained temperature sensor for borehole systems
WO2003100316A3 (en) In-grade light fixture housing and hydrological barrier plate for use therein
ATE449530T1 (de) Abdichtung eines steuergerätes
BR0101458B1 (pt) aperfeiçoamentos em ou relativos a compressores hermeticamente vedados
DE69932305D1 (de) Kompressorgehäusedichtung
DE60218955D1 (de) Differentialdruck Dichtungseinrichtung mit gepumptem Fluid
JPH06331477A (ja) プラスチックケーシング内の圧力センサ及び該圧力センサを製造する方法
DE502004006562D1 (de) Dichtung zwischen einander gegenüberliegenden Dichtflächen
CA2058916A1 (en) Piezoresistive pressure transducer with a conductive elastomeric seal
WO2001081796A3 (en) Gel sealant enclosure with visual seal indication
WO2008148652A3 (de) Schnell montierbares sensorgehäuse für sensoren mit luftkontakt
DE60044766D1 (de) Gehäusezusammenbau für Drucksensor
JP4224224B2 (ja) 変換器のケース構造
EP3943904A2 (en) Pressure sensor apparatus