JP2005527818A - 圧力を測定するための装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、独立請求項1の上位概念部の特徴を備えた、圧力を測定するための装置に関する。
請求項1の特徴部に記載の特徴を備えた、圧力を測定するための本発明による装置は、有利には新たな使用分野、たとえば排ガス圧の測定に使用可能である。このことは、特にディーゼルエンジンにおけるパティキュレートフィルタの導入のために極めて重要となる。有利には、いまや、これまで絶対圧センサのためにしか使用されなかったセンサコンセプトが、シール接着部と、廉価に製作可能なかつ2つの部分から成る簡単なハウジング構造とを介して機械的な応力を分離することによって差圧測定のためにも提供される。特に有利には、既存の製造装置で製造することができ、少ない接着ステップしか必要とならない。本発明による装置は第1のハウジング室と第2のハウジング室とに対して付加的に第3のハウジング室を有している。この第3のハウジング室は第1のハウジング室と第2のハウジング室とに対してシールされていて、第2の圧力接続部の第2の圧力通路に接続されている。したがって、センサ素子の下方の支持体に設けられた切欠きを介して、センサ素子は、第3のハウジング室内に形成された圧力で負荷することができ、差圧を測定するための装置を使用することができる。
以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
Claims (13)
- 圧力を測定するための装置であって、ハウジング(9)が設けられており、該ハウジング(9)内に、センサ素子(31)と電気的な接続エレメント(34)とを備えた支持体(3)が配置されており、ハウジング(9)が、センサ素子(31)を取り囲む、第1の圧力接続部(12)の第1の圧力通路(13)に接続された第1のハウジング室(4)と、該第1のハウジング室(4)に対してシールされた、少なくとも電気的な接続エレメント(34)を取り囲む第2のハウジング室(5)とを有している形式のものにおいて、ハウジング(9)が、第1のハウジング室(4)と第2のハウジング室(5)とに対してシールされた第3のハウジング室(6)を有しており、該第3のハウジング室(6)が、第2の圧力接続部(10)の第2の圧力通路(11)に接続されていることを特徴とする、圧力を測定するための装置。
- ハウジング(9)が、第1のハウジング部分(1)と、有利にはカバーとして形成された第2のハウジング部分(2)とを有している、請求項1記載の装置。
- 第3のハウジング室(6)が、支持体(3)の、センサ素子(31)と反対の側の面と、第1のハウジング部分(1)の、支持体(3)に面した側の内面(19)に形成された、第2の圧力通路(11)に接続されるかまたは第2の圧力通路(11)を形成する切欠きの内壁(18)とによって仕切られるようになっている、請求項2記載の装置。
- 第1の圧力接続部(12)と第2の圧力接続部(10)とが、第1のハウジング部分(1)に形成されている、請求項2記載の装置。
- 第1のハウジング部分(1)の、支持体(3)に面した側の内面(19)と、支持体(3)の、センサ素子(31)と反対の側の面との間に第1のシール部材(15)が配置されており、該第1のシール部材(15)が、第3のハウジング室(6)を第1のハウジング室(4)に対してシールするようになっている、請求項3記載の装置。
- 第1のハウジング部分(1)と第2のハウジング部分(2)との当付け領域に第2のシール部材(16)が配置されており、該第2のシール部材(16)が、第1のハウジング室(4)を第2のハウジング室(5)に対してシールするようになっている、請求項2記載の装置。
- 第2のシール部材(16)が、第1のハウジング部分(1)と第2のハウジング部分(2)との当付け領域における全周にわたって延びるシール区分(16a)と、該全周にわたって延びるシール区分(16a)にブリッジ状に係合する内側のシール区分(16b)とを有しており、該内側のシール区分(16b)が、支持体(3)と、第2のハウジング部分(2)に形成された、第1のハウジング室(4)を第2のハウジング室(5)から分離する分離壁(22)との間の移行領域をシールするようになっている、請求項6記載の装置。
- 第1のシール部材(15)および/または第2のシール部材(16)が、それぞれ1つのシール接着部と、特にそれぞれ1つの接着剤ビードとによって形成されるようになっている、請求項5から7までのいずれか1項記載の装置。
- 第1のシール接着部(15)および/または第2のシール接着部(16)が、主として、それぞれ1つの平面に配置されている、請求項8記載の装置。
- 第1の圧力接続部(12)と第2の圧力接続部(10)とが、第1のハウジング部分(1)の共通の側から突出している、請求項2記載の装置。
- 第1の圧力接続部(12)が、第2の圧力接続部(10)に対して直角を成して第1のハウジング部分(1)から突出している、請求項2記載の装置。
- EMC・保護コンデンサ(35)が、第2のハウジング室(5)の内部で支持体(3)に配置されている、請求項1から11までのいずれか1項記載の装置。
- 当該装置が、差圧センサとして形成されている、請求項1から12までのいずれか1項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10223357A DE10223357A1 (de) | 2002-05-25 | 2002-05-25 | Vorrichtung zur Druckmessung |
PCT/DE2003/000501 WO2003100371A1 (de) | 2002-05-25 | 2003-02-19 | Vorrichtung zur druckmessung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005527818A true JP2005527818A (ja) | 2005-09-15 |
JP4582633B2 JP4582633B2 (ja) | 2010-11-17 |
Family
ID=29414175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004507783A Expired - Lifetime JP4582633B2 (ja) | 2002-05-25 | 2003-02-19 | 圧力を測定するための装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6993976B2 (ja) |
EP (1) | EP1521952B1 (ja) |
JP (1) | JP4582633B2 (ja) |
KR (1) | KR101011098B1 (ja) |
DE (2) | DE10223357A1 (ja) |
RU (1) | RU2330252C2 (ja) |
WO (1) | WO2003100371A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013061348A (ja) * | 2008-01-18 | 2013-04-04 | Robert Bosch Gmbh | 圧力測定モジュール |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004012593A1 (de) * | 2004-03-12 | 2005-09-29 | Robert Bosch Gmbh | Sensormodul |
FR2870291B1 (fr) * | 2004-05-17 | 2006-07-07 | Renault Sas | Dispositif de prise de pression en amont et en aval d'un filtre a particules d'une ligne d'echappement |
DE102005013914A1 (de) * | 2005-03-24 | 2006-07-20 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Druckmessung |
DE102005053682A1 (de) * | 2005-11-10 | 2007-05-16 | Bosch Gmbh Robert | Sensor, Sensorbauelement und Verfahren zur Herstellung eines Sensors |
DE202006003446U1 (de) * | 2006-03-02 | 2006-05-18 | Eto Sensoric Kg | Drucksensorvorrichtung |
DE102007009692A1 (de) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Robert Bosch Gmbh | Unfallsensor |
DE102008003848A1 (de) | 2008-01-10 | 2009-07-16 | Robert Bosch Gmbh | Kunststoffgehäuse mit integrierter Steckerschnittstelle |
DE102009028966A1 (de) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensor |
EP2312290B1 (de) * | 2009-10-16 | 2019-09-25 | First Sensor Mobility GmbH | Drucksensor und dessen Verwendung in einem Fluidtank |
DE102009047509A1 (de) | 2009-12-04 | 2011-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Sensor mit einem Sensorgehäuse |
DE102009047506A1 (de) | 2009-12-04 | 2011-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Sensor mit einem Sensorgehäuse |
DE102009047508A1 (de) | 2009-12-04 | 2011-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Mediendichte elektrische Verbindung |
DE102010001075A1 (de) * | 2010-01-21 | 2011-07-28 | Robert Bosch GmbH, 70469 | Niederdrucksensor |
DE102011013912A1 (de) | 2011-03-15 | 2012-09-20 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Drucksensor |
DE102011077686A1 (de) | 2011-06-17 | 2012-12-20 | Robert Bosch Gmbh | Druckmessvorrichtung |
EP2554968B1 (en) | 2011-08-01 | 2019-01-16 | Sensata Technologies, Inc. | Sensor system for differential pressure measurement |
DE102011085652A1 (de) | 2011-11-03 | 2013-05-08 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums |
DE102012204588A1 (de) | 2012-03-22 | 2013-09-26 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks eines Mediums |
CN103278285A (zh) * | 2013-06-08 | 2013-09-04 | 无锡隆盛科技股份有限公司 | 一种压差传感器 |
DE102014212970A1 (de) | 2014-07-03 | 2016-01-07 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums in einem Messraum |
CN104101460A (zh) * | 2014-07-21 | 2014-10-15 | 无锡隆盛科技股份有限公司 | 一种压差传感器外壳 |
CN104122029B (zh) * | 2014-07-29 | 2016-09-28 | 广东科艺普实验室设备研制有限公司 | 新结构的气压压差传感器总成 |
JP6265361B2 (ja) * | 2014-09-03 | 2018-01-24 | コメットネットワーク シーオー.,エルティーディー. | 差圧センサ |
WO2016047815A1 (ko) | 2014-09-22 | 2016-03-31 | (주)코멧네트워크 | 차압센서 |
DE102014221067A1 (de) | 2014-10-16 | 2016-04-21 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums |
DE102014223974A1 (de) | 2014-11-25 | 2016-05-25 | Robert Bosch Gmbh | lod-resistente Drucksensoranordnung |
DE102014223984A1 (de) | 2014-11-25 | 2016-05-25 | Robert Bosch Gmbh | Gefrierfeste Drucksensoranordnung, insbesondere als Differentialdrucksensoranordnung fürDieselpartikelfilter |
DE102014225861A1 (de) * | 2014-12-15 | 2016-06-16 | Robert Bosch Gmbh | Sensoreinrichtung, insbesondere für die Verwendung in einem Kraftfahrzeug |
CH710760A1 (de) * | 2015-02-20 | 2016-08-31 | Kistler Holding Ag | Drucksensor mit einer druckraumseitig angebrachten Membran und Verwendung eines solchen. |
US9746390B2 (en) | 2015-02-26 | 2017-08-29 | Sensata Technologies, Inc. | Microfused silicon strain gauge (MSG) pressure sensor package |
DE102016201847A1 (de) | 2015-05-28 | 2016-12-01 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung |
DE102015222115A1 (de) | 2015-11-10 | 2017-05-11 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums und Verfahren zu ihrer Herstellung |
DE102015223850A1 (de) | 2015-12-01 | 2017-06-01 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums in einem Messraum |
CN107290099B (zh) | 2016-04-11 | 2021-06-08 | 森萨塔科技公司 | 压力传感器、用于压力传感器的插塞件和制造插塞件的方法 |
EP3236226B1 (en) | 2016-04-20 | 2019-07-24 | Sensata Technologies, Inc. | Method of manufacturing a pressure sensor |
GB2551710B (en) * | 2016-06-24 | 2020-07-01 | Perkins Engines Co Ltd | Housing for sensor assembly of after treatment system |
EP3276242B1 (en) * | 2016-07-28 | 2019-08-28 | Sensirion AG | Differential pressure sensor comprising an adaptor device |
CN206330645U (zh) * | 2016-09-05 | 2017-07-14 | 泰科电子(上海)有限公司 | 传感器组件和液位检测装置 |
US10545064B2 (en) | 2017-05-04 | 2020-01-28 | Sensata Technologies, Inc. | Integrated pressure and temperature sensor |
US10323998B2 (en) | 2017-06-30 | 2019-06-18 | Sensata Technologies, Inc. | Fluid pressure sensor |
US10724907B2 (en) | 2017-07-12 | 2020-07-28 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor element with glass barrier material configured for increased capacitive response |
US10557770B2 (en) | 2017-09-14 | 2020-02-11 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor with improved strain gauge |
DE102018221895A1 (de) | 2018-12-17 | 2020-06-18 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines vereisungsrobusten Drucksensors und vereisungsrobuster Drucksensor |
AT17013U1 (ja) * | 2019-09-05 | 2021-02-15 | Zieger Dipl Ing Andreas |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07500915A (ja) * | 1991-11-26 | 1995-01-26 | ハネウエル・インコーポレーテッド | 増幅圧力変換器 |
JPH0734340U (ja) * | 1993-12-03 | 1995-06-23 | 日立建機株式会社 | センサの組立て構造 |
JP2000337987A (ja) * | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Mitsubishi Electric Corp | 圧力センサ装置 |
JP2001501316A (ja) * | 1997-07-22 | 2001-01-30 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 内燃機関における吸気管における圧力及び温度を検出する装置並びに該装置を製造する方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2932336A1 (de) * | 1979-08-09 | 1981-02-26 | Bosch Gmbh Robert | Steuereinrichtung zur zuendzeitpunktbestimmung und kraftstoffzumessung fuer eine brennkraftmaschine |
US4708012A (en) * | 1986-08-19 | 1987-11-24 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for high pressure testing of solid state pressure sensors |
US4850227A (en) * | 1987-12-22 | 1989-07-25 | Delco Electronics Corporation | Pressure sensor and method of fabrication thereof |
US5747694A (en) | 1995-07-28 | 1998-05-05 | Nippondenso Co., Ltd. | Pressure sensor with barrier in a pressure chamber |
WO2000042407A1 (en) * | 1999-01-11 | 2000-07-20 | Becton, Dickinson And Company | Isolated calibration adapter for sterile pressure transducer |
JP4281198B2 (ja) * | 1999-04-26 | 2009-06-17 | 株式会社デンソー | 圧力センサの組付け方法 |
JP2003315193A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Denso Corp | 圧力センサ |
-
2002
- 2002-05-25 DE DE10223357A patent/DE10223357A1/de not_active Withdrawn
-
2003
- 2003-02-19 RU RU2003123602/28A patent/RU2330252C2/ru active
- 2003-02-19 EP EP03708035A patent/EP1521952B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-02-19 JP JP2004507783A patent/JP4582633B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-02-19 DE DE50312955T patent/DE50312955D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-02-19 US US10/466,392 patent/US6993976B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-02-19 KR KR1020047000938A patent/KR101011098B1/ko active IP Right Grant
- 2003-02-19 WO PCT/DE2003/000501 patent/WO2003100371A1/de active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07500915A (ja) * | 1991-11-26 | 1995-01-26 | ハネウエル・インコーポレーテッド | 増幅圧力変換器 |
JPH0734340U (ja) * | 1993-12-03 | 1995-06-23 | 日立建機株式会社 | センサの組立て構造 |
JP2001501316A (ja) * | 1997-07-22 | 2001-01-30 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 内燃機関における吸気管における圧力及び温度を検出する装置並びに該装置を製造する方法 |
JP2000337987A (ja) * | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Mitsubishi Electric Corp | 圧力センサ装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013061348A (ja) * | 2008-01-18 | 2013-04-04 | Robert Bosch Gmbh | 圧力測定モジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050103115A1 (en) | 2005-05-19 |
WO2003100371A1 (de) | 2003-12-04 |
KR101011098B1 (ko) | 2011-01-25 |
EP1521952A1 (de) | 2005-04-13 |
JP4582633B2 (ja) | 2010-11-17 |
KR20040111322A (ko) | 2004-12-31 |
DE50312955D1 (de) | 2010-09-16 |
DE10223357A1 (de) | 2003-12-04 |
EP1521952B1 (de) | 2010-08-04 |
RU2003123602A (ru) | 2005-02-20 |
RU2330252C2 (ru) | 2008-07-27 |
US6993976B2 (en) | 2006-02-07 |
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Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080703 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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