RU2330252C2 - Устройство для измерения давления - Google Patents

Устройство для измерения давления Download PDF

Info

Publication number
RU2330252C2
RU2330252C2 RU2003123602/28A RU2003123602A RU2330252C2 RU 2330252 C2 RU2330252 C2 RU 2330252C2 RU 2003123602/28 A RU2003123602/28 A RU 2003123602/28A RU 2003123602 A RU2003123602 A RU 2003123602A RU 2330252 C2 RU2330252 C2 RU 2330252C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cavity
substrate
housing
body part
pressure
Prior art date
Application number
RU2003123602/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2003123602A (ru
Inventor
Томас ФЕССЕЛЕ (DE)
Томас ФЕССЕЛЕ
Ханс-Мартин ХОХЕНБЕРГЕР (DE)
Ханс-Мартин ХОХЕНБЕРГЕР
Винфрид КУНТ (DE)
Винфрид КУНТ
Original Assignee
Роберт Бош Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Роберт Бош Гмбх filed Critical Роберт Бош Гмбх
Publication of RU2003123602A publication Critical patent/RU2003123602A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2330252C2 publication Critical patent/RU2330252C2/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007—Fluidic connecting means
    • G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/069—Protection against electromagnetic or electrostatic interferences
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/141—Monolithic housings, e.g. molded or one-piece housings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L23/00—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
    • G01L23/24—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid specially adapted for measuring pressure in inlet or exhaust ducts of internal-combustion engines

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение используют для измерения давления. Устройство имеет корпус, в котором расположена подложка с чувствительным элементом и электрическими выводами. Корпус имеет первую полость, внутри которой заключен этот чувствительный элемент и которая сообщается с первым каналом подвода давления, образованным первым присоединением для подвода давления, вторую полость, которая герметично отделена от первой полости и внутри которой заключены по меньшей мере указанные электрические выводы, и герметично отделенную от первой и второй полостей третью полость, которая сообщается со вторым каналом подвода давления. Корпус состоит из первой и второй корпусных деталей. На участке взаимного прилегания первой и второй корпусных деталей расположено уплотнение, герметично отделяющее первую полость корпуса от второй его полости. Уплотнение имеет круговой участок, расположенный на участке взаимного прилегания первой и второй корпусных деталей, и внутренний участок, по типу перемычки соединяющий между собой противолежащие стороны этого кругового участка и который уплотняет переходный участок в стыке между подложкой и перегородкой, выполненной на второй корпусной детали и отделяющей первую полость корпуса от второй его полости. Техническим результатом изобретения является устранение связи между возникающими в конструкции механическими напряжениями. 10 з.п. ф-лы, 8 ил.

Description

Настоящее изобретение относится к устройству для измерения давления.
Подобное устройство для измерения давления известно, например, из заявки DE 19731420 А1. Описанное в этой заявке устройство используется для измерения давления во впускном трубопроводе двигателя внутреннего сгорания (ДВС) и имеет гибридную интегральную схему (ГИС), подложка которой расположена в корпусе этого устройства. В корпусе такого устройства имеется образующая полость измерения давления первая полость, в которой размещен расположенный на подложке чувствительный элемент и которая соединена с впускным трубопроводом присоединением для подвода давления и герметично отделена от окружающего пространства и от имеющейся в корпусе второй полости клеевым герметиком. Во второй полости корпуса, образующей полость электрического соединения, размещены гибкие металлические проводники, электрически соединяющие электрические выводы на подложке с контакт-деталями штекерного разъема.
Из DE 19961776 A1 известно устройство для измерения давления, имеющее корпус, в котором расположена подложка с чувствительным элементом и электрическими выводами и который имеет первую полость, внутри которой заключен этот чувствительный элемент и которая сообщается с первым каналом подвода давления, образованным первым присоединением для подвода давления, вторую полость, которая герметично отделена от первой полости и внутри которой заключены по меньшей мере указанные электрические выводы, и третью полость, которая герметично отделена от первой полости и второй полости и сообщается со вторым каналом подвода давления, образованным вторым присоединением для подвода давления.
Недостаток известного устройства состоит в том, что при его изготовлении приходится создавать три уплотнения, независимых друг от друга, что, в свою очередь, усложняет и удорожает производство. При этом корпусную часть приходится переворачивать и устанавливать на другую корпусную часть, в процессе чего упавшие капли клея могут загрязнить подложку чувствительного элемента.
В отличие от известного из DE 19961776 A1 устройства корпус предлагаемого в изобретении устройства состоит из первой корпусной детали и второй корпусной детали, на участке взаимного прилегания первой корпусной детали и второй корпусной детали расположено уплотнение, герметично отделяющее первую полость корпуса от второй его полости, причем это уплотнение между первой и второй корпусными деталями имеет круговой участок, расположенный на участке взаимного прилегания первой корпусной детали и второй корпусной детали, и внутренний участок, который по типу перемычки соединяет между собой противолежащие стороны этого кругового участка и который уплотняет переходный участок в стыке между подложкой и перегородкой, выполненной на второй корпусной детали и отделяющей первую полость корпуса от второй его полости.
Преимущество предлагаемого в изобретении устройства для измерения давления состоит в возможности расширить область его применения и в соответствии с этим в возможности его использования, например, для измерения давления отработавших газов (ОГ), что имеет важное значение прежде всего при установке в системах выпуска ОГ дизельных двигателей фильтров для улавливания твердых частиц или частиц сажи. Предлагаемое в изобретении решение позволяет использовать применявшуюся до настоящего времени исключительно в датчиках абсолютного давления концепцию, основанную на устранении связи между возникающими в конструкции механическими напряжениями за счет использования герметичных клеевых соединений, а также за счет выполнения корпуса в виде рентабельной в изготовлении и простой конструкции, состоящей из двух частей, и для дифференциального измерения давления, т.е. для измерения разности давлений. Особое преимущество предлагаемого в изобретении устройства состоит в возможности его изготовления на уже существующем технологическом оборудовании лишь при небольшом числе операций, необходимых для выполнения клеевых соединений. В корпусе предлагаемого в изобретении устройства дополнительно к первой и второй полостям имеется также третья полость, которая герметично отделена от этих первой и второй полостей и сообщается со вторым каналом подвода давления, образованным вторым присоединением для подвода давления. Наличие в корпусе такой третьей полости, преобладающее в которой давление передается на чувствительный элемент через предусмотренное у подложки под этим чувствительным элементом отверстие, позволяет использовать предлагаемое в изобретении устройство для дифференциального измерения давления.
Предлагаемое в изобретении устройство обходится двумя уплотнениями, причем второе уплотнение расположено на участке взаимного прилегания двух корпусных деталей таким образом, чтобы не только обеспечивать крепление первой корпусной детали ко второй, но и герметично отделять первую полость корпуса от второй его полости.
Предпочтительные варианты осуществления изобретения приведены в зависимых пунктах формулы изобретения.
Так, в частности, согласно одному из таких вариантов, обеспечивающему возможность наиболее простого изготовления предлагаемого в изобретении устройства, третья полость корпуса ограничена обращенной от чувствительного элемента стороной подложки и внутренней стенкой углубления, которое выполнено с обращенной к подложке внутренней стороны первой корпусной детали и которое сообщается со вторым каналом подвода давления или образует его.
В соответствии со следующим предпочтительным вариантом первое присоединение для подвода давления и второе присоединение для подвода давления можно выполнить на первой корпусной детали, что позволяет выполнить вторую корпусную деталь в виде простой крышки.
Между обращенной к подложке внутренней стороной первой корпусной детали и обращенной от чувствительного элемента стороной подложки предпочтительно расположить уплотнение, герметично отделяющее третью полость корпуса от первой его полости. Предпочтительно, чтобы оба уплотнения одновременно герметично отделяли друг от друга все три полости корпуса. Связанное с этим преимущество состоит в том, что отпадает необходимость выполнения корпуса в виде сложной многослойной конструкции, в которой второе присоединение для подвода давления расположено на второй корпусной детали.
Оба вышеупомянутых уплотнения и/или могут быть образованы каждое герметичным клеевым соединением и прежде всего валиком клеевого герметика. Помимо этого первое герметичное клеевое соединение и/или второе герметичное клеевое соединение предпочтительно располагать каждое в основном в одной плоскости во избежание растекания клеевого герметика непосредственно после его нанесения в ходе обеих операций по выполнению клеевых соединений.
Помимо этого предусматриваемые у устройства измерения давления защитные конденсаторы, предназначенные для обеспечения электромагнитной совместимости, наиболее предпочтительно располагать на подложке во избежание коротких замыканий во второй полости корпуса, поскольку именно в ней образующийся в ОГ конденсат скапливается в меньшем количестве, чем в первой полости корпуса. Подобное размещение указанных защитных конденсаторов наиболее предпочтительно в том случае, когда устройство для измерения давления ОГ соединено с системой выпуска ОГ соединительным трубопроводом, а в первой полости корпуса скапливается большее количество образующегося в ОГ конденсата.
Ниже изобретение более подробно рассмотрено на примере нескольких вариантов его осуществления со ссылкой на прилагаемые чертежи, на которых показано:
на фиг.1a - изображенное в разрезе предлагаемое в изобретении устройство, выполненное по первому варианту,
на фиг.1б - вид в плане устройства, показанного на фиг.1а,
на фиг.2-7 - выполненное по второму варианту предлагаемое в изобретении устройство на различных стадиях его изготовления и
на фиг.8 - изображенное в разрезе предлагаемое в изобретении устройство, выполненное по второму варианту.
На фиг.1а в разрезе показано выполненное по первому варианту предлагаемое в изобретении устройство для измерения давления, которое выполнено в виде датчика разности давлений (дифференциального датчика давления) и которое имеет корпус 9, состоящий из двух частей, одной из которых является первая корпусная деталь 1, а другой - вторая корпусная деталь 2, которая образует устанавливаемую или надеваемую на первую корпусную деталь крышку. На первой корпусной детали 1 выполнен штекерный разъем 40, расположенные в котором контакт-детали 41 проходят внутрь корпуса, где расположена гибридная интегральная схема (ГИС), керамическая подложка 3 которой служит носителем для собственно чувствительного элемента 31. Такой чувствительный элемент 31 может представлять собой, например, полупроводниковый датчик давления на кремниевой основе, который состоит из расположенных на мембране чувствительных к давлению элементов и который по известной технологии закреплен на подложке 3 с помощью стеклянного держателя 38. Чувствительный элемент 31 электрически соединен с расположенными на подложке 3 токопроводящими дорожками гибкими металлическими проводниками, присоединенными методом микросварки. На подложке дополнительно могут быть размещены или смонтированы и иные электрические/электронные компоненты и элементы электрической схемы. Чувствительный элемент 31 заключен в охватывающую его и установленную на подложке 3 рамку 32, внутреннее пространство которой для защиты этого чувствительного элемента 31 от воздействия агрессивных веществ заполнено защитным гелем, например фторсиликоновым гелем. Токопроводящие дорожки гибкими металлическими проводниками, образующими электрические выводы 34 расположенной на подложке электрической схемы, соединены с контакт-деталями 41 штекерного разъема 40.
Как показано на фиг.1б, сбоку на первой корпусной детали 1 предусмотрено выполненное в виде патрубка первое присоединение 12 для подвода давления. Проходящий в этом присоединении 12 канал подвода давления, который на фиг.1а и 1б не показан, оканчивается в первой полости 4 корпуса, расположенной между первой 1 и второй 2 корпусными деталями. Преобладающее в этой первой полости 4 корпуса давление передается через защитный гель мембране чувствительного элемента 31. От первой полости 4 корпуса перегородкой 22, выполненной на второй корпусной детали 2, отделена вторая полость 5 корпуса. В этой второй полости 5 корпуса находятся гибкие металлические проводники, образующие электрические выводы 34 расположенной на подложке 3 электрической схемы. В первой корпусной детали с ее обращенной к подложке 3 внутренней стороны 19 выполнено углубление, с которым сообщается канал 11 подвода давления, проходящий во втором выполненном в виде патрубка присоединении 10 для подвода давления. Пространство, заключенное между обращенной к этой внутренней стороне 19 нижней стороной подложки 3 и внутренними стенками 18 указанного углубления, образуют третью полость 6 корпуса. Преобладающее в этой третьей полости 6 корпуса давление через предусмотренное в подложке 3 отверстие 33 и через цилиндрическое отверстие в стеклянном держателе 38 подводится к обращенной к этой подложке 3 нижней стороне чувствительной к давлению мембраны чувствительного элемента 31, который тем самым регистрирует или измеряет разность давлений между первой 4 и третьей 6 полостями корпуса. Все три описанные выше полости корпуса герметично отделены друг от друга герметичными клеевыми соединениями 15 и 16. Технология выполнения таких герметичных клеевых соединений более подробно рассмотрена ниже на примере другого варианта выполнения предлагаемого в изобретении устройства.
На фиг.2 в соответствии со следующим вариантом выполнения предлагаемого в изобретении устройства в виде в плане показана первая корпусная деталь 1 со снятой крышкой, которой служит вторая корпусная деталь 2, и без подложки 3. При этом на фиг.2 видна внутренняя сторона 19 первой корпусной детали 1, в которой выполнено углубление 18. По краю этого углубления 18 проходит круговая канавка 17. В рассматриваемом варианте оба выполненных в виде соединительных патрубков присоединения 10, 12 расположены по одну сторону первой корпусной детали 1, тогда как в показанном на фиг.1а варианте они расположены на взаимно перпендикулярных сторонах корпуса под прямым углом друг к другу.
Как показано на фиг.3, где первая корпусная деталь изображена с местным разрезом, первый канал 13 подвода давления, образованный первым присоединением 12 для подвода давления, сбоку входит внутрь корпуса, а второй канал 11 подвода давления, образованный вторым присоединением 10 для подвода давления, оканчивается в углублении 18.
На фиг.4 показана первая стадия технологического процесса, на которой на внутреннюю сторону 19 первой корпусной детали 1 наносят в качестве первого уплотнения валик 15 клеевого герметика. При этом вдавленная в канавку 17 первая часть 15b этого валика клеевого герметика кольцом охватывает углубление 18 по его периметру, а другая его часть 15а, непосредственно примыкающая к первой, нанесена на внутреннюю сторону 19 первой корпусной детали. После этого на клеевой герметик помещают подложку 3 с расположенным на ней чувствительным элементом и затем гибкие металлические проводники, образующие электрические выводы расположенной на подложке 3 электрической схемы, присоединяют к контакт-деталям 41. При этом подложка 3 перекрывает углубление 18. В результате третья полость 6 корпуса оказывается герметично отделена участком 15b валика 15 клеевого герметика от остального внутреннего пространства корпуса. После этого, как показано на фиг.6, выполняют второе уплотнение 16, нанося следующий валик клеевого герметика, который частично вдавливают в канавку 37, а частично наносят также на ту сторону подложки 3, с которой расположен чувствительный элемент 31. Это второе уплотнение 16 имеет круговой участок 16а и внутренний участок 16b, который частично нанесен на поверхность подложки 3 и который по типу перемычки соединяет между собой противолежащие стороны кругового участка 16а. В завершение, как показано на фиг.7, на первую корпусную деталь 1 устанавливают вторую корпусную деталь 2. Одновременно с этим в корпусе образуются первая 4 и вторая 5 его полости. При этом, как это наиболее наглядно показано в разрезе на фиг.8, сформованная на второй корпусной детали 2 перегородка 22 утапливается или вдавливается во внутренний участок 16b уплотнения, герметично отделяя тем самым первую полость 4 корпуса от второй его полости 5. При установке второй корпусной детали 2 на первую круговой участок 16а уплотнения уплотняет участок взаимного прилегания первой и второй корпусных деталей. Первое 15 и второе 16 герметичные клеевые соединения наиболее предпочтительно располагать каждое в основном в одной плоскости во избежание растекания клеевого герметика после его нанесения.
В корпусе готового устройства имеются, таким образом, три полости, при этом, например, в третью полость 6 корпуса по второму каналу 11 подвода давления можно подводить измеряемое давление, воздействующее на чувствительный элемент снизу, а в первую полость 4 корпуса по первому каналу 13 подвода давления можно подводить контрольное давление, воздействующее на чувствительный элемент сверху. Во второй полости 5 корпуса на подложке 3 предпочтительно располагать предназначенные для обеспечения электромагнитной совместимости защитные конденсаторы 35, которые при их размещении в этом месте оказываются защищены от воздействия агрессивных веществ, которые, например, могут оседать или конденсироваться в первой полости 4 корпуса.

Claims (11)

1. Устройство для измерения давления, имеющее корпус (9), в котором расположена подложка (3) с чувствительным элементом (31) и электрическими выводами (34) и который имеет первую полость (4), внутри которой заключен этот чувствительный элемент (31) и которая сообщается с первым каналом (13) подвода давления, образованным первым присоединением (12) для подвода давления, вторую полость (5), которая герметично отделена от первой полости (4) и внутри которой заключены по меньшей мере указанные электрические выводы (34), и третью полость (6), которая герметично отделена от первой полости (4) и второй полости (5) и сообщается со вторым каналом (11) подвода давления, образованным вторым присоединением (10) для подвода давления, отличающееся тем, что корпус (9) состоит из первой корпусной детали (1) и второй корпусной детали (2), на участке взаимного прилегания первой корпусной детали (1) и второй корпусной детали (2) расположено уплотнение (16), герметично отделяющее первую полость (4) корпуса от второй его полости (5), причем уплотнение (16) между первой (1) и второй (2) корпусными деталями имеет круговой участок (16а), расположенный на участке взаимного прилегания первой корпусной детали (1) и второй корпусной детали (2), и внутренний участок (16b), который по типу перемычки соединяет между собой противолежащие стороны этого кругового участка (16а) и который уплотняет переходный участок в стыке между подложкой (3) и перегородкой (22), выполненной на второй корпусной детали (2) и отделяющей первую полость (4) корпуса от второй его полости (5).
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что третья полость (6) корпуса ограничена обращенной от чувствительного элемента (31) стороной подложки (3) и внутренней стенкой (18) углубления, которое выполнено с обращенной к подложке (3) внутренней стороны (19) первой корпусной детали (1) и которое сообщается со вторым каналом (11) подвода давления или образует его.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первое присоединение (12) для подвода давления и второе присоединение (10) для подвода давления выполнены на первой корпусной детали (1).
4. Устройство по п.2, отличающееся тем, что между обращенной к подложке (3) внутренней стороной (19) первой корпусной детали (1) и обращенной от чувствительного элемента (31) стороной подложки (3) расположено уплотнение (15), герметично отделяющее третью полость (6) корпуса от первой его полости (4).
5. Устройство по п.1 или 4, отличающееся тем, что уплотнение (15) между первой корпусной деталью (1) и подложкой (3) и/или уплотнение (16) между первой (1) и второй (2) корпусными деталями образованы каждое герметичным клеевым соединением и прежде всего валиком клеевого герметика.
6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что первое герметичное клеевое соединение (15) и/или второе герметичное клеевое соединение (16) расположены каждое в основном в одной плоскости.
7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первое присоединение (12) для подвода давления и второе присоединение (10) для подвода давления выполнены выступающими с одной и той же стороны первой корпусной детали (1).
8. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первое присоединение (12) для подвода давления выполнено на первой корпусной детали (1) выступающим под прямым углом ко второму присоединению (10) для подвода давления.
9. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что во второй полости (5) корпуса на подложке (3) расположены защитные конденсаторы (35), предназначенные для обеспечения электромагнитной совместимости.
10. Устройство по любому из пп.2, 4, 5, 6 и 9, отличающееся тем, что оно выполнено в виде датчика разности давлений.
11. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что вторая корпусная деталь (2) выполнена в виде крышки.
RU2003123602/28A 2002-05-25 2003-02-19 Устройство для измерения давления RU2330252C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10223357A DE10223357A1 (de) 2002-05-25 2002-05-25 Vorrichtung zur Druckmessung
DE10223357.8 2002-05-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2003123602A RU2003123602A (ru) 2005-02-20
RU2330252C2 true RU2330252C2 (ru) 2008-07-27

Family

ID=29414175

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2003123602/28A RU2330252C2 (ru) 2002-05-25 2003-02-19 Устройство для измерения давления

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6993976B2 (ru)
EP (1) EP1521952B1 (ru)
JP (1) JP4582633B2 (ru)
KR (1) KR101011098B1 (ru)
DE (2) DE10223357A1 (ru)
RU (1) RU2330252C2 (ru)
WO (1) WO2003100371A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2561765C2 (ru) * 2009-12-04 2015-09-10 Роберт Бош Гмбх Датчик с его корпусом
RU211348U1 (ru) * 2021-12-16 2022-06-01 Общество с ограниченной ответственностью "Газпром трансгаз Ухта" Устройство для контроля давления внутренней полости установленных в трубопроводе герметизаторов

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004012593A1 (de) * 2004-03-12 2005-09-29 Robert Bosch Gmbh Sensormodul
FR2870291B1 (fr) * 2004-05-17 2006-07-07 Renault Sas Dispositif de prise de pression en amont et en aval d'un filtre a particules d'une ligne d'echappement
DE102005013914A1 (de) * 2005-03-24 2006-07-20 Siemens Ag Vorrichtung zur Druckmessung
DE102005053682A1 (de) * 2005-11-10 2007-05-16 Bosch Gmbh Robert Sensor, Sensorbauelement und Verfahren zur Herstellung eines Sensors
DE202006003446U1 (de) * 2006-03-02 2006-05-18 Eto Sensoric Kg Drucksensorvorrichtung
DE102007009692A1 (de) * 2007-02-28 2008-09-04 Robert Bosch Gmbh Unfallsensor
DE102008003848A1 (de) 2008-01-10 2009-07-16 Robert Bosch Gmbh Kunststoffgehäuse mit integrierter Steckerschnittstelle
DE102008005153A1 (de) * 2008-01-18 2009-07-23 Robert Bosch Gmbh Druckmessmodul
DE102009028966A1 (de) * 2009-08-28 2011-03-03 Robert Bosch Gmbh Drucksensor
EP2312290B1 (de) * 2009-10-16 2019-09-25 First Sensor Mobility GmbH Drucksensor und dessen Verwendung in einem Fluidtank
DE102009047508A1 (de) 2009-12-04 2011-06-09 Robert Bosch Gmbh Mediendichte elektrische Verbindung
DE102009047509A1 (de) 2009-12-04 2011-06-09 Robert Bosch Gmbh Sensor mit einem Sensorgehäuse
DE102010001075A1 (de) * 2010-01-21 2011-07-28 Robert Bosch GmbH, 70469 Niederdrucksensor
DE102011013912A1 (de) 2011-03-15 2012-09-20 Volkswagen Aktiengesellschaft Drucksensor
DE102011077686A1 (de) 2011-06-17 2012-12-20 Robert Bosch Gmbh Druckmessvorrichtung
EP2554968B1 (en) 2011-08-01 2019-01-16 Sensata Technologies, Inc. Sensor system for differential pressure measurement
DE102011085652A1 (de) 2011-11-03 2013-05-08 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums
DE102012204588A1 (de) 2012-03-22 2013-09-26 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks eines Mediums
CN103278285A (zh) * 2013-06-08 2013-09-04 无锡隆盛科技股份有限公司 一种压差传感器
DE102014212970A1 (de) 2014-07-03 2016-01-07 Robert Bosch Gmbh Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums in einem Messraum
CN104101460A (zh) * 2014-07-21 2014-10-15 无锡隆盛科技股份有限公司 一种压差传感器外壳
CN104122029B (zh) * 2014-07-29 2016-09-28 广东科艺普实验室设备研制有限公司 新结构的气压压差传感器总成
CN107076630A (zh) * 2014-09-03 2017-08-18 韩国株式会社科迈特 差压传感器
KR101811185B1 (ko) 2014-09-22 2017-12-27 주식회사 코멧네트워크 차압센서
DE102014221067A1 (de) 2014-10-16 2016-04-21 Robert Bosch Gmbh Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums
DE102014223984A1 (de) 2014-11-25 2016-05-25 Robert Bosch Gmbh Gefrierfeste Drucksensoranordnung, insbesondere als Differentialdrucksensoranordnung fürDieselpartikelfilter
DE102014223974A1 (de) 2014-11-25 2016-05-25 Robert Bosch Gmbh lod-resistente Drucksensoranordnung
DE102014225861A1 (de) * 2014-12-15 2016-06-16 Robert Bosch Gmbh Sensoreinrichtung, insbesondere für die Verwendung in einem Kraftfahrzeug
CH710760A1 (de) * 2015-02-20 2016-08-31 Kistler Holding Ag Drucksensor mit einer druckraumseitig angebrachten Membran und Verwendung eines solchen.
US9746390B2 (en) 2015-02-26 2017-08-29 Sensata Technologies, Inc. Microfused silicon strain gauge (MSG) pressure sensor package
DE102016201847A1 (de) 2015-05-28 2016-12-01 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
DE102015222115A1 (de) 2015-11-10 2017-05-11 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE102015223850A1 (de) 2015-12-01 2017-06-01 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums in einem Messraum
CN107290099B (zh) 2016-04-11 2021-06-08 森萨塔科技公司 压力传感器、用于压力传感器的插塞件和制造插塞件的方法
EP3236226B1 (en) 2016-04-20 2019-07-24 Sensata Technologies, Inc. Method of manufacturing a pressure sensor
GB2551710B (en) * 2016-06-24 2020-07-01 Perkins Engines Co Ltd Housing for sensor assembly of after treatment system
EP3276242B1 (en) * 2016-07-28 2019-08-28 Sensirion AG Differential pressure sensor comprising an adaptor device
CN206330645U (zh) * 2016-09-05 2017-07-14 泰科电子(上海)有限公司 传感器组件和液位检测装置
US10545064B2 (en) 2017-05-04 2020-01-28 Sensata Technologies, Inc. Integrated pressure and temperature sensor
US10323998B2 (en) 2017-06-30 2019-06-18 Sensata Technologies, Inc. Fluid pressure sensor
US10724907B2 (en) 2017-07-12 2020-07-28 Sensata Technologies, Inc. Pressure sensor element with glass barrier material configured for increased capacitive response
US10557770B2 (en) 2017-09-14 2020-02-11 Sensata Technologies, Inc. Pressure sensor with improved strain gauge
DE102018221895A1 (de) 2018-12-17 2020-06-18 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines vereisungsrobusten Drucksensors und vereisungsrobuster Drucksensor
AT17013U1 (ru) * 2019-09-05 2021-02-15 Zieger Dipl Ing Andreas

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2932336A1 (de) * 1979-08-09 1981-02-26 Bosch Gmbh Robert Steuereinrichtung zur zuendzeitpunktbestimmung und kraftstoffzumessung fuer eine brennkraftmaschine
US4708012A (en) * 1986-08-19 1987-11-24 Motorola, Inc. Method and apparatus for high pressure testing of solid state pressure sensors
US4850227A (en) * 1987-12-22 1989-07-25 Delco Electronics Corporation Pressure sensor and method of fabrication thereof
US5257547A (en) * 1991-11-26 1993-11-02 Honeywell Inc. Amplified pressure transducer
JP2602008Y2 (ja) * 1993-12-03 1999-12-20 日立建機株式会社 センサの組立て構造
US5747694A (en) * 1995-07-28 1998-05-05 Nippondenso Co., Ltd. Pressure sensor with barrier in a pressure chamber
DE19731420A1 (de) * 1997-07-22 1999-01-28 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Erfassung des Drucks und der Temperatur im Saugrohr einer Brennkraftmaschine und Verfahren zu ihrer Herstellung
WO2000042407A1 (en) * 1999-01-11 2000-07-20 Becton, Dickinson And Company Isolated calibration adapter for sterile pressure transducer
JP4281198B2 (ja) * 1999-04-26 2009-06-17 株式会社デンソー 圧力センサの組付け方法
JP3452835B2 (ja) * 1999-05-28 2003-10-06 三菱電機株式会社 圧力センサ装置
JP2003315193A (ja) * 2002-04-24 2003-11-06 Denso Corp 圧力センサ

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2561765C2 (ru) * 2009-12-04 2015-09-10 Роберт Бош Гмбх Датчик с его корпусом
US9326408B2 (en) 2009-12-04 2016-04-26 Robert Bosch Gmbh Sensor having a sensor housing
RU211348U1 (ru) * 2021-12-16 2022-06-01 Общество с ограниченной ответственностью "Газпром трансгаз Ухта" Устройство для контроля давления внутренней полости установленных в трубопроводе герметизаторов

Also Published As

Publication number Publication date
WO2003100371A1 (de) 2003-12-04
KR101011098B1 (ko) 2011-01-25
JP2005527818A (ja) 2005-09-15
US6993976B2 (en) 2006-02-07
DE10223357A1 (de) 2003-12-04
JP4582633B2 (ja) 2010-11-17
EP1521952A1 (de) 2005-04-13
US20050103115A1 (en) 2005-05-19
KR20040111322A (ko) 2004-12-31
EP1521952B1 (de) 2010-08-04
DE50312955D1 (de) 2010-09-16
RU2003123602A (ru) 2005-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2330252C2 (ru) Устройство для измерения давления
RU2191358C2 (ru) Устройство для измерения давления и температуры во впускном газопроводе двигателя внутреннего сгорания и способ изготовления такого устройства
US7516667B2 (en) Differential pressure sensor having symmetrically-provided sensor chips and pressure introduction passages
US8707774B2 (en) Sensor system for differential pressure measurement
US6212946B1 (en) Securing means for a device for detecting the pressure and temperature in the intake tube of an internal combustion engine
US7284435B2 (en) Pressure sensor
US7426868B2 (en) Sensor module
US20050269654A1 (en) Pressure sensor
US20200217736A1 (en) Pressure sensor system and method for its manufacture
US20110073969A1 (en) Sensor system and method for manufacturing same
JP2004279091A (ja) 圧力センサ
US6584853B2 (en) Corrosion-proof pressure transducer
US7737544B2 (en) Sensor system having a substrate and a housing, and method for manufacturing a sensor system
KR20040086791A (ko) 반도체 압력센서
US6971268B2 (en) Pressure sensor having metallic diaphragm with convexity
KR101642142B1 (ko) 질량유량센서 및 질량유량센서를 구비한 차량
KR101642423B1 (ko) 차압센서
JP4224224B2 (ja) 変換器のケース構造
CN111373234A (zh) 压力传感器
KR101811185B1 (ko) 차압센서
JP2022016754A (ja) 熱式流量センサ
JPH03200035A (ja) 半導体圧力センサ
JPH03200036A (ja) 半導体圧力センサ