RU2002107429A

RU2002107429A - Способ химико-механической планаризации и полученные с его помощью изделия

Info

Publication number: RU2002107429A
Application number: RU2002107429/04A
Authority: RU
Inventors: Аджай К. ГАРГ; Брахманандам В. Таникелла; Уильям Р. ДЕЛЭНИ
Original assignee: Сент-Гобэн Керамикс Энд Пластикс, Инк.
Priority date: 1999-10-06
Filing date: 2000-08-30
Publication date: 2003-09-27

Claims

1. Способ химико-механической планаризации, который предусматривает полирование подложки, содержащей металл и непроводящий материал, отличающийся тем, что он предусматривает использование абразива, который содержит порошок оксида алюминия, в котором частицы порошка оксида алюминия имеют покрытие из диоксида кремния, причем порошок имеет BET площадь поверхности, составляющую по меньшей мере 50 м²/г, при этом содержание оксида алюминия составляет по меньшей мере 90 вес.%, а содержание альфа оксида алюминия составляет по меньшей мере 90 вес.%, причем по меньшей мере 90% частиц оксида алюминия имеют максимальную ширину не более 50 нм, при этом менее 10% частиц имеют максимальный размер, превышающий 100 нм.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержание альфа оксида алюминия в порошке оксида алюминия составляет по меньшей мере 95%.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержание диоксида кремния в абразиве из оксида алюминия составляет от 1 до 8 вес.%.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что абразив из оксида алюминия подают на обрабатываемую деталь в виде суспензии, которая содержит от 2 до 7 вес.% оксида алюминия.

5. Способ по п.1, отличающийся тем, что абразив из оксида алюминия подводят к обрабатываемой детали в виде фиксированного абразива, который содержит абразивные частицы, диспергированные в отвержденной полимерной матрице.

6. Способ по п.5, отличающийся тем, что фиксированный абразив имеет профильную поверхность с множеством имеющих определенную форму структур.

7. Суспензия для осуществления химико-механическая планаризации, отличающаяся тем, что она содержит порошок оксида алюминия, в котором частицы порошка оксида алюминия имеют покрытие из диоксида кремния, причем порошок имеет BET площадь поверхности, составляющую по меньшей мере 50 м²/г, при этом содержание оксида алюминия составляет по меньшей мере 90 вес.%, а содержание альфа оксида алюминия составляет по меньшей мере 90 вес.%, причем по меньшей мере 90% частиц имеют максимальную ширину от 20 до 50 нм, при этом менее 10% частиц имеют максимальный размер, превышающий 100 нм.

8. Абразив для использования в химико-механической планаризации, отличающийся тем, что он имеет рабочую поверхность, которая содержит множество имеющих определенную форму структур, полученных за счет отверждения дисперсии абразивных частиц из оксида алюминия в отверждаемом полимере, причем абразивные частицы из оксида алюминия имеют покрытие из диоксида кремния, при этом указанные частицы имеют BET площадь поверхности, составляющую по меньшей мере 50 м²/г, причем содержание оксида алюминия составляет по меньшей мере 90 вес.%, а содержание альфа оксида алюминия составляет по меньшей мере 90 вес.%, при этом по меньшей мере 90% частиц имеют максимальную ширину от 20 до 50 нм, при этом менее 10% частиц имеют максимальный размер, превышающий 100 нм.