RU2002102078A - Источник и способ создания сфокусированного электронного пучка (варианты) - Google Patents
Источник и способ создания сфокусированного электронного пучка (варианты) Download PDFInfo
- Publication number
- RU2002102078A RU2002102078A RU2002102078/09A RU2002102078A RU2002102078A RU 2002102078 A RU2002102078 A RU 2002102078A RU 2002102078/09 A RU2002102078/09 A RU 2002102078/09A RU 2002102078 A RU2002102078 A RU 2002102078A RU 2002102078 A RU2002102078 A RU 2002102078A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cathode
- focusing lens
- lens
- integral
- field emission
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/04—Cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
- H01J3/021—Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source
- H01J3/022—Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source with microengineered cathode, e.g. Spindt-type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
- H01J2201/30—Cold cathodes
- H01J2201/304—Field emission cathodes
- H01J2201/30446—Field emission cathodes characterised by the emitter material
- H01J2201/30453—Carbon types
- H01J2201/30457—Diamond
Claims (23)
1. Источник сфокусированного электронного пучка, отличающийся тем, что он содержит катод автоэлектронной эмиссии, имеющий непрерывную эмиттерную область вокруг центральной оси в направлении электронного пучка; первый диэлектрический слой на катоде автоэлектронной эмиссии; интегральный затвор экстракции и интегральную фокусирующую линзу, причем указанные затвор и линза разделены вторым диэлектрический слоем и монолитно интегрированы с диэлектрическими слоями и с катодом; внешнюю фокусирующую линзу, имеющую заданную толщину и сквозное отверстие, расположенную на заданном расстоянии от интегральной фокусирующей линзы; чашу сведения лучей, имеющую заданную толщину и сквозное отверстие, расположенную на заданном расстоянии от внешнего фокусирующего электрода; электрические соединения с катодом, с интегральными затвором и с линзой, с внешней линзой и с чашей сведения лучей.
2. Источник по п.1, отличающийся тем, что катод автоэлектронной эмиссии изготовлен на базе углерода.
3. Источник по п.1, отличающийся тем, что он дополнительно содержит электрод Пирса, расположенный вблизи от плоскости интегральной фокусирующей линзы и предназначенный для формирования краевых полей вблизи от катода автоэлектронной эмиссии.
4. Источник по п.1, отличающийся тем, что первый и второй диэлектрические слои имеют толщину в диапазоне ориентировочно от 1 до 4 мкм.
5. Источник по п.1, отличающийся тем, что внешняя фокусирующая линза имеет толщину в диапазоне ориентировочно от 0,3 до 1,0 мм.
6. Источник по п.1, отличающийся тем, что чаша сведения лучей расположена перед катодом на расстоянии менее 10 мм.
7. Источник по п.1, отличающийся тем, что расстояние между катодом и внешней фокусирующей линзой составляет менее 3 см.
8. Способ создания сфокусированного электронного пучка, отличающийся тем, что он включает в себя следующие операции: использование источника, который содержит катод автоэлектронной эмиссии, причем катод автоэлектронной эмиссии имеет непрерывную эмиттерную область вокруг центральной оси в направлении электронного пучка, первый диэлектрический слой на катоде автоэлектронной эмиссии, интегральный затвор экстракции, предназначенный для экстракции электронов, и интегральную фокусирующую линзу, предназначенную для фокусировки электронов, причем указанные затвор и линза разделены вторым диэлектрический слоем и монолитно интегрированы с диэлектрическими слоями и с катодом; использование внешней фокусирующей линзы, имеющей заданную толщину и сквозное отверстие, и расположенной на заданном расстоянии от интегральной фокусирующей линзы, а также использование чаши сведения лучей и электрических соединений; соединение катода с землей; и приложение выбранных напряжений к интегральному затвору и к интегральной линзе, а также к внешней фокусирующей линзе и к чаше сведения лучей, таким образом, чтобы создать сфокусированный электронный пучок.
9. Способ по п.8, отличающийся тем, что катод автоэлектронной эмиссии изготовлен на базе углерода.
10. Способ по п.8, отличающийся тем, что к затвору экстракции прикладывают напряжение в диапазоне ориентировочно от 20 до 120 В.
11. Способ по п.8, отличающийся тем, что к интегральной фокусирующей линзе прикладывают напряжение в диапазоне ориентировочно от - 10 вольт до +200 вольт.
12. Способ по п.8, отличающийся тем, что к внешнему фокусирующему электроду прикладывают напряжение в диапазоне ориентировочно от -1500 + 5000 В.
13. Способ по п.8, отличающийся тем, что к электроду Пирса прикладывают напряжение, смещенное в пределах 150 В от напряжения, приложенного к интегральному фокусирующему электроду.
14. Источник сфокусированного электронного пучка, отличающийся тем, что он содержит: катод автоэлектронной эмиссии, изготовленный на базе углерода; первый диэлектрический слой на катоде автоэлектронной эмиссии; интегральный затвор экстракции и интегральную фокусирующую линзу, причем указанные затвор и линза разделены вторым диэлектрический слоем и монолитно интегрированы с диэлектрическими слоями и с катодом; внешнюю фокусирующую линзу, имеющую заданную толщину и сквозное отверстие, расположенную на заданном расстоянии от интегральной фокусирующей линзы; чашу сведения лучей, имеющую заданную толщину и сквозное отверстие, расположенную на заданном расстоянии от внешнего фокусирующего электрода; и электрические соединения с катодом, с интегральными затвором и с линзой, с внешней линзой и с чашей сведения лучей.
15. Источник по п.14, отличающийся тем, что он дополнительно содержит электрод Пирса, расположенный вблизи от плоскости интегральной фокусирующей линзы и предназначенный для формирования краевых полей вблизи от катода автоэлектронной эмиссии.
16. Источник по п.14, отличающийся тем, что первый и второй диэлектрические слои имеют толщину в диапазоне ориентировочно от 1 до 4 мкм.
17. Источник по п.14, отличающийся тем, что внешняя фокусирующая линза имеет толщину в диапазоне ориентировочно от 0,3 до 1,0 мм.
18. Источник по п.14, отличающийся тем, что чаша сведения лучей расположена перед катодом на расстоянии менее 10 мм.
19. Способ создания сфокусированного электронного пучка, отличающийся тем, что он включает в себя следующие операции: использование источника, который содержит катод автоэлектронной эмиссии, причем катод автоэлектронной эмиссии имеет непрерывную эмиттерную область вокруг центральной оси в направлении электронного пучка и изготовлен на базе углерода, первый диэлектрический слой на катоде автоэлектронной эмиссии, интегральный затвор экстракции для экстракции электронов и интегральную фокусирующую линзу для фокусировки электронов, причем указанные затвор и линза разделены вторым диэлектрический слоем и монолитно интегрированы с диэлектрическими слоями и с катодом; использование внешней фокусирующей линзы, имеющей заданную толщину и сквозное отверстие, и расположенной на заданном расстоянии от интегральной фокусирующей линзы, а также использование чаши сведения лучей и электрических соединений; соединение катода с землей; и приложение выбранных напряжений к интегральному затвору и к интегральной линзе, а также к внешней фокусирующей линзе и к чаше сведения лучей, таким образом, чтобы создать сфокусированный электронный пучок.
20. Способ по п.19, отличающийся тем, что к затвору экстракции прикладывают напряжение в диапазоне ориентировочно от 20 до 120 В.
21. Способ по п.19, отличающийся тем, что к интегральной фокусирующей линзе прикладывают напряжение в диапазоне ориентировочно от -10 до +200 В.
22. Способ по п.19, отличающийся тем, что к внешнему фокусирующему электроду прикладывают напряжение в диапазоне ориентировочно от -1500 до + 5000 В.
23. Способ по п.19, отличающийся тем, что электроду Пирса прикладывают напряжение, смещенное в пределах 150 В от напряжения, приложенного к интегральному фокусирующему электроду.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/356,851 | 1999-07-19 | ||
US09/356,851 US6255768B1 (en) | 1999-07-19 | 1999-07-19 | Compact field emission electron gun and focus lens |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2002102078A true RU2002102078A (ru) | 2003-08-27 |
Family
ID=23403230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2002102078/09A RU2002102078A (ru) | 1999-07-19 | 2000-06-21 | Источник и способ создания сфокусированного электронного пучка (варианты) |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6255768B1 (ru) |
EP (1) | EP1198819A4 (ru) |
JP (1) | JP2003505833A (ru) |
KR (1) | KR20020038696A (ru) |
CN (1) | CN1369104A (ru) |
AU (1) | AU5630200A (ru) |
CA (1) | CA2384506A1 (ru) |
MX (1) | MXPA02000664A (ru) |
RU (1) | RU2002102078A (ru) |
TW (1) | TW477997B (ru) |
WO (1) | WO2001006531A1 (ru) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6429596B1 (en) | 1999-12-31 | 2002-08-06 | Extreme Devices, Inc. | Segmented gate drive for dynamic beam shape correction in field emission cathodes |
US6683414B2 (en) * | 2001-10-25 | 2004-01-27 | Northrop Grumman Corporation | Ion-shielded focusing method for high-density electron beams generated by planar cold cathode electron emitters |
CN1258204C (zh) * | 2002-05-16 | 2006-05-31 | 中山大学 | 一种冷阴极电子枪 |
US20040232857A1 (en) * | 2003-03-14 | 2004-11-25 | Takashi Itoh | CRT device with reduced fluctuations of beam diameter due to brightness change |
KR100866980B1 (ko) | 2006-11-16 | 2008-11-05 | 한국전기연구원 | 평판형 냉음극 전자총 |
KR101420244B1 (ko) | 2008-05-20 | 2014-07-21 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 전자빔 집속 전극 및 이를 이용한 전자총 |
DE202013101190U1 (de) * | 2013-03-20 | 2014-06-24 | Zumtobel Lighting Gmbh | Anordnung zur Lichtabgabe mit einer LED, einer Platine und einem optischen Element |
CN106128908B (zh) * | 2016-07-26 | 2017-09-29 | 西北核技术研究所 | 一种皮尔斯电子枪的设计方法 |
CN110085503B (zh) * | 2019-05-06 | 2021-02-12 | 北京师范大学 | 一种可调束斑的场发射冷阴极电子源器件及其制备方法 |
KR20220079664A (ko) * | 2019-10-16 | 2022-06-13 | 유.에스. 일렉트론, 인크. | 플라즈마 캐소드를 사용하는 전자 빔 용접 시스템 |
CN116190178B (zh) * | 2023-04-20 | 2023-06-23 | 能量奇点能源科技(上海)有限公司 | 一种冷阴极电子枪 |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3753022A (en) | 1971-04-26 | 1973-08-14 | Us Army | Miniature, directed, electron-beam source |
US4178531A (en) | 1977-06-15 | 1979-12-11 | Rca Corporation | CRT with field-emission cathode |
US4498952A (en) | 1982-09-17 | 1985-02-12 | Condesin, Inc. | Batch fabrication procedure for manufacture of arrays of field emitted electron beams with integral self-aligned optical lense in microguns |
DE69204629T2 (de) | 1991-11-29 | 1996-04-18 | Motorola Inc | Herstellungsverfahren einer Feldemissionsvorrichtung mit integraler elektrostatischer Linsenanordnung. |
FR2685811A1 (fr) * | 1991-12-31 | 1993-07-02 | Commissariat Energie Atomique | Systeme permettant de maitriser la forme d'un faisceau de particules chargees. |
US5332945A (en) | 1992-05-11 | 1994-07-26 | Litton Systems, Inc. | Pierce gun with grading electrode |
US5343113A (en) | 1992-08-28 | 1994-08-30 | Chang Kern K N | Cathode ray tube apparatus with reduced beam spot size |
EP0597537B1 (en) * | 1992-11-12 | 1998-02-11 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Electron tube comprising a semiconductor cathode |
JPH0721903A (ja) | 1993-07-01 | 1995-01-24 | Nec Corp | 電界放出型陰極を用いた陰極線管用電子銃構体 |
US5528103A (en) | 1994-01-31 | 1996-06-18 | Silicon Video Corporation | Field emitter with focusing ridges situated to sides of gate |
US5552659A (en) | 1994-06-29 | 1996-09-03 | Silicon Video Corporation | Structure and fabrication of gated electron-emitting device having electron optics to reduce electron-beam divergence |
JP2731733B2 (ja) | 1994-11-29 | 1998-03-25 | 関西日本電気株式会社 | 電界放出冷陰極とこれを用いた表示装置 |
JP2812356B2 (ja) | 1995-02-24 | 1998-10-22 | 日本電気株式会社 | 電界放出型電子銃 |
JP2809125B2 (ja) | 1995-02-27 | 1998-10-08 | 日本電気株式会社 | 集束電極付電界放出型冷陰極 |
JPH08315721A (ja) | 1995-05-19 | 1996-11-29 | Nec Kansai Ltd | 電界放出冷陰極 |
US5850120A (en) | 1995-07-07 | 1998-12-15 | Nec Corporation | Electron gun with a gamma correct field emission cathode |
JP2947145B2 (ja) | 1995-10-23 | 1999-09-13 | 日本電気株式会社 | 陰極線管を用いたディスプレイ装置 |
US5804910A (en) * | 1996-01-18 | 1998-09-08 | Micron Display Technology, Inc. | Field emission displays with low function emitters and method of making low work function emitters |
JP2910837B2 (ja) | 1996-04-16 | 1999-06-23 | 日本電気株式会社 | 電界放出型電子銃 |
JP2907113B2 (ja) | 1996-05-08 | 1999-06-21 | 日本電気株式会社 | 電子ビーム装置 |
JPH09306376A (ja) | 1996-05-09 | 1997-11-28 | Mitsubishi Electric Corp | 陰極線管用電子銃 |
JPH09306332A (ja) | 1996-05-09 | 1997-11-28 | Nec Corp | 電界放出型電子銃 |
JP2891196B2 (ja) * | 1996-08-30 | 1999-05-17 | 日本電気株式会社 | 冷陰極電子銃およびこれを用いた電子ビーム装置 |
JP2907150B2 (ja) * | 1996-09-27 | 1999-06-21 | 日本電気株式会社 | 冷陰極電子銃およびこれを用いた電子ビーム装置 |
JP2939943B2 (ja) * | 1996-11-01 | 1999-08-25 | 日本電気株式会社 | 冷陰極電子銃およびこれを備えたマイクロ波管装置 |
JP3107036B2 (ja) * | 1998-03-20 | 2000-11-06 | 日本電気株式会社 | 冷陰極搭載電子管用電子銃 |
-
1999
- 1999-07-19 US US09/356,851 patent/US6255768B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-06-21 RU RU2002102078/09A patent/RU2002102078A/ru not_active Application Discontinuation
- 2000-06-21 EP EP20000941613 patent/EP1198819A4/en not_active Withdrawn
- 2000-06-21 KR KR1020027000825A patent/KR20020038696A/ko not_active Application Discontinuation
- 2000-06-21 MX MXPA02000664A patent/MXPA02000664A/es unknown
- 2000-06-21 CN CN00811363A patent/CN1369104A/zh active Pending
- 2000-06-21 CA CA002384506A patent/CA2384506A1/en not_active Abandoned
- 2000-06-21 JP JP2001511705A patent/JP2003505833A/ja not_active Withdrawn
- 2000-06-21 WO PCT/US2000/017065 patent/WO2001006531A1/en not_active Application Discontinuation
- 2000-06-21 AU AU56302/00A patent/AU5630200A/en not_active Abandoned
- 2000-07-18 TW TW089114355A patent/TW477997B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
MXPA02000664A (es) | 2002-07-02 |
WO2001006531A1 (en) | 2001-01-25 |
JP2003505833A (ja) | 2003-02-12 |
CA2384506A1 (en) | 2001-01-25 |
CN1369104A (zh) | 2002-09-11 |
AU5630200A (en) | 2001-02-05 |
EP1198819A1 (en) | 2002-04-24 |
US6255768B1 (en) | 2001-07-03 |
KR20020038696A (ko) | 2002-05-23 |
TW477997B (en) | 2002-03-01 |
EP1198819A4 (en) | 2002-11-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2002102078A (ru) | Источник и способ создания сфокусированного электронного пучка (варианты) | |
US6653547B2 (en) | Solar energy converter | |
JP2002500817A (ja) | 制御された単一及び多重電子ビーム放出のためのゲート形光電陰極 | |
GB2015245A (en) | X-ray tubes | |
JPH0326493B2 (ru) | ||
WO2002103740A3 (en) | Focusing lens for electron emitter | |
US6002128A (en) | Sample analyzer | |
JPH02213037A (ja) | 電子ビーム測定装置の作動方法 | |
JPH11120950A (ja) | 電子線レンズ装置 | |
JPS58216327A (ja) | 電界放射陰極 | |
JPS61225746A (ja) | 電子ビーム装置 | |
EP1306871A3 (en) | Apparatus and method for focusing high-density electron beam emitted from planar cold cathode electron emitter | |
US2191415A (en) | Television tube | |
JP2003513407A (ja) | 改良された熱電界放出の整列 | |
JPH0319166Y2 (ru) | ||
GB2018507A (en) | A single use X-ray source | |
JP2000021288A (ja) | 熱電界放出形電子銃 | |
RU1812576C (ru) | Электронно-лучевой прибор | |
JPH07169422A (ja) | X線管 | |
KR870008369A (ko) | 음극선관 | |
JPH0518838Y2 (ru) | ||
TWI290330B (en) | Cathode ray tube | |
JPS59203355A (ja) | イオンマイクロビ−ム打込み装置 | |
TWI278890B (en) | Structure of electron gun for color cathode ray tube | |
SU1058003A1 (ru) | Электронно-оптическа система |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20080922 |
|
FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20080922 |
|
FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20080922 |