RU1335110C - Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах - Google Patents

Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах Download PDF

Info

Publication number
RU1335110C
RU1335110C SU3941439A RU1335110C RU 1335110 C RU1335110 C RU 1335110C SU 3941439 A SU3941439 A SU 3941439A RU 1335110 C RU1335110 C RU 1335110C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoelectric substrate
etching
grooves
nom
chemical etching
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
В.И Федосов
О.В. Кислякова
В.Н. Федорец
В.В. Тимашев
Ю.П. Кондратьев
Original Assignee
В.И Федосов
О.В. Кислякова
В.Н. Федорец
В.В. Тимашев
Ю.П. Кондратьев
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by В.И Федосов, О.В. Кислякова, В.Н. Федорец, В.В. Тимашев, Ю.П. Кондратьев filed Critical В.И Федосов
Priority to SU3941439 priority Critical patent/RU1335110C/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU1335110C publication Critical patent/RU1335110C/ru

Links

Landscapes

  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

Изобретение относится к радиоэлектронике. Целью изобретения является увеличения выхода годных за счет уменьшения разброса центральной частоты. В процессе формирования системы канавок отражательных решеток резонатора на поверхностных акустических волнах их дополнительно вытравливают на величину, равную 10 - 15% от заданной глубины, а перед вытравливанием электропроводящего материала из канавок проводят селективно ионнохимическое травление рабочей грани пьезоэлектрической подложки в области системы канавок отражательных решеток. Селективное ионно-химическое травление проводят в течение времени T, определяемого соотношением T = A(fном-fц)/V·fном,c , где А - скорость травления материала пьезоэлектрической подложки, м/с; A-(6-7)·104 - коэффициент пропорциональности, м; fном - номинальное значение центральной частоты, Гц; fц - экспериментально определенное значение центральной частоты контрольного образца, Гц.

Description

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано при изготовлении резонаторов на поверхностных акустических волнах (ПАВ).
Целью изобретения является увеличение выхода годных за счет уменьшения разброса центральной частоты.
Способ изготовления резонаторов на ПАВ включает формирование на рабочей грани пьезоэлектрической подложки системы канавок отражательных решеток, заполненных электропроводящим материалом, и электродов встречно-штыревых преобразователей, а также формирование защитного покрытия, вытравливание электропроводящего материала из системы канавок отражательных решеток и удаление защитного покрытия. Причем в процессе формирования системы канавок отражательных решеток их дополнительно вытравливают на величину 10-15% от заданной глубины, а перед вытравливанием электропроводящего материала проводят селективное ионно-химическое травление рабочей грани пьезоэлектрической подложки в течение времени Т, определяемого соотношением
T =
Figure 00000001
Figure 00000002
, c, где V - скорость травления материала пьезоэлектрической подложки, м/с; A=(6-7)˙104 - коэффициент пропорциональности, м;
fном. - номинальное значение центральной частоты резонатора, Гц;
f ц - экспериментально определенное среднее значение центральной частоты резонатора, изготовленного без операции селективного ионно-химического травления материала пьезоэлектрической подложки, на контрольных пластинах из той же партии, что и рабочие пластины, Гц.
В качестве примера реализации предлагаемого способа были изготовлены резонаторы на ПАВ на пьезоэлектрической подложке из кварца ST-среза. Канавки отражательных решеток с заданной глубиной 90-95 нм дополнительно вытравливались на 10 нм. При этом на контрольных пластинах измеренное значение средней частоты было на 50-250 кГц ниже номинальной. Это значение увеличивалось путем селективного ионно-химического травления рабочей грани пьезоэлектрической подложки в течение времени, рассчитанного по приведенной формуле.
В результате этого наблюдалось увеличение годных почти в 2 раза. Положительный эффект достигается за счет уменьшения разброса центральной частоты резонатора.

Claims (1)

  1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕЗОНАТОРОВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ(ПАВ), включающий формирование на рабочей грани пьезоэлектрической подложки системы канавок отражательных решеток, заполненных электропроводящим материалом, и электродов встречно-штыревых преобразователей, формирование защитного покрытия для встречно-штыревых преобразователей, вытравливание электропроводящего материала из системы канавок отражательных решеток, удаление защитного покрытия, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных за счет уменьшения разброса центральной частоты, в процессе формирования системы канавок отражательных решеток их дополнительно вытравливают на величину, равную 10 - 15% от заданной глубины, а перед вытравливанием электропроводящего материала проводят селективное ионно-химическое травление рабочей грани пьезоэлектрической подложки в течение времени T, определяемого соотношением
    T =
    Figure 00000003
    Figure 00000004
    , c,
    где V - скорость травления материала пьезоэлектрической подложки, м/с;
    A - (6 - 7) · 104 - коэффициент пропорциональности, м;
    Fном - номинальное значение центральной частоты, Гц;
    Fц - экспериментально определенное значение центральной частоты резонатора на ПАВ, изготовленного без операции селективного ионно-химического травления рабочей грани пьезоэлектрической подложки на контрольных пластинах из той же партии, что и рабочие пластины, Гц.
SU3941439 1985-08-09 1985-08-09 Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах RU1335110C (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3941439 RU1335110C (ru) 1985-08-09 1985-08-09 Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3941439 RU1335110C (ru) 1985-08-09 1985-08-09 Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1335110C true RU1335110C (ru) 1994-10-15

Family

ID=30440303

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU3941439 RU1335110C (ru) 1985-08-09 1985-08-09 Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1335110C (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2815518C1 (ru) * 2023-08-23 2024-03-18 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Пульсар" Способ гальванического покрытия золотом корпусов полупроводниковых приборов

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Proc 31 Annual Symp on Fred Control, 1977, р.246-250. *
Tanski W.J. et al. Saw Filters ..., Mieroware Journal, 1982, v.25, N 2, р.53-57, 60, 62. *
Фильтры на поверхностных акустических волнах. Под ред. Г.Мэттьюза, М.: Радио и связь, 1981, с.187-189. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2815518C1 (ru) * 2023-08-23 2024-03-18 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Пульсар" Способ гальванического покрытия золотом корпусов полупроводниковых приборов

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2043259B1 (en) Methods for manufacturing piezoelectric vibrating pieces
US4278492A (en) Frequency trimming of surface acoustic wave devices
JP4593203B2 (ja) 音叉型水晶振動子及びその製造方法
JP2592806B2 (ja) 圧電材料の選択腐蝕
JP2011097623A (ja) 圧電振動子
JPS6141446B2 (ru)
KR100352392B1 (ko) 표면 탄성파 소자의 제조 방법
JPH0590865A (ja) 弾性表面波フイルタの中心周波数調整方法
RU1335110C (ru) Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах
US6377139B1 (en) Edge reflection type surface acoustic wave device with grooves or steps at the reflection edges
JPH07263998A (ja) 端面反射型表面波共振子
EP0366597A3 (en) Method of manufacturing saw devices and the thus obtained saw devices
JP3379518B2 (ja) 圧電素子の製造方法
RU2190922C2 (ru) Способ настройки на центральную частоту сверхузкополосного элемента на поверхностных акустических волнах
JP2565880B2 (ja) 弾性表面波装置の製造方法
JPH06232671A (ja) 弾性表面波素子の製造方法
JPS59219975A (ja) 半導体レ−ザの劈開方法
JPH04294622A (ja) 圧電素子の製造方法
JPS58190112A (ja) 振動素子の共振周波数調整方法
SU855940A1 (ru) Способ изготовлени пьезоэлементов со щел ми
JPS6346605B2 (ru)
JPH08232083A (ja) 表面弾性波デバイスの製造方法
JPS6271317A (ja) 弾性表面波装置の製造方法
JPH04273186A (ja) ブロック状圧電体の分極方法
JPH09139650A (ja) 水晶振動子及びその製造方法