RU1321048C

RU1321048C - Etching reagent

Info

Publication number: RU1321048C
Authority: RU
Inventors: В.И. Захаров; Л.А. Мананникова; Г.Н. Черпухина
Original assignee: Научно-исследовательский институт "Фонон"
Priority date: 1985-07-16
Filing date: 1985-07-16
Publication date: 1994-05-30

Abstract

FIELD: chemistry. SUBSTANCE: etching reagent has, vol. % : hydrofluoric acid 40-60; saturated alcohol taken from a group: benzylic, isoamylic, cyclohexanol, isobutylic and isopropylic ones 10-40, and dimethylformamide 10-40. EFFECT: enhanced quality of quartz treatment. 1 tbl

Description

Изобретение относится к химии и может быть использовано при обработке кварца. The invention relates to chemistry and can be used in the processing of quartz.

Целью изобретения является повышение качества обработки кварца. The aim of the invention is to improve the quality of processing of quartz.

Вводимые компоненты, образуют комплексы с молекулами фтористоводородной кислоты, что способствует поверхностному травлению, уменьшая преимущественное проникновение фтористоводородной кислоты по дефектам вглубь кристалла, т. е. уменьшается неоднородность травления. Спирт выбирают из группы: бензиловый, изоамиловый, циклогексанол, изобутиловый и изопропиловый. The introduced components form complexes with molecules of hydrofluoric acid, which contributes to surface etching, reducing the predominant penetration of hydrofluoric acid through defects deep into the crystal, i.e., the etching inhomogeneity decreases. Alcohol is selected from the group: benzyl, isoamyl, cyclohexanol, isobutyl and isopropyl.

Перемешивание раствора способствует смене травителя и отводу продуктов реакции. Mixing the solution promotes the change of the etchant and the removal of reaction products.

Травитель получают простым смешиванием в обычных условиях. The etchant is obtained by simple mixing under normal conditions.

Полученные смеси используют для травления монокристаллического кварца с различными исходными по шероховатости поверхностями, R_a, мкм 0,02; 0,1; 0,16.The resulting mixtures are used for etching single-crystal quartz with various initial roughness surfaces, R _a , μm 0.02; 0.1; 0.16.

После травления пластин кварца на глубину 15 мкм получена шероховатость поверхностей, указанная в таблице. After etching the quartz plates to a depth of 15 μm, the surface roughness indicated in the table is obtained.

Как видно из таблицы, у кварцевых пластин, предварительно прошедших шлифование порошком М-5 (R_а= 0,01 мкм) и М-10 (R_d= 0,16 мкм), после травления величина микронеровностей значительно уменьшается, а у полированных (R_d = 0,02 мкм) - увеличивается незначительно, т. е. травитель обладает полирующими свойствами.As can be seen from the table, in quartz wafers previously polished with M-5 powder (R _a = 0.01 μm) and M-10 (R _d = 0.16 μm), after etching, the microroughness is significantly reduced, and in polished ( R _d = 0.02 μm) - increases slightly, i.e., the etchant has polishing properties.

(56) Авторское свидетельство СССР N 329690, кл. C 09 K 13/00, 1970. (56) Copyright certificate of the USSR N 329690, cl. C 09 K 13/00, 1970.

Авторское свидетельство СССР N 628161, кл. C 09 K 13/06, 1976. USSR copyright certificate N 628161, cl. C 09 K 13/06, 1976.

Claims

HERBAL SOLUTION, comprising hydrofluoric acid, a saturated alcohol and a nitrogen-containing compound, characterized in that, in order to improve the quality of processing of quartz, it contains a saturated alcohol selected from the group: benzyl, isoamyl, cyclohexanol, isobutyl and isopropyl, and as a nitrogen-containing compound dimethylformamide in the following ratio of components, about. %:
Hydrofluoric Acid 40 - 60
Limit alcohol 10 - 40
Dimethylformamide 10 - 40