PL100951B1 - Sposob otrzymywania proszku do naparowywania prozniowego warstw rezystywnych o bardzo niskiej rezystywnosci powierzchniowej - Google Patents
Sposob otrzymywania proszku do naparowywania prozniowego warstw rezystywnych o bardzo niskiej rezystywnosci powierzchniowej Download PDFInfo
- Publication number
- PL100951B1 PL100951B1 PL19336976A PL19336976A PL100951B1 PL 100951 B1 PL100951 B1 PL 100951B1 PL 19336976 A PL19336976 A PL 19336976A PL 19336976 A PL19336976 A PL 19336976A PL 100951 B1 PL100951 B1 PL 100951B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- alloy
- resistive layers
- surface resistivity
- low surface
- vacuum evaporation
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 4
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 title 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 16
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 16
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 9
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 8
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000007711 solidification Methods 0.000 claims description 3
- 230000008023 solidification Effects 0.000 claims description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
Przedmiotem wynalazku jest sposób otrzymywania proszku do naparowywania prózniowego warstw
rezystywnych o bardzo niskiej rezystywnosci powierzchniowej.
Warstwy rezystywne wytwarzane sa metoda naparowywania na podloze ceramiczne w komorze prózniowej
z parownika wolframowego, a nastepnie poddawane sa obróbce cieplnej. Wlasnosci otrzymywanej warstwy
rezystywnej w glównej mierze zaleza od skladu stopu. W niewielkim zakresie wlasnosci warstwy mozna
regulowac poprzez zmiane parametrów obróbki cieplnej. Dotychczas do wytwarzania warstw o bardzo niskiej
rezystywnosci powierzchniowej stosuje sie stopy skladajace sie z chromu, niklu, zelaza, wanadu i krzemu.
Powyzsze stopy nie umozliwiaja otrzymywania w sposób powtarzalny warstw rezystywnych o rezystywnosci
rzedu 10,n przy równoczesnym zachowaniu temperaturowego wspólczynnika rezystancji bliskiego zeru.
Celem wynalazku jest wyeliminowanie tych niedociagniec przez opracowanie skladu chemicznego stopu
pozwalajacego na otrzymywanie w sposób powtarzalny warstw rezystywnych o,bardzo niskiej rezystywnosci
powierzchniowej przy równoczesnym zachowaniu temperaturowego wspólczynnika rezystancji bliskiego zeru.
Zagadnienie to zostalo rozwiazane wedlug wynalazku w ten sposób, ze opracowano stop o skladzie od 40
do 50% niklu, 19 do 24% krzemu, 11 do 15% chromu, 8 do 12% zelaza, 8 do 12% wolframu. Wedlug wynalazku
poszczególne skladniki nikiel, chrom, zelazo i krzem przetapia sie w piecu indukcyjnym w prózni minimum
" Tr. Nastepnie z tych skladników oraz wolframu wykonuje sie nawazke, która stapia sie wtyglu
ceramicznym w prózni w atmosferze ochronnej. Nastepnie stop przelewa sie do wlewnicy, a po skrzepnieciu
rozdrabnia sie na proszek o uziarnieniu ponizej 0,1 mm.
Stop wykonany w tym skladzie wedlugrwynalazku umozliwia wytwarzanie warstw rezystywnych o rezys-
tywnos> powierzchniowej od 10? do 50? .. . «. ,. •¦ * *••
3 u n przy zachowaniu temperaturowego wspólczynnika rezystancji
—1 ^+1,5X 10" / C oraz nie powoduje zaklócen w procesie naparowywania prózniowego warstw rezystyw¬
nych.
Stop wedlug wynalazku wytwarza sie w ten sposób, ze poszczególne skladniki nikiel, krzem, chrom
i zelazo za wyjatkiem wolframu oddzielnie przetapia sie w piecu indukcyjnym w prózni minimum lO^Tr2
100 951
nastepnie z tych skladników wykonuje sie nawazke, która z dodatkiem wolframu stapia sie w tyglu ceramicz¬
nym w prózni i atmosferze ochronnej, a po stopieniu stop przelewa sie do wlewnicy zelaznej z dnem ceramicz¬
nym. Po skrzepnieciu stop rozdrabnia sie na proszek o uziarnieniu ponizej 0,1 mm.
Przyklad. Dla wykonania stopu wykonuje sie z uprzednio przetopionych w prózni skladników, za
wyjatkiem wolframu nawazke o skladzie zawierajacym 46% niklu, 21,5% krzemu, 13,5% chromu, 9% zelaza
i 10% wolframu. Wytop prowadzi sie w nastepujacy sposób. Skladniki stopowe uklada sie do tygla ceramiczne¬
go. Proces grzania wsadu prowadzi sie w prózni 10"4Tr az do temperatury okolo 1200°C. Nastepnie wprowadza
sie atmosfere ochronna (argon) do cisnienia okolo 200 Tr, a calosc wsadu podgrzewa sie do temperatury
1600—1700°C. Stop przetrzymuje sie w tej temperaturze az do calkowitego rozpuszczenia wolframu w kapieli.
Nastepnie stop odlewa sie do wlewnicy zelaznej z dnem ceramicznym. Odlewanie oraz studzenie stopu prowadzi
sie w atmosferze ochronnej. Temperatura odlewania stopu powinna byc wyzsza o okolo 50°C od temperatury
krzepniecia stopu.
Po ostygnieciu wlewek wyjmuje sie z wlewnicy, powierzchnie zewnetrzne czysci sie, nastepnie wlewek
rozkrusza sie i miele w mozdzierzu mechanicznym na proszek uziarnieniu ponizej 0,1 mm. Proszek plucze sie
w spirytusie i suszy w suszarce prózniowej.
Claims (1)
1. Zastrzezenie patentowe Sposób otrzymywania proszku do naparowywania prózniowego warstw rezystywnych o bardzo niskiej rezystywnosci powierzchniowej, znamienny tym, ze z przetopionych uprzednio w prózni minimum 10~4Tr zelaza, krzemu, niklu i chromu, oraz nieprzetopionego wolframu, wykonuje sie nawazke zawierajaca od 40 do 50% niklu, od 19 do 24% krzemu, od 11 do 15% chromu, od 8 do 12% zelaza i od 8 do 12% wolframu, która po ulozeniu w tyglu nagrzewa sie w prózni do temperatury okolo 1200°C, a nastepnie wprowadza sie atmosfere ochronna i przetapia w temperaturach rzedu 1600-1700°C i po stopieniu przelewa sie do wlewnicy, a po skrzepnieciu stop rozdrabnia sie na proszek o uziarnieniu ponizej 0,1 mm. Prac. Poligraf. UP PRL naklad 120+18 Cena 45 zl
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL19336976A PL100951B1 (pl) | 1976-10-29 | 1976-10-29 | Sposob otrzymywania proszku do naparowywania prozniowego warstw rezystywnych o bardzo niskiej rezystywnosci powierzchniowej |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL19336976A PL100951B1 (pl) | 1976-10-29 | 1976-10-29 | Sposob otrzymywania proszku do naparowywania prozniowego warstw rezystywnych o bardzo niskiej rezystywnosci powierzchniowej |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL100951B1 true PL100951B1 (pl) | 1978-11-30 |
Family
ID=19979159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL19336976A PL100951B1 (pl) | 1976-10-29 | 1976-10-29 | Sposob otrzymywania proszku do naparowywania prozniowego warstw rezystywnych o bardzo niskiej rezystywnosci powierzchniowej |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL100951B1 (pl) |
-
1976
- 1976-10-29 PL PL19336976A patent/PL100951B1/pl unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110172649B (zh) | 一种块体铜基非晶合金及其制备方法 | |
| CA2094132C (en) | Vapour deposition apparatus and method | |
| KR100762039B1 (ko) | 액체 금속 냉각식 방향성 응고 방법 및 그의 제품과, 방향성 응고 노 | |
| CN109161766A (zh) | 一种含非晶熔凝层的生物镁合金及其制备方法 | |
| US2866724A (en) | Coated evaporating elements and method of utilizing same | |
| PL100951B1 (pl) | Sposob otrzymywania proszku do naparowywania prozniowego warstw rezystywnych o bardzo niskiej rezystywnosci powierzchniowej | |
| CN114393197A (zh) | 高锡含量高塑性铜锡合金的定向凝固法制备方法 | |
| CN116103622A (zh) | 一种高纯铝合金靶材及其制备方法 | |
| CN115652266A (zh) | 一种可机械加工的CoCrAlY靶材合金及其制备方法 | |
| Watakabe et al. | Control of chemical compositions of Ti-6Al-4V alloy during melting by electron beam furnace | |
| CN110983146B (zh) | 一种大规格含锰高熵合金铸锭制备方法 | |
| JPS61101430A (ja) | 溶融シリカ及びそれを含有する組成物 | |
| EP0660885B1 (en) | Crucible and method for its use | |
| SE462976B (sv) | Foerfarande foer framstaellning av perlitiskt gjutjaern | |
| GB2051858A (en) | Low alloy white cast iron | |
| CN107354337B (zh) | 原位双相颗粒增强铜基复合材料 | |
| JPS57188632A (en) | Manufacture of metal ti | |
| Li et al. | Spray forming of Zircaloy-4 | |
| CN116334422B (zh) | 一种能够实现k4202高温合金晶粒细化的成型方法 | |
| Serkowski | New method of directional solidification for ceramic-metal eutectics | |
| SU656736A1 (ru) | Выплавл емый стержень | |
| CN1570191A (zh) | 一种电子元件喷涂用低共熔合金及生产方法 | |
| JPS5551797A (en) | Production of vanadium diboride and tantalum diboride single crystal from aluminum bath | |
| SU1600932A1 (ru) | Способ изготовлени пористого кокил на основе порошка железа | |
| JPS6475583A (en) | Preparation of nucleating agent |