NO133321B - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
NO133321B
NO133321B NO3221/72A NO322172A NO133321B NO 133321 B NO133321 B NO 133321B NO 3221/72 A NO3221/72 A NO 3221/72A NO 322172 A NO322172 A NO 322172A NO 133321 B NO133321 B NO 133321B
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
chlorosilane
liquid
separator
chloride
gas
Prior art date
Application number
NO3221/72A
Other languages
English (en)
Other versions
NO133321C (no
Inventor
R Keller
H Klebe
H-R Vollbrecht
Original Assignee
Degussa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Degussa filed Critical Degussa
Publication of NO133321B publication Critical patent/NO133321B/no
Publication of NO133321C publication Critical patent/NO133321C/no

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08Compounds containing halogen
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/04Hydrides of silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08Compounds containing halogen
    • C01B33/107Halogenated silanes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

Fremgangsmåte til fremstilling av jern-, aluminium- og titanfritt silisiumtetraklorid resp. en blanding av silisiumtetraklorid og silikokloroform samt eventuelt diklorsilan.

Description

Oppfinnelsen vedrører en fremgangsmåte til fremstilling av jern-, aluminium- og titanfritt silisiumtetra-
klorid resp. en blanding av silisiumtetraklorid og siliko-
kloroform, samt eventuelt diklorsilan, i det følgende kort kalt klorsilaner, ved en kontinuerlig omsetning av stykket ferrosilisium med klor resp. klorhydrogen i en lukket reaktor,
som i sin nedre del har et opplager for ferrosilisium samt har halogeneringsmiddeltilførsel og i sin øvre del har en ferro-silisiumtilførsel og reaksjonsgassuttak.
Handelsvanlig ferrosilisium inneholder normalt
ved siden av 89 til 91 vekt% silisium og 6 til 7 vekt% jern,
dessuten 2 til 3 vekt% aluminium og inntil ca. 0,03 vekt%
titan. Ved dets klorering med klor eller klorhydrogen oppstår derfor ved siden av SiCl^ resp. en SiCl^/SiHCl-j/Si^C^-
blanding flyktige klorider av nevnte metaller, som i fremgangs-
måten forstyrrer og forurenser sluttproduktet.
En hittil vanlig fremgangsmåte til fremstilling
av tilsvarende halogensilaner foreskrev å utsublimere jern-
kloridet ved avkjøling av reaksjonsgassen i en til reaktoren etterkoblet varmeutveksler, som faststoff og å utskille i sykloner. Det fra syklonen uttredende gassformede reaksjons-
produkt ble deretter ført til adskillelse av det dannede aluminiumklorid i form av kompleksforbindelsen Na_/ A1C1^_/ over et med NaCl beskikket reaksjonstårn.
Denne arbeidsmåte førte til tilfredsstillende resultater, såvidt reaksjonsgassens strømningshastighet ikke oversteg midlere verdier og flyvestøvutskillelsen i syklonen funksjonerte uklanderlig. Ved høyere strømningshastigheter viser det seg imidlertid at varmeutvekslere og salttårn måtte overdimensjoneres for å forbedre fjerning av jernklorid og aluminiumklorid. En ytterligere vanskelighet lå i at det ved denne fremgangsmåteføring var uunngåelig at ved lengere drift av salttårnet, ble overflaten av kokesaltet belagt ved fra reaktoren meddrevne faststoffpartikler, fortrinnsvis ferrosilisium og jernklorid, hvorved reaktiviteten overfor aluminiumklorid gikk ned. Som følge herav opptrådte det i til salttårnet etterkoblede apparatdeler ofte tilstopninger ved utsublimering av aluminiumklorid, som følsomt forstyrret anleggets drift. Videre måtte det overfor aluminiumklorid i omtrent ti ganger mindre mengde i reaksjonsgassen inneholdte TiCl^ adskilles ved fraksjonert destillasjon av det samlede i fremgangsmåten fremstilte klorsilan.
Endelig er det forsøkt å forsinke unnvikning av sublimerbare jernsalter fra reaktoren ved at man senket den vanligvis rundt 700°C liggende gassuttredelsestemperatur av reaktoren, idet man til det i reaktoren innstrømmende kloreringsmiddel tilblandet gassformet fra fremgangsmåten stammende klorsilan/hydrogen-blanding. Den returgassmengde som er nød-vendig for oppnåelse av en tilstrekkelig temperatursenkning, måtte dessuten utgjøre en betraktelig del av det i fremgangsmåten frembragte klorsilan, hvilket, bortsett fra betraktelige forstyrrelsestendenser førte til ennå større dimensjonering av de enkelte apparater.
Til grunn for oppfinnelsen lå derfor den oppgave
å tilveiebringe en fremgangsmåte for fremstilling av klorsilaner SiCl^, SiHCl-j og SiH2Cl2 ved klorering eller hydro-klorering av ferrosilisium, hvor adskillelsen av jern-, aluminium-og titanklorid fra de dannede halogensilaner lar seg oppnå mest mulig fullstendig.
Oppfinnelsen vedrører altså en fremgangsmåte til fremstilling av jern-, aluminium- og titanfritt silisiumtetraklorid resp. en blanding av silisiumtetraklorid og silikokloroform samt eventuelt diklorsilan ved kontinuerlig omsetning av stykkformet ferrosilisium med klor resp. klorhydrogen i en lukket reaktor, som i sin nedre del har en pålagringsrist for ferrosilisium samt halogeneringsmiddeltilførsel og ved sin øvre del har en ferrosilisiumtilførsel og reaksjonsgassuttak, idet fremgangsmåten er karakterisert ved at man holder temperaturen i reaktorens topprom ved innsprøytning av flytende klorsilan under jernkloridets sublimasjonstemperatur og tilfører reaksjonsgassen over sykloner, til en med flytende klorsilan drevet vasker, fortrinnsvis en venturivasker, innfører den fra denne uttredende blanding av gass, væske og faststoff umiddelbart i en med flytende klorsilan beskikket utskiller for væske og faststo-f, fører den adskilte gass gjennom en med rent klorsilan drevet vaskekolonne og deretter utkonden-
serer rent klorsilan.
Ved tilblanding av dampformet, overopphetet klorsilandamp til halogeneringsmidlet før inntreden i reaktoren-
bevirkes ved dets kjølevirkning en beskyttelse av pålagrings-
risten for ferrosilisium. Dessuten opptrer det ved adiabatisk drift av reaktoren ingen nedsmeltning av ferrosilisium.
Ved innsprøytning av flytende reaksjonsprodukt i reaktorens topprom (Quenchen) holdes altså temperaturen i gass-
fasen under 6J2°C, fortrinnsvis mellom ^00 - 500°C. Derved opp-
nås at jernkloridet er tilblandet- reaksjonsgassen i fast, ut-
skillbar form og f.eks. kan adskilles i etterkoblede sentrifu-gal separat orer .
Best benyttes for de to nevnte kjøleformål tilbake-
ført klorsilan, fortrinnsvis allerede renset klorsilan.
Aluminiumklorid og titantetraklorid utkondenseres
ved siden av mindre mengder i jernkloridet og PeSi- resp. aske-flyvestøv i den med flytende halogensilan drevede vasker ved avkjøling av gassblandingen til ca. 56°C. En spesielt virk-
som utvaskning av de to forstyrrende forurensninger oppnås når man som vasker anvender en venturivasker som mates med flytende klorsilan. Venturivaskeren står hensiktsmessig umiddelbart i forbindelse med utskilleren for væske og faststoff.
Det har vist seg hensiktsmessig som utskiller å
velge et kar, som ved siden av en konisk sump har et sideveis anordnet, omtrent i halv høyde endende dypperør, som med sin øvre åpning er forbundet med venturivaskerens uttak og under nevnte åpning har en gassuttreden. Fortrinnsvis innstiller man i utskilleren det flytende klorsilan på et konstant nivå som ligger under gassutskillelsesområdet. Dette betyr at klorsilan-speilet holdes under nevnte uttredelsesåpning, men over den nedre munning av dypperører, idet man til venturivaskeren har flytende klorsilan fra utskilleren, fortrinnsvis utskillersumpen og dermed recyklerer det til vasking anvendte flytende klorsilan.
Det med dypperørets gassuttreden i forbindelse stående toppdel av utskilleren står i forbindelse med en vaskekolonne, hvorigjennom tilbakeført renklorsilan kan føres i mot-strøm. Mens altså hoveddelen av aluminiumklorid og titantetraklorid utfelles i utskilleren fast resp. i flytende form og AICI3 ansamler seg som faststoff i utskillersumpen foregår i vaskekolonnen en finrensning av gassformet klorsilanprodukt, hovedsakelig av titan(IV)-klorid. Det rensede klorsilan føres deretter gjennom en kjølekjede og kondenseres. Kondensasjonen av SiCl^ resp. SiCl^/SiHCl^/Si<H>gC^-blanding foregår hensiktsmessig i tre trinn, nemlig ved 25°C, -20°C og -70°C. Ved omset-ningen av ferrosilisium med klorhydrogen som biprodukt dannet hydrogen fjernes ved enden av kjølelengden og kan etter en vasking med vann og en etterfølgende vasking med natronlut ut-nyttes. Det kondenserte reaksjonsprodukt samles således i et pumpeforlag. Dette står eventuelt over en ledning i forbindelse med en i reaktorens topprom anordnet forstøvningsdyse. Hvis det er tilsiktet en tilbakeføring av klorsilandamp i reaktoren fører man klorsilan fra pumpeforlaget til en fordampningsinnret-ning som frembringer den nødvendige "returgass".
Det i utskillerens sedimenterte slam inneholder
ved siden av aluminiumklorid, jernklorid og FeSi-støv klorsilan med deri oppløst titan(IV)-klorid. Ifølge en foretrukket ut-førelsesform av fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen, fjerner man fra tid til annen sedimentet fra utskillerens sump, utdriver deri inneholdt klorsilan og titan(IV)-klorid, over en med alkalihalogenid fylt, fortrinnsvis på minst 180°C oppvarmet tårn og skiller det flyktige, eventuelt etter kondensasjon, deretter på destillativ måte.
Det dannede destillasjonsresidu behandles deretter til hydrolyse med vanndamp og den frigjorte klorhydrogen over-føres i en med vann berislet absorbsjonskolonne i saltsyre. Hydrolyseresiduet kan uttas etter inndampning til tørrhet.
Ifølge en storteknisk anvendbar fremgangsmåtevari-ant bringer man sedimentet fra utskillersumpen inn i en oppvarmbar, med sedimentinntak, damptilførsel og gass- resp. væske-avtrekk utstyrt alt etter dreiemåte omvalsende eller utkastende skovltørker, driver deretter under omvalsning klorsilan og titan(IV)-klorid av over alkalihalogenidtårnet, tilslutter derpå vanndampbehandlingen under saltsyrefrembringelse og kaster endelig det tørre hydrolyseresiduet ut igjen ved reversering av skovltørkerakselen.
De ovenfor forklarte fremgangsmåteforholdsregler gir sammentrukket en kontinuerlig sammensatt fremgangsmåte med innmatning av ferrosilisium og klorhydrogen eller klor samt ut-matning av renklorsilan, hydrogen (ved HC1 som kloreringsmiddel), titan(IV)-klorid, saltsyre og overveiende aluminium-, jern- og silisiumforbindelsesholdig faststoff.
Innen oppfinnelsens ramme tilkommer følgende forholdsregler en vesentlig og selvstendig betydning: 1. Innsprøytning av tilbakeført klorsilan i reaktorens topprom. 2. Anvendelse av en vasker/utskilleranordning til utskillelse av jernklorid, aluminiumklorid, titantetraklorid og FeSi-resp. askeflyvestøv fra reaksjonsgassen. 3. Behandling av sedimentets destillasjonsresidu fra utskilleren med vanndamp etter foregående avdrivning av klorsilan og titan(IV)-klorid over et alkalihalogenidtårn og de der-til foreskrevne apparative forholdsregler.
Oppfinnelsen skal i det følgende forklares nærmere ved hjelp av et eksempel for en foretrukket gjennomførelse av den samlede fremgangsmåte i forbindelse med arbeidsdiagrammet. Eksempel 1.
I den med ca. 3 tonn stykkformet ferrosilisium
( 90% Si) beskikket reaktor (1) innføres 200 Nm^/h klorhydrogen og 300 kg/h klorsilandamp. Ved tilblanding av til ca. l80°C overopphetet dampformet klorsilanblanding til reaksjonsdeltag-eren klorhydrogen unngås den ved de høye reaksjonstemperaturer (rundt 1300°C) betingede forsintringer av PeSi-lagringen, hvilket muliggjør kontinuerlig drift av reaktoren (1). En periodisk avslagging av reaktoren (1) kan derved bortfalle. Kloreringsresiduet uttas kontinuerlig gjennom en som risteryst utformet opplagring for FeSi. Gasstrømmen passerer en ca.
1,50 m høy, stadig på tilnærmet samme nivå holdt ferrosilisium-lagring og reagerer derved til en klorsilanblanding. Til bort-føring av varmeinnholdet av den fra PeSi-lagringen uttredende reaksjonsgass og til utsublimering av dampformet jernklorid innsprøytes i reaktorens toppdel ved (2) ca. 1200 kg/time flytende, tilbakeført, renklorsilanblanding. Under utnyttelse av
fordampnings- og overopphetningsvarmen av Quench-væsken av-kjøler derved reaksjonsgassen seg til ca. 280°C, den ligger dermed langt under jernkloridets sublimasjonstemperatur.
Gasstrømmen fra reaktoren som i det vesentlige sammensetter seg av kjølegass, silisiumtetraklorid, triklor-silan og spordiklorsilan, hydrogen og aluminiumklorid, titantetraklorid, jernklorid passerer til utskillelse av flytende støv samt den største mengde av jernkloridet av syklonen (3)-Derved utskilles ca. 8 kg/time flyvestøv. Utskillelse av flyvestøv i syklonen (3) er forsåvidt av fordel, da derved fast-. stoffdannelsen i faststoffutskilleren (5) reduseres og slamme-opparbeidelsen (14, 15, 16) avlastes.
Til ytterligere rensning av'det gassformedé reaksjonsprodukt tilføres den ca. 250°C varme gassblanding en venturivasker (4), som drives med ca. 10 m^/time, sirkulerende for faststoff klaret silisiumtetraklorid fra faststoffutskiller (5) . I venturivaskeren (4) avkjøles gassblandingen for en stor del ved delvis fordampning av sirkulerende, flytende silisiumtetraklorid til 53°C. Derved kondenseres det samlede aluminiumklorid og likeledes, som ennå tilstedeværende spor av jernklorid nedvaskes med overskytende sirkulasjonsvæske i faststoffutskilleren (5). Titantetraklorid kondenseres samtidig på grunn av avkjøling i venturivaskeren (4) og blandes med sirkula-sjonsvæsken. Gassblandingen som trer ut av det over omløps-væskens speil med en gassuttredelsesåpning utstyrte skillerør (6) av faststoffutskilleren (5) passerer til finrensning for titantetraklorid før kondensasjon (8, 9, 10), dessuten en med Raschig-ringer fylt vaskekolonne (7).
Derved haes på vaskekolonnen så meget tilbakeført renset klorsilanblanding som vaskevæske, som....fordamper ved gass-vasking av silisiumtetraklorid i venturivaskeren (4) og hvor i det følgende behandlet periodiske slamuttak uttas fra faststoffutskilleren (5). Faststoffutskilleren (5) holdes altså på konstant holdt væskenivå. Arbeidsmåten ifølge denne fremgangsmåte byr i forhold til konvensjonelle fremgangsmåter på den fordel at det ikke er nødvendig med en destillasjon, av det samlede i reaksjonen dannede klorsilan for frembringelse av ønsket ren-hetsgrad. Bare den på den samlede produksjon refererte lille silisiumtetrakloridinnhold av slammet må opparbeides destillativt fra faststoffutskilleren. Det for uønskede metallforbindelser rensede klorsilan kondenseres i kondensatorene (9, 9, 10) ved temperaturer mellom +20°C og -50°C. Det fra kondensatorene uttredende hydrogen (100 Nm^/time) tilføres en vannvask (11) og kan etter tørkning videreanvendes på annen måte.
Kondensatet fra kondensatorene (8, 9, 10) løper i første rekke til pumpeforlaget (12). Herifra tilbakeføres en del av kondensatet til kjøle- og vaskeformål (stilling 2, 17
og 7) i anlegget, mens det produserte renklorsilan (345 kg/time silisiumtetraklorid/triklorsilanblanding) med lite innhold av diklorsilan (analyse: 83% SiCl/,, 16, 8% SiHCl^ og 0, 2% SiH2C<l>2) løper gjennom et overløp til lagringstanken (13).
I faststoffutskiller (5) sedimenterer de faste stoffer aluminiumklorid, jernklorid samt FeSi-støv og aske i utskillerens konus. Herifra fjernes ca. 25 liter pr. time faststoff/væskeblanding (sistnevnte består av SiCl^ og TiCl^) periodisk i skovltørkeren (14) og ca. 20 liter pr. time av blandingen av silisiumtetraklorid og titantetraklorid avdrives fra faststoffet. Derved passerer silisiumtetraklorid/titantetraklorid-gasstrømmen et med natriumklorid fylt og oppvarmet tårn (15) til utskillelse av gasstrømmen medført aluminiumklorid i form av kompleksforbindelsen natriumaluminiumklorid, Na_/—AlClij_7. Den avdrevne silisiumtetraklorid/titantetraklorid-blanding kondenseres og underkastes en fraksjonert destillasjon i kolonne 16. Derved avdrives silisiumtetraklorid over toppen og titantetraklorid fjernes fra sumpen.
Under bibehold av dreiemåten av skovltørkeren (14) innblåses etter foretatt tørkning av faststoffet for hydrolyse vanndamp i skovltørkeren. Den frigjorte klorhydrogen absor-beres med vann og tilbakeføres i prosessen (ikke vist). Etter foretatt hydrolyse og tørkning utkastes hydrolyseproduktet ved reversering av dreieretningen av skovltørkeren (14).

Claims (2)

1. Fremgangsmåte til fremstilling av jern-, aluminium-og titanfritt silisiumtetraklorid resp. en blanding av silisiumtetraklorid og silikokloroform samt eventuelt diklorsilan ved kontinuerlig omsetning av stykkformet ferrosilisium med klor resp. klor-hydrogen i en lukket reaktor, som i sin nedre del har
en pålagringsrist for ferrosilisium samt halogeneringsmiddel-tilførsel og ved sin øvre del har en ferrosilisiumtilførsel og reaksjonsgassuttak, karakterisert ved at man holder temperaturen i reaktorens topprom ved innsprøyt-ning av flytende klorsilan under jernkloridets sublimasjonstemperatur og tilfører reaksjonsgassen over sykloner, til en med flytende klorsilan drevet vasker, fortrinnsvis en venturivasker, innfører den fra denne uttredende blanding av gass, væske og faststoff umiddelbart i en med flytende klorsilan beskikket utskiller for væske og faststoff, fører den adskilte gass gjennom en med rent klorsilan drevet vaskekolonne og deretter utkondenserer rent klorsilan.
2. Fremgangsmåte ifølge krav 1, karakterisert ved at man i reaktorens topprom innsprøyter til-bakeført rent klorsilan, 3« Fremgangsmåte ifølge krav 1 til 2, karakterisert ved at man i utskilleren innstiller det flytende klorsilan på et konstant nivå som ligger under gassutskillelsesområdet. 4. Fremgangsmåte ifølge krav 1 til 3, karakterisert ved at man til venturivaskeren leder flytende klorsilan fra utskilleren. 5. Fremgangsmåte ifølge krav 1 til 4, karakterisert ved at man undertiden fjerner sedimentet fra utskillerens sump, utdriver heri inneholdt klorsilan og titan (IV)-klorid over et med alkalihalogenid fylt, til minst l80°C oppvarmet tårn og deretter adskiller destillativt det flyktige. 6. Fremgangsmåte ifølge krav 5, karakterisert ved at man behandler destillasjonsresiduet ved hjelp av vanndamp og overfører den frigjorte klorhydrogen i en med vann berislet absorbsjonskolonne i saltsyre. 7. Fremgangsmåte ifølge krav 6, karakterisert ved at man uttar hydrolyseresiduet etter inndampning for tørkning. 8. Fremgangsmåte ifølge krav 5 til 7, karakterisert ved at man innfører sedimentet fra utskillersumpen i en oppvarmbar med sedimentinntak, damptilførsel og gass- resp. væskeuttak utstyrt alt etter dreiemåte omvalsende eller utkastende skovltørker, deretter under omvalsning utdriver klorsilan og titan(IV)-klorid over alkalihalogenidtårnetj derpå tilknytter vanndampbehandlingen under saltsyrefrembringelse og endelig igjen utkaster det tørre hydrolyseresiduet ved reversering av skovltørkerakslen.
NO3221/72A 1971-12-11 1972-09-11 NO133321C (no)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2161641A DE2161641C3 (de) 1971-12-11 1971-12-11 Verfahren zur Herstellung von eisen-, aluminium- und titanfreiem Chlorsilan bei der Chlorierung oder Hydroborierung von Ferrosilicium

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NO133321B true NO133321B (no) 1976-01-05
NO133321C NO133321C (no) 1976-04-12

Family

ID=5827746

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO3221/72A NO133321C (no) 1971-12-11 1972-09-11

Country Status (15)

Country Link
US (1) US3878291A (no)
JP (1) JPS5238518B2 (no)
BE (1) BE792542A (no)
CA (1) CA979620A (no)
CH (1) CH584655A5 (no)
DE (1) DE2161641C3 (no)
FR (1) FR2162364B1 (no)
GB (1) GB1407020A (no)
IT (1) IT975490B (no)
NL (1) NL165436C (no)
NO (1) NO133321C (no)
RO (1) RO64682A (no)
SE (1) SE379032B (no)
SU (1) SU988184A3 (no)
YU (1) YU39163B (no)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4043758A (en) * 1973-03-06 1977-08-23 Larco Societe Miniere Et Metallurgique De Larymna S.A. Apparatus for the manufacture of metallic chlorides
US4066424A (en) * 1976-10-13 1978-01-03 E. I. Du Pont De Nemours And Company Selectively recovering metal chlorides from gaseous effluent
DE3303903A1 (de) * 1982-02-16 1983-08-25 General Electric Co., Schenectady, N.Y. Verfahren zum herstellen von trichlorsilan aus silizium
US4743344A (en) * 1986-03-26 1988-05-10 Union Carbide Corporation Treatment of wastes from high purity silicon process
DE3642285C1 (de) * 1986-12-11 1988-06-01 Huels Troisdorf Verfahren zur Aufarbeitung von Rueckstaenden einer Chlorsilan-Destillation
US5182095A (en) * 1987-12-16 1993-01-26 Huls Troisdorf Aktiengesellschaft Method for processing residues from the distillation of chlorosilanes
DE3828344C1 (no) * 1988-08-20 1989-07-06 Huels Ag, 4370 Marl, De
DE4033611A1 (de) * 1990-10-23 1992-04-30 Huels Chemische Werke Ag Verfahren zur gewinnung von chloridarmer ofenasche bei der umsetzung von rohsilicium zu chlorsilanen
DE4126670A1 (de) * 1991-08-13 1993-02-18 Huels Chemische Werke Ag Verfahren zur abwasserfreien aufarbeitung von rueckstaenden einer chlorsilandestillation mit salzsaeure
TW223109B (no) * 1991-09-17 1994-05-01 Huels Chemische Werke Ag
DE10030251A1 (de) * 2000-06-20 2002-01-03 Degussa Abtrennung von Metallchloriden aus gasförmigen Reaktionsgemischen der Chlorsilan-Synthese
DE10057483B4 (de) * 2000-11-20 2013-02-21 Evonik Degussa Gmbh Verfahren zur Entfernung von Aluminiumtrichlorid aus Chlorsilanen
DE10061682A1 (de) 2000-12-11 2002-07-04 Solarworld Ag Verfahren zur Herstellung von Reinstsilicium
US20060183958A1 (en) * 2003-04-01 2006-08-17 Breneman William C Process for the treatment of waste metal chlorides
JP5396954B2 (ja) * 2008-03-24 2014-01-22 三菱マテリアル株式会社 クロロシランの精製装置及びクロロシラン製造方法
US7736614B2 (en) * 2008-04-07 2010-06-15 Lord Ltd., Lp Process for removing aluminum and other metal chlorides from chlorosilanes
DE102008001577A1 (de) * 2008-05-06 2009-11-12 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Hydrolyse von festen Metallsalzen mit wässrigen Salzlösungen
DE102008042936A1 (de) 2008-10-17 2010-04-22 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Entfernung von Titan aus Hexachlordisilan
DE102009020143A1 (de) * 2009-05-04 2010-11-11 Pv Silicon Forschungs- Und Produktionsgesellschaft Mbh Verfahren zur Aufbereitung von Sägeabfällen zur Rückgewinnung von Silizium für die Herstellung von Solarsilizium
EP2530052A1 (de) * 2011-06-01 2012-12-05 HEI Eco Technology Verfahren zur Herstellung von Siliziumtetrachlorid und Verfahren zur Herstellung von Solarsilizium
DE102012103755A1 (de) * 2012-04-27 2013-10-31 Centrotherm Sitec Gmbh Verfahren zur Synthese von Trichlorsilan und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
DE102012103756A1 (de) * 2012-04-27 2013-10-31 Centrotherm Sitec Gmbh Verfahren zur Absenkung einer in einem Trichlorsilansynthesereaktor vorherrschenden Temperatur sowie Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
DE112014002024T5 (de) * 2013-04-19 2016-01-14 Rec Silicon Inc Verringerung von Korrosion und von Fouling bei der Herstellung von Hydrochlorosilanen
CN109231217B (zh) * 2018-10-17 2023-10-31 中国恩菲工程技术有限公司 氯硅烷残液急冷除金属氯化物的系统和方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2594370A (en) * 1947-05-14 1952-04-29 Diamond Alkali Co Method of separating metal halides
US2718279A (en) * 1952-12-18 1955-09-20 Du Pont Process for condensing vaporized metal halides
US2849083A (en) * 1957-01-31 1958-08-26 American Cyanamid Co Separation of iron chloride from gaseous iron chloride-titanium tetrachloride mixtures
GB963745A (en) * 1961-01-05 1964-07-15 British Titan Products Halogenation of silicon-containing materials
CH412345A (de) * 1961-01-31 1966-04-30 Weisse Ernst Ing Dr Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden schädlicher Bestandteile aus den bei der Behandlung von Leichtmetallschmelzen mit Chlor oder chlorhaltigen Gasen entstehenden Abgasen
DE1567469B1 (de) * 1966-12-02 1970-08-27 Degussa Verfahren zur gleichzeitigen Abtrennung von Aluminiumchlorid und Titantetrachlorid aus den bei der Chlorierung oder Hydrochlorierung von Silicium anfallenden Reaktionsgasen
DE1667195C3 (de) * 1968-01-31 1979-09-27 Metallgesellschaft Ag, 6000 Frankfurt Verfahren zur Herstellung von Halogenwasserstoffsäuren und von Metalloxiden

Also Published As

Publication number Publication date
NL7212721A (no) 1973-06-13
CA979620A (en) 1975-12-16
SE379032B (no) 1975-09-22
SU988184A3 (ru) 1983-01-07
IT975490B (it) 1974-07-20
RO64682A (ro) 1980-06-15
YU250472A (en) 1982-05-31
DE2161641A1 (de) 1973-06-28
YU39163B (en) 1984-08-31
DE2161641B2 (de) 1973-10-04
US3878291A (en) 1975-04-15
NL165436C (nl) 1981-04-15
CH584655A5 (no) 1977-02-15
NO133321C (no) 1976-04-12
JPS4866097A (no) 1973-09-11
FR2162364A1 (no) 1973-07-20
NL165436B (nl) 1980-11-17
DE2161641C3 (de) 1974-05-16
FR2162364B1 (no) 1979-04-06
BE792542A (fr) 1973-03-30
GB1407020A (en) 1975-09-24
JPS5238518B2 (no) 1977-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO133321B (no)
US3582262A (en) Multiple stage method for removing chlorine and entrained aluminum chloride particles from a waste gas stream
CN210825446U (zh) 冷氢化渣浆零排放处理系统
US2533021A (en) Separating metal halide vapors
JP5686055B2 (ja) トリクロロシラン製造方法
US5246682A (en) Process for waste liquid-free processing of chlorosilane distillation residues with hydrochloric acid
AU599152B2 (en) A process for the production of vinyl chloride through thermal cracking of 1,2-dichloroethane
CN109607548A (zh) 一种利用多晶硅废弃物生产四氯化硅的方法及装置
US10604595B2 (en) Process for withdrawing polyolefins
JP4430287B2 (ja) 四塩化チタンの製造装置
US2870869A (en) Recovery of titanium tetrachloride
US2792077A (en) Recovery of titanium tetrachloride
US4125595A (en) Process for the production of very pure bromine
US2953218A (en) Separation of metallic halides
JPS6369712A (ja) 四塩化チタンの製造方法
US3371999A (en) Purification of by-product sulfur formed from chlorination processes
HU191194B (en) Process for producing of 1,2 diclore-ethan
JPH0345050B2 (no)
US3009541A (en) Recovery of titanium tetrachloride from sludges obtained in the purification of impure titanium tetrachloride
US7097671B2 (en) Method of cleaning industrial gases
US2822889A (en) Chlorine purification
JP3995557B2 (ja) 四塩化チタンの製造方法
US3533733A (en) Purifying crude ticl4 vapor
US3578418A (en) Sulfur extraction using halogenated hydrocarbons including washing the recovered sulfur with methanol,acetone,or ethylene glycol
US4764607A (en) Method for recovering caprolactam