NL9100143A - Twee-dimensionale mozaiek-scintillatiedetector. - Google Patents
Twee-dimensionale mozaiek-scintillatiedetector. Download PDFInfo
- Publication number
- NL9100143A NL9100143A NL9100143A NL9100143A NL9100143A NL 9100143 A NL9100143 A NL 9100143A NL 9100143 A NL9100143 A NL 9100143A NL 9100143 A NL9100143 A NL 9100143A NL 9100143 A NL9100143 A NL 9100143A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- detector
- radiation
- type
- wide
- slots
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 4
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 claims description 3
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 2
- 230000006335 response to radiation Effects 0.000 claims description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- CMIHHWBVHJVIGI-UHFFFAOYSA-N gadolinium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Gd+3].[Gd+3] CMIHHWBVHJVIGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000005679 Peltier effect Effects 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 229920006335 epoxy glue Polymers 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- -1 for example Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005251 gamma ray Effects 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/202—Measuring radiation intensity with scintillation detectors the detector being a crystal
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2018—Scintillation-photodiode combinations
- G01T1/20183—Arrangements for preventing or correcting crosstalk, e.g. optical or electrical arrangements for correcting crosstalk
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2018—Scintillation-photodiode combinations
- G01T1/20185—Coupling means between the photodiode and the scintillator, e.g. optical couplings using adhesives with wavelength-shifting fibres
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2018—Scintillation-photodiode combinations
- G01T1/20187—Position of the scintillator with respect to the photodiode, e.g. photodiode surrounding the crystal, the crystal surrounding the photodiode, shape or size of the scintillator
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0232—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L31/02322—Optical elements or arrangements associated with the device comprising luminescent members, e.g. fluorescent sheets upon the device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
Description
Twee-dimensionale mozaïek-scintillatiedetectorAchtergrond van de uitvinding
De onderhavige uitvinding heeft betrekking op stralingsdetectieen meer in het bijzonder op een twee-dimensionale scintillatiedetectorvoor straling met grote energie zoals röntgenstralen en gammastralen.
Twee-dimensionale, op vaste stof gebaseerde röntgenstralings-beelddetectoren en gammastralingsdetectoren worden gebruikelijkerwij zegefabriceerd door middel van het bevestigen van een plaat aan, of hetaanbrengen van een laag scintillatiemateriaal op het oppervlak van eenelectronische beeldchip. Het scintillatiemateriaal, dat straling metlage energie verschaft als reactie op straling met grote energie, isvereist omdat energierijke straling niet direct wordt geabsorbeerd instandaard halfgeleider-elementen. Daar Si-chips kleiner zijn dan decomplete röntgenstralingsbeeldvormer, dient een mozaïek van kleinerechips te worden samengesteld. Het is gewenst, de ongevoelige gebieden teelimineren aan de omtrek van of tussen de siliciumchips, waar ruimte isvoor onderling verbindende draden en mogelijke interfacecomponentenzouden kunnen worden aangebracht. Grote detectoren uit de vroegeretechniek, samengesteld uit een mozaïek van deze afzonderlijke detectorenhebben ongevoelige stroken waar de afzonderlijke Si-detectorroosterssamenkomen. Uit het artikel "Csl (Na) Scintillation Plate With HighSpatial Resolution" van M. Ito et al., IEEE Trans, on Nuclear Science,Deel NS-34, nr. 1, februari 1987. blz. 401-405 is bijvoorbeeld bekendhoe meervoudige scintillatie-elementen moeten worden gebruikt. Er kanechter licht tussen de elementen doordringen hetgeen resulteert inonderlinge overspraak, hetgeen leidt tot een lager rendement enonscherpe beelden.
Derhalve is het een doel van de onderhavige uitvinding eenstralingsdetector en een werkwijze voor het vervaardigen daarvan teverschaffen met een gereduceerd aantal dode plekken en minder over¬spraak, en eveneens een hoger rendement.
Samenvatting van de uitvinding
Samengevat worden deze en andere doelstellingen bereikt door eendetector overeenkomstig de uitvinding voor een eerste soort straling,bevattende een veelvoud van middelen, opgesteld in mozaïekvorm, voor hetuitzenden van een tweede soort straling als reactie op invallende straling van de eerste soort, waarbij elk van de genoemde middelenzodanig is gevormd dat het zowel brede als smalle uiteinden bevat,waarbij een van deze uiteinden is aangepast voor het ontvangen van deinvallende straling van de eerste soort; middelen voor het terugkaatsenvan de genoemde tweede soort straling aangebracht tussen elk van eenveelvoud van middelen; en middelen voor het verschaffen van een signaalals reactie op straling van de genoemde tweede soort, waarbij degenoemde signaalverschaffingsmiddelen optisch zijn verbonden met hetresterende van de beide uiteinden.
Een scintillatie-detector overeenkomstig de uitvinding bevat eenplaat van scintillatiemateriaal met eerste en tweede zijden, eenveelvoud van smalle gleuven die zich uitstrekken vanaf de genoemdeeerste zijde, en een veelvoud van brede gleuven die zich uitstrekkenvanaf de genoemde tweede zijde en die respectievelijk in verbindingstaan met de genoemde eerste gleuven.
Een werkwijze voor het vervaardigen van een scintillatie-detectorovereenkomstig de uitvinding bestaat eerst uit het vormen van eenveelvoud van brede gleuven aan een eerste zijde van een plaat vanscintillatiemateriaal; en vervolgens het vormen van een veelvoud vansmalle gleuven aan een tweede zijde van de genoemde plaat die respectie¬velijk in verbinding staan met het genoemde veelvoud van brede gleuven.
Korte beschrijving van de tekening
Figuur 1 is een uitgebroken isometrisch aanzicht van eenmozaïekrooster overeenkomstig een eerste uitvoeringsvorm van deuitvinding; figuur 2 is een dwarsdoorsnede-aanzicht genomen langs de lijn 2-2van figuur 1, figuur 3 is een uitgebroken isometrisch aanzicht van een tweedeuitvoeringsvorm van het mozaïekrooster; figuur 4 toont verschillende schematische uitvoeringsvormen vanhet genoemde rooster en de fotodetectoren; en figuur 5 toont een schematische tekening van een andere uitvoe¬ringsvorm van het genoemde mozaïek en de fotodetectoren.
Overeenkomstige verwijzingsnummers worden gebruikt voor overeen¬komstige elementen.
Gedetailleerde beschrijving
Figuur 1 toont een mozaïekvormig plaatrooster 10 van eenscintillatiemateriaal met eerste brede uiteinden of vlakken 12, geschiktvoor het ontvangen van een eerste soort straling, bijvoorbeeld ultra¬violet licht of invallende röntgenstralen 14, en tweede smalle uiteindenof vlakken 16 die door middel van een optisch doorzichtige lijm zijnbevestigd aan een halfgeleider lichtdetector 18 met geïntegreerdeschakeling. Vanaf de eerste uiteinden 12 strekt zich een veelvoud vansmalle gleuven 20 uit, terwijl zich vanaf de tweede uiteinden 16 eenveelvoud van brede gleuven 22 uitstrekt, die respectievelijk inverbinding staan met het eerste veelvoud van gleuven 20. Aldus bestaatde plaat 10 uit een veelvoud van elementen 23, begrensd door de gleuven20 en 22. De smalheid van de gleuven 20 beperkt de omvang van hetongevoelige gedeelte van de detector tot een minimum daar de bredeuiteinden 12 nagenoeg het gehele gebied van de plaat 10 in beslag nemendat straling 14 ontvangt.
De gleuven 20 en 22 kunnen zijn aangebracht door eerst bredegleuven 22 in een eerste zijde van de plaat 10 te snijden met een breedzaagblad, met bijvoorbeeld een breedte van 100 pm, en diep genoeg,bijvoorbeeld 600 pm, zodat de moeilijkere smalle insnijdingen met succeskunnen worden gemaakt. Vervolgens wordt de plaat 10 omgedraaid zodat detweede zijde naar de operateur is toegekeerd. Het optisch doorzichtigescintillatiemateriaal wordt verlicht, zodat de operateur in staat is degleuven 22 te zien, waardoor het gemakkelijker is de uitrichting van degleuven 20 en 22 te maken, zodat deze met elkaar in verbinding staan.Vervolgens worden de smalle gleuven 22 ingesneden met een smalle zaag,met bijvoorbeeld een breedte van 25 pm en een typische diepte van 100pm.
Het scintillatiemateriaal van de plaat 10 kan bestaan uit eengesinterde keramische oxyde van zeldzame aarde, zoals een Y:Gd röntgen¬stralen absorberend medium. In het bijzonder kan de plaat 10 tussen ca.20 en 50 molprocent Gd20^ bevatten, tussen ca. 1 en 6 molprocent EU2O3,aangevuld met Y2O3. Meer in het bijzonder kan het ca. 30 molprocentGd2Ü3 bevatten, ca. drie molprocent EU2O3, en ca. 67 molprocent Y2O3·Indien gewenst kan ca. 0,02 molprocent P^O^ worden toegevoegd als eennalicht-reductiemiddel. Bijzonderheden omtrent dergelijke materialen diegoede scintillatoren zijn, zijn te vinden in vroegere octrooien,bijvoorbeeld het U.S. octrooi nr. 4,518,5^6. Dergelijke materialen zijneveneens robuust, chemisch inert, stabiel en te verwerken tot micro- elementen. Ze zijn ook in grote mate doorzichtig voor de zichtbarelichtband omdat het mengsel tot een nagenoeg perfecte theoretischedichtheid kan worden gesinterd en een kubusvormige kristalstructuurvertoont. Hierdoor worden imperfecties geëlimineerd en wordt debrekingsindex veranderd aan de korrelomtrekken; waarbij deze beideeigenschappen zorgen voor een doorzichtigheid-reducerende optischestrooiing. De plaat 10 kan dus dik zijn voor een goede röntgenstraal-absorptie zonder een beduidend verlies aan optische gevoeligheid. Anderedoorzichtige scintillatoren, bijvoorbeeld BGdO, hetgeen een goedabsorberend medium is voor röntgenstralen, kunnen eveneens wordengebruikt als het materiaal voor de plaat 10.
Zoals getoond in figuur 2, zijn de gleuven 20 en 22 gevuld meteen reflecterend middel 24 zoals een metallisering, bijvoorbeeld Al, ofeen optisch reflecterende lijm en vulmiddel. Het reflecterende middel 24bevat bij voorkeur een metaaloxide, bijvoorbeeld TiÜ2, dat aan de plaat10 is bevestigd door middel van een bindmiddel van epoxylijm. T1O2 iseen goede keuze voor het middel 24 daar dit wit is en derhalve de meestekleuren reflecteert, en het heeft een diffuse reflectie zodat hetverstrooide licht eerder geneigd is de plaat 10 te verlaten en nietdaardoor te worden geabsorbeerd. Bijzonderheden omtrent een dergelijkebekleding zijn te vinden in de U.S. octrooien nrs. 4,560,877 en4,563.584. In het bijzonder dienen de deeltjes van T1O2 een afmeting tehebben van ongeveer de golflengte van de geëmitteerde fotonen, zoalsonderstaand zal wordt beschreven.
Een gedeelte 25 van het reflecterende middel 24 is aangebrachtover de brede uiteinden teneinde de overdracht van door scintillatiegegenereerde fotonen daarvan te voorkomen (onderstaand beschreven). Eentypische dikte voor het gedeelte 25 is ca. 1 mm, ook andere diktenkunnen worden gebruikt. Wanneer het gewenst is, straling met een zeerlage energie af te beelden, bijvoorbeeld ultraviolet licht, of röntgen¬stralen met een energie onder ca. 10 KeV, dient het gedeelte 25 teworden verwijderd teneinde te voorkomen dat het gedeelte 25 de ingangblokkeert van de genoemde straling naar de elementen 23.
De middelen voor het verschaffen van een signaal of lichtdetector18 bestaan uit de afzonderlijke inrichtingen 18a en 18b, die optischactieve gebieden 26 bevatten met inbegrip van CCD-beeldvormers,fotodioden, etc. voor het detecteren van het licht dat aanwezig is bijde smalle uiteinden 16. De smalheid van de smalle uiteinden 16 maaktgebieden 28 mogelijk tussen de gebieden 26, die versterkers, verbindin¬gen, etc, kunnen bevatten, waardoor de detector 18 dus compact is.
Bovendien beperkt die genoemde smalheid overspraak tussen de elementen23. Een stootnaad 29 tussen de inrichtingen 18a en 18b van de detector18 voorkomt dode strepen in de detectorrespons of ruimtelijke bemonste-ringsinhomogeniteit in de resulterende beelden. Een leiding 90 verbindtde inrichtingen 18a en l8b, terwijl een leiding 92, en andere daarmeeovereenkomstige leidingen (niet getoond), zich zou kunnen uitstrekkendoor een schakelingspaneel (niet getoond) en worden gebruikt voor hetverbinden van de detector 18 met een stroombron (niet getoond) of voorhet verschaffen van uitgangssignalen.
Tijdens de werking vallen röntgenstralen 14 in op het bredeuiteinde 12 en zij dringen vervolgens binnen in de plaat 10, waar zijhoofdzakelijk worden geabsorbeerd door de Gd-atomen. De Gd-atomen zorgenop hun beurt voor de vorming van elektronen-gat-paren die op hun beurtervoor zorgen dat de plaat 10 gaat scintilleren, dat wil zeggen dat dezezichtbare lichtfotonen uitzendt. Wanneer de plaat 10 is gemaakt uit hetboven beschreven materiaal en eveneens in het genoemde octrooi, dan zaldeze licht uitzenden bij een golflengte van 611 pm, dat rood is,tengevolge van de aanwezigheid van Eu-atomen. Daar het genoemdemateriaal hoofdzakelijk doorzichtig is tot deze golflengte, zullen defotonen worden overgedragen door de elementen 23, zoals getoond door hetpad 30 van een speciaal scintillatiefoton. Dit foton wordt gereflecteerdaan het brede uiteinde 12 tengevolge van het gedeelte 25. Reflectievindt vervolgens plaats aan de brede gleuven 22 tengevolge van deaanwezigheid van het reflecterende middel 24. Hoewel niet getoond,treedt er een overeenkomstige reflectie op wanneer het pad 34 de gleuven20 raakt. Tenslotte zal het pad 30 invallen op het actieve gebied 26.Daar de signaalverschaffingsmiddelen 18 bij voorkeur zijn gemaakt vanSi, zijn ze speciaal gevoelig voor licht met deze golflengte enverschaffen ze een elektrisch signaal als reactie op het invallendefoton.
Het zal duidelijk zijn dat de door het reflecterende middel 24veroorzaakte reflecties de optische overspraak beperken tussen deelementen 23 net zoals het kleine gebied van smalle uiteinden 16 enderhalve leidt tot een helderder beeld en een hoger rendement. In hetbijzonder is er een hogere modulatie-overdrachtsfunctie omdat debeeldvlakvulfactor van de detector 18 nagenoeg 100% is. Verder zorgt ookhet feit dat de schakeling 18 optisch is gekoppeld aan de plaat 10 doormiddel van een direct contact ook voor het behoud van een hoog rende¬ment.
In een tweede uitvoeringsvorm van de plaat 10 van de uitvinding, zoals getoond in figuur 3» hebben de brede groeven 22 een rechthoekigevorm. Dergelijke groeven 22 kunnen worden gemaakt met een brede vlakkezaag. In het algemeen kunnen ook andere vormen worden gebruikt voor degroeven 22. De groeven 20 en 22 worden gevuld, en de brede uiteinden 12worden bedekt met het reflecterende middel 24 zoals bij de eersteuitvoeringsvorm. Figuur 4(a) toont de uitvoeringsvorm van de plaat 10van figuur 3 waarbij de fotodetector 18 direct is bevestigd op de smalleuiteinden 16 en derhalve identiek is aan de figuren 1 en 2. Een mogelijkprobleem met de directe bevestiging van de inrichting van de figuren 1en 2 en 4(a) is dat de voor het bevestigen van de detector 18 op deplaat 10 gebruikte lijm voor verstrooiing kan zorgen en derhalveoptische overspraak tussen de elementen 23·
De figuren 4(b) en (c) tonen inrichtingen voor het reduceren vande overspraak. In figuur 4(b) zijn de brede uiteinden 12 nog steeds inde richting van de röntgenstralen gekeerd. De detector 18 is echter nietlanger direct op de plaat 10 bevestigd, maar op een afstand daarvangeplaatst. Een dubbel convexe lens 32 (ook andere soorten kunnen wordengebruikt) focusseert licht van elk van de smalle uiteinden 16 op dedetector 18 (om duidelijkheidsredenen is slechts het lichtstraalpad 34van drie van de uiteinden 16 getoond).
Figuur 4(c) toont een omgekeerde opstelling, dat wil zeggen datde smalle uiteinden 16 in de richting van de invallende röntgenstralen14 zijn gekeerd en de brede uiteinden 12 naar de lens 32 en de detector18 zijn gekeerd. Men merke op dat het reflecterende middel 24 de smalleuiteinden 16 bedekt. Deze uitvoeringsvorm wordt gebruikt voor hetdetecteren van röntgenstralen met een grote energie, bijvoorbeeld groterdan ca. 150 KeV, die gemakkenjk door het gedeelte 25 van het reflecte¬rende middel 24 dringen dat zich aan de smalle uiteinden 16 bevindt eneveneens het gedeelte dat zich tussen de uiteinden 16 in de groeven 22bevindt. Daar de meeste scintillatie plaats vindt nabij de bredeuiteinden 12, en daar de brede uiteinden 12 een groot oppervlaktegenover de detector 18 hebben, wordt het rendement bovendien verdervergroot. Voor de opstelling van figuur 4(c) kan de detector 18 eveneensdirect op de brede uiteinden 12 worden bevestigd.
Wanneer gewenst kunnen in de figuren 4(b) en (c) glasvezels(niet getoond) worden gebruikt in plaats van de lens 32 voor het optischkoppelen van licht van de smalle uiteinden 16 naar de detector 18 vooreen verbeterd rendement. Eveneens kunnen in de uitvoeringsvormen van defiguren 4(b) en (c) de groeven 24 worden afgerond, zoals het duidelijkstis aangegeven in figuur 1.
Figuur 5 toont meer in detail een wijze voor het implementerenvan de uitvoeringsvorm van figuur 4(c). De plaat 10 is aangebrachtbuiten een omhulling 36. De lichtstraalpaden 34 dringen door de opening37 in de omhulling 36 en vallen in op een collimerende lens 40 envervolgens een diagonaal aangebrachte spiegel 38. De lens 40 hoeft nietaanwezig te zijn wanneer de plaat 10 op geschikte wijze is gepositio¬neerd en de spiegel 38 een voldoende groot gezichtsveld insluit. Van despiegel 38 wordt licht gefocusseerd door een lens 32 op de detector 18,die kan worden afgekoeld met bekende middelen, bijvoorbeeld vloeibaarN2» peltiereffect, etc. De door de detector 18 gegenereerde signalenworden toegevoerd aan een voorversterker- en bufferschakeling 42. Eenafscherminrichting 44, bijvoorbeeld Pb, W, etc, beschermt de detector 18en de schakeling 42 tegen strooistraling 94. De schakeling 42 verschafteen bemonsterd analoog uitgangssignaal aan een analoog/digitaal-omzetter(niet getoond). De uitgang van de omzetter wordt toegevoerd aan eenweergeefinrichting (niet getoond).
Claims (24)
1. Detector voor een eerste soort straling, waarbij de genoemdedetector bevat: een veelvoud van middelen, opgesteld in mozaïekvorm, voor hetuitzenden van een tweede soort straling als reactie op invallendestraling van de eerste soort, waarbij elk van de genoemde middelenbrede en smalle uiteinden bevat, waarbij een van deze uiteinden isaangepast voor het ontvangen van de invallende straling van de eerstesoort; middelen voor het terugkaatsen van de genoemde tweede soortstraling aangebracht tussen elk van een veelvoud van middelen; en middelen voor het verschaffen van een signaal als reactie opstraling van de genoemde tweede soort, waarbij de genoemde signaal-verschaffingsmiddelen optisch zijn verbonden met het resterende van debeide uiteinden.
2. Detector overeenkomstig conclusie 1 waarbij de genoemdeeerste soort straling bestaat uit röntgenstralen en de genoemde tweedesoort straling bestaat uit zichtbaar licht.
3. Detector overeenkomstig conclusie 1 waarbij het genoemde veelvoud van middelen een scintillerend materiaal bevat.
4. Inrichting overeenkomstig conclusie 1 waarbij het genoemdeuitstraalmiddel een gesinterd keramisch oxyde van zeldzame aarde bevat.
5· Detector overeenkomstig conclusie 4 waarbij het genoemde oxydeeen Y:Gd röntgenstralen absorberend medium bevat.
6. Detector overeenkomstig conclusie 5 waarbij het genoemde absorberende medium tussen ca. 20 en 50 molprocent Gd2Ü3 bevat, tussenca. 1 en 6 molprocent EU2O3, aangevuld met Y2O3.
7. Detector overeenkomstig conclusie 6 waarbij het genoemde absorberende medium ca. 30 molprocent Gd203 bevat, ca. drie molprocentEU2O3, en ca. 67 molprocent Y2O3.
8. Detector overeenkomstig conclusie 7 waarbij het genoemde absorberende medium verder ca. 0,02 molprocent Pr2Ü3 bevat.
9. Detector overeenkomstig conclusie 1 waarbij het genoemdeuitstraalmiddel een verbinding van B bevat.
10. Detector overeenkomstig conclusie 9 waarbij de genoemde verbinding BGdO bevat.
11. Detector overeenkomstig conclusie 1 waarbij het genoemde reflecterende middel T1O2 bevat.
12. Detector overeenkomstig conclusie 1 waarbij de genoemde signaalverschaffingsmiddelen direct contact maken met het genoemderesterende uiteinde.
13. Detector overeenkomstig conclusie 1 waarbij het genoemde eneuiteinde en het genoemde resterende uiteinde respectievelijk de genoemdebrede en de genoemde smalle uiteinden bevatten.
14. Detector overeenkomstig conclusie 1 waarbij het genoemde resterende uiteinde en het genoemde ene uiteinde respectievelijk de genoemde brede en de genoemde smalle uiteinden bevatten.
15. Detector overeenkomstig conclusie 1 verder bevattendelensmiddelen voor het verschaffen van een optische koppeling tussen degenoemde signaalverschaffingsmiddelen en het genoemde resterendeuiteinde.
16. Detector overeenkomstig conclusie 1 verder bevattende eenomhulling met een opening, waarbij het genoemde veelvoud van middelen isaangebracht buiten de genoemde omhulling in de nabijheid van de genoemdeopening, waarbij de genoemde signaalverschaffingsmiddelen zich binnen degenoemde omhulling bevinden, en middelen voor het afschermen van degenoemde verschaffingsmiddelen aangebracht buiten en op de genoemdeomhulling.
17. Detector overeenkomstig conclusie 1 waarbij het genoemdereflecterende middel eveneens is aangebracht op de genoemde eneuiteinden.
18. Detector voor een eerste soort straling, waarbij de genoemdedetector bestaat uit: een veelvoud van middelen, geplaatst in een mozaïekvorm, voor hetuitzenden van een tweede soort straling als reactie op invallendestraling van de eerste soort, waarbij elk van de genoemde middelen bredeen smalle uiteinden heeft, waarbij de genoemde smalle uiteinden zijnaangepast voor het ontvangen van de invallende straling van de eerstesoort; en detectormiddelen voor het verschaffen van een signaal als reactieop straling van de genoemde tweede soort, waarbij de genoemde detector¬middelen optisch zijn gekoppeld aan de genoemde brede uiteinden.
19. Detector overeenkomstig conclusie 18 verder bevattende eenmiddel voor het reflecteren van de genoemde tweede soort stralingaangebracht tussen het genoemde veelvoud van middelen.
20. Detector overeenkomstig conclusie 19 waarbij de genoemdereflecterende middel eveneens is aangebracht op de genoemde smalleuiteinden.
21. Detector overeenkomstig conclusie 19 waarbij het genoemde reflecterende middel T1O2 bevat.
22. Detector overeenkomstig conclusie 18 waarbij het genoemde uitstraalmiddel een gesinterd keramisch oxyde van zeldzame aarde bevat.
23. Scintillatiedetëctor bevattende een plaat van scintillatie-materiaal met eerste en tweede zijden, een veelvoud van smalle gleuvendie zich uitstrekken van de genoemde eerste zijde, en een veelvoud vanbrede gleuven die zich uitstrekken van de genoemde tweede zijde dierespectievelijk in verbinding staan met de genoemde eerste gleuven.
24. Werkwijze voor het vervaardigen van een scintillatiedetector,waarbij de genoemde werkwijze bestaat uit: ten eerste het vormen van een veelvoud van brede gleuven aan eeneerste zijde van een plaat van scintillatiemateriaal; en vervolgens het vormen van een veelvoud van smalle gleuven aan eentweede zijde van de genoemde plaat die respectievelijk in verbindingstaan met het genoemde veelvoud van brede gleuven.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US47175390A | 1990-01-29 | 1990-01-29 | |
| US47175390 | 1990-01-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL9100143A true NL9100143A (nl) | 1991-08-16 |
Family
ID=23872862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL9100143A NL9100143A (nl) | 1990-01-29 | 1991-01-28 | Twee-dimensionale mozaiek-scintillatiedetector. |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0511060A (nl) |
| DE (1) | DE4101645A1 (nl) |
| FR (1) | FR2657694B1 (nl) |
| NL (1) | NL9100143A (nl) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0769247A2 (en) | 1992-09-10 | 1997-04-23 | Stork Pmt B.V. | Method and device for processing a cluster of organs from a slaughtered animal |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2679436B1 (fr) * | 1991-03-25 | 1994-06-17 | Stoichita Catalin | Systeme de radiographie computerise. |
| KR100638915B1 (ko) | 1998-12-14 | 2006-10-25 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 광학소자 및 이것을 사용한 방사선 검출기 |
| JP3276614B2 (ja) * | 1999-04-22 | 2002-04-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学素子、放射線イメージセンサ及び光学素子の製造方法 |
| US6361735B1 (en) * | 1999-09-01 | 2002-03-26 | General Electric Company | Composite ceramic article and method of making |
| CN1185915C (zh) * | 2001-06-13 | 2005-01-19 | 佳能株式会社 | 柔性基板、半导体器件、摄像装置和放射线摄像系统 |
| US6979826B2 (en) * | 2002-07-29 | 2005-12-27 | Ge Medical Systems Global Technology Company Llc | Scintillator geometry for enhanced radiation detection and reduced error sensitivity |
| JP2006519377A (ja) * | 2003-01-28 | 2006-08-24 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | Ｘ線検出器 |
| JP5600392B2 (ja) * | 2005-03-16 | 2014-10-01 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 検出器画素の感度層を有するｘ線検出器 |
| DE102007038189A1 (de) * | 2007-08-13 | 2009-02-19 | Siemens Ag | Strahlungswandler, Detektormodul, Verfahren zu deren Herstellung sowie Strahlungserfassungseinrichtung |
| FR2922319B1 (fr) | 2007-10-10 | 2013-08-02 | Commissariat Energie Atomique | Scintillateur pour dispositif d'imagerie, module scintillateur, dispositif d'imagerie avec un tel scintillateur et procede de fabrication d'un scintillateur |
| US7772561B2 (en) | 2008-02-06 | 2010-08-10 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Apparatus and method for detecting an image |
| DE102008007595B4 (de) | 2008-02-06 | 2018-04-05 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen eines Bildes |
| EP2428820A3 (en) * | 2010-09-13 | 2012-05-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Silicon photomultiplier and radiation detector |
| KR101328478B1 (ko) * | 2012-07-26 | 2013-11-13 | 포항공과대학교 산학협력단 | 엑스선 영상 검출기용 광변환장치 및 이를 구비한 엑스선 영상 검출기 |
| CN104422950B (zh) * | 2013-09-08 | 2017-10-24 | 苏州瑞派宁科技有限公司 | 一种阵列晶体模块及其加工方法 |
| US20170234992A1 (en) * | 2014-10-23 | 2017-08-17 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Imaging apparatus and manufacturing method thereof |
| CN106646582A (zh) * | 2016-09-13 | 2017-05-10 | 沈阳东软医疗系统有限公司 | 一种pet检测器及其制作方法 |
| DE102018132025A1 (de) * | 2018-12-13 | 2020-06-18 | Intom GmbH | Industrielles Röntgen-Werkstückvermessungssystem und Verfahren zum Betreiben eines solchen |
| WO2021039921A1 (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-04 | キヤノン・コンポーネンツ株式会社 | 電磁波検出器、電磁波検出装置、検査装置および配線板 |
| WO2024023679A1 (en) * | 2022-07-26 | 2024-02-01 | Consiglio Nazionale Delle Ricerche | Measuring structure for pet and spect applications |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58216973A (ja) * | 1982-06-11 | 1983-12-16 | Toshiba Corp | 放射線検出器ブロツク |
| US4533489A (en) * | 1983-12-07 | 1985-08-06 | Harshaw/Filtrol Partnership | Formable light reflective compositions |
| US4560882A (en) * | 1984-08-31 | 1985-12-24 | Regents Of The University Of California | High-efficiency X-radiation converters |
-
1991
- 1991-01-22 DE DE4101645A patent/DE4101645A1/de not_active Withdrawn
- 1991-01-23 FR FR9100754A patent/FR2657694B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1991-01-28 NL NL9100143A patent/NL9100143A/nl not_active Application Discontinuation
- 1991-01-28 JP JP3025196A patent/JPH0511060A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0769247A2 (en) | 1992-09-10 | 1997-04-23 | Stork Pmt B.V. | Method and device for processing a cluster of organs from a slaughtered animal |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0511060A (ja) | 1993-01-19 |
| FR2657694A1 (fr) | 1991-08-02 |
| DE4101645A1 (de) | 1991-08-01 |
| FR2657694B1 (fr) | 1995-12-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5059800A (en) | Two dimensional mosaic scintillation detector | |
| NL9100143A (nl) | Twee-dimensionale mozaiek-scintillatiedetector. | |
| CA1185019A (en) | Large arrays of discrete ionizing radiation detectors multiplexed using fluorescent optical converters | |
| JP5600392B2 (ja) | 検出器画素の感度層を有するｘ線検出器 | |
| RU2476906C2 (ru) | Компоновка отражателя и коллиматора света для улучшенного накопления света в сцинтилляционных детекторах | |
| JP4406699B2 (ja) | 光ファイバを利用した放射線及び中性子検出器 | |
| US6655675B2 (en) | X-ray detector offering an improved light yield | |
| EP1067402A2 (en) | Device and system for radiation image pickup | |
| JP2002214349A (ja) | Ｘ線検出モジュール | |
| US6452186B1 (en) | Detector for the detection for electromagnetic radiation | |
| CN107045138B (zh) | 背散射探测模块 | |
| JPH065288B2 (ja) | 固体検出器モジユ−ル | |
| US4563584A (en) | Solid state detector | |
| EP0469112B1 (en) | Transparent radiation image storage panel | |
| JPH085745A (ja) | 放射線カメラ | |
| GB2244328A (en) | Energy detector | |
| JPH10160852A (ja) | 放射線検出器 | |
| JPH051428B2 (nl) | ||
| JP4607372B2 (ja) | 放射線検出装置 | |
| CN108428706B (zh) | 一种图像传感器 | |
| EP4014070A1 (en) | Hybrid lased/air coupled pet block detector | |
| JPS63236464A (ja) | 放射線画像情報読取装置 | |
| JPH0627843B2 (ja) | 放射線アレイセンサ | |
| JPH04284785A (ja) | 固体撮像素子 | |
| JPH0556491B2 (nl) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| BA | A request for search or an international-type search has been filed | ||
| BB | A search report has been drawn up | ||
| BV | The patent application has lapsed |