NL8802928A - Werkwijze en inrichting voor het vormen van een weerstandspatroon op een cylindrisch voorwerp alsmede een onder toepassing van een dergelijk weerstandspatroon verkregen geetste metalen cylinder. - Google Patents

Description

Werkwijze en inrichting voor het vormen van een weerstands-patroon op een cylindrisch voorwerp alsmede een onder toepassing van een dergelijk weerstandspatroon verkregen geëtste metalen cylinder.

De uitvinding heeft in de eerste plaats betrekking op een werkwijze voor het vormen van een weerstandspatroon op een cylindrisch voorwerp omvattende het aanbrengen van een laag van een materiaal dat bestendig is danwel bestendig gemaakt kan worden tegen een toe te passen behandelingsmiddel en/of de behandelingsomstandigheden en het onder toepassing van een laserbundelbewerking vormen van een patroon van plaatsen die ontdaan zijn van genoemde materiaal-laag desgewenst gevolgd door nabehandeling van de materiaal-laag om deze bestendig te maken tegen het behandelingsmiddel en de behandelingsomstandigheden.

Onder een weerstandspatroon wordt in dit geval algemeen een materiaalpatroon verstaan dat de onderliggende delen van een cylinder waarop het is aangebracht beschermt tegen de invloed van een behandelingsmiddel en/of de bij een behandeling heersende omstandigheden.

De behandeling kan bijvoorbeeld bestaan in de etsing van een metalen of uit etsbare kunststof gevormde cylinder. De behandeling kan ook bestaan uit het electrolytisch afzetten van metaal in een electrolyse bad.

In het hiernavolgende zal voornamelijk gesproken worden over etsweerstandspatronen; de uitvinding is echter daartoe, zoals duidelijk is uit het bovenstaande, niet beperkt.

Het vormen van een weerstandspatroon op de buitenzijde van een cylindrisch voorwerp is bekend. Bij het vormen van een etsweerstandspatroon op een cylindrisch metalen voorwerp wordt dit bekleed met een laag etsmiddelbestendig of etsmiddelbestendig te maken materiaal zoals een fotolak of in het algemeen een organische lak. Het metalen cylindrisch voorwerp kan bijvoorbeeld een naadloos metalen cylindrisch voorwerp zijn zoals een huls uit koper, nikkel of ijzer; ook kan uitgegaan worden van een cylindrisch voorwerp dat verkregen is door de uiteinden van een metaalplaat aan elkaar te lassen.

Voor de keuze der toe te passen materialen is de keuze van de aard van de laserbundelbewerking belangrijk.

Betreft de laserbundelbewerking een wegbrandingsproces dan kan voor de toe te passen materiaallaag in principe elk materiaal gekozen worden dat vatbaar is voor wegbranden of verdampen met behulp van een laserbundel.

Betreft de laserbundelbewerking een fotochemische bewerking dan kan gekozen worden voor een materiaal dat onder invloed van straling doorhardt danwel onder invloed van straling oplosbaar wordt in een ontwikkelvloeistof, in dat geval is sprake van de toepassing van negatieve respektievelijk positieve fotolak-systemen. Volgend op een dergelijke laserbundelbewerking bij het uitvoeren van een fotochemisch proces dient nog een ontwikkelstap te worden uitgevoerd om de in een ontwikkelvloeistof nog oplosbare plaatsen respektievelijk oplosbaar gemaakte plaatsen vrij te maken van de materiaallaag. Indien noodzakelijk kan volgend op de eventuele ontwikkelstap danwel volgend op de laserbundelbewerking zelf nog een aanvullende behandeling worden uitgevoerd om de materiaallaag de gewenste etsmiddelbestendigheid te verschaffen.

In alle gevallen wordt aan het einde van de bewerkingen een cylindrisch metalen voorwerp verkregen dat voorzien is van een etsweerstandspatroon dat de plaatsen van het cylindrisch voorwerp die niet door etsmiddel aangetast moeten worden beschermd tijdens de opvolgend uit te voeren etsing.

Bij het aanbrengen van een dergelijk etsweerstandspatroon uitsluitend aan de buitenzijde van het cylindrisch voorwerp treedt er de moeilijkheid op van een zeer aanzienlijke mate van zijdelingse etsing indien door etsing perforaties moeten gevormd worden in de wand van het cylindrische voorwerp.

Een dergelijke sterke zijdelingse etsing brengt met zich mee dat de fijnheid van het aan te brengen perforatiepatroon sterk beperkt is op grond van de overweging dat de perforaties met name aan de binnenzijde van het cylindrisch voorwerp elkaar niet mogen overlappen.

De onderhavige uitvinding heeft ten doel een werkwijze van de in de aanhef bedoelde soort te verschaffen waarin het mogelijk is om aan beide zijden van een metalen cylindrisch voorwerp een etsweerstandspatroon te realiseren waardoor een veel hogere fijnheid bereikt kan worden bij het dooretsen dan tot nu toe gebruikelijk was.

Volgens de uitvinding wordt bedoelde werkwijze gekenmerkt doordat de materiaallaag zowel aan de binnenzijde als aan de buitenzijde van het metalen cylindrisch voorwerp wordt aangebracht terwijl zowel aan de binnen- als buitenzijde een patroon van plaatsen wordt gevormd die ontdaan zijn van de materiaallaag terwijl de patronen aan de binnen- en de buitenzijde een vaste vooraf bepaalde relatie ten opzichte van elkaar bezitten.

Het is gebleken dat het mogelijk is om zowel aan de binnen- als aan de buitenzijde van een cylindrisch metalen voorwerp weerstandspatronen zoals etsweerstandspatronen te vormen die met zeer grote nauwkeurigheid ten opzichte van elkaar gepositioneerd kunnen worden zodat van twee zijden geëtst kan worden.

Door etsing van twee zijden wordt enerzijds een vermindering van de zijdelingse etsing over de totale dikte van het cylindrisch voorwerp bereikt zodat de te bereiken dooretsingsfijnheid hoger kan worden, d.w.z. een grotere perforatiedichtheid (gaten/eenheid van oppervlak). Ook kan bij eenzelfde perforatiedichtheid door tweezijdig etsen een grotere doorlaat (open oppervlak/eenheid van oppervlak) worden gerealiseerd. Ook zal door de tweezijdige etsing de totale etstijd aanzienlijk bekort worden.

Opgemerkt wordt dat het aan twee zijden etsen van een voorwerp op zich bekend is. In dergelijke bekende werkwijzen wordt uitgegaan van een vlak plaatvormig metaalmateriaal dat aan twee zijden van een etsweerstandspatroon wordt voorzien waarbij de beide patronen zeer nauwkeurig ten opzichte van elkaar gepositioneerd worden. In een dergelijk geval zijn de beeld-dragende fotolakpatronen ter weerszijden van de plaat corresponderend en komen tot stand door gebruik maken van een patroonvormingsstap met behulp van een fotografisch filmsysteem waarbij de boven- en de onderfilm nauwkeurig ten opzichte van elkaar worden gepositioneerd binnen + 25 micrometer.

Bedoelde bekende werkwijzen geven geen informatie omtrent de mogelijkheid om aan de binnen- en buitenzijde van een cylindrisch metalen voorwerp een etsweerstandspatroon aan te brengen.

De uitvinding heeft eveneens betrekking op een inrichting voor het volgens een vooraf bepaald patroon met een laserbundel behandelen van een laag van een materiaal die zich bevindt op het oppervlak van een metalen cylindrisch voorwerp tenminste omvattende een opspaninrichting voor het roteerbaar opstellen van het cylindrisch voorwerp, laserbundelvormingsmiddelen, laserbundelafbuigings-en geleidingsmiddelen alsmede electronische meet- en regelsystemen voor het regelen en besturen van de laserbundelbehandeling.

Een dergelijke inrichting wordt volgens de uitvinding gekenmerkt doordat de inrichting middelen omvat voor het opnemen van de uiteindedelen van een te behandelen cylindrisch voorwerp onder vrijlaten van het inwendige daarvan en dat deze is voorzien van middelen voor het vormen van twee laserbundels en geleidingsmiddelen aanwezig zijn om de twee bundels toe te voeren aan twee bundelfocusseringsorganen die zijn opgesteld tegenover de buiten respectievelijk binnenzijde van het cylindrisch voorwerp en middelen aanwezig zijn waarmee de bundeltocusseringsorganen een bestuurde beweging kunnen uitvoeren langs lijnen die evenwijdig zijn aan de as van het cylindrisch voorwerp voor het vormen van patronen van met een laserbundel behandelde plaatsen van een materiaallaag aan de binnen- en buitenzijde van het cylindrisch voorwerp.

In het bijzonder wordt gebruik gemaakt van een bundel-splitsingsinrichting voor het in twee deelbundels splitsen van een van één laserinrichting afkomstige enkelvoudige laserbundel.

Gevonden is dat het mogelijk is om twee laserbundels toe te passen of een gevormde laserbundel met behulp van een op zich bekende laserbundelsplitsingsinrichting in twee deelbundels te splitsen en de twee bundels of deelbundels te benutten voor het bewerken van zich aan de binnen- en buitenzijde van een cylindrisch voorwerp bevindende materiaallagen teneinde daarin een patroon van plaatsen te vormen die zijn ontdaan van het betreffende materiaal zodat op die wijze een etsweerstands-patroon aan beide zijden van het cylindrisch voorwerp wordt gevormd.

Opgemerkt wordt dat een inrichting van de hierboven als uitgangspunt beschreven soort op zich bekend is uit het Oostenrijkse octrooischrift 382558.

Bedoeld octrooischrift beschrijft een inrichting waarin een gelakt zeefdrukschabloon kan worden gespannen op een opspanwals waarbij met behulp van een geprogrammeerd werkende laserbundel die gaten worden opengebrand die liggen in de delen van het schabloon die overeenkomen met de patroondelen die met behulp van het schabloon gedrukt moeten worden.

De onderhavige aanvrage beschrijft een inrichting voor het behandelen van aan de binnen- en buitenzijde van een cylindrisch voorwerp, zoals een metalen huls, aanwezige materiaallagen. Daartoe is in de inrichting volgens de uitvinding de opspanning van het cylindrisch voorwerp zodanig tot stand gebracht dat de binnenzijde ervan vrij blijft.

In z'n algemeenheid zal de inrichting volgens de uitvinding zoals aangegeven twee laserinrichtingen omvatten met de daarbij behorende afbuigings-, geleidings-, besturings- en regelmiddelen. Bij toepassing van twee lasers met afzonderlijke besturing en regeling kan aan binnen- en buitenzijde van een cylinder, al dan niet gelijktijdig een afzonderlijk patroon worden gevormd. Door koppeling van de beide systemen kan voor een relatie tussen beide patronen zorg worden gedragen. Doelmatig omvat de inrichting volgens de uitvinding één laser-inrichting welks bundel m.b.v. een bundelsplitsingsinrichting in twee deelbundels wordt gesplitst.

Om rekening te houden met eventueel slingeren van het te behandelen cylindrische voorwerp zijn met voordeel in tenminste één der bundelfocusseringsorganen middelen aanwezig voor het constant houden van de afstand tussen het hart van het lenzenstelsel dat deel uitmaakt van een bundelfocusserings-orgaan en het hart van de trefplaats van de stralenbundel met het te behandelen cylindrisch voorwerp.

Een dergelijk systeem van constant houden der afstand is beschreven in de niet vóórgepubliceerde Nederlandse octrooiaanvrage 8801551; opname ervan resulteert in een verregaand constant houden van de afstand tussen focusseringslenssamenstel en het oppervlak van een ingespannen cylinder.

Voor een precieze bepaling van de afstand tussen bijvoorbeeld een focusserend lenzenstelsel en een voorwerp waarop gefocusseerd moet worden kan een beroep worden gedaan op de werkwijze en inrichting voor het meten van afstand die is beschreven in de niet vóórgepubliceerde Nederlandse octrooiaanvrage 8802397.

De in deze laatste aanvrage beschreven afstandsbepalings-middelen kunnen met succes worden toegepast in de middelen voor het constant houden van een afstand uit de hiervoor genoemde Nederlandse octrooiaanvrage 8801551.

De inhoud van de hiervoor genoemde, niet vóórgepubliceerde octrooiaanvrage 8801551 en 8802397 wordt, vanwege bovenbeschreven toepassing in de inrichting volgens de onderhavige uitvinding, geacht te zijn opgenomen in deze beschrijving.

In het bijzonder is het met de inrichting volgens de uitvinding mogelijk om patronen op de binnen- en buitenzijde van het cylindrisch lichaam te vormen die een vaste voorafbepaalde relatie ten opzichte van elkaar bezitten.

Dit kan zoals later nog zal worden aangegeven inhouden dat de patronen aan binnen- en buitenzijde van de metalen cylinder identiek zijn, doch kan ook inhouden dat de patronen niet identiek zijn en ten opzichte van elkaar zijn verschoven. Tenslotte heeft de uitvinding betrekking op een geëtste metalen cylinder verkregen door etsen van een metalen cylinder onder toepassing van een etsweerstandspatroon dat na de etsbewerking verwijderd is die wordt gekenmerkt doordat uitgegaan werd van een cylinder met aan de binnen- en buitenzijde ervan een etsweerstandspatroon waarbij het etsweerstandspatroon werd verkregen door toepassing van de werkwijze volgens de uitvinding zoals hiervoor beschreven.

De uitvinding zal nu worden toegelicht aan de hand van de tekening waarin: - figuur 1 een schematisch beeld geeft van een inrichting volgens de uitvinding en, - figuur 2 in doorsnede een aantal mogelijke patroonvormen en patroonpositioneringen toont.

In figuur 1 is een inrichting voor het behandelen van een cylindrisch metalen voorwerp dat aan de binnen- en buitenzijde is voorzien van materiaallagen met 1 aangeduid.

Het cylindervormige metalen voorwerp 20 is bijvoorbeeld een door electrolytisch neerslaan van nikkel gevormde naadloze huls die aan binnen- en buitenzijde van een geschikte organische lak is voorzien die met behulp van laserbestraling plaatselijk kan worden weggebrand.

De inrichting omvat een laser 11 en lasergeleidings- en splitsingsmiddelen 12 respektievelijk 13. De bundelsplitser 13 verdeelt de bundel in 2 delen die gelijke of eventueel ongelijke intensiteit kunnen bezitten. De twee deelbundels worden via de spiegelmiddelen 8, 8’ en 6, 6' geleid naar de laserfocusseringsmiddelen 5 en 5’ waarbij het focus van beide deelbundels komt te liggen in het hart van de materiaallaag die zich bevindt aan de binnen- en buitenzijde van het cylindervormig metalen lichaam 20. Het focusseringspunt is schetsmatig aangegeven met 21.

Het cylindervormig metalen lichaam is opgespannen met behulp van eindringen 25 (in vergroot doorsnede detail aangeduid met 25'), roteringsmiddelen en spanmiddelen 2 en 3.

Het cylindervormig metalen voorwerp 20 dat voorzien is aan de binnen- en buitenzijde van een geschikte materiaallaag wordt geroteerd om z'n as en tijdens de rotering voeren de focusseringsmiddelen 5 en 5' een vooraf bepaalde beweging uit die evenwijdig is aan de as van de cylinder 20 en waarbij de bekrachtiging van de deelbundelgeleidingsmiddelen zodanig is dat naar wens en volgens een vooraf bepaald programma de deelbundels hun werking op de betreffende materiaallagen kunnen uitvoeren.

Tijdens de bewerking worden de laserfocusseringsmiddelen 5 en 5' en de daarbij behorende afbuigingsmiddelen 6 en 6' bewogen langs spindels 4 en 4' volgens een vooraf bepaald schema waarbij de beweging wordt geregeld met behulp van motoren 18 en 19 die zijn gekoppeld aan een centrale logische eenheid.

Ook de draaiing van het cylindervormige voorwerp wordt met behulp van motor 17 geregeld die eveneens in verbinding staat met de centrale logische eenheid zoals een computer.

Zoals schetsmatig te zien is wordt de positie van de deelbundelfocusseringseenheid 5' vastgesteld door een deel van de deelbundel 22 te laten stralen door de spiegel 6' door deze gering doorlatend te maken. De positie van de focusserings-inrichting 5* ligt op die wijze vast ten opzichte van de optische liniaal 23 waarvan het signaal via verbinding 24 wordt teruggevoerd naar de centrale logische eenheid 10. Ook de laserregelingseenheid 14 is gekoppeld met de centrale computer zodat door de computer een regeling kan worden uitgevoerd die volgens een vooraf bepaald programma de verplaatsing van de focusseringseenheden 5 en 5'; de rotatie van de cylinder 20; en de werking van de door focusseringsmiddelen 5 en 5' doorgelaten deelbundels regelt.

De positie van 5' ten opzichte van de lineaal kan worden bepaald zoals hierboven aangegeven. In plaats van een deel van de bundel 22 te gebruiken kan ook een kleine laser worden verbonden met 5' die men op de liniaal 23 laat schijnen; op die wijze is eveneens een nauwkeurige positievaststelling mogelijk. Ook zonder toepassing van een liniaal kan een positiebepaling en regeling plaats vinden door de motorstand van de motor 18 en/of 19 terug te koppelen naar de logische eenheid 10. Uiteraard is een dergelijke benadering slechts mogelijk indien de mechanische nauwkeurigheid van de motor, koppeling en spindel voldoende groot is en de instellingen ervan reproduceerbaar.

Via een interface 15 kan ook het signaal dat afkomstig is van een scanner worden toegevoerd aan de computer zodat een rechtstreekse vertaling kan worden tot stand gebracht tussen een op een scanner afgetast origineel en het door de laser belichting aangebracht patroon op de binnen- en buitenzijde van een cylinder 20.

In figuur 2 is schetsmatig aangegeven hoe de etsweerstands-patronen ter weerszijden van de wand van een cylindervormig voorwerp ten opzichte van elkaar kunnen zijn gepositioneerd en hoe de vormen van beide etsweerstandspatronen zich kunnen verhouden.

In figuur 2a is een deel van de wand van een cylindervormig voorwerp 30 aangegeven waarop zich aan twee zijden patronen 31 en 32 bevinden. De patronen vertonen openingen 35 en 36 en getoond is dat er reeds een etsing heeft plaatsgevonden die holten 33 en 34 heeft gevormd. In de getoonde situatie kan de etsing doorgezet worden totdat een volledige perforatie van het materiaal 30 is bereikt. Ook kan de etsing op dit moment beëindigd worden of nog korte tijd worden doorgezet om te bereiken dat zich aan de binnen- en buitenzijde van het materiaal een patroon van holten vormt maar waarbij het materiaal niet volledig wordt doorgeëtst.

In het laatste geval wordt aan beide zijden van het cylindervormige metalen voorwerp een patroon van putjes verkregen waarbij het totaal van de putjes een informatie kan omvatten die met optische of mechanische middelen kan worden afgetast.

Het spreekt vanzelf dat een dergelijke cylinder die aan twee zijden voorzien is van een hoeveelheid informtie ook opengesneden kan worden ter vorming van een vlakke metalen plaatdat aan twee zijden informatie bevat.

In figuur 2b is de situatie aangegeven dat de etsweerstands-patronen 31 en 32 aan beide zijden van het cylindervormige voorwerp wel dezelfde positie ten opzichte van elkaar innemen maar waarbij de patronen aan beide zijden qua open oppervlak van elkaar verschillen. Bij etsing zal. de holte 34 een geringer oppervlak bezitten dan de holte 33 samenhangend met het feit dat de opening 35 kleiner is van oppervlak dan de opening 36 (zie voor aanduiding figuur 2a).

Een dergelijke rangschikking en vorming kan van belang zijn indien aan één zijde van het cylindervormig voorwerp in hoge mate de zijdelingse etsing vermeden dient te worden. Ook in het hier in figuur 2b geschetste geval kan afhankelijk van het beoogde doel een volledige dooretsing van de cylinder tot stand worden gebracht terwijl eveneens een etsing over slechts een gedeelte van de totale dikte door tweezijdige etsing worden weggenomen.

In figuur 2c is zichtbaar dat de aan beide zijden van de cylinder gevormde patronen zowel verschillen van vorm als ook verschillen van plaatsing. In dit geval kan als voorbeeld gedacht worden aan een situatie waarbij het etsweerstandspatroon 31 aan de bovenzijde een rasterkarakter bezit terwijl het etsweerstandspatroon 32 aan de binnenzijde sleufvormige openingen omvat die in een spiraalvorm zijn gerangschikt en waarbij bij dooretsing op vooraf bepaalde plaatsen een in de spiraal liggende sleufvormige opening en een gatvormige opening elkaar raken. In figuur 2d is aangegeven de situatie waarbij de etsweerstandspatronen gelijk van vorm zijn maar waarbij de positionering der patronen onderling verschillend is.

Tenslotte kan ook nog gedacht worden aan een situatie waarbij de etsweerstandpatronen aan binnen- en buitenzijde van de cylinder verschillend zijn van vorm en waarbij de positie der beide patronen geen relatie tot elkaar bezitten.

De in de figuren 2a tot en met d getoonde etsweerstandspatronen kunnen gelijktijdig door laserbelichting worden gevormd in beide materiaallagen (waar nodig in combinatie met noodzakelijke ontwikkel- en of nabehandelingsstappen) doch kunnen ook na elkaar worden gevormd.

Indien de patronen na elkaar worden gevormd kan nog de vorming worden uitgevoerd in eenzelfde beweging van de beide focusseringsinrichtingen 5 en 5' terwijl eveneens elk der patronen in een afzonderlijke doorgang kan worden gevormd waarbij onafhankelijk van elkaar de focusseringsmiddelen 5 en 5' worden bekrachtigd en bestuurd.

Met betrekking tot het etsproces als zodanig wordt nog verwezen naar de gelijktijdig met de onderhavige aanvrage ingediende Nederlandse octrooiaanvrage (dossier 885132/Ba) van aanvraagster waarin een etswerkwijze wordt beschreven waarmee het mogelijk is om de zijdelingse etsing tijdens de etsbewerking naar believen te sturen door etsfaktor-beïnvloedende middelen in het metaal in te bouwen.

Claims (3)

1. Werkwijze voor het vormen van een weerstandspatroon op een cylindrisch voorwerp omvattende het aanbrengen van een laag van een materiaal dat bestendig is dan wel bestendig gemaakt kan worden tegen een toe te passen behandelingsmiddel en de behandelingsomstandigheden en het onder toepassing van een laserbundelbewerking vormen van een patroon van plaatsen die ontdaan zijn van genoemde materiaallaag desgewenst gevolgd door nabehandeling van de materiaallaag om deze etsmiddelbestendig te maken tegen het behandelingsmiddel en de behandelingsomstandigheden met het kenmerk dat de materiaallaag (31, 32) zowel aan de binnenzijde als aan de buitenzijde van het cylindrische voorwerp (30) wordt aangebracht en zowel aan de binnen- als aan de buitenzijde een patroon van plaatsen (35, 36) wordt gevormd die ontdaan zijn van de materiaallaag (31, 32) terwijl de patronen aan de binnen- en de buitenzijde een vaste voorafbepaalde relatie ten opzichte van elkaar bezitten.

2. Inrichting voor het volgens een voorafbepaald patroon met een laserbundel behandelen van een laag van een materiaal die zich bevindt op het oppervlak van een cylindrisch voorwerp tenminste omvattende een opspaninrichting voor het roteerbaar opstellen van het cylindrisch voorwerp, laserbundelvormingsmiddelen, laserbundel afbuigings- en geleidingsmiddelen, alsmede electronische meet- en regelsystemen voor het regelen en besturen van de laserbundelbehandeling met het kenmerk dat de inrichting middelen (2, 3) omvat voor het opnemen van de uiteindedelen (25) van een cylindrisch voorwerp (20) onder vrijlaten van het inwendige daarvan en dat de inrichting (1) voorzien is van middelen voor het vormen van twee laserbundels en geleidingsmiddelen (6, 6', 8f 8') aanwezig zijn om de twee bundels toe te voeren aan twee bundelfocusseringsorganen (5, 5') die zijn opgesteld tegenover de buiten- en de binnenzijde van het cylindrisch voorwerp (20) en middelen aanwezig zijn waarmee de bundelfocusseringsorganen (5, 5') een bestuurde beweging kunnen uitvoeren langs lijnen (4, 4') die evenwijdig zijn aan de as van het cylindrisch voorwerp (20) voor het vormen van patronen van met een laserbundel behandelde plaatsen van een materiaallaag aan de binnen- en buitenzijde van het cylindrisch voorwerp. , Inrichting volgens conclusie 2 met het kenmerk dat de middelen voor het vormen van twee laserbundels bestaan uit een laserbundel splitsingsinrichting (13) voor het vormen van twee laserdeelbundels (21, 22). Inrichting volgens conclusie 2-3 met het kenmerk dat tenminste één der bundelfocusseringsorganen (5, 5') middelen omvatten voor het handhaven van een constante voorafbepaalde afstand tussen het hart van het lenzentelsel dat deel uitmaakt van een bundelfocusseringsorgaan (5, 5') en het hart van de trefplaats (21) van de stralenbundel met het oppervlak van het cylindrisch voorwerp (20). Inrichting volgens conclusie 2-4 met het kenmerk dat de inrichting in staat is tot het vormen van patronen op de binnen- en de buitenzijde van het cylindrisch lichaam (20) die een vaste voorafbepaalde relatie ten opzichte van elkaar bezitten.

6. Geëtste metalen cylinder verkregen door etsen van een metalen cylinder onder toepassing van een etsweerstands-patroon dat na de etsbewerking verwijderd is met het kenmerk dat het etsweerstandspatroon zich aan de binnen- en buitenzijde van de cylinder bevindt en is verkregen door toepassing van de werkwijze volgens conclusie 1.