NL7712708A - Werkwijze voor het aanbrengen van een diffusie- barriere op een halfgeleidersubstraat door mid- del van kathodesputteren. - Google Patents

Werkwijze voor het aanbrengen van een diffusie- barriere op een halfgeleidersubstraat door mid- del van kathodesputteren.

Info

Publication number
NL7712708A
NL7712708A NL7712708A NL7712708A NL7712708A NL 7712708 A NL7712708 A NL 7712708A NL 7712708 A NL7712708 A NL 7712708A NL 7712708 A NL7712708 A NL 7712708A NL 7712708 A NL7712708 A NL 7712708A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
applying
semiconductor substrate
diffusion barrier
cathodes
sputtering
Prior art date
Application number
NL7712708A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Original Assignee
Loic Gustave Henry En Pierre N
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Loic Gustave Henry En Pierre N filed Critical Loic Gustave Henry En Pierre N
Publication of NL7712708A publication Critical patent/NL7712708A/xx

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P14/00—Formation of materials, e.g. in the shape of layers or pillars
    • H10P14/60—Formation of materials, e.g. in the shape of layers or pillars of insulating materials
    • H10P14/69—Inorganic materials
    • H10P14/694—Inorganic materials composed of nitrides
    • H10P14/6943—Inorganic materials composed of nitrides containing silicon
    • H10P14/69433—Inorganic materials composed of nitrides containing silicon the material being a silicon nitride not containing oxygen, e.g. SixNy or SixByNz
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P14/00—Formation of materials, e.g. in the shape of layers or pillars
    • H10P14/60—Formation of materials, e.g. in the shape of layers or pillars of insulating materials
    • H10P14/63—Formation of materials, e.g. in the shape of layers or pillars of insulating materials characterised by the formation processes
    • H10P14/6326—Deposition processes
    • H10P14/6328—Deposition from the gas or vapour phase
    • H10P14/6329—Deposition from the gas or vapour phase using physical ablation of a target, e.g. physical vapour deposition or pulsed laser deposition
NL7712708A 1976-11-18 1977-11-18 Werkwijze voor het aanbrengen van een diffusie- barriere op een halfgeleidersubstraat door mid- del van kathodesputteren. NL7712708A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR7635294A FR2371777A1 (fr) 1976-11-18 1976-11-18 Procede de fabrication d'une barriere de diffusion en nitrure de silicium sur un substrat de semiconducteur, en particulier du type iii-v

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7712708A true NL7712708A (nl) 1978-05-22

Family

ID=9180215

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7712708A NL7712708A (nl) 1976-11-18 1977-11-18 Werkwijze voor het aanbrengen van een diffusie- barriere op een halfgeleidersubstraat door mid- del van kathodesputteren.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4137141A (enExample)
JP (1) JPS5364471A (enExample)
FR (1) FR2371777A1 (enExample)
NL (1) NL7712708A (enExample)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2593441B2 (ja) * 1986-01-16 1997-03-26 日新電機株式会社 高硬度膜被覆工具材料とその製造方法
FR2640078B1 (fr) * 1988-10-20 1992-07-31 Alcatel Transmission Procede de depot de nitrure de silicium, dispositif de mise en oeuvre de ce procede, et application dudit procede a la fabrication de capacites hyperfrequences
US5047363A (en) * 1990-09-04 1991-09-10 Motorola, Inc. Method and apparatus for reducing heterostructure acoustic charge transport device saw drive power requirements
US5217567A (en) * 1992-02-27 1993-06-08 International Business Machines Corporation Selective etching process for boron nitride films
JP4128898B2 (ja) * 2003-04-18 2008-07-30 古河電気工業株式会社 半導体素子の製造方法
US20060045986A1 (en) * 2004-08-30 2006-03-02 Hochberg Arthur K Silicon nitride from aminosilane using PECVD
US7732071B2 (en) * 2006-11-10 2010-06-08 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Perpendicular magnetic recording system with patterned medium and manufacturing process for the medium
US7670696B2 (en) * 2007-05-01 2010-03-02 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Perpendicular magnetic recording medium with patterned magnetic islands and nonmagnetic trenches and manufacturing method for suppressing surface diffusion of trench material

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL257102A (enExample) * 1960-10-18 1900-01-01
US3600218A (en) * 1968-05-15 1971-08-17 Ibm Method for depositing insulating films of silicon nitride and aluminum nitride
US3591477A (en) * 1968-07-17 1971-07-06 Mallory & Co Inc P R Process for growth and removal of passivating films in semiconductors
DE2006276A1 (de) 1970-02-12 1971-08-26 Ibm Deutschland Verfahren zum rationellen Herstellen von Feldeffekt Transistoren mit isolierten Feldelektroden, insbesondere mit phosphor kompensierten Isolierschichten aus SiO tief 2
US3849276A (en) * 1971-03-19 1974-11-19 Ibm Process for forming reactive layers whose thickness is independent of time
GB1391842A (en) * 1971-08-04 1975-04-23 Elektromat Veb Apparatus for coating substrates by cathode sputtering and for cleaning by ion bombardment in the same vacuum vessel

Also Published As

Publication number Publication date
US4137141A (en) 1979-01-30
JPS5364471A (en) 1978-06-08
FR2371777A1 (fr) 1978-06-16
FR2371777B1 (enExample) 1980-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL188237C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een stof uit meerdere lagen.
NL7611952A (nl) Werkwijze voor het selektief galvaniseren van een gebied van een oppervlak.
NL7610971A (nl) Werkwijze voor het vlakmaken van een silicium- substraat door etsen.
NL194832B (nl) Werkwijze voor het vormen van een dunne-halfgeleiderfilm.
NL189220C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een bipolaire transistor.
NL7710659A (nl) Werkwijze voor het vormen van een epitaxiale laag op het oppervlak van een substraat.
NL184368C (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een antistatische laag op een substraat.
NL176818C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting.
NL163409C (nl) Beklede zaden, alsmede werkwijze voor het bekleden van zaden.
NL7413211A (nl) Werkwijzen voor het elektrolytisch neerslaan van m op een substraat en elektrolytoplossing oor.
NL7613487A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een buig- zame lamellaire tussenlaag.
NL178088B (nl) Werkwijze voor het vormen van een hoogglanzende bekleding op een substraat.
NL183344C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een lichtdoorlatend brandwerend paneel, en een dergelijk paneel.
NL7602706A (nl) Werkwijze en inrichting voor het door kathodever- stuiving afzetten van een materiaal op een drager.
NL186478C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting.
NL162157C (nl) Werkwijze voor de bekleding van een betonnen ondergrond.
NL172978B (nl) Afdichtende bekleding voor een ondergrond en werkwijze voor het aanbrengen van een zodanige bekleding.
NL7609685A (nl) Beschermingslaag voor metalen substraten.
NL7608397A (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een polyurethanlaag op een substraat.
NL7900497A (nl) Werkwijze voor het positioneren van een substraat.
NL162124C (nl) Werkwijze voor het door etsen selectief verwijderen van een anorganisch oxyde van een substraat.
NL7613644A (nl) Werkwijze voor het plakken van een vezelig substraat op polyvinylideenfluoride.
NL190725C (nl) Werkwijze voor het bekleden van een substraat.
NL7804102A (nl) Werkwijze voor het besturen van de migratie van een chemische stof in een vast substraat.
NL7804394A (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een oppervlakdeklaag op een substraat.

Legal Events

Date Code Title Description
BV The patent application has lapsed