NL7609502A - Verwerking van fotomaskers voor het vervaardi- gen van geintegreerde schakelingen. - Google Patents

Verwerking van fotomaskers voor het vervaardi- gen van geintegreerde schakelingen.

Info

Publication number
NL7609502A
NL7609502A NL7609502A NL7609502A NL7609502A NL 7609502 A NL7609502 A NL 7609502A NL 7609502 A NL7609502 A NL 7609502A NL 7609502 A NL7609502 A NL 7609502A NL 7609502 A NL7609502 A NL 7609502A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
manufacture
processing
integrated circuits
photo masks
masks
Prior art date
Application number
NL7609502A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of NL7609502A publication Critical patent/NL7609502A/nl

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • G03F1/72—Repair or correction of mask defects
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0002—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits for manufacturing artworks for printed circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/027—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed by irradiation, e.g. by photons, alpha or beta particles
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/225—Correcting or repairing of printed circuits

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
NL7609502A 1975-08-27 1976-08-26 Verwerking van fotomaskers voor het vervaardi- gen van geintegreerde schakelingen. NL7609502A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10303175A JPS5227372A (en) 1975-08-27 1975-08-27 Photo mask processing system and its device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7609502A true NL7609502A (nl) 1977-03-01

Family

ID=14343273

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7609502A NL7609502A (nl) 1975-08-27 1976-08-26 Verwerking van fotomaskers voor het vervaardi- gen van geintegreerde schakelingen.

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPS5227372A (nl)
DE (1) DE2638474A1 (nl)
GB (1) GB1554296A (nl)
NL (1) NL7609502A (nl)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53120377A (en) * 1977-03-30 1978-10-20 Nec Corp Laser machining apparatus for correction of photo masks
JPS5871617A (ja) * 1981-10-23 1983-04-28 Nec Corp レ−ザアニ−リング装置
JPS5892026U (ja) * 1981-12-16 1983-06-22 呉羽合繊株式会社 捲物用帯状体
US4548883A (en) * 1983-05-31 1985-10-22 At&T Bell Laboratories Correction of lithographic masks
JPS61168726A (ja) * 1985-01-21 1986-07-30 Norin Kogyosha:Goushi ガス遮断装置
US5338645A (en) * 1986-06-16 1994-08-16 Motorola, Inc. Three dimensional printed circuits
US6341009B1 (en) * 2000-02-24 2002-01-22 Quantronix Corporation Laser delivery system and method for photolithographic mask repair

Also Published As

Publication number Publication date
GB1554296A (en) 1979-10-17
JPS5324787B2 (nl) 1978-07-22
JPS5227372A (en) 1977-03-01
DE2638474A1 (de) 1977-03-10
DE2638474C3 (nl) 1979-01-04
DE2638474B2 (nl) 1978-05-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7600824A (nl) Steunorgaan voor het gereedmaken van microplaat- jes met geintegreerde circuits.
NL187844C (nl) Inrichting voor het bewerken van drukwerken.
NL7612028A (nl) Inrichting voor het fotografisch aanbrengen van een masker.
NL7609041A (nl) Werkwijze voor het regelen van de belichting bij de vervaardiging van fotografische copieen.
NL190721C (nl) Werkwijze voor het bereiden van 3-hydroxy-cephem derivaten.
NL7610374A (nl) Werkwijze voor het zuiveren van halogeensilanen.
NL7713004A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van halfgelei- derinrichtingen.
NL7600163A (nl) Werkwijze voor het carbonyleren van arylalkylha- logeniden.
NL183682C (nl) Inrichting voor het vervaardigen van geintegreerde circuits.
NL162215B (nl) Werkwijze voor het fotografisch vervaardigen van maskers.
NL7606639A (nl) Geintegreerde logische schakeling en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke schake- ling.
NL7600876A (nl) Werkwijze voor het opwerken van metaalhoudende metallurgische poeders.
NL7610851A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van geinte- greerde schakelingen.
NL7600228A (nl) Werkwijze voor het verwerken van mangaanoxyde- -erts.
NO140911C (no) Baerer for integrerte kretser.
NL7609502A (nl) Verwerking van fotomaskers voor het vervaardi- gen van geintegreerde schakelingen.
NL185044C (nl) Halfgeleider-component en werkwijze voor het vervaardigen daarvan.
NL7604652A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van halfgelei- ders.
NL7603040A (nl) Inrichting bestemd voor het verwijderen van condensaat.
NL7704153A (nl) Werkwijze voor het bereiden van thiourea.
NL7713114A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van halfge- leiderinrichtingen.
NL7607126A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van meervoudig getinte tabletten.
NL7603702A (nl) Inrichting voor het verwerken van afval.
NL7602277A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van gedrukte schakelingen met doorlopende contacten.
NL7601987A (nl) Inrichting voor het vervaardigen van velvormige voorwerpen.

Legal Events

Date Code Title Description
BV The patent application has lapsed