NL7514208A - Werkwijze voor het aanbrengen van dunne films van tantaal of niobium. - Google Patents
Werkwijze voor het aanbrengen van dunne films van tantaal of niobium.Info
- Publication number
- NL7514208A NL7514208A NL7514208A NL7514208A NL7514208A NL 7514208 A NL7514208 A NL 7514208A NL 7514208 A NL7514208 A NL 7514208A NL 7514208 A NL7514208 A NL 7514208A NL 7514208 A NL7514208 A NL 7514208A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- tantaal
- niobium
- thin films
- applying thin
- applying
- Prior art date
Links
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 title 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 title 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 title 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/06—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals
- C03C17/09—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals by deposition from the vapour phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
- C23C14/0036—Reactive sputtering
- C23C14/0084—Producing gradient compositions
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/25—Metals
- C03C2217/263—Metals other than noble metals, Cu or Hg
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CA215,398A CA1014889A (fr) | 1974-12-06 | 1974-12-06 | Pellicules minces a dielectrique pulverise |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL7514208A true NL7514208A (nl) | 1976-06-09 |
Family
ID=4101793
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL7514208A NL7514208A (nl) | 1974-12-06 | 1975-12-05 | Werkwijze voor het aanbrengen van dunne films van tantaal of niobium. |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62229B2 (fr) |
CA (1) | CA1014889A (fr) |
DE (1) | DE2554854A1 (fr) |
FR (1) | FR2333056A1 (fr) |
GB (1) | GB1496590A (fr) |
NL (1) | NL7514208A (fr) |
SE (1) | SE435298B (fr) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4142958A (en) * | 1978-04-13 | 1979-03-06 | Litton Systems, Inc. | Method for fabricating multi-layer optical films |
DE3027256A1 (de) * | 1980-07-18 | 1982-02-18 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Mehrschichtsystem fuer waermeschutzanwendungen und verfahren zu seiner herstellung |
JPS57177971A (en) * | 1981-04-28 | 1982-11-01 | Yoichi Murayama | High frequency ion plating device |
JPS58140705A (ja) * | 1982-02-15 | 1983-08-20 | Fujitsu Ltd | 光学フイルタおよびその製造方法 |
JPH0610926B2 (ja) * | 1985-05-23 | 1994-02-09 | 松下電器産業株式会社 | 誘電体膜の製造法 |
GB2264718B (en) * | 1992-03-04 | 1995-04-26 | Univ Hull | Coatings produced by vapour deposition |
GB2310218B (en) * | 1996-02-13 | 1999-12-22 | Marconi Gec Ltd | Coatings |
GB9901093D0 (en) * | 1999-01-20 | 1999-03-10 | Marconi Electronic Syst Ltd | Method of making coatings |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3558461A (en) * | 1968-10-28 | 1971-01-26 | Bell Telephone Labor Inc | Thin film resistor and preparation thereof |
DE2215151C3 (de) * | 1972-03-28 | 1979-05-23 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Verfahren zum Herstellen von dünnen Schichten aus Tantal |
-
1974
- 1974-12-06 CA CA215,398A patent/CA1014889A/fr not_active Expired
-
1975
- 1975-11-26 SE SE7513312A patent/SE435298B/xx unknown
- 1975-12-05 FR FR7537373A patent/FR2333056A1/fr not_active Withdrawn
- 1975-12-05 NL NL7514208A patent/NL7514208A/xx not_active Application Discontinuation
- 1975-12-05 GB GB50078/75A patent/GB1496590A/en not_active Expired
- 1975-12-05 JP JP50144047A patent/JPS62229B2/ja not_active Expired
- 1975-12-05 DE DE19752554854 patent/DE2554854A1/de active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2554854A1 (de) | 1976-06-16 |
FR2333056A1 (fr) | 1977-06-24 |
CA1014889A (fr) | 1977-08-02 |
SE7513312L (sv) | 1976-06-08 |
SE435298B (sv) | 1984-09-17 |
JPS5192740A (fr) | 1976-08-14 |
GB1496590A (en) | 1977-12-30 |
JPS62229B2 (fr) | 1987-01-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL7512917A (nl) | Werkwijze voor het verbinden van foelies. | |
NL7415450A (nl) | Inrichting voor het opbrengen van dunne lagen. | |
NL7511197A (nl) | Werkwijze voor het in emulsie polymeriseren of co- polymeriseren van vinylideenfluoride. | |
NL7506530A (nl) | Werkwijze voor het verwijderen van was. | |
NL7515116A (nl) | Werkwijze voor het selectief verwijderen van endotoxine. | |
NL7501010A (nl) | Werkwijze voor het behandelen van echoimpulsen. | |
NL7503691A (nl) | Werkwijze voor de vervaardiging van beklede films. | |
NL7514063A (nl) | Werkwijze voor het versterken van rubber en al- dus verkregen rubber. | |
NL7506688A (nl) | Werkwijze voor het continu veresteren van chloor- silanen. | |
NL7502927A (nl) | Werkwijze voor het behandelen van oppervlakken. | |
NL7513620A (nl) | Werkwijze voor het hydroformyleren van alkenen. | |
NL7500275A (nl) | Werkwijze en inrichting voor het bereiden van of yoghurt. | |
NL7504178A (nl) | Werkwijze voor het bestrijden van schimmels. | |
NL7512676A (nl) | Werkwijze voor het kleuren van oppervlakken. | |
NL7900489A (nl) | Werkwijze voor het opbrengen van dunne lagen. | |
NL7514208A (nl) | Werkwijze voor het aanbrengen van dunne films van tantaal of niobium. | |
NL7503536A (nl) | Werkwijze voor het meten van drukken. | |
NL7508078A (nl) | Continue werkwijze voor het strippen van latex. | |
NL7500805A (nl) | Werkwijze voor het zuiveren van cefalosporinen. | |
NL7503088A (nl) | Werkwijze voor het galvanisch vertinnen van ferrosubstraten. | |
NL157062B (nl) | Werkwijze voor het etsen van een of meer dunne laagjes. | |
NL7513748A (nl) | Werkwijze voor het bereiden van aminoverbindingen. | |
NL7508671A (nl) | Werkwijze voor het bepalen van plastiminogeen. | |
NL7500699A (nl) | Werkwijze voor het bereiden van anthelmintica. | |
NL171992C (nl) | Werkwijze voor het stabiliseren van chloorhoudende harsen. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
BV | The patent application has lapsed |