NL157062B - Werkwijze voor het etsen van een of meer dunne laagjes. - Google Patents

Werkwijze voor het etsen van een of meer dunne laagjes.

Info

Publication number
NL157062B
NL157062B NL7314162.A NL7314162A NL157062B NL 157062 B NL157062 B NL 157062B NL 7314162 A NL7314162 A NL 7314162A NL 157062 B NL157062 B NL 157062B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
etching
thin coats
coats
thin
Prior art date
Application number
NL7314162.A
Other languages
English (en)
Other versions
NL7314162A (nl
Original Assignee
Western Electric Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Western Electric Co filed Critical Western Electric Co
Publication of NL7314162A publication Critical patent/NL7314162A/xx
Publication of NL157062B publication Critical patent/NL157062B/nl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
    • H05K3/07—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process being removed electrolytically
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
    • C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
    • C25F3/02—Etching
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Weting (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
NL7314162.A 1972-10-19 1973-10-15 Werkwijze voor het etsen van een of meer dunne laagjes. NL157062B (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US29885672A 1972-10-19 1972-10-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL7314162A NL7314162A (nl) 1974-04-23
NL157062B true NL157062B (nl) 1978-06-15

Family

ID=23152265

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7314162.A NL157062B (nl) 1972-10-19 1973-10-15 Werkwijze voor het etsen van een of meer dunne laagjes.

Country Status (9)

Country Link
US (1) US3798141A (nl)
JP (1) JPS4974140A (nl)
BE (1) BE806230A (nl)
CA (1) CA1026704A (nl)
DE (1) DE2351664B2 (nl)
FR (1) FR2203890B1 (nl)
GB (1) GB1408352A (nl)
IT (1) IT999661B (nl)
NL (1) NL157062B (nl)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3898141A (en) * 1974-02-08 1975-08-05 Bell Telephone Labor Inc Electrolytic oxidation and etching of III-V compound semiconductors
NL7609816A (nl) * 1976-09-03 1978-03-07 Philips Nv Werkwijze voor het vervaardigen van een lichaam voorzien met een goudpatroon en lichaam ver- vaardigd volgens de werkwijze.
GB1539309A (en) * 1976-12-14 1979-01-31 Inoue Japax Res Electrochemical polishing
US4206028A (en) * 1976-12-14 1980-06-03 Inoue-Japax Research Incorporated Electrochemical polishing system
DE3029277C2 (de) * 1980-08-01 1983-10-20 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Aufbau von Metallschichten
WO2002030401A2 (en) 2000-10-11 2002-04-18 Microchips, Inc. Microchip reservoir devices and facilitated corrosion of electrodes
AU2002326304A1 (en) 2001-05-31 2002-12-16 Massachusetts Institute Of Technology Microchip devices with improved reservoir opening
US7175752B2 (en) * 2002-05-24 2007-02-13 Federal-Mogul Worldwide, Inc. Method and apparatus for electrochemical machining

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3566358A (en) * 1968-03-19 1971-02-23 Bevier Hasbrouck Integrated multi-computer system

Also Published As

Publication number Publication date
FR2203890B1 (nl) 1976-07-23
CA1026704A (en) 1978-02-21
IT999661B (it) 1976-03-10
GB1408352A (en) 1975-10-01
DE2351664B2 (de) 1975-09-18
BE806230A (fr) 1974-02-15
DE2351664A1 (de) 1974-05-02
FR2203890A1 (nl) 1974-05-17
US3798141A (en) 1974-03-19
NL7314162A (nl) 1974-04-23
JPS4974140A (nl) 1974-07-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL179364C (nl) Werkwijze voor het vormen van een oxydebekleding.
NL7316952A (nl) Werkwijze voor het bekleden van doorgangen.
NL181199C (nl) Werkwijze voor het polymeriseren van alkenen.
NL7406579A (nl) Werkwijze voor het optisch bepalen van een voorwerp en inrichting voor het toepassen van deze werkwijze.
NL155842B (nl) Werkwijze voor het polymeriseren van een alkeen.
NL7410943A (nl) Werkwijze voor het etsen van een polyimidefilm.
NL165845C (nl) Werkwijze voor de enzymatische bepaling van triglyce- riden.
NL171010B (nl) Werkwijze voor het conserveren van champignons.
NL7501831A (nl) Werkwijze voor de hydroformylering van alkenen.
NL175672C (nl) Werkwijze voor het onderscheiden van leukocyten.
NL163334C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een elektrostatische ontwikkelaar of ontwikkelaarconcentraat.
NL151366B (nl) Werkwijze voor het bereiden van een aralkanoylaminopyridine.
NL157062B (nl) Werkwijze voor het etsen van een of meer dunne laagjes.
NL167145B (nl) Werkwijze voor het stabiliseren van methyleenchloride.
NL160863C (nl) Werkwijze voor het markeren van wegen.
BE795499A (fr) Stelsel voor het besturen van een langs een baan beweegbaar voertuig of voorwerp.
NL175953C (nl) Werkwijze voor het verbeteren van de sensitometrie.
NL179132B (nl) Werkwijze voor het stabiliseren van kleefstoffen.
NL162313B (nl) Werkwijze voor het behandelen van een substraat van galliumarsenide.
NL175165C (nl) Werkwijze voor de natte verbranding van onoplosbare vloeibare of vaste stoffen.
NL173661B (nl) Werkwijze voor het fosfateren van staal.
NL172438C (nl) Werkwijze voor het sulfoneren en/of sulfateren van vloeibaar organisch materiaal.
NL7508955A (nl) Werkwijze voor het struktureren van dunne lagen.
NL174174C (nl) Werkwijze voor het vormen van een gewelf of dergelijke, en voor het uitvoeren daarvan bestemd schaalonderdeel.
NL170504C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van gietvormen of gietkernen.