NL2003792C2 - Werkwijze en inrichting voor het met gecontroleerde gasdruk omhullen van elektronische componenten. - Google Patents

Description

Werkwijze en inrichting voor het met gecontroleerde gasdruk omhullen van elektronische componenten

De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het met gecontroleerde gasdruk 5 omhullen van op een drager bevestigde elektronische componenten. De uitvinding heeft tevens betrekking op een inrichting voor het uitvoeren van een dergelijke werkwijze.

Bij het omhullen van elektronische componenten, meer in het bijzonder het omhullen van op een drager (zoals bijvoorbeeld een “lead frame”) bevestigde halfgeleiders wordt 10 gebruik gemaakt van het zogeheten “transfer molding proces”. Daarbij wordt de drager met elektronische componenten ingeklemd tussen maldelen zodanig dat er rond de te omhullen componenten vormholten worden bepaald. In deze vormholten wordt vervolgens vloeibaar omhulmateriaal gebracht, na ten minste gedeeltelijke uitharding waarvan de maldelen uiteen worden bewogen en de drager met omhulde elektronische 15 componenten wordt uitgenomen. De toevoer van omhulmateriaal geschiedt gebruikelijk door middel van één of meerdere plunjers waarmee druk kan worden uitgeoefend op een voorraad omhulmateriaal. De plunjer is verplaatsbaar in een behuizing waarin ook het omhulmateriaal wordt gebracht. Het omhulmateriaal wordt gebruikelijk in een niet-vloeibare toestand in de vorm van een pil (“pellet”), in de vorm van een met 20 foliemateriaal omgeven pakket of in de vorm van een granulaat in de mal geplaatst. Het is echter ook mogelijk het omhulmateriaal vloeibaar in te brengen. Het omhulmateriaal bestaat gewoonlijk uit een thermohardende epoxy of hars waarin een vulstof is opgenomen. De plunjer oefent een druk uit op het omhulmateriaal dat gelijktijdig wordt verwarmd ten gevolge van welke verwarming het omhulmateriaal, zulks het niet reeds 25 vloeibaar is, vloeibaar wordt. Het vloeibare omhulmateriaal stroomt als reactie op de door de plunjer uitgeoefende druk naar de verwarmde vormholte en vult deze met omhulmateriaal. Voor het verplaatsen van het omhulmateriaal wordt het omhulmateriaal verwarmd waarna het in de verwarmde vormholte ten gevolge van chemische binding ten minste gedeeltelijk uithard (ook wel aangeduid als “cross linking”). Om kwaliteit 30 van de omhulling te vergroten is het mogelijk om voor aanvang van het toevoeren van het omhulmateriaal een bepaalde onderdruk (dat wil zeggen een gasdruk lager dan de luchtdruk van de omgeving) in de vormholte aan te brengen. De vormholte wordt daarbij gewoonlijk op onderdruk gebracht door afzuigkanalen (“ventings”) die de afvoer van gassen tijden het vullen van de vormholte mogelijk maken. Het is van groot 2 belang de vormholte volledig met omhulmateriaal te vullen en de toevoer van omhulmateriaal te beperken tot de vormholte.

Doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een werkwijze en inrichting 5 voor het omhullen van elektronische componenten waarbij de kans op lekkage van omhulmateriaal wordt beperkt, hetgeen tevens de toepassing van steeds dunner vloeibare omhulmaterialen mogelijk kan maken.

De uitvinding verschaft daartoe een werkwijze voor het omhullen van op een drager 10 bevestigde elektronische componenten omvattende de bewerkingsstappen: A) het in een op de drager aansluitende vormholte plaatsen van een te omhullen elektronische component, B) het verwarmen van omhulmateriaal zodanig dat het vloeibaar wordt, C) het door het uitoefenen van druk op het vloeibare omhulmateriaal naar de elektronische component omgevende vormholte verplaatsen van het omhulmateriaal, D) het met 15 omhulmateriaal vullen van de vormholte, en E) het in de vormholte ten minste gedeeltelijk doen uitharden van het omhulmateriaal, waarbij de gasdruk in een op de vormholte aansluitend afzuigkanaal na het tijdens bewerkingsstap D) met omhulmateriaal vullen van de vormholte actief wordt verhoogd tot een overdruk van ten minste 3 atmosfeer. De overdruk kan ook worden verhoogd tot bijvoorbeeld 5, 8, 10, 20 20 of 30 atmosfeer. Een andere mogelijkheid de overdruk te begrenzen is deze te maximeren op een druk overeenkomstig de druk op het omhulmateriaal in het op de vormholte aansluitend afzuigkanaal. Het voordeel van het in het afzuigkanaal aanbrengen van een overdruk nadat de vormholte volledig is gevuld is dat zo de mogelijkheid voor omhulmateriaal om verder door te dringen in het afzuigkanaal wordt 25 beperkt. Juist bij zeer dun vloeibaar omhulmateriaal (- dat in de praktijk steeds meer wordt toegepast om dunnere pakketten te kunnen vormen en zeer nauwe openingen tussen een elektronische component en een drager te kunnen vullen -) kan zo de vergaande penetratie van omhulmateriaal in de afzuigopening worden tegengegaan. Aldus is er minder sprake van uithardend omhulmateriaal in het afzuigkanaal (“venting 30 bleed”) met als gevolg een minder door omhulmateriaal verontreinigde rand (“zijrail”) van de drager. Een van omhulmateriaal vrijblijvende zijrail heeft bovendien als voordeel dat de drager na het omhulproces makkelijker transporteerbaar is transportsystemen die juist op de zijrand aangrijpen zoals bijvoorbeeld railtransporteurs. Niet alleen heeft dit als voordeel dat de drager ter plekke van de afzuigopening vrij blijft 3 van uitgehard omhulmateriaal maar ook is de kans op verontreiniging en/of verstopping van het in een maldeel uitgespaarde afzuigkanaal gereduceerd.

Tijdens het met omhulmateriaal vullen van de vormholte volgens bewerkingsstap D) is 5 het wenselijk de gasdruk in een op de vormholte aansluitend afzuigkanaal op een onderdruk te brengen die kleiner is dan 1 atmosfeer. In de praktijk kan voordelig een kleinere gasdruk worden toegepast van bijvoorbeeld tussen de 0 - 0,5 atmosfeer [0 - 50.000 Pa], of zelfs nog kleiner van tussen de 0 - 0,1 atmosfeer [0 - 10.000 Pa], In de praktijk zal er veelal worden gesproken van (nagenoeg) een vacuüm. Het voordeel om 10 tijdens de bewerkingsstap D) met een onderdruk te werken is dat zo de kans op gas insluitsels in het omhulmateriaal (hetgeen evident ongewenst is) kan worden verkleind.

Indien tijdens het uitvoeren van bewerkingsstap D) een onderdruk in de vormholte wordt opgewekt is het wenselijk deze onderdruk in het op de vormholte aansluitend 15 afzuigkanaal te wijzigen in een overdruk nadat het vloeibaar omhulmateriaal het op de vormholte aansluitend afzuigkanaal heeft bereikt. Om een volledige vulling van de vormholte met omhulmateriaal te kunnen garanderen is het namelijk wenselijk dat het op de vormholte aansluitend afzuigkanaal pas op overdruk wordt gebracht op een moment dat het omhulmateriaal het op de vormholte aansluitend afzuigkanaal reeds 20 gedeeltelijk is binnengedrongen.

Om het moment waarop het omhulmateriaal het afzuigkanaal bereikt nauwkeurig te bepalen is het mogelijk de druk op het omhulmateriaal te meten waarbij een geregistreerde toename van de druk op het omhulmateriaal een stuursignaal. De 25 toename van de druk op het omhulmateriaal impliceert immers dat het vloeibaar omhulmateriaal een toenemende weerstand ondervindt, hetgeen het geval is wanneer de vormholte is gevuld en het omhulmateriaal nog slechts kan ontwijken via het afzuigkanaal (of de afzuigkanalen) die een veel kleinere dwarsdoorsnede heeft (hebben) dan de dwarsdoorsnede van de vormholte. Aldus zal de toenemende druk op het 30 omhulmateriaal een stuursignaal zijn voor het actief verhogen van de druk in het op de vormholte aansluitend afzuigkanaal. De druk op het omhulmateriaal kan worden bepaald door het op enkele centrale locatie meten van de druk waarmee het omhulmateriaal in meerdere vormholten wordt gedrongen. Dit is bijvoorbeeld mogelijk met behulp van een directe meting met een sensor die grenst aan een vormholte (“load 4 sensor”), of door een indirecte meting (bijvoorbeeld in de vorm van een meting van de druk uitgeoefend door een plunjer waarmee het omhulmateriaal naar de elektronische component omgevende vormholte wordt verplaatst). Een indirecte meting heeft ondermeer als voordeel dat de sensor niet in contact hoeft te staan met het 5 omhulmateriaal. Zo is het bijvoorbeeld mogelijk de kracht waarmee een plunjerbalk wordt verplaatst te meten. Met een plunjerbalk worden doorgaans meerdere plunjers gelijktijdig verplaatst. De geregistreerde aldus toename van de druk op het omhulmateriaal kan bijvoorbeeld met een bepaalde tijdvertraging leiden tot het actief verhogen van de druk in het op de vormholte aansluitend afzuigkanaal. Aldus is er meer 10 zekerheid dat het omhulmateriaal het afzuigkanaal heeft bereikt alvorens de druk in het afzuigkanaal toeneemt. De tijdsvertraging kan er bijvoorbeeld voor zorgen dat het omhulmateriaal over een beperkte afstand tot in het afzuigkanaal is gedrongen; er dient immers voorkomen te worden dat de druk in het omhulmateriaal reeds wordt opgebouwd in een fase waarin de vormholte nog niet volledig is gevuld met 15 omhulmateriaal; dit zou tot een te vermijden onvolledige vulling van de vormholte kunnen leiden. Met de tijdsvertraging kan het risico op onvolledige vulling van de vormholte worden verkleind.

De onderhavige uitvinding maakt het mogelijk om ook zeer vloeibare omhulmaterialen 20 te verwerken omdat de kans op lekkage (“flash”, “bleed”) door het afzuigkanaal van zeer vleibaar omhulmateriaal wordt beperkt. Zo wordt het mogelijk omhulmateriaal; te verwerken dat tijdens het vullen van de vormholte een dynamische viscositeit heeft van 2-9 Poiseuille ([Pa.s] = [kg/m.s]). Hierbij wordt opgemerkt dat de toepassing van omhulmateriaal met steeds lagere viscositeit wenselijk is om zo ook relatief kleine 25 ruimten en ruimten met een zeer beperkte hoogte (hetgeen een gevolg is van de marktwens tot steeds verdere miniaturisatie) afdoende te kunnen vullen met omhulmateriaal.

Het is ook mogelijk de onderhavige werkwijze te combineren met het op de vormholte 30 aansluitend afzuigkanaal aanbrengen van een foliemateriaal waarbij de overdruk op de van het omhulmateriaal afgekeerde zijde van de folie wordt uitgeoefend. Daarbij is het dan wenselijk dat de onderdruk tijdens het omhullen aan de naar het omhulmateriaal gekeerde zijde wordt uitgeoefend. Aldus wordt voorkomen dat het toevoerkanaal voor de overdruk verontreinigd raakt door omhulmateriaal. Bovendien wordt ook op deze 5 wijze de kans verkleind dat er ongewenst gas in de vormholte wordt geblazen. Door de folie bij het uitoefenen van de overdruk op de folie een op het afzuigkanaal aansluitende onderdrukaans hiking af te laten dichten zal ook het afzuigkanaal (dat eerder tijdens een bewerkingscyclus actief is bij het op onderdruk brengen van de nog niet volledig 5 gevulde vormholte) verontreinigd raakt door omhulmateriaal.

De verhoging van de druk in het afzuigkanaal kan zo menugestuurd worden uitgevoerd dat deze mede afhankelijk is van een aantal procesvariabelen. De in het menu in te voeren procesvariabelen kunnen bijvoorbeeld bestaan uit: het type omhulmateriaal, de 10 verwerkingstemperatuur, het type dragermateriaal, de sluitdruk van de maldelen, het minimale kwaliteitsniveau en zo voorts.

De onderhavige uitvinding verschaft tevens een inrichting voor het omhullen van op een drager bevestigde elektronische componenten, omvattende: ten opzichte van elkaar 15 verplaatsbare maldelen, welke in een gesloten stand ten minste één vormholte voor het omsluiten van een elektronische component bepalen, op de vormholte aansluitende toevoermiddelen voor vloeibaar omhulmateriaal, en ten minste één op de vormholte aansluitend afzuigkanaal voor het uit de vormholte afzuigen van gas, waarbij de inrichting tevens is voorzien van op het afzuigkanaal aansluitende drukleiding waardoor 20 in het afzuigkanaal een gas onder overdruk van ten minste 3 atmosfeer kan worden gebracht. Met een dergelijke inrichting kunnen de voordelen worden gerealiseerd zoals bovengaand reeds beschreven in relatie tot de werkwijze volgens de uitvinding. Daarbij wordt tevens opgemerkt dat deze inrichting het minder noodzakelijk maakt om maatregelen te nemen de omvang van (een deel van) het afzuigkanaal variabel uit te 25 voeren om zo een goede afzuigcapaciteit te combineren met een verminderde kans op lekkage door de het afzuigkanaal. Een afzuigkanaal met een doorvoer met variabele afmeting is een constructief complexe constructie die dus kostbaar en gevoelig is. De onderhavige uitvinding maakt dergelijke complexe maatregelen in de meeste omstandigheden overbodig. Dit sluit aan dat de onderhavige uitvinding minder eisen 30 stelt eten aanzien van de maximale maat van de afzuigopening. Met een grotere omvang van de afzuigopening, welke nu mogelijk is dankzij de onderhavige uitvinding, kan beter worden afgezogen en kan eventueel op het dynamische regelgedrag van de druk in de vormholte beter worden gerealiseerd dan dat dit met een kleinere afzuigopening mogelijk is. De toevoermiddelen zijn gebruikelijk voorzien van ten minste één plunjer 6 en de drukleiding kan aansluiten op een (gas)drukbron naar keuze, bijvoorbeeld een persluchtsysteem, een onder druk staande gashouder of een booster.

De inrichting kan zijn ook voorzien van een besturing waarmee de druk in het 5 afzuigkanaal regelbaar tussen een overdruk en een onderdruk. Hierbij zal deze onderdruk wenselijk minder dan 0,5 atmosfeer, bij voorkeur minder dan 0,1 atmosfeer, zijn. De uitvinding kan ook zijn voorzien van een besturing waarmee deze onderdruk actief regelbaar is. Met actieve regeling wordt hierbij gedoeld op een dynamisch regelmogelijkheid zodanig dat tijdens het toevoeren van omhulmateriaal naar wens 10 meer en minder onderdruk aanwezig is in de vormholte. Op deze manier is het omhulproces mogelijk beter beheersbaar. Deze maatregelen dragen aan een verbeterde kwaliteit van de omhulde elektronische componenten.

De inrichting kan tevens zijn voorzien van ten minste één op het afzuigkanaal 15 aansluitende en door de besturing controleerbare afsluiter. Aldus kan het afzuigkanaal worden afgesloten zodra er door de drukleiding een overdruk wordt aangebracht in het afzuigkanaal. Aldus wordt ondermeer verontreiniging van het onderdruksysteem tegengaan.

20 Voor het tijdens het toevoeren van omhulmateriaal waarnemen van de druk op het omhulmateriaal is de inrichting wenselijk voorzien van een op de vormholte aansluitende en met de besturing in verbinding staande druksensor. In een specifieke uitvoeringsvariant zijn de toevoermiddelen voor omhulmateriaal voorzien van een plunjer die tevens een met de besturing in verbinding staande druksensor bevat voor het 25 tijdens het toevoeren van omhulmateriaal waarnemen van de druk op het omhulmateriaal. Met deze maatregelen kan de druk op het omhulmateriaal tijdens het omhulproces actueel worden waargenomen waardoor op een geschikt moment de overdruk of het afzuigkanaal kan woerden gezet. In weer een andere uitvoeringsvariant is de plunjer voorzien van een positie-opnemer, welke positie-opnemer aansluit op de 30 besturing. De positie van de plunjer vormt (vermits men de uitgangstoestand kent) een nauwkeurige maat voor het vulniveau van de vormholte. De positie van de plunjer is door middel van positie-detectoren eenvoudig te bepalen. Aldus is uitwendige meting (dat wil zeggen een meting buiten de vormholte) maatgevend voor het vulniveau van de vormholte.

7

De inrichting is voorzien van een op het afzuigkanaal aansluitende drukbron voor het in het op de vormholte aansluitend afzuigkanaal opwekken van een mediumdruk van ten minste 3 atmosfeer. Een dergelijke drukbron kan bijvoorbeeld worden gevormd door 5 een drukleiding, een gasfles, een booster of iedere andere bron waarmee een gasdruk van ten minste 3 atmosfeer kan worden opgewekt.

De onderhavige uitvinding zal verder worden verduidelijkt aan de hand van de in navolgende figuren weergegeven niet-limitatieve uitvoeringsvoorbeelden. Hierin toont: 10 figuur 1 een schematische weergave van een inrichting overeenkomstig de uitvinding, figuur 2 twee grafieken met het verloop van de druk op het omhulmateriaal en de druk in de afzuigkamer, en 15 figuur 3 A en 3B een deel van een variant van een omhulinrichting tijdens opeenvolgende fasen van een werkwijze voor het omhullen van elektronische componenten overeenkomstig de uitvinding.

Figuur 1 toont een inrichting 1 voor het omhullen van op een drager 2 bevestigde 20 elektronische componenten 3. De drager 2 is zodanig tussen twee maldelen 4, 5 geklemd dat de elektronische componenten 3 daarbij in een vormholte 6 welke is vrijgelaten in het bovenste maldeel 4 worden opgenomen. Door middel van een plunjer 7 kan een vanwege verwarming vloeibaar geworden omhulmateriaal 8 door een toevoerkanaal 9 (“runner”) naar de vormholte 6 worden gedrongen. Om nu de goede 25 vulling van de vormholte 6 met omhulmateriaal 9 te verkrijgen kan er door het activeren van een pomp 10 onder tussenkomst van een afzuigkamer 11 en een afzuigkanaal 12 tijdens het vullen gas (doorgaans lucht met eventueel uit het omhulmateriaal 9 vrijkomende gassen) worden afgezogen naar de omgeving (zie pijl Pi). De inrichting 1 is verder voorzien van een intelligente besturing 13, hier weergegeven in de vorm van 30 een computer, die bijvoorkeur programmeerbaar is met meerdere menu’s om afhankelijk van bepaalde in te voeren parameters een voor die betreffende omstandigheden geschikt regelgedrag.

8

In het afzuigkanaal 12 is een door de intelligente besturing 13 regelbare klep 14 geplaatst die het afzuigkanaal 12 aan de naar het maldeel 4 gekeerde zijde kan afsluiten. De inrichting 1 is verder voorzien van een bron 15 voor het aanbrengen van gasdruk (hier een gasfles) die met een drukleiding 16 in verbinding staat met de afzuigkamer 11.

5 Deze afzuigkamer 11 staat in verbinding met de vormholte 6 door een nauwe doorlaatopening 17 die ook wordt aangeduid als “venting”. Zodra het omhulmateriaal 9 de vormholte 6 volledig heeft gevuld en de venting 17 bereikt zal de intelligente besturing 13 de regelbare klep 14 sluiten en tevens een regelklep 18 voor het ontsluiten van de drukbron 15 openen. Het drukgas uit de gasfles 15 zal alsdan met ten minste een 10 druk van 3 atmosfeer in de afzuigkamer 11 en het nog door omhulmateriaal 9 vrijgelaten deel van de venting 17 dringen. Aldus wordt het verder in de venting 17 stromen van het omhulmateriaal 9 tegengewerkt hetgeen juist het nagestreefde effect is.

Om het moment te bepalen waarop de pomp 10 moet worden gestopt en (mogelijk korte 15 tijd later) het moment waarop de druk in de afzuigkamer moet worden verhoogd door toevoer van gas door de drukleiding 16 is in de plunjer 7 een druksensor 18 geplaatst die onder tussenkomst van een signaalleiding 19 aansluit op de intelligente besturing 13. Zodra de vormholte 6 is gevuld met omhulmateriaal 9 en het omhulmateriaal de venting 19 bereikt zal de weestand die het omhulmateriaal ondervindt toenemen met als gevolg 20 dat de druk op het omhulmateriaal 9 toeneemt. De druktoename op het omhulmateriaal 9 wordt waargenomen door de druksensor 19 met als gevolg dat de intelligente besturing 13 de positie van de kleppen 14, 18 en de werking pomp 10 kan besturen.

Figuur 2 toont twee grafieken 20, 21 waarin het parallelle verloop van de druk in de 25 loop van de tijd voor respectievelijk de door een plunjer 8 op het omhulmateriaal 9 uitgeoefende druk (Ptransfer, grafiek 20) en de druk in de afzuigkamer 11 (Pventing, grafiek 21) zijn weergegeven. De bovenste grafiek 20 laat zien dat de op het omhulmateriaal 9 uitgeoefende druk Ptransfer langere tijd tijdens het met omhulmateriaal 9 vullen van de vormholte 6 beperkt blijft om vervolgens plots snel toe te nemen zodra de vormholte 6 30 volledig is gevuld met omhulmateriaal 9. De tweede grafiek 21 toont dat de druk Pventing tijdens het vullen van de vormholte nadrukkelijk kleiner is dan 1 atmosfeer (onderdruk) maar dat zodra de op het omhulmateriaal 9 uitgeoefende druk Ptransfer ineens gaat toenemen (zodra de vormholte met omhulmateriaal is gevuld) de druk in de 9 afzuigkamer 11 (Pventing) snel omslaat naar een overdruk van enkele malen de atmosferische druk.

Figuur 3A toont een deel van een variant van een omhulinrichting overeenkomstig de 5 uitvinding waarin een afzuigkanaal 30 is gescheiden van een drukleiding 31 Hierbij is tevens de wijziging aangebracht dat in een bovenste maldeel 32 een fobelaag 33 is aangebracht. Niet alleen schermt deze folielaag 33 de wand 35 van een vormholte 36 af tegen omhulmateriaal maar ook het afzuigkanaal 30 wordt hierdoor afgeschermd zoals navolgend zal worden verduidelijkt. Zodra het omhulmateriaal 37 een venting 38 10 bereikt zal het afzuigen door het afzuigkanaal 30 worden gestaakt. Door de drukleiding 31 zal vervolgens zoals weergegeven in figuur 3B gas worden ingeblazen waardoor de folie 33 ter plekken van de drukleiding 31 loskomt van het bovenste maldeel 32. De folie 33 vormt daarbij een extra weerstand voor het omhulmateriaal 37 om verder door te dringen in de venting 38. Een bijkomend voordeel van de folie 33 is dat deze het 15 afzuigkanaal 30 afschermt van het drukgas at is aangevoerd door de drukleiding 31 en ook tegen het omhulmateriaal 37. Aldus zal het afzuigkanaal 30 minder snel verontreinigd raken dan zonder de toepassing van folie 33.

Claims (16)

1. Werkwijze voor het omhullen van op een drager bevestigde elektronische componenten omvattende de bewerkingsstappen:

2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk dat tijdens het met omhulmateriaal vullen van de vormholte volgens bewerkingsstap D) de gasdruk in een 20 op de vormholte aansluitend afzuigkanaal een onderdruk is die kleiner is dan 1 atmosfeer.

3. Werkwijze volgens conclusie 1 en 2, met het kenmerk dat de onderdruk in het op de vormholte aansluitend afzuigkanaal wordt gewijzigd in een overdruk nadat het 25 vloeibaar omhulmateriaal het op de vormholte aansluitend afzuigkanaal heeft bereikt.

4. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat de druk op het omhulmateriaal wordt gemeten en dat een geregistreerde toename van de druk op het omhulmateriaal een stuursignaal vormt voor het actief verhogen van de druk 30 in het op de vormholte aansluitend afzuigkanaal.

5. Werkwijze volgens conclusie 4, met het kenmerk dat de druk op het omhulmateriaal wordt bepaald door het op enkele centrale locatie meten van de druk waarmee het omhulmateriaal in meerdere vormholten wordt gedrongen.

5 A) het in een op de drager aansluitende vormholte plaatsen van een te omhullen elektronische component, B) het verwarmen van omhulmateriaal zodanig dat het vloeibaar wordt, C) het door het uitoefenen van druk op het vloeibare omhulmateriaal naar de elektronische component omgevende vormholte verplaatsen van het 10 omhulmateriaal, D) het met omhulmateriaal vullen van de vormholte, en E) het in de vormholte ten minste gedeeltelijk doen uitharden van het omhulmateriaal, waarbij de gasdruk in een op de vormholte aansluitend afzuigkanaal na het tijdens 15 bewerkingsstap D) met omhulmateriaal vullen van de vormholte actief wordt verhoogd tot een overdruk van ten minste 3 atmosfeer.

6. Werkwijze volgens conclusie 4 of 5, met het kenmerk dat de geregistreerde toename van de druk op het omhulmateriaal met een bepaalde tijdvertraging leidt tot het actief verhogen van de druk in het op de vormholte aansluitend afzuigkanaal. 5

7. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat het omhulmateriaal tijdens het met omhulmateriaal vullen van de vormholte een dynamische viscositeit heeft van 2-9 Poiseuille ([Pa.s] = [kg/m.s]).

8. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat in het op de vormholte aansluitend afzuigkanaal een foliemateriaal is aangebracht en dat de overdruk op de van het omhulmateriaal afgekeerde zijde van de folie wordt uitgeoefend.

9. Werkwijze volgens conclusie 8, met het kenmerk dat de onderdruk tijdens het 15 omhullen aan de naar het omhulmateriaal gekeerde zijde wordt uitgeoefend.

10. Werkwijze volgens conclusies 8 en 9, met het kenmerk dat de folie bij het uitoefenen van de overdruk op de folie een op het afzuigkanaal aansluitende onderdrukaansluiting afdicht. 20

11. Inrichting voor het omhullen van op een drager bevestigde elektronische componenten, omvattende: - ten opzichte van elkaar verplaatsbare maldelen, welke in een gesloten stand ten minste één vormholte voor het omsluiten van een elektronische component 25 bepalen, - op de vormholte aansluitende toevoermiddelen voor vloeibaar omhulmateriaal, en - ten minste één op de vormholte aansluitend afzuigkanaal voor het uit de vormholte afzuigen van gas, 30 waarbij de inrichting tevens is voorzien van op het afzuigkanaal aansluitende drukleiding waardoor in het afzuigkanaal een gas onder overdruk van ten minste 3 atmosfeer kan worden gebracht.

12. Inrichting volgens conclusie 11, met het kenmerk dat de inrichting is voorzien van een besturing waarmee de druk in het afzuigkanaal regelbaar tussen een overdruk en een onderdruk.

13. Inrichting volgens conclusie 12, met het kenmerk dat de inrichting is voorzien van ten minste één op het afzuigkanaal aansluitende en door de besturing controleerbare afsluiter.

14. Inrichting volgens een der conclusies 11 - 13, met het kenmerk dat de 10 inrichting is voorzien van een op de vormholte aansluitende en met de besturing in verbinding staande druksensor voor het tijdens het toevoeren van omhulmateriaal waarnemen van de druk op het omhulmateriaal.

15. Inrichting volgens een der conclusies 11 - 14, met het kenmerk dat de 15 toevoermiddelen voor omhulmateriaal ten minste een plunjer omvatten en de plunjer is voorzien van een met de besturing in verbinding staande druksensor voor het tijdens het toevoeren van omhulmateriaal waarnemen van de druk op het omhulmateriaal

16. Inrichting volgens een der conclusies 11 - 15, met het kenmerk dat de 20 inrichting is voorzien van een op het afzuigkanaal aansluitende drukbron voor het in het op de vormholte aansluitend afzuigkanaal opwekken van een mediumdruk van ten minste 3 atmosfeer.