NL194468C

NL194468C - Inrichting voor het produceren van een grote variÙteit aan halfgeleiderinrichtingen.

Info

Publication number: NL194468C
Application number: NL8700850A
Authority: NL
Original assignee: Osada Michio
Priority date: 1986-04-11
Filing date: 1987-04-10
Publication date: 2002-05-03
Also published as: SG93990G; KR870010612A; US4793785A; GB2189182A; HK19791A; NL8700850A; NL194468B; KR930004628B1; GB8708796D0; GB2189182B

Description

1 194468

Inrichting voor het produceren van een grote variëteit aan halfgeleiderinrichtingen

De uitvinding heeft betrekking op een inrichting, van het type dat geschikt is voor het produceren van een grote variëteit aan halfgeleiderinrichtingen in kleine hoeveelheden door het uitwisselen van inrichting-5 componenten die geschikt zijn voor het produceren van halfgeleiderinrichtingen van een bepaalde soort met vergelijkbare inrichtingcomponenten die geschikt zijn voor het produceren van halfgeleiderinrichtingen van een ander soort, omvattende: een stationaire stempelbasis; een tegenover de stationaire stempelbasis opgestelde beweegbare stempelbasis; een op de stationaire stempelbasis verschaft stationair holteblok en een op de beweegbare stempelbasis verschaft beweegbaar holteblok waarbij het stationaire en het 10 beweegbare holteblok tegenover elkaar zijn opgesteld; een veelvoud van in elk van de tegenover elkaar gelegen oppervlakken van de twee holteblokken aangebrachte holten; twee losneembare uitwerpplaten met uitwerppennen voor het uitwerpen van geproduceerde halfgeleiderinrichtingen uit de holten in de twee verwarmbare holteblokken; welke holteblokken losneembaar met de respectieve stempelbases zijn verbonden.

15 Een dergelijke inrichting is bekend uit het Amerikaanse octrooischrift 4.555.086. In genoemde inrichting zijn de verwisselbare holteblokken en de daarbij behorende losneembare uitwerpplaten aangebracht ter verkrijging van een grotere flexibiliteit en variatie in het produceren van halfgeleiderinrichtingen. In de beschreven inrichting wordt hars geïnjecteerd via een stelsel aanvoerkanalen, waaraan aanzienlijke nadelen kleven in verband met uithardingsproblemen en materiaalverliezen.

20 De uitvinding heeft tot doel een inrichting te verschaffen die wel de flexibiliteit biedt van genoemd octrooischrift, maar waarbij de nadelen van het hars injecteren via een dergelijk aanvoerstelsel worden overwonnen.

Dit doel wordt bereikt door een inrichting van de in de aanhef genoemde soort, waarbij in het onderste blok van de twee holteblokken een veelvoud van openingen is gevormd die elk een plunjer kunnen 25 opnemen, welke plunjers in een plunjerhouder zijn opgenomen, waarbij de openingen elk eindigen in een poort die in verbinding staat met bepaalde holten in het andere holteblok en waarbij de plunjerhouder losneembaar in de onderste stempelbasis is aangebracht.

Opgemerkt wordt, dat dergelijke plunjers op zich bekend zijn uit het Amerikaanse octrooischrift 4.388.265. Uit genoemd octrooischrift is echter niet bekend dat de plunjerhouder op eenvoudige wijze 30 verwisselbaar is. De inrichting volgens de uitvinding heeft als voordeel dat de plunjers een betere harsinjectie verschaffen, waarbij de inrichting tevens flexibel demonteerbaar blijft. Daarnaast biedt de losneembare plunjerhouder een handzame oplossing voor het instelbaar positioneren van de plunjers. De plunjerhouder met plunjers kan buiten de inrichting worden samengesteld, en vervolgens als één geheel naar binnen worden gebracht.

35 In een voorkeursuitvoeringsvorm is de plunjerhouder in langsrichting uit en in de stempelbasis verschuifbaar. Dit biedt als voordeel dat het aandrijfsysteem apart kan worden gehouden van de plunjerhouder, waardoor een compacter geheel tot stand komt. De plunjers kunnen daarbij als één geheel naar boven worden bewogen.

In een verdere voorkeursuitvoeringsvorm kunnen, ter verhoging van de flexibiliteit, de plunjers op een 40 instelbaar variabele afstand van elkaar in de plunjerhouder zijn opgesteld. Elk van de plunjers kan zijn voorzien van een aantal segmenten, die eind-aan-eind scheidbaar met elkaar zijn verbonden. Door deze scheidbaarheid kunnen de plunjers in, in de plunjerhouder gemonteerde toestand, gemakkelijker in en uit de inrichting worden genomen. Ter verkrijging van een uniforme druk op de kunsthars kunnen de plunjers individueel naar boven voorgespannen zijn door in de plunjerhouder opgestelde veren.

45

De uitvinding zal onderstaand nader worden toegelicht onder verwijzing naar de tekening. Daarbij toont: figuur 1 een vooraanzicht, gedeeltelijk in verticale doorsnede, waarin de basisconstructie van een inrichting volgens de uitvinding voor het omsluiten van halfgeleiderelementen met kunsthars is aangegeven; figuur 2 een totaal perspectivisch aanzicht van de inrichting, waarin een stationaire stempel en een 50 beweegbare stempel gedeeltelijk uiteengenomen zijn weergegeven; figuur 3 een zijaanzicht, gedeeltelijk in verticale doorsnede, waarbij de inrichting is aangegeven wanneer de stempels aan elkaar zijn vastgeklemd; figuur 4 een vergroot vooraanzicht, gedeeltelijk in verticale doorsnede, overeenkomende met figuur 3 om de inrichting te tonen; 55 figuur 5 een bovenaanzicht, dat een plunjerhouderstelsel toont; figuur 6 een bovenaanzicht, dat een dekplaat voor de plunjerhouder toont; figuur 7 een onderaanzicht, gedeeltelijk weggebroken, waarbij een onderste uitwerpplaatstelsel is 194468 2 aangegeven; figuur 8 een zijaanzicht, dat gedeeltelijk is weggebroken en een ander plunjerhouderstelsel toont, dat op een stempelbasis is gemonteerd; en figuur 9 een vooraanzicht, gedeeltelijk weggebroken, waarbij stelsels zijn aangegeven, die elk een 5 holteblok en een uitwerpplaat omvatten.

Figuur 1 toont in het algemeen de totale opbouw van een inrichting voor het omsluiten van halfgeleiderelementen volgens de uitvinding. De inrichting is van het type met een aantal plunjers en heeft de volgende constructie.

10 De inrichting omvat een stationaire stempel 1 en een beweegbare stempel 2, welke onder en tegenover de stempel 1 is opgesteld. Deze stempels 1 en 2 bezitten respectieve bases 3 en 4, welke zijn voorzien van olieverwarmingsinrichtingen, elektrische verwarmingsinrichtingen en dergelijke verwarmingsorganen 5 en 6.

De stationaire stempelbasis 3 en de beweegbare stempelbasis 4 zijn respectievelijk voorzien van een stationair holteblok 7 en een beweegbaar holteblok 8, dat daarin door een pen-en-gatverbinding verwijderts baar past.

Het beweegbare holteblok 8 bezit een aantal openingen 9, die elk zijn voorzien van een paar rechtse en linkse onderste holten 10 in de nabijheid daarvan. Organen 11 voor het verhitten van de onderste holten 10 zijn in de nabijheid van de holten 10 aanwezig. Onder het blok 8 bevinden zich een onderste uitwerpplaat 12 met uitwerppennen 12a om in de onderste holten 10 gevormde kunstharslichamen uit te werpen, en een 20 plunjerhouder 13, waarop plunjers 13a worden ondersteund om op het aan de openingen 9 toegevoerde kunstharsmateriaal een druk uit te oefenen. De uitwerppennen 12a worden passend in boringen 14 ingebracht, die zich door het blok 8 uitstrekken en met de onderste holten 10 in verbinding staan. Elke plunjer 13a wordt ingebracht via boringen 15,16, welke in de beweegbare stempelbasis 4 respectievelijk de uitwerpplaat 12 zijn gevormd en past in de opening 9. De tap 8a van het blok 8 bezit ten minste één 25 verticale schroefopening 17. Wanneer de tap 8a in de pen-en-gatverbinding 4a past om het blok 8 in de basis 4 te installeren, zoals boven is beschreven en in figuur 1 is aangegeven, ligt de schroefopening 17 op één lijn met een verticale boutopening 18, welke in de basis 4 is gevormd. Derhalve kan het blok 8 op de juiste wijze op zijn plaats ten opzichte van de basis 4 worden gefixeerd door in de schroefopening 17 via de boutopening 18 een positioneerbout 19 te schroeven.

30 Ofschoon een olieverwarmingsinrichting of elektrische verwarmingsinrichting voor de verwarmingsorganen 11 kan worden gebruikt, brengt het gebruik van een elektrische verwarmingsinrichting de kans met zich mede, dat de hoeveelheid opgewekte warmte bijvoorbeeld tussen een tussengelegen gedeelte van de verwarmingsinrichting en de tegenovergelegen uiteinden daarvan zal verschillen, waardoor derhalve een ongelijke verhitting van de holten 10 van het blok 8 optreedt. Teneinde dergelijke temperatuurvariaties 35 tijdens het verhitten te vermijden, is het gewenst gebruik te maken van een thermopijp (super-thermogeleidend element) voor de verwarmingsorganen 11. De (niet afgebeelde) thermopijp omvat bijvoorbeeld een hoofdhouderlichaam in de vorm van een holle pijp van roestvrij staal of dergelijke en een verwarmingsmedium, zoals kwik, dat zich in het hoofdlichaam bevindt. Het verwarmingsmedium verwarmt, wanneer dit door een voedingsbron wordt verwarmd, de gehele houder op een uniforme wijze. Deze 40 verwarmingsorganen verdienen de voorkeur voor het verhitten van het kunstharsmateriaal, zodat de houder van ongeveer 180° tot ongeveer 500°C kan worden verhit zonder dat zich daarbij een temperatuurgradiënt voordoet, welke wel optreedt bij een elektrische verwarmingsinrichting.

Zoals reeds is vermeld, kan voor de verwarmingsorganen 5, 6 voor de stempelbasis 3, 4 een normale olieverwarmingsinrichting of een elektrische verwarmingsinrichting worden toegepast.

45 De inrichting, welke de stationaire stempelbasis 3, het stationaire holteblok 7 en de verwarmingsorganen 21 daarvoor omvat, komt in hoofdzaak overeen met de bovenbeschreven constructie, welke de beweegbare stempelbasis 4, het beweegbare holteblok 8 en de verwarmingsorganen 11 daarvan omvat

Meer in het bijzonder bezit het stationaire holteblok 7 een paar rechtse en linkse bovenste holten 20, 20 tegenover elk paar onderste holten 10, 10. De verwarmingsorganen 21 zijn in de nabijheid van de bovenste 50 holten 20 aangebracht. Boven het blok 7 bevinden zich een bovenste uitwerpplaat 22 met uitwerppennen 22a, een ondersteuningspen 22b voor de plaat 22 en een veer 23 om de plaat 22 via de pen 22b naar beneden te drukken. Zoals uit figuur 1 blijkt, worden de uitwerppennen 22a passend ingebracht via verticale boringen 25, welke in het blok 7 zijn gevormd en in verbinding staan met de bovenste holten 20 of verdiepingen 24 tegenover de openingen 9. De uitwerpplaat 22 wordt door de kracht van de veer 23 naar 55 beneden gedrukt wanneer de stempels worden geopend, zoals blijkt uit figuur 1, waardoor de kunstharslichamen, gevormd in de bovenste holten 20, de verdiepingen 24 en de poorten 26 via welke de holten 20 in verbinding staan met de verdiepingen 24 daaruit worden geforceerd.

3 194468

Op dit moment wordt de onderste uitwerpplaat 12 door een uitwërpstaaf 12b naar boven gedrukt, waardoor de gevormde kunstharslichamen in de onderste holten 10 worden uitgeworpen. Wanneer evenwel de beweegbare stempel 2 naar boven wordt bewogen en wel in klemcontact met de stationaire stempel 1 aan het vlak van de scheidingslijn P.L. daarvan, trekken bovenste en onderste terugvoerpennen (niet 5 weergegeven), gelegen tegenover en gemonteerd op de bovenste en onderste uitwerppiaten 22,12 de platen 22,12 respectievelijk naar boven en naar beneden.

Het stationaire holteblok 7 en de stationaire tempelbasis 3 bezitten een tap 7a en een pen-en-gatverbinding 3a, welke dezelfde zijn als de tap 8a en de pen-en-gatverbinding 4a van het beweegbare holteblok 8 en het beweegbare stempelbok 4. Voorts zijn fixeerorganen aanwezig, welke een schroef-10 opening 17, een boutopening 18 en een bout 19 omvatten en identiek zijn aan de bovenbeschreven organen om het beweegbare holteblok 8 aan de beweegbare stempelbasis 4 te bevestigen.

Het beweegbare holteblok 8 kan in de basis 4 worden ingebracht of daaruit worden verwijderd, bijvoorbeeld tezamen met de onderste uitwerpplaat 12 wanneer de plunjers 13a zich in de onderste positie bevinden.

15 Het stationaire holteblok 7 kan passen in of worden verwijderd uit de basis 3, bijvoorbeeld tezamen met de bovenste uitwerpplaat 22 nadat de ondersteuningspen 22 uit de plaat 22 is verwijderd.

Uit het bovenstaande blijkt, dat de beide holleblokken 7, 8 door eenvoudige pasorganen op de juiste wijze en gemakkelijk verwijderbaar op de stempelbasis 3,4 kunnen worden gemonteerd.

Wanneer de holteblokken 7, 8 moeten worden verwisseld, worden deze blokken gewoonlijk tezamen met 20 de uitwerppiaten 22,12, die op de holteblokken moeten worden gemonteerd, verwisseld. Voorts kan het nieuwe holteblok, dat op de stempelbasis moet worden gemonteerd, verschillen van het holteblok, dat reeds is gemonteerd ter plaatse van de openingen. Wanneer derhalve verschillende typen halfgeleiderinrichtingen achtereenvolgens worden gevormd, is het waarschijnlijk, dat de afstand tussen de plunjers 13a voor verschillende typen inrichtingen verschillend zal zijn. In een dergelijk geval doet zich derhalve de noodzaak 25 voor om de afstand tussen de plunjers overeenkomstig de afstand tussen de openingen van het holteblok, dat moet worden gebruikt, instelbaar te variëren. Voorts moet het stelsel bestaande uit de houder en de plunjers, die op deze wijze zijn ingesteld, op zijn plaats worden geïnstalleerd.

Teneinde derhalve de daaropvolgende kunstharsvormhandeling snel in te leiden, moeten de bovengenoemde onderdelen voor de omsluitingsinrichting gemakkelijk kunnen worden verwisseld of ingesteld.

30 De figuren 2 tot 9 tonen constructies, waarbij aan deze eis wordt voldaan.

Deze constructies zullen nu onder verwijzing naar de tekening worden beschreven. Aangezien de omsluitingsinrichting, welke deze constructies omvat, in hoofdzaak dezelfde is als die, welke is weergegeven in figuur 1, zijn in de figuren 1 tot 9 overeenkomstige onderdelen van dezelfde verwijzingen voorzien.

Figuur 2 toont een uiteengenomen aanzicht van een halfgeleideromsluitingsinrichting, voorzien van 35 losneembare hoofdcomponenten. De plunjers 13a, welke in deze inrichting aanwezig zijn, zijn zodanig uitgevoerd, dat de afstand daartussen instelbaar variabel is, zoals blijkt uit de figuren 3 tot 7. Voorts zijn de plunjers 13a en een houder 13 daarvoor tot een stelsel gecombineerd, dat ten opzichte van de beweegbare stempelbasis 4 kan worden gemonteerd en gedemonteerd.

Meer in het bijzonder bevindt zich onder de plunjerhouder 13 een railonderdeel 32, die zich evenwijdig 40 aan de rij van plunjers 13a uitstrekt. Tegenovergelegen horizontale ruggen 32a, die op het railonderdeel 32 aan tegenover elkaar gelegen zijden daarvan zijn gevormd, werken samen met horizontale groeven 13b, die in tegenover elkaar gelegen zijden van de plunjerhouder 13 zijn gevormd. Derhalve wordt het stelsel van de plunjers 13a en de houder 13 door de ruggen 32a van het railonderdeel 32 ondersteund. Voorts kan het stelsel uit de beweegbare stempelbasis 4 worden verwijderd waarbij het door de ruggen 32a wordt geleid.

45 De plunjers 13a worden individueel naar boven voorgespannen door veerkrachtige onderdelen 33, zoals veren, welke in de houder 13 zijn ondergebracht en welke eenzelfde veerkracht bezitten. Derhalve kunnen zelfs indien verschillende hoeveelheden kunstharsmateriaal aan de openingen 9 worden toegevoerd, de materiaalgedeelten door de plunjers 13a aan een uniforme druk worden onderworpen. Het uitoefenen van een uniforme druk op de materiaalgedeelten zorgt ervoor, dat de gesmolten kunstharsgedeelten, die in de 50 bovenste en onderste holten 20, 10 zijn ingebracht, onder dezelfde omstandigheden kunnen worden gevormd.

Het onderste uiteinde van elke plunjer 13a bezit een zitting 34 waarop het veerkrachtige onderdeel 33 rust, en de zitting 34 maakt een glijcontact met een horizontaal glijvlak 13c aan de onderzijde van de houder 13 en wel aan de binnenzijde daarvan. De bovenwand van de houder 13 is voorzien van een gleuf 55 13d, welke zich in de lengterichting daarvan uitstrekt. Derhalve zijn de plunjers 13a in horizontale richting in voorwaartse of achterwaartse richting binnen het gebied van de gleuf 13d van de houder 13 op het vrije vlak 13c glijdbaar. De bovenzijde van de houder 13 is verder verwijderbaar afgesloten door een dekplaat 194468 4 13e. Een aantal openingen 13f voor het regelen van de afstand tussen de plunjers 13a is in de dekplaat 13e overeenkomstig de plaats van de volgens een rij in het onderste holteblok 8 gevormde openingen 9 gevormd. Derhalve kan de afstand tussen de plunjers 13a naar wens worden ingesteld door de aanwezigheid van de dekplaat 13e, waarin de openingen 13f met dezelfde afstand als de openingen 9 zijn gevormd.

5 Een staaf 32b, welke aan het railonderdeel 32 is bevestigd, kan naar boven en naar beneden heen en weer worden bewogen door een (niet weergegeven) aandrijfmechanisme, zoals een hydraulische, pneumatische of elektromotor. De staaf 32b veroorzaakt, wanneer deze naar boven wordt bewogen, dat de houder 13 de plunjers 13a in de overeenkomstige openingen 9 in het holteblok (zie figuur 4) inbrengt. Het kunstharsmateriaal wordt in deze toestand gevormd.

10 De onderste uitwerpplaat 12 is ondergebracht in een onderste gedeelte van het onderste holteblok 8 en is in elk van de tegenovergelegen zijden daarvan voorzien van een horizontale groef 12c. Een ondersteuningsstaaf 12d voor de plaat 12 is daarop bevestigd met een samenwerkingsonderdeel 12e voor de plaat 12, waarbij het samenwerkingsonderdeel 12e zich bij elk van de voorste en achterste uiteinden van de plaat 12 bevindt (zie figuur 7). Het samenwerkingsonderdeel 12e bezit aan de tegenover elkaar gelegen 15 zijden daarvan met elkaar samenwerkende uitsteeksels 12f, welke samenwerken met de tegenover elkaar gelegen groeven 12c in de plaat 12. Elke plunjer 13a strekt zich uit door een longitudinale gleuf 12g, die in de ondersteuningsstaaf 12d is gevormd, een longitudinale gleuf 12h, die in de beweegbare stempelbasis 4 is gevormd, en een longitudinale gleuf 12i, welke in de onderste uitwerpplaat 12 is gevormd en is in de opening 9 ingébracht. Derhalve kan de onderste uitwerpplaat 12 van de basis 4 tezamen met het onderste 20 holteblok 8 worden verwijderd na elke plunjer 13a naar beneden uit de opening 9 en de gleuf 12i in de onderste uitwerpplaat 12 te hebben verwijderd. Wanneer de plaat 12 en het holteblok 8 op hun plaats worden gemonteerd, wordt de plunjer 13a op omgekeerde wijze op zijn plaats gebracht. Wanneer de plaat 12 derhalve moet worden verwijderd of op zijn plaats moet worden gebracht, kan de plaat 12 op een soepele wijze glijden doordat deze door de samenwerkingsonderdelen 12e en de uitsteeksels 12f daarop 25 wordt geleid. Wanneer voorts de uitwerpstaaf 12b naar boen of naar beneden wordt bewogen, worden de uitwerppennen op de plaat 12 op een soortgelijke wijze met de staaf 12b via de ondersteuningsstaaf 12d, de samenwerkingsonderdelen 12e en de plaat 12 bewogen.

Figuur 8 toont een constructie, welke bestemd is om de afmetingen van de beweegbare stempelbasis 4 klein te maken.

30 De in figuur 2 afgebeelde beweegbare stempelbasis 4 heeft het voordeel, dat de plunjers 13a en de houder 13 daarvoor gemakkelijk kunnen worden verwisseld. Aangezien evenwel de plunjers 13a zich in verticale richting uitstrekken, heeft de ruimte 4b, waarin het plunjerstelsel moet worden ondergebracht, een grote verticale afmeting, waardoor de afmetingen van de inrichting in zijn geheel derhalve groot worden gemaakt. Om dit probleem op te lossen, omvat elke plunjer 13a, aangegeven in figuur 8, een aantal 35 verdeelde segmenten, die axiaal ten opzichte daarvan zijn opgesteld en voorzien zijn van een verwijderbaar voorste eindgedeelte 13g. Wanneer elk eindgedeelte 13g wordt verwijderd, kan de plunjerhouder 13 uit de stempelbasis 4 worden verwijderd. Naast het voordeel, dat de stempelbasis 4 meer compact wordt gemaakt, is slechts het voorste eindgedeelte I3g, welk gedeelte in de opening 9 moet worden ingebracht, verwisselbaar, zodat de speling in de opening 9 rond het voorste eindgedeelte 13g steeds op de juiste 40 waarde kan worden gehouden. Wanneer de speling bijvoorbeeld groter wordt tengevolge van slijtage, waardoor op het kunstharsmateriaal niet de gewenste druk wordt uitgeoefend, behoeft het plunjereind-gedeelte 13g slechts te worden verwisseld. Hierdoor wordt het voordeel verkregen, dat het niet meer nodig is de hele plunjer 13a na een demontage van de plunjerhouder 13 te vervangen. Bovendien kan het plunjereind 13g gemakkelijk worden verwijderd aangezien het plunjereind bij het vlak van de scheidingslijn 45 verwijderbaar is.

Figuur 9 toont een constructie, waarin houders 27, 27 voor het ondersteunen van de uitwerpplaten 22,12 aan de respectieve holteblokken 7, 8 zijn bevestigd.

Bij deze constructie is het stelsel bestaande uit de uitwerpplaat 22 (12) en het holteblok 7 (8) monteer-baar of demonteerbaar ten opzichte van de stempelbasis 3 (4). De tekening toont voorts veren 28, bouten 50 29 om de houders 27 aan de holteblokken 7, 8 te bevestigen, onderdelen 30, welke pen-en-gat-verbindingen 3a, 4a bepalen en bouten 31 om de onderdelen 30 te bevestigen.

Figuur 2 toont voorts blokken 39 om de holteblokken 7, 8 aan de voorste en achterste uiteinden daarvan te fixeren.

Bij de bovenbeschreven uitvoeringsvormen zijn de tappen 7a, 8a en de pen-en-gatverbindingen 3a, 4a, 55 de groeven 13b en de ruggen 32a, enz. aanwezig op of in de tegenover elkaar gelegen onderdelen, welke zodanig ten opzichte van elkaar zijn opgesteld, dat deze gedeelten op een geschikte wijze kunnen worden gemodificeerd of veranderd met het oog op de stempelvervaardigingsprocedure of de modus waarin de

Claims

5 194468 inrichting in wezen wordt gebruikt. Met de inrichting volgens de uitvinding zijn de stationaire en beweegbare stempelbases 3, 4, de uitwerpplaten 22,12 en de plunjers 13a en de houder 13 daarvoor, dat wil zeggen de belangrijkste onderdelen van de omsluitingsinrichting, op een eenvoudige wijze binnen een korte periode monteerbaar op 5 of verwijderbaar van de stationaire en beweegbare stempelbases 3, 4. Voorts kunnen voordat de holte-blokken 7, 8 op de stempelbases 3, 4 worden geïnstalleerd, deze blokken 7, 8 tot een vooraf bepaalde temperatuur vooraf worden verhit (bijvoorbeeld tot ten minste de kunstharsvormtemperatuur) en wel door middel van de verwarmingsorganen 21, 11, welke daarvoor bij voorkeur aanwezig zijn, waardoor de daaropvolgende kunstharsvormhandeling direct kan worden ingeleid. Onder gebruik van deze kenmerken 10 kunnen de holteblokken en andere belangrijke onderdelen opzettelijk verwisselbaar worden gemaakt om bij de stempelbasis te worden toegepast. Derhalve is de inrichting volgens de uitvinding voor het omsluiten van halfgeleiderelementen met kunsthars geschikt voor de vervaardiging van een groot aantal verschillende halfgeleiderinrichtingen in kleine hoeveelheden, omdat een frequente, eenvoudige verwisseling van de beschreven componenten van de inrichting mogelijk is. 15

1. Inrichting, van het type dat geschikt is voor het produceren van een grote variëteit aan halfgeleider-20 inrichtingen in kleine hoeveelheden door het uitwisselen van inrichtingcomponenten die geschikt zijn voor het produceren van halfgeleiderinrichtingen van een bepaalde soort met vergelijkbare inrichtingcomponenten die geschikt zijn voor het produceren van halfgeleiderinrichtingen van een ander soort, omvattende: - een stationaire stempelbasis; - een tegenover de stationaire stempelbasis opgestelde beweegbare stempelbasis; 25. een op de stationaire stempelbasis verschaft stationair holteblok en een op de beweegbare stempel basis verschaft beweegbaar holteblok waarbij het stationaire en het beweegbare holteblok tegenover elkaar zijn opgesteld; - een veelvoud van in elk van de tegenover elkaar gelegen oppervlakken van de twee holteblokken aangebrachte holten; 30. twee losneembare uitwerpplaten met uitwerppennen voor het uitwerpen van geproduceerde halfgeleiderinrichtingen uit de holten in de twee verwarmbare holteblokken, welke holteblokken losneembaar met de respectieve stempelbases zijn verbonden; met het kenmerk, dat - in het onderste blok (8) van de twee holteblokken een veelvoud van openingen (9) is gevormd die elk een plunjer (13a) kunnen opnemen, welke plunjers in een plunjerhouder (13) zijn opgenomen, waarbij de 35 openingen elk eindigen in een poort (26) die in verbinding staat met bepaalde holten (20) in het andere holteblok (7) en dat de plunjerhouder (13) losneembaar in de onderste stempelbasis (4) is aangebracht.

2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de plunjerhouder (13) in langsrichting uit en in de stempelbasis (4) verschuifbaar is.

3. Inrichting volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de plunjers (13a) op een instelbaar variabele 40 afstand van elkaar in de plunjerhouder (13) zijn opgesteld.

4. Inrichting volgens conclusie 1, 2 of 3, met het kenmerk, dat eik van de plunjers (13a) is voorzien van een aantal segmenten (13g), die eind-aan-eind scheidbaar met elkaar zijn verbonden.

5. Inrichting volgens één der conclusies 1-4, met het kenmerk, dat de plunjers (13a) individueel naar boven voorgespannen worden door in de plunjerhouder opgestelde veren (33). Hierbij 7 bladen tekening