NL194041C - Gecoat vlak glas. - Google Patents

Gecoat vlak glas. Download PDF

Info

Publication number
NL194041C
NL194041C NL8602906A NL8602906A NL194041C NL 194041 C NL194041 C NL 194041C NL 8602906 A NL8602906 A NL 8602906A NL 8602906 A NL8602906 A NL 8602906A NL 194041 C NL194041 C NL 194041C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
tin oxide
thickness
coating
crystals
layer
Prior art date
Application number
NL8602906A
Other languages
English (en)
Other versions
NL8602906A (nl
NL194041B (nl
Original Assignee
Glaverbel
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from GB858531424A external-priority patent/GB8531424D0/en
Priority claimed from GB8531425A external-priority patent/GB2187184B/en
Priority claimed from GB8531423A external-priority patent/GB2185249B/en
Application filed by Glaverbel filed Critical Glaverbel
Publication of NL8602906A publication Critical patent/NL8602906A/nl
Publication of NL194041B publication Critical patent/NL194041B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL194041C publication Critical patent/NL194041C/nl

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40Oxides
    • C23C16/405Oxides of refractory metals or yttrium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23Oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23Oxides
    • C03C17/245Oxides by deposition from the vapour phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40Oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40Oxides
    • C23C16/407Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/453Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • C03C2217/211SnO2
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • C03C2217/212TiO2
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • C03C2217/23Mixtures
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • C03C2217/24Doped oxides
    • C03C2217/241Doped oxides with halides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • C03C2217/24Doped oxides
    • C03C2217/244Doped oxides with Sb
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/10Deposition methods
    • C03C2218/11Deposition methods from solutions or suspensions
    • C03C2218/112Deposition methods from solutions or suspensions by spraying
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/10Deposition methods
    • C03C2218/15Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/152Deposition methods from the vapour phase by cvd
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/913Material designed to be responsive to temperature, light, moisture
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/261In terms of molecular thickness or light wave length

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Sliding-Contact Bearings (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Description

1 194041
Gecoat vlak glas
De uitvinding heeft betrekking op een vlak glas, dat een laag uit een tinoxidecoating draagt.
Een dergelijk vlak glas is bijvoorbeeld bekend uit het artikel ’’Transparant Conductors - a status review” 5 van K.L. Chopra et al. in ’’Thin Sold Films”, vol. 102, no. 1,1 April 1983, blz. 1-46, Lausanne, CH.
Zoals zeer goed bekend is, bevatten tinoxidecoatings vaak een eventuele doteringsmiddel teneinde de coating elektrisch geleidend te maken, terwijl zij tevens minimale fracties van andere compatibele materialen voor diverse doeleinden kunnen omvatten. De aard en de hoeveelheid van enige aanwezige atomen, welke verschillen van tin en zuurstof, moet niet boven een grens uitstijgen, boven welke de kristalroosterstructuur 10 van de coating verschilt van die van kassiteriet.
Glasplaten die een geleidende tinoxidecoating dragen, worden op grote schaal toegepast, onder andere voor beglazingsdoeleinden, vanwege de geschiktheid van de tinoxidecoating om de emissiviteit van het gecoate plaatoppervlak ten aanzien van infrarode straling, in het bijzonder met golflengten die groter zijn dan 3 pm, te reduceren.
15 Het is wenselijk, dat een gecoate plaat, welke wordt toegepast voor beglazingsdoeleinden, over zijn gehele oppervlak een uniform uiterlijk bezit.
In de praktijk vertonen dergelijke gecoate platen vaak uiterlijke verschillen van het ene gebied tot het andere gebied. Er zijn diverse bekende oorzaken van dergelijke variaties, incl. bijvoorbeeld de variaties in de coatingsdikte, welke de oorzaak kan zijn van diverse kleuren op het oppervlak van de coating ten 20 gevolge van interferentie-effecten, en van variaties in de coatingskarateristieken, die troebelheid veroorzaken.
Contrasten met betrekking tot het uiterlijk treden zelfs op, wanneer zorg is besteed aan het zo uniform mogelijk maken van de dikte van de coating en aan het constant houden van de omstandigheden gedurende de vorming van de tinoxidecoating.
25 Tot nog toe werd het van voordeel geacht, teneinde uniforme optische eigenschappen te verkrijgen, dat de coating in essentie bestond uit kleine kristallen. Teneinde de vorming van kleine kristallen gedurende de pyrolytische afzetting van een tinoxidecoatingslaag te bevorderen, is het bekend om de tinoxidecoatinglaag vanuit de dampfase op een dunne, nog steeds hete voorgevormde coatinglaag uit titaniumdioxide te vormen, die een overeenkomstige kristalstructuur bezit als tinoxide. De ondergelegen dunne titaniumdioxide-30 laag neigt ertoe om te worden gevormd uit een groot aantal zeer kleine kristallen, en verschaft derhalve een groot aantal op korte afstand van elkaar gelegen groeikernen voor de groei van een groot aantal zeer kleine tinoxidekristallen.
De onderhavige uitvinding is gebaseerd op het inzicht, dat het vermijden of het reduceren van visuele contrasteffecten in feite het best kan worden bevorderd door het met grote kristallen vormen van de 35 tinoxldecoating.
Dientengevolge wordt volgens de uitvinding vlak glas verschaft dat een laag uit een tinoxidecoating draagt met het kenmerk, dat deze tinoxidelaag ten minste 200 nm dik is en dat het verwachte korrel-oppervlak van een representatief monster van de tinoxidecoatingkristallen, gemeten in eenheden van 10 4pm2, numeriek gelijk is aan een waarde van ten minste 0,4 maal de laagdikte gemeten in nanometers 40 waarbij het vlak glas niet is verkregen volgens een werkwijze beschreven in één van de Nederlandse octrooiaanvragen 8602903, 8602904 en 8602905.
Er worden dus geen rechten gevraagd voor vlak glas dat is verkregen volgens een werkwijze, beschreven in één van de Nederlandse octrooiaanvragen 8602903, 8602904 en 8602905.
Een tinoxidecoating is opgebouwd uit kristallen, die min of meer loodrecht op het oppervlak van het glas 45 groeien (ongeacht of zij groeien vanaf het glasoppervlak zelf of vanaf reeds op het glas gevormde kristallen) teneinde de vereiste coatingdikte te verkrijgen. Dit uiterlijk is eenvoudig herkenbaar vanuit elektro-micrografische afbeeldingen, die worden genomen van het gecoate oppervlak. Een meting van de relatieve oppervlakken van de coatingkristallen kan dientengevolge worden verkregen vanuit een elektro-micrografische afbeelding, die in bovenaanzicht is genomen en de begrenzingen van de individuele 50 kristallen duidelijk toont. Zelfs wanneer de coating is gepolijst teneinde golvingen te elimineren, waardoor de kristalbegrenzingen onduidelijk worden, kunnen de kristalbegrenzingen eenvoudig worden verkregen door een etstechniek. Het is handig om het door een kristal op een dergelijke micrografische afbeelding ingenomen oppervlak te gebruiken als een indicatie van de kristalafneting in termen van het kristaloppervlak daarvan.
55 Teneinde de korreloppervlakken van een respresentatief monster van kristallen te bepalen wordt de volgende procedure gevolgd. Een elektro-micrografische afbeelding met een vergrotingsfactor van 100.000 wordt in bovenaanzicht vervaardigd van een aantal willekeurig gekozen plaatsen van het oppervlak van de 194041 2 gecoate plaat. De begrenzing van elk kristal in een willekeurig gekozen groep van 750 kristallen, die worden getoond op deze micrografische afbeeldingen, wordt bepaald onder gebruikmaking van een plotter, die is verbonden met een dataprocessor, die is geprogrammeerd om het kristaloppervlak X, voor elk kristal (i) af te leiden uit de gegevens van de plotter. Vervolgens worden diverse berekeningen uitgevoerd teneinde de 5 afmetingsverdeling binnen de kristalpopulatie te analyseren. Hiertoe wordt het mogelijke bereik van kristaloppervlakken verdeeld in intervallen van 50 x 10'4pm2, waarbij het aantal kristallen, die in elke interval vallen, wordt geteld.
Definities 10 Het verwachte korreloppervlak, ook soms aangeduid als gemiddeld, wordt gegeven door de uitdrukking verwacht korreloppervlak = som van alle indjviduete^ of SUM[X|] ~ n 15 De standaarddeviatie wordt gegeven door de uitdrukking standaarddeviatie in het kwadraat (σ2) = SUI^fe- — η — 1
Het derde centrale moment wordt gegeven door de uitdrukking 20 SUM[Xi - μ,,]3 derde centrale moment (1½) =---
De asymmetriefactor wordt gegeven door de uitdrukking lig asymmetriefactor (n) = -5 σ 25
Gevonden is, dat het hoge verwachte korreloppervlak in de coating kristallen van een gecoate glasplaat volgens de onderhavige uitvinding in hoge mate is gecorreleerd aan een laag visueel contrast, zodat het product derhalve een acceptabeler visueel uiterlijk bezit. Dit is in scherpe tegenstelling tot voorafgaande theorieën met betrekking tot optische tinoxidecoatings. In feite is gebleken, dat uitgaande van een hoog 30 verwacht korreloppervlak, zoals in het voorgaande aangeduid, de verhouding tussen de verwachte korreloppervlakken van verschillende monsters dichter bij één pleegt te liggen, en dat dit samengaat met een laag contrast.
Opgemerkt wordt dat vóór de prioriteitsdatum van de onderhavige aanvrage het van voordeel werd geacht, teneinde uniforme optische eigenschappen te verkrijgen, dat de tinoxidecoating in essentie diende 35 te bestaan uit kleine kristallen.
Zo heeft ’’Dopant effects in sprayed tin oxide films” door Shanti, Banerjee en Chopra, gepubliceerd in 1982 in ’’Thin Solid Films, 88 (1982), 93-100”, betrekking op oxidefilms bereid door sproeipyrolyse op glassubstraten (zie onderaan biz. 93).
De dikte van het fluor-gedoteerde tinoxide ligt in het bereik tussen circa 4500 en 6000 A (2e alinea van 40 blz. 94). Verder wordt vermeld dat de korrelgrootte circa 250 A is voor ongedoteerd tinoxide (en hoger is voor gedoteerde films) (zie eerste alinea van paragraaf 3.1 op blz. 94).
Aldus is er volgens deze stand der techniek een pyrolytische tinoxide-coating met de volgende eigenschappen: - een dikte van 450 tot 600 nm en 45 - een korrelgrootte van meer dan 25 nm.
Met deze technische gegevens kan het verwachte korreloppervlak zoals gedetineerd in de onderhavige hoofdconclusie worden geschat: aannemende dat de tinoxidekorrels sferisch zijn (hetgeen correct is in een eerste benadering), is de korrelgrootte de gemiddelde diameter (D=2R) van de korrel. De verwachte korrelgrootte die in de onderhavige aanvrage wordt genoemd is de planaire doorsnede van de korrel, zoals 50 gezien door een elektronen-micrografische afbeelding, met andere woorden is deze planaire doorsnede het oppervlak nR2. Indien de korrelgrootte zodoende 25 nm is, dan is de gemiddelde diameter D is 25 nm, en R = 12,5 nm. In micrometereenheden zoals gebruikt in de onderhavige aanvrage is R dan 12,5 x 10-3 pm. Aldus zal het verwachte korreloppervlak zodoende π x (12,5 x 10 ^ pm2, =5x 10"4 pm2 zijn.
Om aan de voorwaarde te voldoen zoals die gedefinieerd is in conclusie 1 van de uitvinding, dient het 55 verwachte korreloppervlak, met een tinoxidedikte van 450 nm, ten minste 0,4 x 450 = 180 eenheden van 10-4 pm2 te zijn.
Met andere woorden dient de verwachte korrelgrootte ten minste 180 x 10-4 pm2 te zijn om te voldoen 3 194041 - aan de voorwaarde van de onderhavige uitvinding.
Het boven geschatte korreloppervlak van 5 x 1CT4 pm2 volgens het artikel van Shanti et al. komt bij lange na niet overeen met deze waarde van 180 x 10'4 pm2. De tinoxidefilm volgens dit document bestaat zodoende uit zeer kleine kristallen, zoals toegelicht in de inleiding van de onderhavige aanvrage.
5 Voorts heeft "A simple technique for the pyrosol process and deposition of tin oxide film” door Islam en Hakim, in J. Phys. Chem. Solids, vol. 46, No. 3, p. 339-343,1985” betrekking op een variant van de sproeipyrolysetechniek, die "pyrolsol” wordt genoemd, voor de vorming van een tinoxidefilm. Op blz. 339, tweede alinea, wordt uitgelegd dat het pyrolyseproces een chemische sproeitechniek is waarbij een aerosol wordt verkregen uit de werkvloeistof in één gedeelte van de inrichting en deze tegelijkertijd wordt overge-10 bracht naar een ander gedeelte van de inrichting waar pyrolyse van de aerosol plaatsvindt. In het gedeelte ’’Physical characterisation” van blz. 340 wordt toegelicht dat al de films (gedoteerd of niet gedoteerd) een polykristallijne structuur bleken te vertonen met een zeer kleine korrelgrootte, welke in enige mate toeneemt met de toename van doteringsmiddeltoevoeging.
Figuur 5 op blz. 341 toont dat de filmdikte ligt tussen 0,1 en 0,5 pm en dus tussen 100 en 500 nm.
15 In de conclusie op blz. 342 stelt het artikel dat niet-gedoteerde en gedoteerde SN02-films met Sb en F als doteringsmiddellen afgezet door de inrichting zoals beschreven in het artikel betere elektrische en optische eigenschappen blijken te vertonen en een hogere prestatie leveren in vergelijking met films die eerder vervaardigd zijn door de sproeipyrolysemethode. Aldus stelt dit artikel dat tinoxidefilms die een ’’polykristallijne structuur met een zeer kleine korrelgrootte” hebben goede optische eigenschappen bezitten. 20 Ook ten opzichte van deze stand der techniek rekent de onderhavige uitvinding zodoende met een vooroordeel af.
Er is reeds kort ingegaan op het probleem van troebelheidsvariaties over het gecoate plaatoppervlak. Het is vaak wenselijk om een laag absoluut niveau van diffuse lichtoverdracht te bezitten, en dit is het onderwerp geweest van veel research in het verleden. Troebelheid, het zichtbare aspekt van diffuse licht-25 overdracht, is toegerekend aan drie hoofdoorzaken. Fouten ter plaatse van het glas-coatinggrensvlak, soms veroorzaakt door reacties tussen het glas en de tinoxide van de coating; fouten in de dikte van de coating, die kunnen worden toegerekend aan de structuur daarvan; en fouten ter plaatse van het oppervlak van de coating. Fouten ter plaatse van het glas-coatinggrensvlak kunnen worden verminderd door een geschikte keuze van het coatingproces, door gebruik te maken van een ondergelegen laag, en of door het toepassen 30 van gede-alkaliseerd glas. Oppervlaktefouten kunnen worden verminderd door een geschikte keuze van het coatingproces, of zij kunnen worden verwijderd door het polijsten van de coating. Fouten in de dikte van de coating kunnen slechts worden opgeheven door een geschikte keuze van het coatingsproces, aangezien zij afhangen van de fysische structuur van de coatingslaag. Geschikte werkwijzen voor het verkrijgen van coatingslagen met een interne structuur, die van voordeel is voor een lage absolute diffuse lichtoverdracht, 35 worden beschreven in de Nederlandse octrooiaanvragen 8602903, 8602904 en 8602905, van gelijke rang als de onderhavige aanvrage, waarvoor - zoals gesteld - in de onderhavige aanvrage geen rechten gevraagd worden.
In het voorgaande werd aangenomen, dat het wenselijk was om een coating op te bouwen uit kristallen met een uniform korreloppervlak. Gebleken is echter, dat lage troebelheidsniveaus worden verkregen in een 40 product volgens de onderhavige uitvinding, niet zozeer wanneer de kristalpopulatie een uniform korrelopper-vlai bezit, alswel wanneer een bijzondere verdeling van de korreloppervlakken in de totale kristalpopulatie aanwezig is. Bij voorkeur, wanneer de populatiedichtheid wordt getekend door het aantal tinoxidecoatings met een korreloppervlak binnen een gegeven interval op de ordinaat te plaatsen en het korreloppervlak op de abscis te plaatsen, bezit deze kromme een positieve asymmetriefactor, waarbij de asymmetriekromme bij 45 voorkeur 1 bedraagt. Het korreloppervlakinterval, wat voor dit doel wordt aangenomen, bedraagt 50 x 10"4 pm2. Gebleken is, dat dergelijke verdelingen van korreloppervlakken zeer goed correleren met een lage absoluut diffuse lichtoverdracht, en derhalve met een laag niveau van troebelheid.
Een ander probleem, dat ontstaat in relatie met gecoat glas is ten aanzien van het verouderen van het product. Met name moet de coating bestand zijn tegen omstandigheden, aan welke hij gedurende zijn 50 levensduur onderhevig is. De coating moet bijvoorbeeld voldoende mechanische weerstand en hechting bezitten teneinde slijtage tijdens het reinigen te weerstaan. Gebleken is, dat de mechanische weerstand van een tinoxidecoating wordt verbeterd wanneer de populatie-dichtheidkromme een positieve asymmetriefactor bezit, zoals in het voorgaande is aangeduid, en derhalve is er een grote variatie in de afmetingen van de kristallen, die de coating vormen. Derhalve is bij voorkeur de positieve asymmetriefactor gecombineerd met 55 het feit, dat de standaarddeviatie van het korreloppervlak van een representatief monster van de tinoxide-coatingkristallen ten minste de helft van de verwachte waarde bedraagt, waarbij deze bij voorkeur ten n jte 0,7 maal de verwachte waarde bedraagt.

Claims (5)

194041 4 Volgens een voorkeursuitvoeringsvorm van de uitvinding is het verwachte korreloppervlak van een representatief monster van de tinoxidecoatingkristallen, gemeten in eenheden van 105 * pm2, numeriek gelijk aan een waarde van ten minste 0,5 maal de laagdikte gemeten in nanometers. Volgens sommige uitvoeringsvormen is dit ten minste 0,6 maal een dergelijke dikte. Gebleken is, dat 5 gecoat glas, waarvan de coatingkristalpopulatie deze eigenschap bezit, een visueel uiterlijk verschaft, dat een zelfs nog verder gereduceerd contrast bezit, met name in het geval van coatings met een dikte van ten minste 300 nm. Het is een belangrijk voordeel van de onderhavige uitvinding, dat deze de vorming van coatings met een hoge duidelijke uniformiteit mogelijk maakt, ondanks een aanzienlijke dikte van de coating. Tot nog toe nam 10 met een toename van de coatingsdikte het probleem toe van het vermijden van duidelijke contrasten in het uiterlijk van een coating. Volgens een voorkeursuitvoeringsvorm van de uitvinding bezit de tinoxidelaag een dikte van ten minste 300 nm, volgens een nadere voorkeursuitvoeringsvorm bezit de laag een dikte van ten minste 700 nm. Coatingslagen met een diktevan 300 nm of meer, en in het bijzonder coatings, die ten minste 700 nm dik zijn, zijn mechanisch en chemisch meer resistent, en wanneer ze geleidend zijn kunnen 15 de eenvoudiger met een lagere weerstand worden vervaardigd, uitgedrukt in Ohm per oppervlak, hetgeen hun waarde als elektrisch geleidende coating en hun vermogen voor het reduceren van de emissivitelt van het gecoate oppervlak met betrekking tot infrarode straling versterkt. Wanneer de tinoxidecoating laag een dikte van ten minste 700 nm bezit, zoals bijvoorbeeld gebruikelijk het geval is bij coatings met de laagste emissiviteit, bijvoorbeeld een dikte tussen 700 nm en 1200 nm, is 20 gebleken, dat de door de onderhavige uitvinding verschafte voordelen in termen van een laag contrast in het visuele uiterlijk het grootst zijn, wanneer, volgens een voorkeursuitvoeringsvorm van de uitvinding het verwachte korreloppervlak van een representatief monster van de tinoxidecoatingkristallen is gelegen in een interval van 350 x 10-4 pma tot 700 x 10"4 pm2. De populatieverdeling van de kristalkorreloppervlakken, zoals deze werden gemeten vanuit de electromi-25 crografische afbeeldingen is getoond in de figuur. Daarin zijn kristaloppervlakintervallen met een afmeting van 50 x 10"4 pm2 genomen en het aantal kristallen, dat is gelegen in elk interval, is geteld en in het midden van elk interval uitgezet. Het aantal kristallen in elk interval is gegeven langs de ordinaat, en het oppervlak in eenheden van 10"4 pm2 is gegeven langs de abscis. De resulterende grafiek is getoond in de doorgetrokken lijn in de figuur. 30 Opgemerkt wordt, dat dit een verdeling van het gammatype is, zoals blijkt uit de grote overeenkomst met de theoretische gammaverdelingskromme, die eveneens (in stippellijnen) in de figuur is weergegeven. 35
1. Vlak glas, dat een laag uit een tinoxidecoating draagt, met het kenmerk, dat deze tinoxidecoating draagt met het kenmerk, dat deze tinoxidelaag ten minste 200 nm dik is en dat het verwachte korreloppervlak van een representatief monster van de tinoxidecoatingkristallen, gemeten in eenheden van lO^pm2, numeriek gelijk is aan een waarde van ten minste 0,4 maal de laagdikte gemeten in nanometers waarbij het vlak glas 40 niet is verkregen volgens een werkwijze beschreven in één van de Nederlandse octrooiaanvragen 8602903, 8602904 en 8602905.
2. Vlak glas volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het verwachte korreloppervlak van een representatief monster van de tinoxidecoatingkristallen, gemeten in eenheden van lO^pm2, numeriek gelijk is aan een waarde van ten minste 0,5 maal de laagdikte gemeten in nanometers.
3. Vlak glas volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de tinoxidelaag een dikte van ten minste 300 nm bezit.
4. Vlak glas volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de tinoxidelaag een dikte van ten minste 700 nm bezit.
5. Vlak glas volgens conclusie 4, met het kenmerk, dat het verwachte korreloppervlak van een representa-50 tief monster van de tinoxidecoatingkristallen is gelegen in een interval van 350 x lO^pm2 tot 700 x 1O^pm2. Hierbij 1 blad tekening
NL8602906A 1985-12-20 1986-11-14 Gecoat vlak glas. NL194041C (nl)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB8531425 1985-12-20
GB8531424 1985-12-20
GB8531423 1985-12-20
GB858531424A GB8531424D0 (en) 1985-12-20 1985-12-20 Coating glass
GB8531425A GB2187184B (en) 1985-12-20 1985-12-20 Process and apparatus for pyrolytically coating glass
GB8531423A GB2185249B (en) 1985-12-20 1985-12-20 Apparatus for and process of coating glass

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL8602906A NL8602906A (nl) 1987-07-16
NL194041B NL194041B (nl) 2001-01-02
NL194041C true NL194041C (nl) 2001-05-03

Family

ID=27262868

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL8602906A NL194041C (nl) 1985-12-20 1986-11-14 Gecoat vlak glas.

Country Status (15)

Country Link
US (1) US4880698A (nl)
JP (1) JP2527544B2 (nl)
AT (1) AT396926B (nl)
BE (1) BE905732A (nl)
CA (1) CA1303918C (nl)
CH (1) CH670818A5 (nl)
DE (1) DE3638427C2 (nl)
ES (1) ES2002551A6 (nl)
FR (1) FR2592032B1 (nl)
GB (1) GB2185250A (nl)
IT (1) IT1195835B (nl)
LU (1) LU86667A1 (nl)
NL (1) NL194041C (nl)
NO (1) NO168762C (nl)
SE (1) SE463764B (nl)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6362867A (ja) * 1986-09-02 1988-03-19 Seikosha Co Ltd 有色物品
GB8624825D0 (en) * 1986-10-16 1986-11-19 Glaverbel Vehicle windows
GB8821142D0 (en) * 1988-09-09 1988-10-12 Hot Press Heat Sealing Ltd Heated vacuum mounting press
GB8824102D0 (en) * 1988-10-14 1988-11-23 Pilkington Plc Apparatus for coating glass
US6312831B1 (en) * 1999-04-30 2001-11-06 Visteon Global Technologies, Inc. Highly reflective, durable titanium/tin oxide films
JP2001114533A (ja) 1999-10-20 2001-04-24 Nippon Sheet Glass Co Ltd 透明導電膜付きガラス板およびこれを用いたガラス物品
US20060186106A1 (en) * 2005-02-23 2006-08-24 Neville Hugh C Heat transfer apparatus
FI20060288A0 (fi) * 2006-03-27 2006-03-27 Abr Innova Oy Pinnoitusmenetelmä
US20080152804A1 (en) * 2006-07-28 2008-06-26 Gulbrandsen Chemicals, Inc. Method for depositing a metal-containing coating on a substrate
FR2934588B1 (fr) * 2008-07-30 2011-07-22 Fives Stein Procede et dispositif de realisation d'une structure sur l'une des faces d'un ruban de verre
FI20105719A0 (fi) * 2010-06-21 2010-06-21 Beneq Oy Pinnoituslaite
KR101509864B1 (ko) * 2012-11-07 2015-04-06 (주)엘지하우시스 비산 파우더 크리닝 장치

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1496590C3 (de) * 1964-10-16 1973-10-31 N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken, Eindhoven (Niederlande) Verfahren zur Herstellung von warme reflektierenden SnO tief 2 Schichten mit reproduzierbaren optischen und elektrischen Eigenschaften auf Tragern
US3510343A (en) * 1967-07-12 1970-05-05 Ppg Industries Inc Durable metal oxide coated glass articles
GB1365492A (en) * 1971-02-05 1974-09-04 Triplex Safety Glass Co Metal oxide films
US3850665A (en) * 1971-07-08 1974-11-26 Glaverbel Process for forming a metal oxide coating on a substrate and resulting products
ZA735383B (en) * 1972-12-15 1975-03-26 Ppg Industries Inc Coating composition vaporizer
IT996924B (it) * 1972-12-21 1975-12-10 Glaverbel Procedimento per formare uno strato di ossido metallico
DE2310726C2 (de) * 1973-03-03 1984-02-16 Wartenberg, Erwin W., Dipl.-Chem. Dr., 7000 Stuttgart Verfahren zur Erhöhung der mechanischen Festigkeit von Gegenständen aus Glas, Keramik und dgl.
US4322477A (en) * 1975-09-15 1982-03-30 Trw, Inc. Electrical resistor material, resistor made therefrom and method of making the same
GB1523991A (en) * 1976-04-13 1978-09-06 Bfg Glassgroup Coating of glass
US4265974A (en) * 1976-11-01 1981-05-05 Gordon Roy G Electrically conductive, infrared reflective, transparent coatings of stannic oxide
CA1138725A (en) * 1978-07-20 1983-01-04 Robert Terneu Glass coating
IT1143301B (it) * 1980-01-31 1986-10-22 Bfg Glassgroup Procedimento e dispositivo per ricoprire il vetro
IT1143302B (it) * 1980-01-31 1986-10-22 Bfg Glassgroup Procedimento e dispositivo per ricoprire il vetro
IT1143300B (it) * 1980-01-31 1986-10-22 Bfg Glassgroup Procedimento e dispositivo per ricoprire il vetro
IT1143299B (it) * 1980-01-31 1986-10-22 Bfg Glassgroup Procedimento e dispositivo per ricoprire il vetro
IT1143298B (it) * 1980-01-31 1986-10-22 Bfg Glassgroup Procedimento e dispositivo per ricoprire il vetro
GB2078710B (en) * 1980-06-20 1984-01-25 Bfg Glassgroup Forming a metal or metal compound coating on thermally homogenised glass
LU83192A1 (fr) * 1981-03-05 1981-06-24 Bfg Glassgroup Procede et dispositif de formation d'un revetement sur un substrat de verre chaud par mise en contact du substrat avec un courant de reactif incline dont la temperature est influencee par un courant de gaz prechauffe
GB2139612B (en) * 1983-05-13 1987-03-11 Glaverbel Coating a hot vitreous substrate
GB2142621B (en) * 1983-06-17 1987-03-18 Glaverbel Coating hot glass with metals or metal compounds especially oxides
FR2550138B1 (fr) * 1983-08-04 1985-10-11 Saint Gobain Vitrage Vitrage a basse emissivite, notamment pour vehicules
GB2156338B (en) * 1984-03-29 1987-07-22 Pilkington Brothers Plc Coating process
US4548836A (en) * 1985-02-25 1985-10-22 Ford Motor Company Method of making an infrared reflective glass sheet-II

Also Published As

Publication number Publication date
GB2185250B (nl) 1989-10-18
IT8667826A0 (it) 1986-11-05
NO864096L (no) 1987-06-22
FR2592032B1 (fr) 1990-06-22
GB2185250A (en) 1987-07-15
AT396926B (de) 1993-12-27
US4880698A (en) 1989-11-14
DE3638427A1 (de) 1987-07-02
SE8604887L (sv) 1987-06-21
ES2002551A6 (es) 1988-08-16
JPS62158137A (ja) 1987-07-14
SE8604887D0 (sv) 1986-11-14
LU86667A1 (fr) 1987-06-26
NL8602906A (nl) 1987-07-16
SE463764B (sv) 1991-01-21
NO168762B (no) 1991-12-23
DE3638427C2 (de) 1999-02-25
BE905732A (fr) 1987-05-12
IT1195835B (it) 1988-10-27
JP2527544B2 (ja) 1996-08-28
ATA304286A (de) 1993-05-15
NL194041B (nl) 2001-01-02
CA1303918C (en) 1992-06-23
NO168762C (no) 1992-04-01
NO864096D0 (no) 1986-10-14
GB8624827D0 (en) 1986-11-19
CH670818A5 (nl) 1989-07-14
FR2592032A1 (fr) 1987-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL194041C (nl) Gecoat vlak glas.
Lottiaux et al. Morphology and structure of TiO2 thin layers vs. thickness and substrate temperature
DE69826687T2 (de) Siliziumoxynitrid schutzbeschichtungen
Von Rottkay et al. Optical indices of pyrolytic tin-oxide glass
Ilican et al. Determination of the thickness and optical constants of transparent indium-doped ZnO thin films by the envelope method
US3934961A (en) Three layer anti-reflection film
Takahashi et al. Dip‐coating of Sb‐doped SnO2 films by ethanolamine‐alkoxide method
Peng et al. Modified envelope method for obtaining optical properties of weakly absorbing thin films and its application to thin films of Pb (Zr, Ti) O3 solid solutions
FR2629268A1 (fr) Panneau d'affichage d'images et procede pour fabriquer un tel panneau
Bailey et al. Thin film polymer photonics: Spin cast distributed Bragg reflectors and chirped polymer structures
US5631065A (en) Window coating with low haze
Dima et al. Influence of the silver layer on the optical properties of the TiO2/Ag/TiO2 multilayer
KR20050086414A (ko) 기판 상에 필름을 부착하는 방법
Palanichamy et al. Physical properties of nebulized spray pyrolysised SnO 2 thin films at different substrate temperature
Birnie III et al. Coating uniformity and device applicability of spin coated sol-gel PZT films
EP0274881B1 (en) Thermal detectors and process for manufacturing the same
El-Samanoudy Effect of composition and deposition parameters on optical properties of Ge25Sb15− xBixS60 thin films
Anast et al. Surface morphology examination of sol-gel deposited TiO2 films
Morikawa et al. Crystal growth of ITO films prepared by DC magnetron sputtering on C film
EP2662344A1 (en) Anti-reflection glass with tin oxide nanoparticles
Von Rottkay et al. Optical indices of tin-doped indium oxide and tungsten oxide electrochromic coatings
DE3689524T2 (de) Optische Speichervorrichtung und Verfahren zur Herstellung.
CA2142418C (en) Electrically conductive transparent doped tin oxide films
Fouad et al. Advances for enhancing the electrical properties and microhardness activity of ZnO/Cu/ZnO thin films prepared by ALD
CN109932762A (zh) 光学元件和制造该元件的方法、以及光学仪器

Legal Events

Date Code Title Description
BA A request for search or an international-type search has been filed
BB A search report has been drawn up
BC A request for examination has been filed
V4 Discontinued because of reaching the maximum lifetime of a patent

Effective date: 20061114