NL1031444C2

NL1031444C2 - Schuif voor een optische kop, werkwijze voor het vervaardigen daarvan en een inrichting voor het opnemen en/of weergeven.

Info

Publication number: NL1031444C2
Application number: NL1031444A
Authority: NL
Inventors: Akio Mishima; Toru Katakura
Original assignee: Sony Corp
Priority date: 2000-02-18
Filing date: 2006-03-27
Publication date: 2006-09-14
Also published as: KR100746571B1; US6781950B2; NL1017371A1; US6895657B2; KR20010082701A; US20030016620A1; NL1017371C2; US20020001259A1; NL1031444A1; JP2001236670A

Description

SCHUIF VOOR EEN OPTISCHE KOP, WERKWIJZE VOOR HET VERVAARDIGEN DAARVAN EN EEN INRICHTING VOOR HET OPNEMEN EN/OF WEERGEVEN

ACHTERGROND VAN DE UITVINDING Gebied van de uitvinding

De uitvinding heeft betrekking op een schuifor-5 gaan voor een optische opneemkop die geschikt is voor het opnemen en/of weergeven van signalen op respectievelijk vanaf een opneemmedium, zoals een optische schijf, een werkwijze voor het vervaardigen van het schuiforgaan en een inrichting voor het opnemen en/of weergeven van 10 signalen op of vanaf een opneemmedium door een optische kop waarbij gebruik wordt gemaakt van een dergelijke optische kop.

Beschrijving van de stand der techniek 15 Een optische schijf voor het opnemen en/of weergeven van signalen door middel van het belichten van een opneemoppervlak voor signalen, zoals een magnetisch-optische schijf of een schijf met wisselende fase, wordt tegenwoordig in ruime mate gebruikt. Bij een dergelijke 20 optische schijf worden nu pogingen gedaan om de opneem-dichtheid te vergroten door het verkleinen van de licht-vlekdiameter op het opneemoppervlak voor het signaal op de optische schijf met het oog op het vergroten van het volume van de op te nemen gegevens tot het maximaal 25 mogelijke.

Teneinde gelijke tred te houden met de grotere opneemdichtheid voor de optische schijf worden ook pogingen gedaan voor het verkleinen van de lichtvlekdiameter van het licht dat schijnt op het oppervlak voor het 30 opnemen van het signaal van de optische schijf teneinde 1 0 3 1 4 4 4 2 de opneemdichtheid te vergroten bij een optische opnemer die is uitgevoerd voor het opnemen en/of weergeven van signalen op of vanaf een optische schijf.

Onlangs heeft men voorgesteld om een schuifor-5 gaan voor een optische kop die een optische lens draagt zodanig uit te voeren dat gebruik kan worden gemaakt van de techniek van de zwevende kopschuif in bijvoorbeeld een inrichting voor een harde schijf en voor het opvangen van het licht en het belichten van het opneemoppervlak voor 10 het signaal van de optische schijf door middel van de optische lens die is aangebracht op het schuiforgaan voor het opnemen en/of weergeven van de signalen, wanneer het schuiforgaan zweeft op een van te voren vastgelegde afstand boven het oppervlak voor het opnemen van het 15 signaal.

Wanneer een dergelijk schuiforgaan voor de optische kop wordt gebruikt in een inrichting met de optische schijf, kan de afstand tussen de optische lens en het oppervlak van de optische schijf voor het opnemen 20 van het signaal aanzienlijk worden verkleind in vergelijking met het geval van licht op het oppervlak voor het opnemen van het signaal van de optische schijf vanaf een optische kop die niet is uitgerust met een schuiforgaan voor de optische kop. Dit maakt het mogelijk om de sterke 25 NA-lens die wordt gebruikt voor het verkleinen van de lichtvlekdiameter van het licht op het oppervlak voor het opnemen van het signaal van de optische schijf.

Wanneer in deze inrichting met een optische schijf een magnetisch-optische schijf wordt gebruikt 30 heeft men een inrichting nodig voor het opwekken van een magnetisch veld voor het aanbrengen van een magnetisch veld bij de magnetisch-optische schijf.

Deze inrichting voor het opwekken van een magnetisch veld kan afzonderlijk worden aangebracht ten 35 opzichte van het hiervoor beschreven schuiforgaan voor de optische schijf. Om echter de afmeting van de optische schijfinrichting te verkleinen of te vereenvoudigen, moet dit schuiforgaan voor de optische kop worden uitgevoerd 3 als één geheel met het schuiforgaan voor de optische kop. In een dergelijk geval wordt de inrichting voor het opwekken van het magnetische veld bijvoorbeeld gevormd door een dunne filmspoel welke is ingebed in een opper-5 vlak van het schuiforgaan dat is gekeerd naar de magne-tisch-optische schijf en dat zodanig is gemonteerd dat het het instelpunt van de laserstraal omgeeft.

Figuur 1 laat een typische uitvoering zien van de schuif voor de optische kop. Een schuif voor de opti-10 sche kop 100, als afgebeeld in figuur 1, omvat een schuiforgaan 102 dat kan zweven en bewegen over een magnetisch-optische schijf 101 tijdens het opnemen en/of weergeven van een signaal op of vanaf de magnetisch-optische schijf 101 en een optische lens 103 die is 15 gekoppeld met het schuiforgaan 102. Een optische vezel 104 en een polarisatiespiegel 105 zijn ingebouwd in het schuiforgaan 102. Een lichtbundel L die wordt geleid door de optische vezel 104 valt op de optische lens 103 en wordt daardoor gebundeld door de polarisatiespiegel 105. 20 De laserbundel L die is samengebundeld door de optische lens 103 wordt gericht op een laag 101a voor het opnemen van het signaal op de magnetisch-optische schijf 101.

Dit schuiforgaan 102 omvat een uit een dunne film bestaande spoel 106 voor het aanbrengen van een 25 magnetisch veld op de magnetisch-optische schijf 101 tijdens het opnemen en een eindaansluiting 107 die elektrisch is verbonden met deze dunne filmspoel 106. De dunne filmspoel 106 wordt gevormd op het oppervlak van het schuiforgaan 102 dat is gekeerd naar de magnetisch-30 optische schijf 101 doordat het is gespoeld rondom de optische lens 103. Aan de andere kant wordt de eindaansluiting 107 gevormd door een elektrisch geleidend materiaal dat is aangebracht in een doorgaande opening die is geboord in het schuiforgaan 102 in de dikte ervan tot op 35 een plaats die stuit op de dunne filmspoel 106.

Het schuiforgaan 102 is gemonteerd op het distale eind van een draagarm 109 die is aangebracht in de inrichting met de optische schijf voor het aftasten 4 van de magnetisch-optische schijf 101 wanneer de schijf in rotatie is gebracht. Het schuiforgaan 102 wordt tevens bewogen langs de straal van de magnetische optische schijf 101 wanneer de draagarm 109 wordt geroteerd.

5 Een schuif voor de optische kop 100 als hier voor beschreven, wordt zwevend bewogen over de magnetisch-optische schijf 101 op een van tevoren bepaalde afstand onder een luchtstroom die wordt opgewekt bij een rotatie van de magnetisch-optische schijf 101. De schuif 10 voor de optische kop 100 die zo zwevend wordt bewogen, verlicht met een laserbundel L, die wordt opgevangen door de optische lens 103 die is aangebracht op het schuiforgaan 102, de laag 101 voor het opnemen van het signaal van de magnetisch-optische schijf 101. Het opnemen van 15 een signaal en/of het weergeven van een signaal op of vanaf de magnetisch-optische schijf 101 wordt verkregen door het verlichten met de laserbundel L van de laag 101a voor het opnemen van het signaal.

Tijdens het opnemen wekt de dunne filmspoel 106 20 een magnetisch veld op van een van tevoren ingestelde sterkte. Dit magnetische veld wordt aangebracht op de plaats van de laag 101a voor het opnemen van het signaal op de magnetisch-optische schijf 101 die wordt beschenen door de laserbundel L.

25 Ondertussen is in de schuif voor de optische kop 101 de doorgaande opening 108 aangebracht door het schuiforgaan 102 heen in de richting van de dikte tot op een plaats waar deze stuit tegen de dunne filmspoel 106 als in het voorgaande beschreven en het elektrisch gelei-30 dende materiaal wordt aangebracht in deze doorgaande opening 108 voor het vormen van de eindaansluiting 107 die elektrisch is verbonden met de dunne filmspoel 106.

Daar echter een aantal verschillende optische componenten, zoals een optische vezel 104 of de polarisa-35 tiespiegel 105, is ingebouwd in het schuiforgaan 102, wordt het steeds moeilijker om de doorgaande opening 108 in het schuiforgaan 102 te vormen voor hét plaatsen van 5 de hiervoor genoemde aansluiting 107, wanneer de schuif voor de optische kop 100 kleiner van afmeting wordt.

Bovendien wordt bij het vormen van de doorgaande opening 108 het schuiforgaan 102 blootgesteld aan 5 schokbewerkingen bij gebruikmaking van een diamantboor of een ultrasone bewerkingsinrichting. Daar echter een buitengewoon nauwkeurige bewerking wordt vereist, zullen afwijkingen ten gevolge van schilveren kunnen optreden in de gevormde doorgaande openingen 108 of kan zelfs de 10 doorgaande opening 108 niet met grote nauwkeurigheid worden aangebracht op de gewenste plaats in het schuiforgaan 102.

SAMENVATTING VAN DE UITVINDING 15 Het is daaróm een doel van de onderhavige uitvinding om de hiervoor genoemde nadelen van de bekende stand der techniek op te heffen en een schuif te verschaffen voor een optische kop die het mogelijk maakt op de juiste wijze een signaal op te nemen en/of weer te 20 geven op of vanaf een opneemmedium, zelfs wanneer de schuif voor de optische kop een zeer kleine afmeting vertoont en welke schuif gemakkelijk moet kunnen worden vervaardigd en in bedrijf een grote betrouwbaarheid vertoont.

25 Het is een ander oogmerk van de onderhavige uitvinding om een werkwijze te verschaffen voor het vervaardigen van een schuif voor de optische kop die het mogelijk maakt de schuif voor de optische kop gemakkelijk en met grote nauwkeurigheid te vervaardigen.

30 Nog een ander oogmerk van de onderhavige uit vinding is het verschaffen van een opneem en/of weergeef inrichting met een optische kop waarin gebruik wordt gemaakt van de schuif voor de optische kop.

Volgens weer een ander aspect verschaft de 35 onderhavige uitvinding een schuif voor een optische kop met een schuiforgaan dat kan zweven en bewegen over een opneemmedium tijdens het opnemen en/of het weergeven van informatiesignalen van het opneemmedium, waarbij een 6 optische lens is bevestigd aan het schuiforgaan en een inrichting voor het opwekken van een magnetisch veld is aangebracht op een oppervlak van het schuiforgaan, dat de optische lens draagt en is gekeerd naar het opneemme-5 dium. Het schuiforgaan is uitgevoerd met een eindaan-sluitgroef die met de opening ligt in het oppervlak van het schuiforgaan dat is gekeerd naar het opneemmedium en in zijdelings oppervlak ervan waarbij een elektrisch geleidend materiaal is aangebracht in deze groef. Het 10 elektrisch geleidende materiaal dat is aangebracht vormt een elektrische eindaansluiting die is verbonden met de inrichting voor het opwekken van het magnetische veld waarbij het ene eind van de aansluiting buiten het schuiforgaan ligt tegenover een zij-oppervlak van het 15 schuiforgaan.

In deze schuif voor de optische kop is de aansluiting elektrisch verbonden met de inrichting voor het opwekken van het magnetische veld en gevormd door het aanbrengen van elektrisch geleidend materiaal in de groef 20 van de eindaansluiting die met de opening aansluit op het oppervlak van het schuiforgaan dat is gekeerd naar het opneemmedium en in het zij-oppervlak ervan zodat één eind van de aansluiting naar buiten is gekeerd voor het vergemakkelijken van de vervaardiging ervan en voor het ver-25 krijgen van een kleine afmeting van de schuif.

Volgens weer een ander aspect van de onderhavige uitvinding wordt een werkwijze verschaft voor het vervaardigen van een schuif voor een optische kop met een schuiforgaan dat kan zweven en bewegen over een opneemme-30 dium tijdens het opnemen en/of weergegeven van informa-tiesignalen voor het opneemmedium, waarbij een optische lens is bevestigd aan het schuiforgaan en een inrichting voor het opwekken van een magnetisch veld is aangebracht op een oppervlak van het schuiforgaan dat de optische 35 lens draagt die is gekeerd naar het opneemmedium, waarbij de werkwijze een eerste stap omvat van het vormen van een groef waarvan een bodemoppervlak in diepterichting helt en wordt verkregen door het verlichten van een straal van 7 een polijstmiddel dat is gedispergeerd in een samengeperst gas op een substraat dat is aangebracht op het schuiforgaan, een tweede stap van het aanbrengen van een elektrisch geleidend materiaal, dat een aansluiting vormt 5 die elektrisch is verbonden met de inrichting voor het opwekken van het magnetische veld, in het inwendige van de groef die wordt gevormd in het substraat en een derde stap van het snijden van het substraat in de nabijheid van een eind van de groef voor het vormen van een aantal 10 afzonderlijke schuiforganen.

Bij deze werkwijze voor het vervaardigen van de schuif voor de optische kop is de groef voor de aansluiting gevormd in het schuiforgaan zodanig dat de opening is gelegen in het oppervlak van het schuiforgaan dat is 15 gekeerd naar het opneemmedium en in een zij-oppervlak ervan, en het elektrisch geleidende materiaal wordt aangebracht in de aansluitgroef, waarbij een aantal schuiven voor de optische kop wordt gevormd die elk zijn uitgerust met aansluitingen die elektrisch zijn verbonden 20 met de inrichting voor het opwekken van het magnetische veld en met één van de einden zijn gekeerd naar de buitenzijde vanaf de zijdelingse kant ervan zodat deze inrichtingen in een massa in grote hoeveelheden in massa kunnen worden vervaardigd.

25 Dat wil zeggen, wanneer de schuif voor de optische kop wordt vervaardigd op de hiervoor beschreven wijze, schuiven van kleine afmetingen voor een optische kop van een stabiele kwaliteit kunnen worden vervaardigd in massa in grote hoeveelheden, waardoor de vervaardi-30 gingskosten worden verkleind.

Volgens een verder aspect verschaft de onderhavige uitvinding een opneem- en/of weergeefinrichting met een optische kop voor het opnemen en/of weergeven op of vanaf een opneemmedium, waarbij de optische kop een 35 schuifkop vertoont voor het aftasten op het opneemmedium wanneer dit in rotatie is gebracht en waarbij een draag-arm aanwezig is voor het dragen van de schuifkop, welke schuifkop een schuiforgaan omvat dat kan zweven en bewe- 8 gen over het opneemmedium tijdens het opnemen en/of weergeven op of vanaf een weergeefmedium en een optische lens is bevestigd aan het schuiforgaan en een inrichting voor het opwekken van een magnetisch veld is aangebracht 5 op een oppervlak van een schuiforgaan dat de optische lens draagt en naar het opneemmedium is gekeerd. Het schuiforgaan is gevormd met een aansluitingsgroef die met de opening ligt in een oppervlak ervan dat is gekeerd naar het opneemmedium en in een zij-oppervlak ervan, 10 waarbij een elektrisch geleidend materiaal in de aansluitingsgroef is aangebracht. Het elektrisch geleidende materiaal dat is aangebracht, vormt een aansluiting die elektrisch is verbonden met de inrichting voor het opwekken van het magnetische veld waarbij het ene eind van de 15 aansluiting is gekeerd naar de buitenzijde van het schuiforgaan vanaf een zijdelings oppervlak van het schuiforgaan.

Daar deze opneem- en/of weergeefinrichting een kopschuif vertoont die is uitgevoerd met een aanslui-20 tingsgroef in het oppervlak van een schuiforgaan dat is gekeerd naar het opneemmedium en in het zijdelingse oppervlak van het schuiforgaan, en waarbij een elektrisch geleidend materiaal is aangebracht in deze aansluitingsgroef voor het vormen van een aansluiting, die elektrisch 25 is verbonden met de inrichting voor het opwekken van het magnetische veld, en waarbij één eind ervan is gekeerd naar de buitenzijde van het schuiforgaan vanaf het zijdelingse oppervlak van dit schuiforgaan, kan het opnemen en/of weergeven op het opneemmedium op bevredigende wijze 30 worden verkregen, zelfs wanneer de kopschuif zeer kleine afmetingen vertoont.

In de schuif voor de optische kop volgens de onderhavige uitvinding, zoals deze hiervoor is beschreven, wordt de aansluiting die elektrisch is verbonden met 35 de inrichting voor het opwekken van het magnetische veld gevormd door het aanbrengen van elektrisch geleidend materiaal in de aansluitingsgroef via de opening in het oppervlak van het schuiforgaan dat is gekeerd naar het 9 opneemmedium en in het zijdelingse oppervlak van het schuiforgaan, zodat het ene eind ervan is gekeerd naar buiten toe ten opzichte van het schuiforgaan vanaf het zijdelingse oppervlak van het schuiforgaan voor het 5 verkrijgen van een constructie die gemakkelijk kan worden vervaardigd en kleine afmetingen vertoont.

Volgens de werkwijze voor het vervaardigen van een schuif voor de optische kop volgens de onderhavige uitvinding, kan een aantal schuiforganen voor een opti-10 sche kop, die zijn uitgerust met aansluitingen die elektrisch zijn verbonden met de inrichting voor het opwekken van het magnetische veld, en die met één eind zijn gekeerd naar de buitenzijde van het schuiforgaan vanaf het zijdelingse oppervlak van het schuiforgaan, in massa 15 worden vervaardigd door het vormen van een opening voor de aansluitingsgroef in het oppervlak van het schuiforgaan dat is gekeerd naar het opneemmedium in een zijdelings oppervlak van een schuiforgaan en door het aanbrengen van het elektrisch geleidende materiaal in deze 20 aansluitingsgroef.

Dat wil zeggen door het vervaardigen van de schuif voor een optische kop door de hiervoor beschreven serie bewerkingen, kunnen schuiven van kleine afmetingen worden vervaardigd voor de optische kop met een grote 25 nauwkeurigheid en met behulp van een eenvoudige werkwijze. Bovendien kunnen dankzij de werkwijze volgens de uitvinding schuiven voor een optische kop worden vervaardigd van een stabiele kwaliteit in massa in grote hoeveelheden zodat de vervaardigingskosten omlaag kunnen 3 0 worden gebracht.

In de inrichting voor het opnemen en/of weergeven volgens de onderhavige uitvinding, waarbij de aansluitingsgroef is gevormd in he schuiforgaan, en met de opening ligt in het oppervlak van het schuiforgaan dat is 35 gekeerd naar het opneemmedium en in het zijdelingse oppervlak van het schuiforgaan en het elektrisch geleidende materiaal wordt aangebracht in deze aansluitingsgroef, kan bovendien de kopschuif worden voorzien van een 10 elektrische aansluiting die is verbonden met de inrichting voor het opwekken van een magnetisch veld en waarbij het ene eind is gekeerd naar de buitenzijde van het schuiforgaan vanaf het zij-oppervlak van het schuifor-5 gaan, waarbij signalen kunnen worden opgenomen en/of worden weergegeven op/of vanaf het opneemmedium, zelfs wanneer het schuiforgaan zeer kleine afmetingen vertoont.

In de schuif voor de optische kop volgens de onderhavige uitvinding, zoals hiervoor is beschreven, is 10 de elektrische aansluiting verbonden met de inrichting voor het opwekken van het magnetische veld en gevormd door het aanbrengen van het elektrisch geleidende materiaal in de aansluitingsgroef via de opening die is gelegen in het oppervlak van de schuif dat is gekeerd naar het 15 opneemmedium en in het zijdelingse oppervlak ervan, zodat het ene eind is gekeerd naar de buitenzijde van het schuiforgaan zodat een gemakkelijke vervaardiging mogelijk wordt en de schuif een kleine afmeting kan vertonen.

Bij de werkwijze voor het vervaardigen van de 20 schuif voor de optische kop volgens de onderhavige uitvinding waarbij een aansluitingsgroef is gevormd in het oppervlak van de schuif dat is gekeerd naar het opneemmedium en in het zijdelingse oppervlak ervan van het elektrisch geleidende materiaal wordt aangebracht in deze 25 aansluitingsgroef kunnen bovendien een groot aantal schuiven voor een optische kop waarvan de aansluitingen elektrisch zijn verbonden met de inrichting voor het opwekken van een magnetisch veld en één eind van de aansluitingsgroef is gekeerd naar de buitenzijde van het 30 schuiforgaan vanaf het zijdelingse oppervlak zodat de schuiforganen in massa kunnen worden vervaardigd in grote hoeveelheden.

KORTE BESCHRIJVING VAN DE TEKENINGEN 35 Figuur 1 is een dwarsdoorsnede in lengterich ting voor het laten zien van de constructie van een bekende schuif voor een optische kop.

11

Figuur 2 is een schematisch perspectivisch aanzicht dat een typische optische schijfinrichting toont volgens de onderhavige uitvinding.

Figuur 3 is een dwarsdoorsnede die de construc-5 tie laat zien van een schuif die is aangebracht op de optische schijfinrichting.

Figuren 4A en 4B tonen een schuiforgaan voor het vormen van de kopschuif, figuur 4A is een schematisch bovenaanzicht gezien vanaf het oppervlak van het schuif-10 orgaan dat is gekeerd naar de magnetisch-optische schijf en figuur 4B toont een schematisch zij-aanzicht vanaf het eind van het schuiforgaan naar de zijde van de toevoer van de luchtstroom die wordt opgewekt bij het roteren van de magnetisch-optische schijf.

15 Figuur 5 is schematisch een dwarsdoorsnede dat een typische aansluiting laat zien voor een verbinding met de omgeving.

Figuur 6 is een schematische dwarsdoorsnede die een andere typische aansluiting toont voor een verbinding 20 met de omgeving.

Figuur 7 toont een werkwij ze voor het vormen van een aansluiting voor het verkrijgen van een verbinding met de buitenzijde, waarin de toestand van het vormen van een beschermend masker op een substraat is 25 afgebeeld.

Figuur 8 toont een werkwij ze voor het vormen van een aansluiting voor de verbinding met de omgeving, waarin de omstandigheid is te zien voor het vormen van een groef met een bodemoppervlak die schuin staat in 30 diepterichting ten opzichte van het substraat.

Figuur 9 is een dwarsdoorsnede die de constructie laat zien van de werkingsinrichting met een poeder-straal.

Figuur 10 toont de stap van het vormen van een 35 aansluiting voor een verbinding naar buiten toe, waarin te zien is hoe in een onderliggende laag op een substraat een groef is gevormd.

12

Figuur 11 is een schematische dwarsdoorsnede die de stap laat zien van het vormen van een aansluiting voor een verbinding met de buitenzijde waarin is te zien hoe een beschermingsmasker wordt aangebracht op een 5 substraat waarbij de onderliggende laag 20 op de afge-beelde wijze wordt gevormd.

Figuur 12 is een schematische doorsnede waarin is te zien hoe een aansluiting voor een verbinding met de buitenzijde wordt gevormd waarbij achtereenvolgens lagen 10 goud en koper worden aangebracht door het elektrolytisch bekleden.

Figuur 13 is een schematische doorsnede waarin is te zien hoe een aansluiting met de buitenzijde wordt aangebracht waarbij in de figuur het slijpen van het 15 substraatoppervlak is te zien.

Figuur 14 is een schematische dwarsdoorsnede waarbij is afgebeeld hoe een aansluiting voor een verbinding met de omgeving wordt vervaardigd waarbij is te zien hoe een substraat wordt doorgesneden.

20 Figuur 15 is op vergrote schaal een schemati sche dwarsdoorsnede waarbij de stap is te zien van het vormen van een aansluiting voor een verbinding met de buitenzijde waarbij een andere vorm van het doorsnijden van een substraat is te zien.

25 Figuur 16 is een schematische doorsnede waarbij is te zien hoe een aansluiting voor een verbinding met de buitenzijde wordt gevormd, waarbij het doorsnijden van een substraat op een andere wijze meer in detail is te zien.

30 Figuur 17 is een vergrote, schematische door snede waarbij de stap is te zien van het vormen van een aansluiting voor een verbinding met de omgeving, waar nog een andere vorm wordt getoond van een doorsnede van een substraat.

35 BESCHRIJVING VAN DE VOORKEURSUITVOERINGSVORMEN

Onder verwijzing naar de tekening zullen voorkeur suit voer ingsvormen volgens de onderhavige uitvinding in detail worden uiteengezet.

13

Figuur 2 laat een uitvoering zien van een inrichting met een optische schijf volgens de onderhavige uitvinding. De inrichting 1 met de optische schijf die is afgebeeld in figuur 2, vertoont de toepassing van de 5 techniek van een inrichting met een harde schijf die wordt gebruikt in een geheugeninrichting in bijvoorbeeld een personal computer. Een spilmotor 3 die is aangebracht in een huis 2, draagt een magnetisch-optische schijf 4 voor het opnemen en/of weergeven van een signaal en is 10 bevestigd met behulp van een kleminrichting 5. De magnetisch-optische schijf 4 wordt in rotatie gebracht met een van tevoren ingesteld aantal omwentelingen per minuut door de rotatie van de spindelmotor 3 die wordt bestuurd ten behoeve van het aandrijven door een niet-afgebeelde 15 regelschakeling.

Binnen het huis 2 is een optische kopinrichting 6 gemonteerd in plaats van een magnetische kopinrichting zoals die wordt gebruikt bij een inrichting met een harde schijf. Deze optische kopinrichting 6 neemt signalen op 20 en/of geeft deze weer vanaf de magnetisch-optische schijf 4 die wordt aangedreven door de spindelmotor 3. Deze optische kopinrichting 6 omvat een arm 8 die roterend wordt aangedreven door de spilmotor 3, een veer 9 voor het dragen van de kop, die één geheel vormt met de arm 8 25 en een kopschuif 10 die is gemonteerd op het distale eind van de veer 9 voor het dragen van de kop.

Een spreekspoelmotor 7 is vervaardigd uit een spreekspoel die is gemonteerd op de arm 8 en een paar magneten om daartussen de spreekspoel op te sluiten. In 30 deze spreekspoelmotor wordt stroom toegevoerd aan de spreekspoel van buiten af voor het leveren van een aan-drijfkracht ten gevolge van de stroom die stroomt door de spreekspoel en het magnetische veld van een magneet, die niet is afgebeeld, zodat de arm 8 en de veer 9 voor het 35 dragen van de kop in rotatie worden gebracht in de richting als aangegeven door de pijl X in figuur 2, om een top 8a als middelpunt.

14

In deze optische kopinrichting 6 worden de arm 8 en de veer 9 voor het dragen van de kop in rotatie gebracht ten gevolge van de aandrijving door de spreek-spoelmotor 7, waardoor de kopschuif 10 die is gemonteerd 5 op het distale eind van de veer 9 voor het dragen van de kop, wordt bewogen in een richting volgens de straal van de magntisch-optische schijf 4 die in rotatie wordt gebracht door de spilmotor 3. De kopschuif 10 die is gemonteerd op het distale eind van de veer 9 voor het 10 dragen van de kop tast de magnetisch-optische schijf 4 af wanneer de kopschijf 10 zwevend op een van tevoren ingestelde afstand beweegt boven de magnetisch-optische schijf 4 onder een luchtstroom die wordt opgewekt door de rotatie van de magnetisch-optische schijf 4.

15 Figuur 3 toont een uitvoering van de kopschijf 10 die is aangebracht op de optische kopinrichting 6.

De kopschijf 10 is bestemd om te worden gebruikt op de optische kop volgens de onderhavige uitvinding en omvat een schuiforgaan 11 dat zwevend beweegt 20 over het oppervlak voor het opnemen van het signaal van de magnetisch-optische schijf 4 tijdens het opnemen van het signaal en/of het weergeven van een dergelijk signaal vanaf de magnetisch-optische schijf 4 met een optische lens 12 die is gekoppeld met het schuiforgaan 11.

25 Het schuiforgaan 11 dat is gevormd uit een materiaal zoals Altac (Al203-Tic), is in hoofdzaak gevormd tot een rechthoekig profiel en wordt gedragen op het distale eind van de veer 9 voor het dragen van de kop voor het plaatsen van het schuiforgaan tegenover de 30 magnetisch-optische schijf 4. Het schuiforgaan 11 vertoont op het oppervlak 11a dat ligt tegenover de magnetisch-optische schijf 4, een oppervlak voor het verkrijgen van een luchtsmering en het leveren van een zwevende kracht door een luchtstroom die wordt opgewekt door het 35 roteren van de magnetisch-optische schijf 4. Er bestaat geen bijzondere beperking voor de vorm van het oppervlak van de luchtsmering, dat kan zijn uitgevoèrd in elk geschikt te kiezen profiel.

15

Het schuiforgaan 11 omvat een doorgaande ope-ning 13 die zich uitstrekt in de richting van de dikte. Deze doorgaande opening 13 vertoont een diameter die ongeveer gelijk is aan de buitendiameter van de optische 5 lens 12.

De optische lens 12 vangt de laserbundel L op voor het verlichten van de laag 4a voor het opnemen van het signaal van de magnetisch-optische schijf 4 vanaf het signaal opnemende oppervlak ervan tijdens het opnemen 10 en/of weergeven van een signaal op of vanaf de magnetisch-optische schijf 4. De optische lens 12 is in hoofdzaak half-bolvormig van vorm en is gevormd van een materiaal met een hoge brekingsindex die een voldoende licht-doorlatend vermogen vertoont in het golflengtebereik van 15 de laserstraal L, zoals optisch glas of optische kunststof. Deze optische lens 12 is bevestigd aan het wandom-treksgedeelte van de doorgaande opening 13 die is gevormd in het schuiforgaan 11 met een gedeelte van het zijdelingse oppervlak ervan als hechtoppervlak zodat deze lens 20 als een eenheid kan zijn verbonden met het schuiforgaan 11.

Het schuiforgaan 11 bevat eveneens een optische vezel 14 en een polarisatiespiegel 15 voor het geleiden van de laserstraal L van een halfgeleiderlaser, niet 25 getoond, die is aangebracht in de optische kopinrichting 6 in de baan van de optische lens 12. De optische vezel 14 steekt met het ene eind uit het zijdelingse oppervlak van het schuiforgaan 11 tot in het inwendige van de doorgaande opening 13. De polarisatiespiegel 15 is ge-30 plaatst binnen de doorgaande opening 13 van het schuiforgaan 11 in een optische baan tussen de optische vezel 14 en de optische lens 12.

In deze schuifkop 10 zal zo de laserstraal L die wordt geleid door de optische vezel 14 via de polari-35 satiespiegel 15 ingaan in de optische lens 12 en daarbij zodanig worden opgevangen en gericht dat deze het signaal opnemende oppervlak 4a van de magnetisch-optische schijf 4 belicht.

16

Het schuiforgaan 11 is tevens voorzien van een uit een dunne film bestaande spoel 16 voor het aanleggen van een magnetisch veld op de magnetisch-optische schijf 4 tijdens het opnemen en met aansluitingen voor het 5 verbinden met de omgeving 17, elektrisch verbonden met deze uit een dunne film bestaande spoel 16 zoals is afgebeeld in de figuren 3, 4a en 4b. Intussen toont figuur 4a een schematisch aanzicht gezien vanaf een vlak 11a van het schuiforgaan 11 dat ligt tegenover de magne-10 tisch-optische schijf 4, en figuur 4b is een schematisch aanzicht gezien vanaf het ene eind op de zijde waarlangs de lucht stroomt, die wordt opgewekt door de rotatie van de magnetisch-optische schijf 4 van het schuiforgaan 11.

De spoel 16 van de dunne film is gevormd als 15 een dunne film die is gewikkeld rondom de optische lens 12 op het oppervlak 11a van het schuiforgaan 11 dat is gekeerd naar de magnetisch-optische schijf 4. Het eind aan de zijde van de binnenrand van de dunne filmspoel 16 leidt naar de zijde van de buitenrand via een naar buiten 20 leidende geleider 18 en omvat een naar buiten geleidend deel 16a voor het naar buiten leiden van de geleider 18 en een eind aan de buitenste randzijde van de dunne filmspoel 16 naar de zijde van het schuiforgaan 11 waarop de luchtstroom is gericht. Dit naar buiten leidende 25 gedeelte 16a is verbonden met de aansluitingen voor het vormen van een verbinding met de buitenzijde 17.

De aansluitingen voor de verbinding met de buitenzijde 17 zijn elektrisch verbonden met de spoel 16 van de dunne film via het naar buiten leidende gedeelte 30 16a en zijn zodanig gevormd dat de einden 17a liggen aan de buitenzijde van het schuiforgaan 11 aan een zijdelings oppervlak 11b van het schuiforgaan 11. Dat wil zeggen, de aansluiting voor een verbinding met de buitenzijde 17 wordt gevormd door het aanbrengen van een elektrisch 35 geleidend materiaal binnen een aansluitgroef 19 die is gevormd in het schuiforgaan 11 en waarvan de opening ligt in het oppervlak 11a die is gekeerd naar de magnetisch-optische schijf 4 en in een zijdelings oppervlak 11b. De 17 aansluitingsgroef 19 vertoont een bodemoppervlak dat helt, zodat het bodemoppervlak dieper ligt ten opzichte van het oppervlak 11a van het schuiforgaan 11 dat is gekeerd naar de magnetisch-optische schijf 4 en wel naar 5 het zijdelingse oppervlak 11b.

Figuur 5 die een meer gedetailleerde constructie laat zien van de aansluiting voor de verbinding met de buitenzijde 17, waarbij chroom 20a en koper 20b, beide elektrisch geleidende materialen, achtereenvolgens zijn 10 aangebracht als een onderliggende laag 20 binnen de aansluitingsgroef 19. Op deze onderliggende laag 20 zijn achtereenvolgens neergeslagen goud 21 en koper 22 als elektrisch geleidende materialen voor het vormen van een meerlagige constructie waarbij het goud 21 zodanig is 15 aangebracht dat het ligt tegenover de buitenzijde van het schuiforgaan 11 aan het zijdelingse oppervlak 11b. Dat wil zeggen, het gedeelte van de aansluiting voor de verbinding met de buitenzijde 14 die wordt omgeven door het goud 21, ligt bloot aan het ene eind 17a van de i 20 aansluiting voor de verbinding met de buitenzijde 17. Aan de aansluiting 17a van het gedeelte voor de verbinding met de buitenzijde 17 is een op overeenkomstige wijze gevormde draad uit goud bevestigd, bijvoorbeeld door het hechten van een draad, waarbij de stroom kan worden 25 toegevoerd vanaf de buitenzijde voor het opwekken van het magnetische veld aan de spoel 16 van de dunne film.

Ofschoon de aansluiting voor het verbinden met de buitenzijde 17 bestaat uit een meerlagige constructie uit metaal en verdere metalen, is deze constructie nood-30 zakelijkerwijs niet bepalend voor de onderhavige uitvinding. Er kan bijvoorbeeld een dergelijke constructie worden toegepast waarbij alleen het goud 21 wordt neergeslagen op de onderliggende laag 20 die wordt gevormd door het achtereenvolgens aanbrengen van chroom 20a en koper 35 20b zoals afgebeeld in figuur 6.

In de kopschuif 10 kan eveneens een beschermende film worden aangebracht op het oppervlak van de spoel 16 van dunne film en de aansluitingen voor een verbinding 18 met de buitenzijde 17 ter bescherming van de spoel 16 uit dunne film en de aansluitingen voor de verbinding met de buitenzijde 17.

De kopschuif 10 die is uitgevoerd zoals in het 5 voorgaande is beschreven, staat bloot aan een luchtstroom die wordt opgewekt door de rotatie van de magnetisch-optische schijf 4 en wordt zwevend gehouden in een van tevoren ingestelde mate boven het signaal opnemende oppervlak van de magnetisch-optische schijf. Onder deze 10 omstandigheid wordt de laserbundel 11 die wordt opgevangen door de optische lens 12 die is aangebracht op het schuiforgaan 11, gericht op het signaal opnemende oppervlak 4a van de magnetisch-optische schijf 4 voor het opnemen en/of weergeven van het signaal op of vanaf de 15 magnetisch-optische schijf 4. Tijdens het opnemen wordt een magnetisch veld van een van tevoren ingestelde sterkte opgewekt door de spoel 16 van de dunne film en aangelegd ter plaatse van de het signaal opnemende laag 4a van van de magnetisch optische schijf 4, die wordt belicht 20 door de laserbundel L.

In deze kopschuif 10 is het elektrisch-gelei-dende materiaal aangebracht aan de binnenzijde van de aansluitingsgroef 19 die is gevormd in het schuiforgaan 11 doordat deze met de opening ligt in het oppervlak 11a 25 tegenover de magnetisch-optische schijf 4 en in het zijdelingse oppervlak 11b voor het met elkaar verbinden van de aansluiting voor de verbinding met de buitenzijde 17 van de dunne filmspoel 16 via het naar buiten leidende gedeelte 16a waarvan het eind 17a ligt tegenover de 30 buitenzijde van het schuiforgaan 11 via het zijdelingse oppervlak 11b van het schuiforgaan 11.

Bij de onderhavige kopschuif 10 bestaat er dus geen noodzaak voor het vormen van de doorgaande opening 108 voor het daarin onderbrengen van de aansluiting 107 35 in de schuif 102, zoals bij de bekende inrichting, zodat het mogelijk wordt het probleem te vermijden van de doorgaande opening 103 die in strijd komt met de aanwezigheid van de optische componenten zoals de optische 19 vezel 104 of de polarisatiespiegel 105. Bovendien bestaat er geen noodzaak voor het boren van een gat in het schuiforgaan 102 met gebruikmaking van bijvoorbeeld een diamantboor of een inrichting voor het ultrasoon bewer-5 ken, zoals in het voorgaande is beschreven.

De kopschuif 10 die is uitgevoerd als hiervoor is beschreven, is dus gemakkelijk te vervaardigen en kan kleinere afmetingen vertonen. Dat wil zeggen met behulp van de onderhavige kopschuif kan het opnemen van een 10 signaal en/of het weergeven van een signaal op of vanaf de magnetisch-optische schuif op bevredigende wijze worden bereikt, zodat een voldoende betrouwbaarheid wordt verkregen.

Een kenmerkende werkwijze voor het vervaardigen 15 van de in het voorgaande beschreven kopschuif 10 zal nu in detail worden uiteengezet.

Voor het vervaardigen van de kopschuif 10 wordt een substraat 30 aangebracht dat is gevormd uit bijvoorbeeld altic (AlgOj-tiC), als afgebeeld in figuur 7. Dit 20 substraat 30 vormt uiteindelijk het eerder genoemde schuiforgaan 11. Het substraat wordt uiteindelijk in schijven gesneden voor het verkrijgen van een aantal kopschuiven 10 in massa.

Het substraat 30 wordt dan voorzien van een 25 boring in van tevoren bepaalde plaatsen in overeenstemming met de betreffende schuiforganen 11 voor het vormen van de eerder genoemde doorgaande openingen 16. Het oppervlak 11a van het schuiforgaan 11 dat ligt tegenover de magnetisch-optische schijf 4 wordt dan geetst voor het 30 vormen van een oppervlak dat dienst kan doen bij het smeren met lucht.

De aansluiting voor de verbinding met de buitenzijde 17, als afgebeeld in figuur 5, wordt gevormd op een van tevoren bepaalde plaats op het substraat 30 in 35 register met elk schuiforgaan 11.

Voor het vormen van deze aansluiting voor het verkrijgen van een verbinding met de buitenzijde 17 wordt een beschermend vel bevestigd op het gehele hoofdopper- 20 vlak van het substraat 30, hetgeen later het oppervlak 11a oplevert dat ligt tegenover de magnetisch-optische schijf 4. Een masker met een aantal openingen die in register liggen met de aansluitingen voor de verbinding 5 met de buitenzijde 17 wordt aangebracht en blootgesteld aan licht. De gedeelten van de afschermende laag die zijn blootgesteld aan licht worden opgelost met een behulp van een ontwikkeloplossing en verwijderd voor het voltooien van een beschermmasker 31 met een aantal openingen 31a op 10 van tevoren bepaalde plaatsen op het substraat 30. Bij voorkeur wordt het afschermende masker 31 voldoende gedroogd en gebakken door het te verwarmen tot op ongeveer 80°C voor het vergroten van de duurzaamheid en het verbeteren van de hechting aan het substraat 30.

15 Een straalstroom die wordt verkregen door het dispergeren van een polijstmiddel in samengeperste lucht wordt dan gericht onder een van tevoren bepaalde hoek op het oppervlak van het substraat 30 dat het beschermende masker 31 draagt door het door etsèn vormen van een groef 20 32 met een bodemoppervlak dat helt in diepterichting, zoals is te zien in figuur 8. De groef 32 die wordt gevormd in het substraat 30 vormt uiteindelijk de aan-sluitingsgroef 19 die is gevormd in het schuiforgaan 11.

Figuur 9 laat een typische bewerkingsinrichting 25 met behulp van een poederstraal zien bij het vormen van deze groef 32 in het substraat 30.

In deze inrichting voor het bewerken met behulp van een poederstraal wordt samengeperste lucht Air, die wordt toegevoerd uit een bron 40 voor samengeperkte 30 lucht, gedroogd in een droogeenheid 41 en toegevoerd aan een aftakeenheid 44 via een stroomvoeler 42 en een stro-mingsregelaar 43. Een van de fracties lucht van hoge druk die in het volgende zal worden aangeduid als de eerste afgetakte hoeveelheid perslucht Airl, die op deze wijze 35 wordt verkregen, wordt toegevoerd aan een dispergeerkamer 45, terwijl de overblijvende fractie van hogedruklucht die in het volgende wordt aangeduid als tweede afgetakte 21 hoeveelheid perslucht Air2, wordt toegevoerd aan een spuitmondstuk 46.

De dispergeerkamer 45 is via een verbindingseenheid 48 verbonden met een mengreservoir 47 dat is 5 gevuld met het polijstmiddel P. Vanuit dit mengreservoir 47 wordt het polijstmiddel P toegevoerd via de verbindingseenheid 48.

Meer in detail is een schroef 49 aangebracht in het inwendige van het mengreservoir 47 voor het naar 10 buiten voeren van het polijstmiddel P in de dispersieka-mer 45. De schroef 49 is uitgerust met een spiraalsgewijs uitstrekkende groef in het buitenste omtreksoppervlak, zodat wanneer de schroef wordt geroteerd door een motor 50 die is bevestigd in het mengreservoir 47, het polijst-15 middel P dat aanwezig is binnen de groef naar buiten wordt geperst via de verbindingseenheid 48 tot in de dispergeerkamer 45. Dat wil zeggen in het mengreservoir 47 wordt een hoeveelheid van het polijstmiddel P dat overeenkomt met de rotatie van de schroef 49 naar buiten 20 gebracht in de dispergeerkamer 45.

Binnen het mengreservoir 47 is een roergestel 51 aangebracht voor het mengen van het polijstmiddel P. Daar het roergestel 51 roterend wordt aangedreven door de motor 52 die is bevestigd in het mengreservoir 47, en het 25 roergestel 51 is gekoppeld met de schroef 49 wanneer het polijstmiddel P wordt afgeleverd in de groef van de schroef 49. Het bovenste gedeelte van het mengreservoir 47 is uitgerust met een opening 53, waardoor heen het polijstmiddel P wordt teruggevoerd en een driehoeksklep 30 55 die naar boven kan worden bewogen en naar beneden toe onder de aandrijvende kracht van een aandrijfmechanisme 54 voor het openen of sluiten van de opening 53. Het bodemgedeelte van het mengreservoir 47 is uitgerust met een elektronische balans 56 voor het meten van het ge-35 wicht van het polijstmiddel P.

Door de aanwezigheid van de bewerkingsinrich-ting met behulp van een poederstraal zal zo de opening 53 van het mengreservoir 47 worden geopend respectievelijk 22 worden gesloten met behulp van de driehoekige klep 55, zodat een constante hoeveelheid van het polijstmiddel P kan worden getransporteerd tot in de dispergeerkamer 45 daar het gewicht van het polijstmiddel P in het mengre-5 servoir 57 nauwkeurig wordt gemeten door de elektronische balans 56.

Het polijstmiddel P dat wordt getransporteerd tot in de dispergeerkamer 45 wordt opgeblazen door de eerste afgetakte hoeveelheid perslucht van hoge druk Air 10 1, die stroomt door de dispergeerkamer 45 en die naar buiten kan worden geperst via het spuitmondstuk 46 in een toestand waarin het polijstmiddel P is gedispergeerd in deze eerste afgetakte hoeveelheid hogedrukperslucht Air 1. Het spuitmondstuk 46 mengt het polijstmiddel P dat uit 15 de dispergeerkamer 45 naar buiten wordt geblazen met de tweede hoeveelheid hogedrukperslucht Air 2 voor het laten ontstaan van een dichte twee-fasenstroom en Air 3 die als een zogenaamde dichte twee-fasenstroom Air 3 onder druk wordt gestuurd naar een spuitmondstuk 58 dat is aange-20 bracht in een bewerkingskamer 57.

In de bewerkingskamer 57 is tegenover het spuitmondstuk 58 een werkstuk 59 geplaatst waarop het hiervoor genoemde substraat 30 is aangebracht. Op dit substraat 30 dat is geplaatst op het werkstuk 59, wordt 25 een dichte twee-fasenstroom Air 3 gespoten vanuit het spuitmondstuk 58 voor het verkrijgen van een etsende werking door het polijstmiddel P dat is gedispergeerd in de twee-fasenstroom Air 3.

Het spuitmondstuk 58 is aangebracht op het 30 distale eind van een arm 61 die is bevestigd aan een XY gestel 60 en in horizontale richting kan worden bewogen door middel van een aandrijfkracht die door het XY gesteld 60 wordt uitgeoefend via de arm 61. Via het spuitmondstuk 58 kan de spuithoek van de dichte twee-fasen-35 stroom Air 3 vrij worden ingesteld ten opzichte van het substraat 30 dat is aangebracht op het werkstuk 59.

De twee-fasenstroom Air 3 uit het spuitmondstuk 58 wordt naar buiten geleid via een pijpstelsel 62 in een 23 scheidingskamer 63. Deze scheidingskamer 63 is voorzien van een primair filter 54 waardoor een gedeelte van de dichte twee-fasenstroom Air 3 wordt gefiltreerd en wordt teruggestuurd via een pijpstelsel 65 naar de bewerkings-5 kamer 57. Het overblijvende gebied van de dichte twee-fasenstroom Air 3 wordt gefiltreerd door een tweede filter, zoals een hepa-filter en wordt naar buiten toe weggeblazen.

Het polijstmiddel P dat wordt teruggewonnen 10 door het primaire filter 64 wordt teruggestuurd naar een voorraadkamer 68 via een verbindingsgedeelte 67 dat kan worden geopend/gesloten door een cilinderklep 66. Binnen deze voorraadkamer 68 is een schroef 69 geplaatst die roterend wordt aangedreven door een motor 70 die is 15 bevestigd aan de voorraadkamer 68 voor het naar buiten brengen van het polijstmiddel P naar de opening 53 van het mengreservoir 47.

In de onderhavige bewerkingsinrichting met behulp van een poederstraal, zoals in het voorgaande is 20 beschreven, kan het polijstmiddel P dat is gedispergeerd in de dichte twee-fasen luchtstroom Air 3, worden teruggevoerd naar het mengreservoir 47 via de bewerkingskamer 57, de scheidingskamer 63 en het reservoir 68 in deze volgorde. Op deze wijze kan in de onderhavige bewerkings-25 inrichting met een poederstraal het polijstmiddel P op een doeltreffende wijze worden hergebruikt.

In de onderhavige uitvoering is de hiervoor beschreven bewerkingsinrichting met behulp van een poederstraal gebruikt voor het bewerken door middel van 30 etsen. Dat wil zeggen, in de onderhavige uitvoering wordt de dichte twee-fasen luchtstroom Air 3 onder een van tevoren bepaalde hoek uit het spuitmondstuk 58 gespoten op het substraat 30 voor het laten etsen door het poli j stmiddel P in de dichte twee-fasen luchtstroom Air 3. 35 Wanneer het spuitmondstuk 58 wordt geplaatst in de richting als aangegeven door de pijl A in figuur 8, te weten in de richting loodrecht op de snij richting van het substraat 30, wordt de stroom toegevoerd op de juiste 24 plaats. Deze bewerking wordt achtereenvolgens herhaald zodat een verdere aftasting plaatsvindt voor het etsen van het gehele oppervlak van he substraat 30 dat het beschermingsmasker 31 draagt.

5 Teneinde schilvervorming, dat wil zeggen breuk in figuur 32 die wordt gevormd, te voorkomen, wordt de botsingskracht van de dichte twee-fasenstroom Air 3 die wordt afgegeven uit het spuitmondstuk 58 op het substraat 30 bij voorkeur zo klein mogelijk gehouden.

10 Hiertoe vertoont de uittreeopening van het spuitmondstuk 58 bij voorkeur een rechthoekig profiel waarbij de lengte van de korte zijde 0,3 mm of meer bedraagt en de lengte van de lange zijde vijf of meer maal de lengte van de korte zijde bedraagt, bijvoorbeeld 15 10 tot 50 mm. Aan de andere kant, is de diepte van het spuitmondstuk 58 bij voorkeur twintig maal zo groot als de lengte van de korte zijde. Het polijstmiddel P dat wordt gebruikt wordt bij voorkeur gevormd door het middel GC#600 tot GC#1500.

20 Het spuitmondstuk 58 is bij voorkeur zodanig ontworpen dat de spuithoek è van de dichte twee-fasenst room Air 3 10° tot 30° zou bedragen ten opzichte van het oppervlak van het substraat 30, zoals is afgebeeld in figuur 8.

25 Op deze wijze heeft de groef 32 een bodemopper- vlak dat in diepterichting helt en kan worden gevormd in een oppervlaktebereik van het substraat 30 dat ligt tegenover een opening 31a van het beschermende masker 31. Dat wil zeggen, deze groef 32 kan zodanig zijn gevormd 30 dat deze een boderrioppervlak vertoont dat helt in de diepterichting en met een zijwand die rechtop staat vanaf het bodemoppervlak.

De etsbewerking werd hier uitgevoerd met behulp van een luchtstroom van 50 Nl/min, waarbij een aftast-35 snelheid van 100 mm/s werd toegepast met gebruikmaking van bijvoorbeeld GC#600 als polijstmiddel. De etsbewerking werd beëindigd op het tijdstip wannéér het diepste 25 punt van de groef 32 dat werd gevormd, ongeveer 250 μπι diep was.

Het afschermmasker 31 dat was gevormd op het substraat 30 werd opgelost en verwijderd, zoals is te 5 zien in figuur 10. Nadat het substraat 30 was afgewassen en vervolgens gedroogd, werd een laag chroom 20a van ongeveer 20 mm dikte en een laag koper 20b met een dikte van ongeveer 2 μπι in dikte, die alleen maar de onderliggende laag 20 vormden, aangebracht in deze volgorde over 10 het gehele oppervlak van het substraat 30 door middel van spatwerking.

Nadat een beschermend vel was gehecht aan het gehele oppervlak van het substraatoppervlak dat de onderliggende laag 20 draagt, wordt een masker met een groot 15 aantal openingen die iets groter zijn dan de openingen in de aansluitingen voor de verbinding met de buitenzijde 17, daarop aangebracht en blootgesteld aan licht, als afgebeeld in figuur 11. De beschermende gedeelten van de plaat die zo werden blootgesteld aan licht, worden opge-20 lost met behulp van een ontwikkelingsoplossing voor het vormen van een beschermend masker 33 met een aantal openingen 33a, die in register liggen met de groeven 32 in een substraat 30. De openingen 33a zijn iets groter van afmeting dan de groeven 32. Bij voorkeur is het bescher-25 mende masker 33 voldoende gedroogd en vervolgens gebakken door een verhitting tot op ongeveer 80°C ter verbetering van de hechting aan de onderliggende laag 20 en ter verbetering van de duurzaamheid.

Vervolgens, als afgebeeld in figuur 12, gezien 30 op een oppervlak van het substraat 30 vanaf de openingen 33a van het beschermend masker 33, dat wil zeggen, op een oppervlak van eèn substraat 30 gezien vanaf de groeven 32 die de onderliggende laag 20 dragen, worden dan de goudlaag 21 van ongeveer 50 μπι dikte en de koper laag 22 van 35 ongeveer 230 μπι dik, iets dikker dan de diepte van 250 μπι van de groef 32, achtereenvolgens aangebracht met behulp van een elektrolytische neerslagmethode.

26

Het beschermende masker 33 dat is gevormd op de onderliggende laag 20 van het substraat 30 wordt opgelost en verwijderd zoals is te zien in figuur 13. Het substraat 30 wordt dan afgespoeld en gedroogd. Het substraat 5 30 wordt dan vlak gemaakt door middel van polijsten tot op het vlak van het substraatoppervlak.

De naar buiten leidende geleider 18 wordt ingebed op de plaatsen in register met de respectievelijke schuiforganen 11 van het substraat 13. De spoel 16 van 10 de dunne film die is verbonden met de naar buiten leidende geleider 18 aan de binnenomtreksranden zijn gevormd als een dunne film. Deze spoel 16 met een dunne film vertoont een paar naar buiten leidende gedeelten 16a die voeren naar de zijde van de uitstromende lucht van de 15 schuiforganen 11, zoals in het voorgaande is beschreven, zodat de buitenste omtrekseinden en de naar buiten voerende geleider 18 naar buiten worden gevoerd via het uitvoergedeelte 16a naar de zijde van de schuiforganen 11 waar de lucht wordt toegevoerd. Op deze wijze wordt de 20 spoel 16 van de dunne film elektrisch verbonden met het goud 21 dat is aangebracht aan de binnenzijde van de groef 32 in het substraat 30 via het naar buiten leidende gedeelte 16a.

Het substraat 30 wordt dan doorgesneden in de 25 nabijheid van de groef 32 dat wil zeggen langs de zijdelingse wandgedeelten van de groef 32 voor het scheiden ervan in de betreffende schuiforganen 11. Het eindvlak van een schuiforgaan 11 dat op deze wijze is doorgesneden wordt dan afgeslepen totdat het goudgedeelte 21 wordt 30 vrijgemaakt zoals is afgebeeld in figuur 15. Hierdoor wordt de aansluiting voltooid voor het verbinden met de buitenzijde 17 die bestaat uit een elektrisch geleidend materiaal dat wordt aangebracht in het inwendige van de aansluitingsgroef 19.

35 Dat wil zeggen, deze aansluiting voor verbin ding met de buitenzijde 17 wordt zodanig gevormd dat deze een meelagige struktuur vertoont die bestaat uit de onderliggende laag 20 van het chroom 20a en het koper 27 20b, in deze volgorde, in het inwendige van de aanslui-tingsgroef 19 en het goud 21 en het koper 22, in deze volgorde, op de onderliggende laag 20 waarbij het goud 21 bloot komt te liggen aan de buitenzijde van het schuifor-5 gaan 11 vanaf het zijdelingse oppervlak 11b. Zo is het goudgedeelte 21 toegankelijk nabij het eind 17a van de aansluiting voor de verbinding met de buitenzijde 17.

Op het eind 17a van de aansluiting voor de verbinding met de buitenzijde 17 is een draad bevestigd 10 die eveneens bestaat uit goud door bijvoorbeeld het vastzetten van een draad. Dit maakt het mogelijk de stroom voor het opwekken van het magnetische veld toe te voeren aan de spoel 16 van de dunne films.

Ofschoon de aansluiting voor de verbinding met 15 de buitenzijde 17 een meerlagige struktuur vertoont die bestaat uit goud en andere metalen, is deze struktuur niet-beperkend. Bij voorbeeld kan een zodanige struktuur worden toegepast waarbij alleen goud 21 wordt aangebracht door middel van een elektrolytische bekleding op de 20 onderliggende laag 20 die wordt gevormd door het achtereenvolgens aanbrengen van lagen chroom 20a en koper 20b, als bijvoorbeeld afgebeeld in figuur 6.

Daar echter de bekledingssnelheid voor koper 22 ongeveer zes maal zo groot is als die van goud 21, is het 25 wenselijk de aansluiting voor de verbinding met de buitenzijde 17 te vormen door goud 21 en koper 22 achtereenvolgens neer te slaan op de onderliggende laag 20 zoals afgebeeld in figuur 5, waarbij het goud 21 is gekeerd naar de buitenzijde van het schuiforgaan 11 vanaf het 30 zijdelingse oppervlak 11b van het schuiforgaan 11.

Op deze wijze kan de bewerkingstijd aanzienlijk worden bekort in vergelijking met het geval waarbij alleen goud 21 wordt aangebracht op de onderliggende laag 20 als afgebeeld in figuur 6.

35 Wanneer de aansluiting voor de verbinding met de buitenzijde 17 wordt uitgevoerd met behulp van de hiervoor beschreven werkwijze, kan bovendien het goud 21 worden gevormd liggende tegenover de buitenzijde van het 28 schuiforgaan 11 vanaf het zijdelingse oppervlak 11b van het schuiforgaan 11. Dat wil zeggen, het goudgedeelte 21 kan gemakkelijk toegankelijk zijn vanaf het eind 17a van de aansluiting voor verbinding met de buitenzijde 17.

5 Door het aanbrengen van de optische lens 21, de optische vezel 14 en de polarisatiespiegel 15 op van tevoren bepaalde plaatsen van elk schuiforgaan 11 dat op deze wijze is klaargemaakt, wordt het mogelijk om de kopschuif 10 als afgebeeld in figuur 3, in massa te 10 vervaardigen.

Bij de hierboven beschreven kopschuif 10 wordt de aansluiting voor een verbinding met de buitenzijde 17 gevormd door het aanbrengen van elektrisch geleidende materialen in de aansluitingsgroef 19 die zodanig is 15 gevormd dat deze met de opening in het oppervlak 11a ligt en in het zijdelingse oppervlak 11b van het schuiforgaan 11, waarbij het oppervlak 11a ligt tegenover een oppervlak van de magnetisch-optische schijf 4. De aansluiting voor de verbinding met de bovenzijde 17 wordt elektrisch 20 verbonden aan de dunne filmspoel 16 via het naar buiten leidende gedeelte 16a, waarbij het eind 17a van de aansluiting voor de verbinding met de buitenzijde 17 ligt tegenover de buitenzijde van het schuiforgaan 11 vanaf het zijdelingse oppervlak van het schuiforgaan 11.

25 In dit geval, is de groef 32 die wordt gevormd in het substraat 30 beter reproduceerbaar dan wanneer het schuiforgaan 102 wordt geboord met gebruikmaking van een diamantboor of een inrichting voor het ultrasoon bewerken, met het gevolg, dat de aansluitingsgroef 19 zeer 30 nauwkeurig kan worden vervaardigd in het schuiforgaan 11.

Door het vervaardigen van de kopschuif 10 met behulp van de hiervoor beschreven werkwijze, kan de kopschuif 10, die tot zeer kleine afmetingen is teruggebracht, zeer nauwkeurig worden vervaardigd met behulp van 35 een eenvoudige werkwijze. Daar deze fabricagemethode het mogelijk maakt om kopschuiven 10 van een stabiele kwaliteit te vervaardigen in een massabewerking in grote 29 hoeveelheden kan bovendien de vervaardiging aanzienlijk goedkoper plaatsvinden.

Wanneer de kopschuif 10 met behulp van de hiervoor beschreven werkwijze is vervaardigd, kunnen zo 5 kopschuiven 10 van zeer kleine afmetingen zeer nauwkeurig worden vervaardigd met behulp van een eenvoudige werkwij-ze. Daar de kopschuiven 10 een stabiele kwaliteit vertonen, kan bovendien de vervaardiging in massa plaatsvinden in grote hoeveelheden, waarbij de produktiekosten ver-10 laagd kunnen worden.

De onderhavige uitvinding kan worden toegepast bij een inrichting voor het opnemen en/of weergeven van i signalen door gebruik te maken van licht binnen een klein veld, het zogenaamde opnemen, met een nabij gelegen veld, 15 wanneer de kopschuif zwevend ligt op een kleine afstand van het het signaal opnemende oppervlak van de magne-tisch-optische schijf.

Bij de werkwijze van het doorsnijden van het substraat 30 in de betreffende schuiforganen 11 door te 20 snijden in de nabijheid van de groef 32, als afgebeeld in figuur 60, kan een dergelijke deling worden uitgevoerd bij het goudgedeelte 21, in welk geval het goudgedeelte 21 bloot komt te liggen zonder slijpen, na het voltooien van het doorsnijden, als afgebeeld in figuur 17. Hiermee 25 wordt de aansluiting voor de verbinding met de buitenzijde 17 verkregen waarbij het elektrische geleidende materiaal wordt aangebracht in het inwendige van de aanslui-tingsgroef 19, zoals afgebeeld in figuur 5.

Er kan hier worden opgemerkt dat de onderhavige 30 uitvinding kan worden toegepast op andere inrichtingen dan die welke hier bij wijze van voorbeeld zijn beschreven. De onderhavige uitvinding kan bijvoorbeeld worden toegepast op een inrichting voor het opnemen en/of weergeven van signalen met gebruikmaking van een nabij gele-35 gen lichtveld, wanneer de kopschuif zweeft op een kleine afstand boven het signaal-opneemoppervlak van de magnetisch optische schijf.

1 031 444

Claims

1. Werkwijze voor het vervaardigen van een schuif voor een optische kop die omvat een schuiforgaan, dat kan 5 zweven en bewegen over een opneemmedium tijdens het opnemen en/of weergeven van gegevenssignalen voor het opneemmedium, een optische lens die is bevestigd aan het schuiforgaan, een inrichting voor het opwekken van een magnetisch veld, die is aangebracht op het oppervlak van het schuiforgaan, dat de 10 optische lens draagt, en dat ligt tegenover het opneemmedium, welke werkwijze omvat: - een eerste stap van het vormen van een groef met een grondoppervlak dat in de richting van de diepte helt door middel van spuiten met een straal die bestaat uit een 15 polijstmiddel dat is gedispergeerd in een samengeperst gas op een substraat dat het schuiforgaan vormt; - een tweede stap voor het opladen van elektrisch geleidend materiaal, die een aansluitklem verschaft die elektrisch is aangesloten op de magnetische veldopwekmiddelen 20 aan de binnenzijde van de groef die gevormd is in het substraat, waarbij een aantal metalen materialen tenminste omvattende goud, worden opgeladen als de metalen materialen achtereenvolgens in lagen worden aangebracht; en - een derde stap van het snijden van het substraat in 25 de nabijheid van een eind van de groef voor het vormen van een aantal individuele glijorganen waarbij het substraat in de nabijheid van het einde van de groef in afzonderlijke glijorganen wordt gesneden, en waarbij het doorsnede oppervlak van het gesneden glijorgaan wordt gepolijst totdat 30 het gouden gedeelte wordt blootgelegd. 1031444 f m

2. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij in de eerste stap de straal die wordt gevormd door het polijstmiddel dat is gedispergeerd in het samengeperste gas, wordt gespoten onder een hoek van 10* tot 30* op het 5 oppervlak van het substraat.

3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2 waarbij in de tweede stap een elektrisch geleidend materiaal wordt aangebracht door middel van een werkwijze voor het bekleden 10 van de binnenzijde van een groef die is gevormd in het substraat.

4. Werkwijze voor het vervaardigen van een schuif voor een optische kop volgens een of meer van de conclusies 15 1, 2 of 3, waarbij in de tweede stap een aantal metalen materialen, tenminste met inbegrip van goud, worden aangebracht waarbij de metalen materialen achtereenvolgens laagvormig worden aangebracht. in de derde stap het substraat wordt doorgesneden in 20 de nabijheid van het eind van de groef in afzonderlijke schuiforganen; en waarbij het doorsnede-oppervlak van het schuiforgaan dat is doorgesneden wordt geslepen totdat het gouden gedeelte bloot komt te liggen. 25 1031444