KR100746571B1 - 광학 헤드용 슬라이더와 그 제조 방법 및 기록 및/또는재생 장치 - Google Patents

광학 헤드용 슬라이더와 그 제조 방법 및 기록 및/또는재생 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 소형화된 경우에도 기록 매체 상에 또는 기록 매체로부터 최적의 신호 기록 및/또는 재생을 보장하며, 용이하게 제조할 수 있는 기록 매체 상에 또는 기록 매체로부터 신호를 기록 및/또는 재생하는 광학 헤드용 슬라이더이다. 본 발명의 광학 헤드용 슬라이더는 기록 매체에 대해 정보 신호를 기록 및/또는 재생하는 동안 상기 기록 매체 위를 부상하여 주행하는 슬라이더 부재, 상기 슬라이더 부재에 접합된 광학 렌즈 및 상기 광학 렌즈가 설치된 슬라이더 부재의 상기 기록 매체와 대향하는 면에 설치되는 자계 발생 유니트를 포함한다. 상기 슬라이더 부재는 상기 기록 매체와 대향하는 면 및 측면에서 개방되는 단자 홈(terminal groove)을 갖도록 형성되며, 상기 단자 홈 내에 도전성 재료가 충진(充塡)된다. 상기 충진된 도전성 재료는 상기 자계 발생 유니트와 전기적으로 접속되는 단자(terminal)를 형성한다. 상기 단자의 한쪽 단부(一端)는 상기 슬라이더 부재의 측면에서 상기 슬라이더 부재의 외부로 향한다.
광헤드, 슬라이더, 기록매체, 슬라이더부재, 광학렌즈, 자계발생수단, 단자홈

Description

광학 헤드용 슬라이더와 그 제조 방법 및 기록 및/또는 재생 장치 {SLIDER FOR OPTICAL HEAD, METHOD FOR PREPARATION THEREOF AND RECORDING AND/OR REPRODUCING APPARATUS}
도 1은 종래의 광학 헤드용 슬라이더의 구조를 도시한 종 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 전형적인 광 디스크 장치를 나타낸 개략 사시도이다.
도 3은 광 디스크 장치에 설치된 헤드 슬라이더의 구조를 나타낸 종 단면도이다.
도 4는 헤드 슬라이더를 형성하는 슬라이더 부재를 나타내며, (A)는 광자기 디스크와 대향하는 슬라이더 부재의 표면에서 본 개략 평면도이고, (B)는 광자기 디스크의 회전에 의해 발생하는 공기 흐름(air stream)의 공기 유출 쪽(air effluent side)을 향하는 슬라이더 부재의 단부에서 본 개략 측면도이다.
도 5는 전형적인 외부 접속용 단자를 나타내는 개략 단면도이다.
도 6은 다른 전형적인 외부 접속용 단자를 나타내는 개략 단면도이다.
도 7은 외부 접속용 단자를 형성하는 공정을 나타낸 것으로, 기판 상에 레지스트 마스크를 형성한 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 외부 접속용 단자를 형성하는 공정을 나타낸 것으로, 기판에서 깊이 방향으로 경사진 저면을 갖는 홈을 형성한 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 파우더 빔 가공 장치(powder beam machining device)의 구조를 도시한 단면도이다.
도 10은 외부 접속용 단자를 형성하는 공정을 나타낸 것으로, 홈을 갖는 기판 상에 바탕층(underlying layer)을 형성한 상태를 나타내는 도면이다.
도 11은 외부 접속용 단자를 형성하는 공정을 나타낸 것으로, 바탕층이 형성된 기판 상에 레지스트 마스크를 형성한 상태를 나타내는 개략 단면도이다.
도 12는 외부 접속용 단자를 형성하는 공정을 나타낸 것으로, 전기 도금법으로 금과 구리를 순차 적층한 상태를 나타내는 개략 단면도이다.
도 13은 외부 접속용 단자를 형성하는 공정을 나타낸 것으로, 기판 표면을 연마한 상태를 나타내는 개략 단면도이다.
도 14는 외부 접속용 단자를 형성하는 공정을 나타낸 것으로, 기판을 자른 상태를 보다 상세하게 나타낸 개략 단면도이다.
도 15는 외부 접속용 단자를 형성하는 공정을 나타낸 것으로, 다른 형태로 기판을 자른 상태를 나타낸 확대 개략 단면도이다.]
도 16은 외부 접속용 단자를 형성하는 공정을 나타낸 것으로, 또다른 형태로 기판을 자른 상태를 나타낸 개략 단면도이다.
도 17은 외부 접속용 단자를 형성하는 공정을 나타낸 것으로, 또다른 형태로 기판을 자른 상태를 나타낸 확대 개략 단면도이다.
본 발명은 광 디스크(optical disc)와 같은 기록 매체(recording medium) 상에 또는 기록 매체로부터 신호를 기록 및/또는 재생하는 광학 기록 헤드용 슬라이더 부재와 그 제조 방법 및 상기 광학 헤드용 슬라이더를 채용한 광학 헤드로 기록 매체 상에 또는 기록 매체로부터 신호를 기록 및/또는 재생하는 기록 및/또는 재생 장치에 관한 것이다.
광자기(magneto-optical disc) 디스크 또는 위상 변화 디스크(phase-change disc)와 같이 신호 기록면에 광을 조사하여 신호를 기록 및/또는 재생하는 광 디스크가 현재 널리 사용되고 있다. 이러한 광 디스크에서, 기록 가능한 정보량을 최대한 증가시킬 목적으로 광 디스크의 신호 기록면 상에 조사하는 광 스폿(light spot)의 직경을 감소시킴으로써 기록 밀도를 증가시키는 시도가 행해지고 있다.
상기한 광 디스크의 기록 밀도 증가와 더불어, 광 디스크 상에 또는 광 디스크로부터 신호를 기록 및/또는 재생하도록 구성된 광 픽업(optical pickup)에서 기록 밀도를 증가시키기 위하여 광 디스크의 신호 기록면 상에 조사하는 광 스폿의 직경을 감소시키는 시도가 또한 행해지고 있다.
최근, 광학 렌즈를 구비한 광학 헤드용 슬라이더 부재(slider member)를, 예를 들면 하드 디스크 장치에서의 부상 헤드 슬라이더 기술을 이용하고, 슬라이더 부재가 신호 기록면 위를 소정량 부상되면서 이 슬라이더 부재 상에 탑재된 광학 렌즈로 광을 수집하여 광 디스크의 신호 기록면 상에 조사하여 신호를 기록 및/또는 재생하도록 구성하는 것이 제안되어 있다.
광 디스크 장치에 이러한 광학 헤드용 슬라이더 부재를 사용하는 경우, 광학 헤드용 슬라이더 부재가 제공되지 않는 광학 헤드에서 광 디스크의 신호 기록면에 광을 조사할 때와 비교하여 광학 렌즈와 광학 디스크의 신호 기록면 사이의 거리를 상당히 줄일 수 있다. 이것은 고(high) NA 렌즈를 사용할 수 있게 하여 광 디스크의 신호 기록면 상에 조사되는 광 스폿의 직경을 줄일 수 있도록 한다.
이러한 광 디스크 장치에 광자기 디스크를 사용하는 경우, 광자기 디스크에 자계를 인가하기 위한 자계 발생 수단(magnetic filed generating means)이 필요하다.
이 자계 발생 수단은 상기 광학 헤드용 슬라이더 부재와 별개로 제공될 수 있다. 그러나 광 디스크 장치의 소형화 또는 구조의 단순화를 위하여 자계 발생 수단은 광학 헤드용 슬라이더 부재와 일체로 제공되는 것이 바람직하다. 이 경우에, 자계 발생 수단은 예를 들면 광자기 디스크와 대향하는 슬라이더 부재의 표면에 내장되고, 레이저 빔의 초점(focal point)을 둘러싸도록 탑재된 박막 코일(thin film coil)로 형성된다.
도 1은 광학 헤드용 슬라이더의 전형적인 구조를 나타낸다. 도 1에 나타낸 바와 같이 광학 헤드용 슬라이더(100)는 광자기 디스크(101) 상에 또는 광자기 디스크(101)로부터 신호를 기록 및/또는 재생하는 동안에 광자기 디스크(101) 위를 부상하여 주행하는 슬라이더 부재(102)와 이 슬라이더 부재(102)에 결합된 광학 렌즈(103)를 포함한다. 광 섬유(104)와 편광 거울(polarizing mirror)(105)는 슬라이더 부재(102)에 내장된다. 광 섬유(104)가 도파하는 광 빔(L)은 편광 거울(105) 를 통해 입사되어 광학 렌즈(103)에 의해 집광된다. 광학 렌즈(103)에 의해 집광된 레이저 빔(L)은 광자기 디스크(101)의 신호 기록층(101a)에 조사된다.
이 슬라이더 부재(102)는 기록 시에 광자기 디스크(101)에 자계를 인가하는 박막 코일(106)과 이 박막 코일(106)과 전기적으로 접속되는 단자(107)를 포함한다. 박막 코일(106)은 광자기 디스크(101)와 대향하는 슬라이더 부재(102)의 표면에 광학 렌즈(103) 주위를 코일로 감아 형성된다. 한편, 단자(107)는 박막 코일(106)에 접촉하는 위치까지 슬라이더 부재(102)의 두께 방향을 따라 뚫린 관통공(through-hole)에 전도성 재료를 충진시켜 형성된다. 슬라이더 부재(102)는 광 디스크 장치 내에 설치된 지지 암(supporting arm, 109)의 선단부(distal end)에 탑재되어 디스크가 회전 주행될 때 광자기 디스크(101)를 주사한다. 또한 슬라이더 부재(102)는 상기 지지 암(109)이 회전할 때 광자기 디스크(101)의 반경 반향을 따라 움직인다.
상술한 광학 헤드용 슬라이더(100)는 광자기 디스크(101)의 회전에 의해 발생하는 공기 흐름을 받아서 광자기 디스크(101) 위를 소정량만큼 부상된다. 이렇게 부상된 광학 헤드용 슬라이더(100)는 슬라이더 부재(102)에 탑재된 광학 렌즈(103)가 집광한 레이저 빔(L)을 광자기 디스크(101)의 신호 기록층(101a) 상에 조사한다.
기록 하는 동안, 박막 코일(106)은 소정 강도의 자계를 발생시킨다. 이 자계는 광자기 디스크(101)의 신호 기록층(101a)의 레이저 빔(L)이 조사되는 위치에 인가된다.
한편, 이 광학 헤드용 슬라이더(100)에, 상기한 박막 코일(106)과 접촉하는 위치까지 슬라이더 부재(102)의 두께 방향을 따라 관통공(through hole, 108)을 뚫고, 이 관통공(108) 내부를 도전성 물질로 충진하여 상기 박막 코일(106)과 전기적으로 접속하는 단자(107)를 형성한다.
그러나, 광학 헤드용 슬라이더(100)의 소형화가 진행됨에 따라 광 섬유(104)나 편광 거울(105)과 같은 슬라이더 부재(102)에 내장되는 광학 소자의 다양성 때문에, 이 슬라이더 부재(102) 내에 상술한 단자(107)를 매설하기 위한 관통공(108)을 형성하는 것이 점차 어려워진다.
또한, 관통공을 형성할 때는 슬라이더 부재(102)를 다이몬드 드릴(diamond drill) 또는 초음파 가공 장치(ultrasonic machining device)를 사용하여 천공한다. 그러나 이것은 매우 정밀한 작업을 요구하기 때문에 형성된 관통홀(108)에 치핑(chipping)이라고 불리는 흠(defects)이 발생하거나 이따금 슬라이더 부재(102)의 소정 위치에 관통공(108)을 고 정밀도로 형성할 수 없는 경우도 있다.
그러므로 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 광학 헤드용 슬라이더를 소형화하는 경우에도 기록 매체 상에 또는 기록 매체로부터 신호의 기록 및/또는 재생을 적절히 행할 수 있고, 제조가 용이하고 동작 신뢰성이 높은 광학 헤드용 슬라이더를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 고 정밀도로 용이하게 광학 헤드용 슬라이더를 제작할 수 있는 광학 헤드용 슬라이더 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 상기한 광학 헤드용 슬라이더를 사용한 광학 헤드를 구비한 기록 및/또는 재생 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 한 특징은 기록 매체에 대해 정보 신호를 기록 및/또는 재생하는 동안 상기 기록 매체 상을 부상하여 주행하는 슬라이더 부재, 상기 슬라이더 부재에 접합된 광학 렌즈 및 상기 광학 렌즈를 구비한 상기 슬라이더 부재의 상기 기록 매체와 대향하는 면에 설치되는 자계 발생 수단을 포함하는 광학 헤드용 슬라이더를 제공하는 것이다. 상기 슬라이더 부재는 상기 기록 매체와 대향하는 표면 및 측면에서 개방되는 단자 홈을 갖도록 형성되며, 상기 단자 홈 내에 도전성 재료가 충진(充塡)된다. 상기 충진된 도전성 재료는 상기 자계 발생 수단과 전기적으로 접속되는 단자를 형성하며, 상기 단자의 한쪽 단부(一端)는 상기 슬라이더 부재의 측면에서 상기 슬라이더 부재의 외부로 향한다.
이 광학 헤드용 슬라이더에서, 자계 발생 수단과 전기적으로 접속되는 단자는 기록 매체와 대향하는 슬라이더 부재의 표면 및 측면에서 개방되는 단자 홈의 내부에 도전성 재료를 충진하여 형성되고, 이 단자의 한쪽 단부가 슬라이더 부재의 외부로 향하도록 하여 슬라이더의 소형화를 실현하는 동시에 제조가 용이하도록 한다.
본 발명의 다른 특징은 기록 매체에 대해 정보 신호를 기록 및/또는 재생하는 동안 상기 기록 매체 상을 부상하여 주행하는 슬라이더 부재, 상기 슬라이더 부재에 접합된 광학 렌즈 및 상기 광학 렌즈를 구비한 슬라이더 부재의 상기 기록 매 체와 대향하는 면에 설치되는 자계 발생 수단을 포함하는 광학 헤드용 슬라이더의 제조 방법으로서, 상기 슬라이더 부재가 되는 기판 상에 연마재(polishing agent)를 압축가스 속에 분산시킨 분사물(jet)을 분사하여 깊이 방향으로 경사진 저면(bottom surface)을 갖는 홈을 형성하는 제1 단계, 상기 기판에 형성된 홈의 내부에 상기 자계 발생 수단에 전기적으로 접속되는 단자가 되는 도전성 재료를 충진하는 제2 단계 및 복수의 개별 슬라이더 부재를 형성하도록 상기 홈의 단부 부근에서 상기 기판을 자르는 제3 단계를 포함하는 광학 헤드용 슬라이더의 제조 방법을 제공하는 것이다.
이 광학 헤드용 슬라이더의 제조 방법에서, 상기 단자 홈을 기록 매체와 대향하는 슬라이더 부재의 표면 및 그 측면에서 개방되도록 슬라이더 부재에 형성하고, 이 단자 홈에 도전성 재료를 충진함으로써 각각 자계 발생 수단과 전기적으로 접속되고 한쪽 단부가 슬라이더 부재의 측면에서 외부를 향하는 단자들을 갖는 다수의 광 헤드용 슬라이더를 한꺼번에 대량으로 제조할 수 있다.
즉, 상술한 공정으로 광학 헤드용 슬라이더를 제조하는 경우, 안정된 품질을 갖는 소형화된 광학 헤드용 슬라이더를 한꺼번에 대량으로 제조할 수 있으므로 제조 비용을 줄일 수 있다.
본 발명의 추가적인 특징은 기록 매체 상에 또는 기록 매체로부터 신호를 기록 및/또는 재생하는 광학 헤드를 구비한 기록 및/또는 재생 장치를 제공하는 것으로, 상기 광학 헤드가 회전 주행되는 상기 기록 매체 상을 주사(走査)하는 헤드 슬라이더와 상기 헤드 슬라이더를 지지하는 지지 암을 가지며, 상기 헤드 슬라이더가 기록 매체 상에 또는 기록 매체로부터 신호를 기록 및/또는 재생하는 동안 상기 기록 매체 위를 부상하여 주행하는 슬라이더 부재, 상기 슬라이더 부재에 접합된 광학 렌즈 및 상기 광학 렌즈를 구비한 슬라이더 부재의 상기 기록 매체와 대향하는 면에 설치되는 자계 발생 수단을 포함한다. 상기 슬라이더 부재는 상기 기록 매체와 대향하는 면 및 측면에서 개방되는 단자 홈을 갖도록 형성되며, 상기 단자 홈 내에 도전성 재료가 충진된다. 상기 충진된 도전성 재료는 상기 자계 발생 수단과 전기적으로 접속되는 단자를 형성하며, 상기 단자의 한쪽 단부가 상기 슬라이더 부재의 측면에서 상기 슬라이더 부재의 외부로 향한다.
이 기록 및/또는 재생 장치가 기록 매체와 대향하는 슬라이더 부재의 표면 및 슬라이더 부재의 측면에서 단자 홈을 갖도록 형성되는 헤드 슬라이더를 포함하고, 이 단자 홈에 도전성 재료를 충진하여 전기적으로 상기 자계 발생 수단과 접속되고 그 한쪽 단부는 상기 슬라이더 부재의 측면에서 슬라이더 부재의 외부로 향하는 단자를 형성하기 때문에, 헤드 슬라이더가 소형화된 경우에도 기록 매체에 대한 신호 기록 및/또는 재생을 충분히 실현할 수 있다.
앞서 기술한 바와 같이 본 발명에 따른 광학 헤드용 슬라이더에서는, 자계 발생 수단과 전기적으로 접속되는 단자는 기록 매체와 대향하는 슬라이더 부재의 표면 및 슬라이더 부재의 측면에서 개방되는 단자 홈에 도전성 재료를 충진하여 형성되고, 그 한쪽 단부가 슬라이더 부재의 측면에서 슬라이더 부재의 외부로 향하므로 제조 및 소형화가 용이한 구조를 제공한다.
본 발명의 광학 헤드용 슬라이더 제조 방법에 따르면, 기록 매체와 대향하는 슬라이더 부재의 표면 및 슬라이더 부재의 측면에서 개방되는 단자 홈을 형성하고, 이 단자 홈 내에 도전성 재료를 충진하여 자계 발생 수단과 전기적으로 접속되고 한쪽 단부가 슬라이더 부재의 측면에서 슬라이더 외부로 향하는 단자들을 구비하는 다수의 광학 헤드용 슬라이더를 한꺼번에 제조할 수 있다.
즉, 상술한 작업 단계를 이용하여 광학 헤드용 슬라이더를 준비함으로써 간단한 방법으로 소형화된 광학 헤드용 슬라이더를 고 정밀도로 제조할 수 있다. 또한 이 제조 방법으로 안정된 품질을 갖는 광학 헤드용 슬라이더를 한꺼번에 대량으로 제조할 수 있으므로 제조 비용을 줄일 수 있다.
또한, 본 발명에 다른 기록 및/또는 재생 장치에서, 단자 홈을 기록 매체와 대향하는 슬라이더 부재의 표면 및 슬라이더 부재의 측면에서 개방되도록 슬라이더 부재에 형성하고, 이 단자 홈에 도전성 재료를 충진하여 헤드 슬라이더를 자계 발생 수단과 전기적으로 접속하며 그 한쪽 단부가 슬라이더 부재의 측면에서 슬라이더 부재의 외부로 향하는 단자를 구비하게 되므로, 슬라이더 부재가 소형화되는 경우에도 기록 매체 상에 또는 기록 매체로부터 신호를 기록 및/또는 재생할 수 있다.
상술한 본 발명에 따른 광학 헤드용 슬라이더에서, 자계 발생 수단과 전기적으로 접속되는 단자는 그 한쪽 단부가 슬라이더 부재의 외부로 향하도록 기록 매체와 대향하는 슬라이더의 표면 및 그 측면에서 개방되는 단자 홈에 도전성 재료를 충진하여 형성되므로 슬라이더의 용이한 제조와 소형화를 보장한다.
또한, 본 발명에 따른 광학 헤드용 슬라이더 제조 방법에서, 단자 홈이 기록 매체와 대향하는 슬라이더의 표면 및 그 측면에 형성되고, 이 단자 홈에 도전성 재료를 충진하여 자계 발생 수단과 전기적으로 접속되고 한쪽 단부가 슬라이더 부재의 측면에서 슬라이더 부재의 외부로 향하는 단자들을 갖는 복수의 광학 헤드용 슬라이더를 한꺼번에 대량으로 제조할 수 있다.
실시예
본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 광 디스크 장치의 실시예를 나타낸다. 도 2에 나타낸 광 디스크(1)는 예를 들면 개인용 컴퓨터에서 저장 장치로 사용되는 하드 디스크 장치 기술을 응용한 것을 나타낸 것이다. 케이싱(2) 내에 설치된 스핀들 모터(spinder morder, 3)는 신호를 기록 및/또는 재생하는 광자기 디스크(4)를 탑재하고, 클램퍼(clamper, 5)로 고정된다. 광자기 디스크(4)는 제어회로(도시 안됨)에 의해 구동이 제어되는 스핀들 모터(3)의 회전에 따라 소정 회전수(rpm)로 회전 주행된다.
케이싱(2) 내에, 하드 디스크 장치로 사용되는 자기 헤드 장치 대신에 광학 헤드 장치(6)가 탑재되어 있다. 이 광학 헤드 장치(6)는 스핀들 모터(3)에 의해 회전 주행되는 광자기 디스크(4) 상에 또는 광자기 디스크(4)로부터 신호를 기록 및/또는 재생한다. 이 광학 헤드 장치(6)는 스핀들 모터(3)에 의해 회전 구동되는 암(arm)(8), 암(8)과 일체로 형성되는 헤드 지지 스프링(9) 및 헤드 지지 스프링(9)의 선단부(distal end)에 탑재되는 헤드 슬라이더(10)를 포함한다.
보이스 코일 모터(voice coil moter, 7)는 암(arm, 8)에 탑재되는 보이스 코 일과 이 보이스 코일 사이에 끼워지도록 배치된 한쌍의 자성으로 구성된다. 이 보이스 코일 모터(7)에서, 외부로부터 도시되지 않은 보이스 코일로 전류가 공급되어 보이스 코일과 자석의 자계를 통해 흐르는 전류에 의해 구동력이 발생하여 암(8)과 헤드 지지 스프링(head supportimg spring, 9)이 피벗(pivot, 8a)을 중심으로 도 2의 화살표 X가 가리키는 방향으로 회전 주행된다.
이 광학 헤드 장치(6)에서, 암(8)과 헤드 지지 스프링(9)은 보이스 코일 모터(7)의 구동에 의해 회전 주행되므로, 헤드 지지 스프링(9)의 선단부에 탑재된 헤드 슬라이더(10)는 스핀들 모터에 의해 회전 주행되는 광자기 디스크(4)의 반경 방향을 따라 움직인다. 헤드 지지 스프링(9)의 선단부에 탑재된 헤드 슬라이더(10)는 광자기 디스크(4)의 회전에 따라 발생되는 공기 흐름을 받아서 광자기 디스크(4) 위를 소정의 부상량으로 부상되면서 광자기 디스크(4)를 주사한다.
도 3은 광학 헤드 장치(6)에 설치된 헤드 슬라이더(10)의 실시예를 나타낸다.
본 실시예의 헤드 슬라이더(10)는 본 발명에 따른 광학 헤드용으로 설계되고, 광자기 디스크(4) 상에 또는 광자기 디스크(4)로부터 신호를 기록 및/또는 재생하는 동안에 광자기 디스크(4)의 신호 기록면 위를 부상하여 주행하는 슬라이더 부재(11)와 이 슬라이더 부재(11)에 접합된 광학 렌즈(12)를 포함한다.
슬라이더 부재(11)는 알틱(Altic, Al2O3-Tic)과 같은 재료로 대략 직사각형 형상으로 성형되고, 광자기 디스크(4)와 대향하는 헤드 지지 스프링(9)의 선단부에 지지된다. 슬라이더 부재(11)는 광자기 디스크(4)와 대향하는 표면(11a)에 광자기 디스크(4)의 회전에 따라 발생되는 공기 흐름으로 부양력(force of float)을 발생시키키 위한 공기 윤활면(air lubricating surface)을 갖는다. 공기 윤활면의 형상은 특별히 한정되지 않으며, 적당한 임의의 형상으로 설계할 수 있다.
이 슬라이더 부재(11)는 그 두께 방향으로 연장되는 관통공(13)을 포함한다. 이 관통공(13)은 광학 렌즈(12)의 외부 직경과 거의 동일한 직경을 갖는다.
광학 렌즈(12)는 광자기 디스크(4) 상에 또는 광자기 디스크(4)로부터 신호를 기록 및/또는 재생하는 동안 광자기 디스크(4)의 신호 기록면에 형성된 신호 기록층(4a)에 조사하는 레이저 빔(L)을 집광한다. 광학 렌즈(12)는 광학 유리 또는 광학 플라스틱과 같이 레이저 빔(L)의 파장 영역에서 광 투과율(light trnasmittance)이 충분히 높고 굴절률(refractive index)이 높은 재료를 이용하여 대략 반구 형상으로 형성된다. 이 광학 렌즈(12)는 슬라이더 부재(11)와 일체로 접합되도록 그 측면의 일부를 접착면으로 하여 슬라이더 부재(11)에 형성된 관통공(13)의 벽 주변부에 접착된다.
슬라이더 부재(11)는 또한 광학 헤드 장치(6) 내에 설치된 도시하지 않은 반도체 레이저로부터 방출되는 레이저 빔(L)을 광학 렌즈(12)로 유도하기 위한 광 섬유(14) 및 편광 거울(15)을 내장한다. 광 섬유(14)는 그 한쪽 단부가 슬라이더 부재(11)의 측면에서 관통공(13)의 내부로 돌출된다. 편광 거울(15)은 슬라이더 부재(11)의 관통공(13) 내에, 광섬유(14)와 광학 렌즈(12) 사이의 광로 중에 위치한다.
따라서, 이 헤드 슬라이더(10)에서, 광섬유(14)가 유도하는 레이저 빔(L)은 편광 거울(15)을 통해 광학 렌즈(12)로 입사되고 집광되어 광자기 디스크(4)의 신호 기록면(4a) 상에 조사된다.
또한 슬라이더 부재(11)는 도 3, 도 4에 나타낸 바와 같이 기록 시에 광자기 디스크(4)에 자계를 인가하기 위한 박막 코일(16)과 이 박막 코일(16)과 전기적으로 접속되며 외부 접속용 단자들(17)을 구비한다. 한편, 도 4의 (A)는 광자기 디스크(4)와 대향하는 슬라이더 부재(11)의 면(11a)에서 본 개략 평면도이고, 도 4의 (B)는 슬라이더 부재(11)의 광자기 디스크(4)의 회전으로 발생되는 공기 흐름의 유출 쪽의 단부에서 본 개략 단면도이다. 박막 코일(16)은 슬라이더 부재(11)의 광자기 디스크(4)와 대향하는 면(11a)에서 광학 렌즈(12)의 주위를 감싸는 박막으로 형성된다. 박막 코일(16)은 그 내주쪽 단부(inner rim side end)가 인출 도선(lead-out conductor, 자계)을 통해 외주쪽(outer rim side)으로 도출(導出)되고, 인출 도선(18)과 슬라이더 부재(11)의 공기 흐름이 유출되는 쪽으로 향하는 박막 코일(16)의 외주쪽 단부를 도출하기 위한 도출부(lead-out portion, 16a)를 포함한다. 도출부(16a)는 외부 접속용 단자들(17)과 접속된다.
외부 접속용 단자들(17)은 도출부(16a)를 통해 박막 코일(16)과 전기적으로 접속되고, 그 단부(17a)가 슬라이더 부재(11)의 측면(11b)에서 슬라이더 부재(11)의 외부로 향하도록 형성된다. 즉 외부 접속용 단자(17)는 광자기 디스크(4)와 대향하는 면(11a) 및 측면(11b)에서 개방되도록 슬라이더 부재(11)에 형성된 단자 홈(19)의 내부에 도전성 재료를 충진하여 형성된다. 단자 홈(19)은 그 저면이 슬 라이더 부재(11)의 광자기 디스크(4)에 대향하는 면(11a)에서 측면(11)을 향해 깊어 지도록 경사진다.
외부 접속용 단자(17)의 구조를 보다 상세하게 나타낸 도 5를 참조하면, 단자 홈(19) 내부에 바탕층(underlying layer, 20)으로 둘 다 도전성 재료인 크롬(20a)과 구리(20b)가 순차 증착된다. 이 바탕층(20) 상에 금(21)을 슬라이더 부재(11)의 측면(11b)에서 슬라이더 부재의 외부를 향하여 증착되어, 도전성 재료들인 금(21)과 구리(22)가 순차 증착된 다층 구조(multi-layer structure)를 형성한다. 즉, 외부 접속용 단자(17)의 금(21)으로 형성된 일부는 외부 접속용 단자(17)의 한쪽 단부(17a)에서 노출된다. 외부 접속용 단자(17)의 단부(17a)에는 예를 들면 와이어 본딩(wire bonding)에 의해 마찬가지로 금으로 이루어지는 도선(wire)이 접속되고, 이에 따라 박막 코일(16)에 자계를 발생시키기 위한 전류가 외부에서 공급될 수 있다.
비록 외부 접속용 단자(17)는 금속 및 다른 금속들로 이루어지는 다층 구조를 갖지만, 본 발명은 이러한 구조로 반드시 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도 6에 나타낸 바와 같이 크롬(20a)과 구리(20b)가 순차 적층되어 형성된 바탕층(20) 상에 금만을 증착한 구조를 사용할 수도 있다.
헤드 슬라이더(10)에, 박막 코일(16)과 외부 접속용 단자들(17)을 보호하기 위하여 박막 코일(16) 및 외부 접속용 단자들(17)의 표면에 보호막을 형성할 수도 있다.
상기한 바와 같이 구성된 헤드 슬라이더(10)는 광자기 디스크(4)의 회전으로 발생된 공기 흐름의 받아서 광자기 디스크(4)의 신호 기록면 위를 소정의 부상량으로 부상한다. 이 상태에서, 슬라이더 부재(11)에 탑재된 광학 렌즈(12)에 의해 집광된 레이저 빔(L)이 광자기 디스크(4) 상에 또는 광자기 디스크(4)로부터 신호를 기록 및/또는 재생하기 위하여 광자기 디스크(4)의 신호 기록면(4a)에 조사된다. 기록하는 동안에, 박막 코일(16)이 발생시킨 소정 강도의 자계가 레이저 빔(l)이 조사된 광자기 디스크(4)의 신호 기록층(4a)의 위치에 인가된다.
이 헤드 슬라이더(10)에서, 외부 접속용 단자(17)와 박막 코일(16)이 도출부(16a)를 통해 서로 접속하도록 슬라이더 부재(11)에 광자기 디스크(4)와 대향하는 면(11a) 및 측면(11b)에서 개방되도록 형성된 단자 홈(19)의 내부에 도전성 재료가 충진되고, 그 단부(17a)는 슬라이더 부재(11)의 측면을 통해 슬라이더 부재(11)의 외부로 향한다.
이 때문에 본 실시예의 헤드 슬라이더(10)에서는, 종래의 장치에서와 같이 슬라이더(102) 내에 단자(107)를 매설하기 위한 관통공(108)을 형성할 필요가 없고, 관통공(108)이 광섬유(104) 또는 편광 거울(105)과 같은 광학 소자와 상충하는 문제를 피할 수 있다. 또한, 예를 들어 상술한 다이아몬드 드릴 또는 초음파 가공 기를 사용하여 슬라이더 부재(102)에 구명을 뚫을 필요가 없다.
따라서, 상술한 바와 같이 구성되는 헤드 슬라이더(10)는 제조가 용이하고 소형화될 수 있다. 즉, 본 실시예의 헤드 슬라이더에서는 광자기 디스크 상에 또는 광자기 디스크로부터 신호의 기록 및/또는 재생을 충분히 실현할 수 있으므로 충분한 신뢰성을 보장한다.
이하, 상술한 헤드 슬라이더(10)의 전형적인 제조 방법을 자세하게 설명한다.
헤드 슬라이더(10)를 제조하는 경우, 도 7에 나타낸 바와 같이 예를 들어 알틱(Al2O3-TiC) 등으로 구성되는 기판(30)을 준비한다. 이 기판(30)은 최종적으로 앞서 설명한 슬라이더 부재(11)가 된다. 이 기판은 결국 한꺼번에 복수의 슬라이더들(10)이 제작되도록 분할된다.
그런 다음, 개개의 슬라이더 부재(11)에 대응한 소정 위치에서 기판(30)을 뚫어 상술한 관통공(13)을 형성한다. 이어서 슬라이더 부재(11)의 광자기 디스크(4)와 대향하는 면을 식각하여 공기 윤활면을 형성한다.
도 5에 나타낸 외부 접속용 단자(17)는 각 슬라이더 부재(11)에 대응하는 기판(30) 상의 소정 위치에 형성된다.
이 외부 접속용 단자(17)를 형성하는 때에, 나중에 광자기 디스크(4)와 대향하는 면(11a)이 되는 기판의 주요 전면(全面)에 시트 레지스트(sheet resist)를 붙인다. 이후, 외부 접속용 단자(17)에 대응하는 복수의 개구부(openings)가 형성된 마스크(mask)를 붙이고 노광한다. 시트 레지스트의 노광된 부분을 현상액으로 용해시켜 제거하여 기판(30) 상의 소정 위치에 복수의 개구부(31a)을 갖는 레지스트 마스크(31)를 완성한다. 레지스트 마스크(31)는 충분히 건조시키고 내구성(durability)과 기판(30)과의 밀착성(adhesion)을 향상시키기 위하여 약 80℃로 가열하여 소성처리(baking)하는 것이 바람직하다.
다음에, 도 8에 나타낸 바와 같이 연마재를 압축 공기 속에 분산시켜 얻은 분사물(jet stream)을 레지스트 마스크(31)가 형성된 기판(30) 표면에 소정 각도로 분사하여 식각함으로써 깊이 방향으로 경사진 저면을 갖는 홈(32)을 형성한다. 기판(30)에 형성된 홈(32)은 최종적으로 슬라이더 부재(11)에 형성되는 단자 홈(19)이 된다.
도 9는 기판(30)에 이러한 홈(32)을 형성할 때 사용되는 전형적인 파우더 빔 가공 장치(powder beam machining device)를 나타낸다.
이 파워더 빔 가공 장치에서, 공기원(air source, 40)에서 공급되는 고압 공기(Air)는 건조 유니트(dry uint, 41)에서 건조되고 유량 센서(42) 및 유량 제어부(43)을 통해 분기 유니트(branching unit, 44)으로 공급된다. 생성된 고압 공기 중의 일부(이하 제1 분기 고압 공기(Air1)라 함)가 분산실(dispersion chamber, 45)로 송출되는 동시에, 나머지 고압 공기(이하, 제2 분기 고압 공기(Air2)라 함)는 이젝터(ejector, 46)로 송출된다.
분산실(45)은 연결 유니트(48)를 통해 연마재(P)가 충만한 혼합 탱크(mixing tank, 47)와 연결된다. 이 혼합 탱크(47)로부터 연마재(P)가 연결 유니트(48)로 공급된다.
보다 상세하게는, 혼합 탱크(47)의 내부에 연마재(P)를 분산실(45)로 송출하는 스크류(49)가 설치된다. 스크류(49)는 그 외주면 상에 나선형으로 뻗은 홈부(groove)를 구비하여 혼합 탱크(47)에 고정된 모터(50)에 의해 회전 구동될 때, 이 홈부으로 들어온 연마재(P)를 연결 유니트(48)를 통해 분산실(45)로 송출한 다. 즉, 혼합 탱크(47)에서는 스크류(49)의 회전에 따른 분량의 연마재(P)를 분산실(45)로 송출한다.
혼합 탱크(47) 내부에는 연마재(P)를 섞기 위한 교반 프레임(agitation frame, 51)이 설치되어 있다. 또한 교반 프레임(51)은 혼합 탱크(47)에 고정된 모터(52)에 의해 회전 주행되기 때문에 스크류(49)와 연동하여 스크류(49)의 홈부에 연마재(P)를 공급한다.
혼합 탱크(47)의 상부에는 연마재(P)가 회수되는 개구부(53)와 구동 장치(driving mechanism, 54)의 구동력을 받아서 승강하여 상기 개구부(53)를 개폐하는 삼각형 밸브가 설치된다. 혼합 탱크(47)의 저부(bottom portion)에는 연마재(P)의 무게를 측정하는 전자 천칭(electronic balance, 56)이 설치된다.
따라서, 이 파우더 빔 가공 장치에서는 혼합 탱크(47)의 개구부(53)를 삼각형 밸브(55)에 의해 개/폐할 수 있으며, 전자 천징(56)으로 혼합 탱크(47) 내의 연마재(P)의 무게를 정확하게 측정하면서 일정량의 연마재(P)를 분산실(45)로 송출할 수 있다.
분산실(45)로 송출되는 연마재(P)는 분산실(45)을 흐르는 제1 분기 고압 공기(Air1)에 의해 뿜어 올려지고, 연마재(P)는 제1 분기 고압 공기(Air1)에 분산된 상태로 이젝터(46)로 송출된다. 이젝터(46)는 분산실(45)에서 송출된 연마재(P)를 제2 분기 고압 공기(Air2)와 혼합하여 고체 혼합 2상 기류(solid-air bi-phase stream, Air3)를 생성시키고, 생성된 고체 혼합 2상 기류(Air3)를 압축한 상태로 가공실(machining chammber, 57)에 설치된 분사 노즐(58)로써 송출한다.
가공실(57)에는 분사 노즐(58)과 대향하여 앞서 설명한 기판(30)이 설치되는 작업대(work, 59)가 설치된다. 작업대(59)에 놓인 기판(30)에 대해 분사 노즐(58)로부터 고체 혼합 2상 기류(Air3)를 분사하여 고체 혼합 2상 기류(Air3)에 분산된 연마재(P)에 의해 식각이 일어나도록 한다.
분사 노즐(58)은 XY 스테이지(60)와 연결된 암(61)의 선단부에 설치되며, XY 스테이지(60)에서 암(61)을 통해 전달받은 추진력에 의해 수평 방향으로 이동할 수 있다. 분사 노즐(58)은 고체 혼합 2상 기류(Air3)의 분출 각도(blowing angle)를 작업대(59)에 설치된 기판(30)에 대해 자유롭게 조절할 수 있다.
분사 노즐(58)에서 분사된 고체 혼합 2상 기류(Air3)는 배관(62)을 통해 분리실(63)로 송출된다. 이 분리실(62)에는 1차 필터(primary filter, 64)가 설치되며, 이 1차 필터(64)를 통해 고체 혼합 2상 기류(Air3)의 일부를 필터링하여 배관(65)를 통해 가공실(57)로 돌려 보낸다. 고체 혼합 2상 기류(Air3)의 나머지 부분은 헤파 필터(hepa-filter)와 같은 2차 필터에 의해 필터링되어 외부로 분사된다.
1차 필터(64)에 의해 회수되는 연마재(P)는 버터플라이 밸브(66)에 의해 개폐가 자유로운 연결부(67)를 통해 저장실(reservor chamber, 68)로 다시 보내진다. 저장실(68)에는 스크류(69)가 설치되며, 이 스크류(68)가 저장실(68)에 고정된 모터(70)에 의해 회전 구동되어 연마재(P)를 혼합 탱크(47)의 개구부(53)로 송출한다.
상술한 바와 같이 이 파우더 빔 가공 장치에서는, 고체 혼합 2상 기류(Air3) 내에 분산된 연마재(P)가 가공실(57), 분리실(63) 및 저장실(68)을 차례로 통과하여 다시 혼합 탱크(47)로 회수될 수 있다. 이와 같은 방식으로 파우더 빔 가공 장치에서는 연마재(P)를 효과적으로 재사용할 수 있다.
본 실시예에서, 상술한 파워더 빔 가공 장치는 식각 가공에 사용된다. 즉, 본 실시예에서, 고체 혼합 2상 기류(Air3)는 분사 노즐(58)에서 소정의 각도로 기판(30) 상에 분사되고 고체 혼합 2상 기류(Air3)에 분산된 연마재(P)에 의해 식각이 이루어진다. 분사 노즐(58)은 도 8의 화살표 A로 표시한 방향, 즉 기판(30)의 절단 방향과 직교하는 방향으로 주사되면서 피치 이송된다. 추가로 주사하면서 이 작업을 순차 반복하여 레지스트 마스크(31)가 형성된 기판(30) 전면을 식각한다.
형성된 홈(33)의 치핑, 즉 파손(breakage)이 발생하는 것을 방지하기 위하여 분사 노즐(58)에서 기판(30)을 향해 분사되는 고체 혼합 2상 기류(Air3)의 충격력(force of impact)은 가능한 작은 것이 바람직하다.
이 때문에, 분사 노즐(58)의 분사구는 짧은 변의 길이가 0.3 ㎜ 이상이고 긴변의 길이가 짧은 변의 5배 이상의 길이, 예를 들어 10 내지 50 ㎜인 직사각형 형상이 바람직하다. 또한, 분사 노즐(58)(슬릿)의 깊이는 짧은 변의 길이의 20배로 하는 것이 바람직하다. 연마재(P)로는 GC#600 내지 GC#1500을 사용하는 것이 바람직하다.
분사 노즐(58)은 도 8에 나타낸 바와 같이 고체 혼합 2상 기류(Air3)의 분출 각도(θ)를 기판(30)에 대해 10°내지 30°로 설계하는 것이 바람직하다.
이러한 방식으로 레지스트 마스크(31)의 개구부(31a)와 대향하는 기판의 표 면 영역에 깊이 방향으로 경사진 저면을 갖는 홈(32)이 형성된다. 즉, 이 홈(32)은 깊이 방향으로 경사진 저면과 이 저면에 세워진 측벽을 갖도록 형성될 수 있다.
여기서, 식각 공정은 공기 유량을 50Nl/min으로, 주사 속도를 100 ㎜/sec로 하고, 예를 들어 GC#600을 연마재로 사용하여 수행하였다. 이 식각 공정은 형성되는 홈(32)의 가장 깊은 지점의 깊이가 대략 250 ㎛가 되는 시점에서 종료하였다.
기판(30) 상에 형성된 레지스크 마스크(31)를 도 10에 나타낸 바와 같이 용해하여 제거한다. 기판(30)을 세정하여 건조한 후, 나중에 바탕층(20)이 되는 약 20 ㎚ 두께의 크롬층(20a)과 약 2 ㎛ 두께의 구리층(20b)을 스퍼터링(sputtering)으로 기판(30)의 전면에 차례로 형성한다.
도 11에 나타낸 바와 같이, 바탕층(20)이 형성된 기판(30) 면의 전면에 시트 레지스트를 붙인 후, 그 위에 외부 접속용 단자들(17)의 개구부보다 약간 큰 개구부를 복수개 갖는 마스크를 덮고 노광시킨다. 이렇게 하여 시프트 레지스트의 노광된 부분을 현상액으로 용해시켜 기판(30)의 홈(32)에 대응하는 위치에 복수의 개구부(33a)를 갖는 레지스트 마스크(33)를 형성한다. 개구부(33a)는 홈(32)보다 크기가 약간 크다. 바람직하게는, 레지스트 마스크(33)를 충분히 건조시킨 후, 바탕층(20)과의 밀착성 및 내구성을 향상시키기 위하여 대략 80℃로 가열하는 소성 처리를 행한다.
다음에, 도 12에 나타낸 바와 같이 레지스트 마스크(33)의 개구부(33a)에서 본 기판(30)의 표면 상에, 즉 바탕층(20)이 형성된 홈에서 바라본 기판(30)의 면 상에 홈(32)의 깊이 250 ㎛ 보다 약간 두꺼운 대략 50 ㎛ 두께의 금층(21)과 대략 230 ㎛ 두께의 구리층(22)을 도금법으로 순차 적층한다.
도 13에 나타낸 바와 같이 기판(30)의 바탕층(21) 상에 형성된 레지스트 마스크(33)를 용해시켜 제거한다. 그런 다음 기판(30)을 세정하고 건조시킨 후, 기판(30)을 기판 표면의 레벨(level)까지 연마하여 평탄화한다.
인출 도선(18)은 기판(30)의 개개의 슬라이더 부재(11)에 대응한 위치에 매설된다. 그 내주측에서 인출 도선(18)과 접속되는 박막 코일(16)은 박막으로 형성된다. 이 박막 코일(16)은 앞서 설명한 바와 같이 슬라이더 부재(11)의 공기 흐름이 유출되는 쪽으로 도출되는 한 쌍의 도출부(16a)를 구비하여, 외주 단부와 인출 도선(18)이 도출부(16a)를 통해 슬라이더 부재(11)의 공기 흐름이 유출되는 쪽으로 도출되도록 한다. 이러한 방식으로, 박막 코일(16)은 도출부(16a)를 통해 기판(30)의 홈(32) 내부에 충진된 금(21)과 전기적으로 접속된다.
다음에, 기판(30)은 홈(32) 부근, 즉 홈의 측벽부를 따라 절단되어 개별 슬라이더 부재(11)로 분할된다. 이어서 슬라이더 부재(11)의 절단된 단면을 도 15에 나타낸 바와 같이 금 부분(21)이 노출될 때까지 연마한다. 이렇게 하여 단자 홈(19) 내부에 도전성 재료가 충진되어 구성되는 외부 접속용 단자(17)를 완성한다.
즉, 이 외부 접속용 단자(17)는 단자 홈(19)의 내부에 크롬(20a)과 구리(20b)가 순차 적층된 바탕층(20)과 이 바탕층(20) 상에 금(21)과 구리(22)가 순차 전층되어 이루어지는 다층 구조를 갖도록 형성되며, 금(21)이 슬라이더 부재(11)의 측면(11b)에서 슬라이더 부재(11)의 외부로 노출되도록 형성된다. 그 러므로, 금 부분(21)은 외부 접속용 단자(17)의 단부(17a)에서 노출된다.
외부 접속용 단자(17)의 단부(17a)에는 예를 들면 와이어 본딩에 의해 금과 같은 도선이 접속된다. 이에 따라 박막 코일(16)에 자계를 발생시키기 위한 전류가 외부에서 공급될 수 있다.
외부 접속용 단자(17)가 금 및 다른 금속들로 이루어지는 다층 구조를 가지지만, 이러한 구조로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도 6에 나타낸 바와 같이 크롬(20a)과 구리(20b)를 순차 적층하여 형성된 바탕층(20) 상에 금(21)만을 도금법으로 충진한 구조를 사용하여도 된다.
그러나, 구리(22)의 도금 속도가 금(21)의 도금 속도에 비해 약 6배 정도 빠르기 때문에, 도 5에 나타낸 바와 같이, 바탕층(20) 상에 금(21)과 구리(22)를 순차 증착하고, 금(21)이 슬라이더 부재(11)의 측면(11b)에서 슬라이더 부재(11)의 외부로 향하도록 외부 접속용 단자(17)를 형성하는 것이 바람직하다.
이렇게 함으로써, 도 6에 나타낸 바탕층(20) 상에 금(21)만을 충진하는 경우에 비해 가공 시간을 상당히 줄일 수 있다. 또한, 앞서 설명한 바와 같은 공정으로 외부 접속용 단자(17)을 형성하는 경우, 금(21)을 슬라이더 부재(11)의 측면에서 슬라이더 부재(11)의 외부로 향하도록 형성할 수 있다. 즉, 금 부분(21)을 외부 접속용 단자(17)의 단부(17a)에서 쉽게 노출시킬 수 있다.
이와 같이 준비된 각 슬라이더 부재(11) 상의 소정 위치에 광학 렌즈(12), 광섬유(14) 및 편광 거울(15)을 배치함으로써 도 3에 나타낸 헤드 슬라이더(10)를 한꺼번에 제조할 수 있다.
앞서 설명한 헤드 슬라이더(10)에서는, 외부 접속용 단자(17)가 슬라이더 부재(11)의 광자기 디스크(4)와 대향하는 면(11a) 및 측면(11b)에서 개방되도록 형성된 단자 홈(19)에 도전성 재료를 충진하여 형성된다. 이 외부 접속용 단자(17)는 도출부(16a)를 통해 박막 코일(16)과 접속되고, 외부 접속용 단자(17)의 단부(17a)는 슬라이더 부재(11)의 측면에서 슬라이더 부재(11)의 외부로 향한다.
이 경우에, 기판(30)에 형성된 홈(32)은 슬라이더 부재(102)에 다이아몬드 드릴이나 초음파 가공 장치를 사용하여 구멍을 뚫는 경우에 비해 재현성(reproducibility)이 높기 때문에, 슬라이더 부재(11)에 단자 홈(19)을 높은 정밀도로 형성할 수 있다.
상기 공정을 통해 헤드 슬라이더(10)를 제조함으로써, 소형화된 헤드 슬라이더(10)를 간편한 방법으로 정밀도 높게 제조할 수 있다. 또한, 이 제조 방법은 품질이 안정된 헤드 슬라이더(10)를 일괄 작업으로 대량 제조할 수 있으므로 제조 비용을 상당히 줄일 수 있다.
따라서, 헤드 슬라이더(10)를 상기 공정으로 제조하는 경우, 소형화된 헤드 슬라이더(10)를 간단한 공정으로 정밀도 높게 제조할 수 있다. 또한 한꺼번에 대량으로 안정된 품질의 헤드 슬라이더(10)를 제조할 수 있어 제조 비용을 보다 낮출 수 있다.
본 발명은 헤드 슬라이더가 광자기 디스크의 신호 기록면에서 미소한 간격으로 부상하면서 니어 필드 기록(near-field recording)이라 불리우는 근접장 광(proximity field light)을 이용하는 신호의 기록 및/또는 재생 장치에 적용할 수 있다.
도 16에 나타낸 바와 같이, 홈(32) 부근에서 절단하여 개별 슬라이더 부재(11)를 만드는 기판(30) 절단 공정에서, 분할은 금 부분(21)에서 수행될 수 있으며, 도 17에 나타낸 바와 같이 이 경우 금 부분(21)은 절단이 종료된 상태에서 연마없이 노출된다. 이것이 도 5에 나타낸 바와 같이 단자 홈(19)의 내부에 충진된 도전성 재료를 갖는 외부 접속용 단자(17)를 형성한다.
본 발명이 상기 실시예로서 설명한 장치 이외의 장치에도 적용될 수 있음에 유의해야 한다. 예를 들면 본 발명은 헤드 슬라이더가 광자기 디스크의 신호 기록면에서 미소한 간격으로 부상하면서 근접장 광을 이용하는 신호의 기록 및/또는 재생 장치에 적용할 수 있다.

Claims (10)

  1. 기록 매체에 대해 정보 신호를 기록 및/또는 재생하는 동안 상기 기록 매체 위를 부상하여 주행하는 슬라이더 부재;
    상기 슬라이더 부재에 접합된 광학 렌즈; 및
    상기 광학 렌즈를 구비한 상기 슬라이더 부재의 상기 기록 매체와 대향하는 면 상에 설치되는 자계 발생 수단;
    을 포함하는 광학 헤드용 슬라이더로서,
    상기 슬라이더 부재는 상기 기록 매체와 대향하는 면 및 측면에서 개방되는 단자 홈을 갖도록 형성되며, 상기 단자 홈 내에 도전성 재료가 충진(充塡)되고,
    상기 충진된 도전성 재료는 상기 자계 발생 수단과 전기적으로 접속되는 단자를 형성하며, 상기 단자의 한쪽 단부(一端)가 상기 슬라이더 부재의 측면에서 상기 슬라이더 부재의 외부로 향하고,
    상기 단자 홈은, 그 저면이 상기 기록 매체와 대향하는 상기 슬라이더 부재의 표면에서 상기 슬라이더 부재의 측면을 향해 더 깊어지도록 경사지는 것을 특징으로 하는 광학 헤드용 슬라이더.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 단자가 적어도 금을 포함하는 복수의 금속 재료로 형성되며, 상기 단자의 금으로 형성된 부분이 상기 슬라이더 부재의 측면에서 상기 슬라이더 부재의 외부로 향하는 것을 특징으로 하는 광학 헤드용 슬라이더.
  4. 기록 매체에 대해 정보 신호를 기록 및/또는 재생하는 동안 상기 기록 매체 위를 부상하여 주행하는 슬라이더 부재, 상기 슬라이더 부재에 접합된 광학 렌즈 및 상기 광학 렌즈를 구비한 상기 슬라이더 부재의 상기 기록 매체와 대향하는 면 상에 설치되는 자계 발생 수단을 포함하는 광학 헤드용 슬라이더의 제조 방법으로서,
    상기 슬라이더 부재가 되는 기판 상에 연마재를 압축 가스 속에 분산시킨 분사물(jet)을 분사함으로써 깊이 방향으로 경사진 저면을 갖는 홈을 형성하는 제1 단계;
    상기 기판에 형성된 홈의 내부에 상기 자계 발생 수단에 전기적으로 접속되는 단자가 되는 도전성 재료를 충진하는 제2 단계; 및
    복수의 개별 슬라이더 부재를 형성하도록 상기 홈의 단부 부근에서 상기 기판을 자르는 제3 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 헤드용 슬라이더의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 단계에서, 상기 기판의 표면에 연마재를 압축 가스 속에 분산시킨 분사물을 10°내지 30°의 각도로 분사하는 것을 특징으로 하는 광학 헤드용 슬라이더의 제조 방법.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제2 단계에서, 상기 기판에 형성된 홈의 내부에 상기 도전성 재료를 도금법으로 충진하는 것을 특징으로 하는 광학 헤드용 슬라이더의 제조 방법.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 제2 단계에서, 상기 도전성 재료로서 적어도 금을 포함하는 복수의 금속 재료를 충진하여 순차 적층하며,
    상기 제3 단계에서, 상기 홈의 단부 부근에서 상기 기판을 잘라 개별 슬라이더 부재로 만들며, 상기 슬라이더 부재의 절단면을 금 부분이 노출될 때까지 연마하는 것을 특징으로 하는 광학 헤드용 슬라이더의 제조 방법.
  8. 기록 매체 상에 또는 기록 매체로부터 신호 기록 및/또는 재생을 위한 광학 헤드를 구비한 기록 및/또는 재생 장치에 있어서,
    상기 광학 헤드는 회전 주행되는 상기 기록 매체 상을 주사(走査)하는 헤드 슬라이더와, 상기 헤드 슬라이더를 지지하는 지지 암(suppoting arm)을 가지며,
    상기 헤드 슬라이더는 기록 매체 상에 또는 기록 매체로부터 신호를 기록 및/또는 재생하는 동안 상기 기록 매체 위를 부상하여 주행하는 슬라이더 부재, 상기 슬라이더 부재에 접합된 광학 렌즈, 및 상기 광학 렌즈를 구비한 상기 슬라이더 부재의 상기 기록 매체와 대향하는 면 상에 설치되는 자계 발생 수단을 포함하며,
    상기 슬라이더 부재는 상기 기록 매체와 대향하는 면 및 측면에서 개방되는 단자 홈을 갖도록 형성되며, 상기 단자 홈 내에 도전성 재료가 충진되고,
    상기 충진된 도전성 재료는 상기 자계 발생 수단과 전기적으로 접속되는 단자를 형성하며, 상기 단자의 한쪽 단부가 상기 슬라이더 부재의 측면에서 상기 슬라이더 부재의 외부로 향하고,
    상기 단자 홈은, 그 저면이 상기 기록 매체와 대향하는 상기 슬라이더 부재의 표면에서 상기 슬라이더 부재의 측면을 향해 더 깊어지도록 경사지는 것을 특징으로 하는 기록 및/또는 재생 장치.
  9. 삭제
  10. 제8항에 있어서,
    상기 단자가 적어도 금을 포함하는 복수의 금속 재료로 형성되며, 상기 금으로 형성된 단자 부분이 상기 슬라이더 부재의 측면에서 상기 슬라이더 부재의 외부로 향하는 것을 특징으로 하는 기록 및/또는 재생 장치.
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