NL1020936C2 - Preparaathouder voor een elektronenmicroscoop, samenstel van een preparaathouder en een elektronenmicroscoop en werkwijze voor het reduceren van thermische drift in een elektronenmicroscoop. - Google Patents

Description

P60723NL00

Titel: Preparaathouder voor een elektronenmicroscoop, samenstel van een preparaathouder en een elektronenmicroscoop en werkwijze voor het reduceren van thermische drift in een elektronenmicroscoop.

De uitvinding heeft betrekking op een preparaathouder voor een elektronenmicroscoop.

Met een dergelijke houder kan een te onderzoeken preparaat onder gewenste condities in een microscoop worden vastgehouden. De bekende 5 preparaathouder omvat daartoe een staafvormig, doorgaans hol deel, dat nabij een uiteinde is voorzien van een in hoofdzaak platte tip. De tip is ingericht voor opname van het preparaat. Het staafvormige deel wordt in gebruik in de microscoop vastgezet, in daartoe voorziene opspanmiddelen.

In het staafvormige deel kunnen verstelmiddelen zijn op genomen om 10 bijvoorbeeld de tip, althans een preparaat ondersteunend deel daarvan, te kantelen of anderszins te manoeuvreren. Ook kunnen in het holle, staafvormige deel middelen zijn opgenomen om het preparaat te conditioneren, bijvoorbeeld om rond het preparaat een elektrisch veld op te wekken of om het preparaat op een gewenste temperatuur te brengen en te 15 houden.

Voor de nauwkeurigheid van de meting is van groot belang dat het preparaat tijdens het onderzoek haar ingestelde positie behoudt. In de praktijk blijkt het preparaat evenwel te verplaatsen. Deze zogenaamde drift wordt enerzijds veroorzaakt door mechanische trillingen en anderzijds door 20 thermische uitzetting of krimp van onderdelen van de preparaathouder, tengevolge van in gebruik daarin optredende temperatuurschommelingen.

Dit is in te zien aan de hand van figuur 6, waarin in doorgesneden zijaanzicht een preparaathouder is getoond, voorzien van een hol staafvormig deel 2 en een tip 3. Het staafvormige deel wordt op twee 25 plaatsen vastgehouden in opspanmiddelen 5, welke in figuur 1 schematisch 1020936 2 zijn weergegeven als tweemaal drie aanlegpunten 5A,B· In gebruik bestaat tussen de tip 3 en het staafvormige deel 2 een temperatuurverschil, zeker wanneer de tip 3 wordt gekoeld of verwarmd. Hierdoor zal tussen de tip 3 en het staafvormige deel 2 warmteoverdracht plaatsvinden, aangegeven door 5 pijlen Hi. Het staafvormige deel 2 zal daardoor een temperatuur Tstaaf verkrijgen die verschilt van die van de omgeving, in het bijzonder de temperatuur TopSpan van de opspanmiddelen 5, waardoor ook tussen deze onderdelen 2,5 warmteoverdracht zal plaatsvinden, aangegeven met pijlen H2. Zolang genoemde warmteoverdrachten Hi,H2 constant zijn heerst in de 10 preparaathouder een thermisch stabiele situatie, zonder drift.

In de praktijk blijven deze warmteoverdrachten Hi,2 evenwel niet constant, ondanks het feit dat met de huidige preparaathouders en elektronenmicroscopen de temperaturen van de tip en de opspanmiddelen redelijk constant kunnen worden gehouden. De warmteoverdracht H2 is 15 namelijk afhankelijk van het mechanisch contact tussen de preparaathouder 1 en de opspanmiddelen 5. Wanneer dit contact wijzigt, bijvoorbeeld door een verplaatsing van de preparaathouder 1, dan heeft dit invloed op genoemde overdracht H2. Hierdoor zal de temperatuur Tstaaf van het staafvormige deel 2 wijzigen, hetgeen gepaard gaat met krimp of 20 uitzetting. Bovendien zal de temperatuurverandering van het staafvormige deel ook een verandering in de warmteoverdracht Hi naar de tip 3 veroorzaken, waardoor ook in de tip temperatuurvariaties zullen optreden.

Een en ander leidt tot een thermisch instabiele situatie die gepaard gaat met drift van het preparaat.

25 De uitvinding beoogt een preparaathouder van het hiervoor beschreven type te verschaffen waarbij genoemde thermische drift is gereduceerd.

Daartoe wordt een preparaathouder volgens de uitvinding gekenmerkt door de maatregelen volgens conclusie 1.

10209 SS_ 3

Door de preparaathouder te voorzien van eerste temperatuurregelmiddelen, waarmee de temperatuur van het staafvormige deel op een zelfde temperatuur kan worden gehouden als de temperatuur van de opspanmiddelen, althans ter plaatse van het contactoppervlak met 5 deze opspanmiddelen, wordt bereikt dat tussen beide onderdelen geen warmteoverdracht zal plaatsvinden, ook niet wanneer de houder tijdens gebruik ten opzichte van de opspanmiddelen verplaatst. Hierdoor blijft de temperatuur van het staafvormige deel stabiel zodat dit deel niet zal uitzetten of krimpen. Aldus wordt thermische drift op effectieve wijze 10 beperkt.

Afhankelijk van de behoefte kunnen de eerste temperatuurregelmiddelen een koelelement, een verwarmingselement of beide omvatten. Wanneer bijvoorbeeld de preparaathouder is voorzien van tweede temperatuurregelmiddelen om de tip van de houder tijdens gebruik _ 15 _ te koelen, omvatten de eerste temperatuurregelmiddelen_bii-Voorkeur-een- — - - verwarmingselement. Hiermee kan een door de tipkoeling veroorzaakte temperatuurdaling van het staafvormige deel worden gecompenseerd, zodat de uiteindelijke temperatuur van dit deels constant blijft. Andersom omvatten de eerste temperatuurregelmiddelen bij voorkeur een koelelement 20 wanneer de preparaathouder is uitgerust met tweede temperatuurregelmiddelen voor verwarming van de tip.

Uiteraard kunnen de eerste temperatuurregelmiddelen ook een koelelement en een verwarmingselement omvatten, welke afwisselend kunnen worden geactiveerd. Ook kunnen de eerste 25 temperatuurregelmiddelen zodanig zijn ingericht dat deze naast, of in plaats van de temperatuur van het staafvormige deel, de temperatuur van de opspanmiddelen regelen.

De koel- en verwarmingselementen kunnen bijvoorbeeld zijn uitgevoerd als een koel- respectievelijk stookdraad, welke rondom althans 30 een deel van het staafvormige deel is aangebracht, bij voorkeur nabij de tip.

1020936 4

Hierdoor kan een via de tip aan het staafvormige deel doorgegeven warmte-of koudestroom direct bij de bron worden gecompenseerd, zodat deze stroom niet de kans krijgt elders in het staafvormige deel temperatuurveranderingen tot stand te brengen.

5 In een nadere voordelige uitwerking wordt een preparaathouder volgens de uitvinding gekenmerkt door de maatregelen volgens conclusie 7.

Door tussen de tip en het buitenoppervlak van het staafvormige deel een thermisch isolerend verbindingselement te voorzien, kan de warmte- of koudestroom van de tip naar het staafvormige deel worden 10 gereduceerd, zodat door de eerste temperatuurregelmiddelen minder hoeft te worden gecompenseerd. Daarbij is het verbindingselement bij voorkeur vervaardigd uit een relatief stijf materiaal, zodat de tip voldoende stijf kan worden ondersteund, teneinde trillingen te voorkomen. Teneinde de thermisch isolerende werking van het verbindingselement te vergroten, kan 15 dit element worden voorzien van openingen. Deze verkleinen het geleideoppervlak en verlengen de geleideweg, waardoor de warmte- of koudegeleiding van het element aanzienlijk wordt verkleind. De openingen kunnen bovendien zodanig worden gedimensioneerd en gepositioneerd dat hierdoor het element voldoende stijfheid behoudt.

20 In een bijzonder voordelige uitvoeringsvorm wordt een preparaathouder volgens de uitvinding gekenmerkt door de maatregelen volgens conclusie 12.

Door de tip op te bouwen uit verschillende onderdelen met verschillende uitzettingscoëfficiënten kan, door een juiste onderlinge 25 dimensionering en positionering van deze onderdelen, worden bereikt dat krimp of uitzetting van deze afzonderlijke delen elkaar opheffen, zodat de uiteindelijke netto verplaatsing van het preparaat klein is en bij voorkeur ongeveer gelijk is aan nul.

Hiermee omvat een preparaathouder volgens de uitvinding een 30 extra voorziening om drift te minimaliseren, in het geval er ondanks de 1020936 5 eerste temperatuurregelmiddelen toch temperatuurveranderingen optreden in de tip van de preparaathouder.

De uitvinding heeft voorts betrekking op een samenstel van een elektronenmicroscoop en een preparaathouder gekenmerkt door de 5 maatregelen van conclusie 15.

Door de elektronenmicroscoop van derde temperatuurregelmiddelen te voorzien kan de temperatuur van de opspanmiddelen op een constante, vooraf bepaalde waarde worden geregeld.

Deze temperatuur kan vervolgens ook met de eerste 10 temperatuurregelmiddelen worden ingesteld, bij voorkeur reeds voorafgaand aan het aanbrengen van de preparaathouder in de microscoop.

Hierdoor zal vrijwel direct na aanbrengen van de preparaathouder in de microscoop een thermisch stabiele situatie intreden, waardoor lange wachttijden worden vermeden. Bovendien kan, wanneer de opspanmiddelen _ _ 15_ en het staafvormige deel beide van afzonderlijke temperatuurregelmiddelen___ — zijn voorzien, een zeer accurate temperatuurregeling voor beide onderdelen worden gerealiseerd.

Uiteraard kan door een geschikte uitvoering van de temperatuurregelmiddelen ook met alleen de eerste of de derde 20 temperatuurregelmiddelen worden volstaan om de temperatuur van het staafvormige deel en de opspanmiddelen op een gewenste waarde te houden.

De uitvinding heeft verder betrekking op een werkwijze voor het reduceren van thermische drift in een elektronenmicroscoop gekenmerkt door de maatregelen volgens conclusie 16.

25 Door de temperatuur van de preparaathouder gelijk te maken aan de temperatuur van de omgeving waarmee deze preparaathouder in gebruik in contact staat, in het bijzonder de opspanmiddelen, wordt warmteoverdracht tussen houder en omgeving voorkomen. Hierdoor wordt in de preparaathouder een thermisch stabiele situatie gecreëerd, welke 30 gepaard gaat met minimale thermische drift.

ιο?ΠΑ3β_ 6

In de verdere volgconclusies zijn nadere voordelige uitvoeringsvormen van een preparaathouder, samenstel en werkwijze volgens de uitvinding beschreven.

Ter verduidelijking van de uitvinding zal een uitvoeringsvoorbeeld 5 van een preparaathouder volgens de uitvinding worden beschreven aan de hand van de tekening. Daarin toont: fig. 1 in zijaanzicht een preparaathouder volgens de uitvinding; fig. 2 een uitvergroting van een uiteinde van de preparaathouder volgens figuur 1, voorzien van tip, verbindingselement en eerste 10 temperatuurregelmiddelen; fig. 3 in perspectivisch aanzicht een uitvoeringsvorm van een thermisch isolerend verbindingselement volgens de uitvinding; fig. 4 een uitvergroting van een tip en een thermisch isolerend verbindingselement, in bovenaanzicht; 15 fig. 5 schematisch een tip volgens de uitvinding, in bovenaanzicht; fig. 6 in doorgesneden zijaanzicht een preparaathouder volgens de stand van de techniek, waarin de warmteoverdracht tussen de verschillende onderdelen van de preparaathouder en de omgeving is aangegeven;

Figuur 1 toont in zijaanzicht een preparaathouder 1 volgens de 20 uitvinding, bedoeld voor het positievast vasthouden van een te onderzoeken preparaat in een elektronenmicroscoop, in een gewenste stand en onder gewenste omstandigheden.

De preparaathouder omvat een statief 12, gevormd uit een eerste buisprofiel 13 en een tweede, zich in hoofdzaak haaks daarop uitstrekkend 25 tweede buisprofiel 14. Dit tweede buisprofiel 14 gaat aan een eerste einde over in een hol, staafvormig deel 2, met een enigszins kleinere diameter. Dit staafvormige deel 2 is nabij een vrij uiteinde voorzien van een tip 3, ingericht voor opname van het te onderzoeken preparaat. Deze tip 3 zal aan de hand van de figuren 2 en 4 nog nader worden beschreven.

mgnose_ 7

Het tweede buisprofiel 14 is nabij de overgang met het staafvormige deel 2 voorzien van een afdichtring 15 en voorts nabij een van het staafvormige deel 2 afgekeerd einde voorzien van bedieningsmiddelen 16. Deze bedieningsmiddelen 16 zijn verbonden met elektrische en/of 5 mechanische overbrengingsmiddelen en/of tweede temperatuurregelmiddelen, welke zich door het tweede buisprofiel 14 en het holle staafvormige deel 2 uitstrekken, tot aan de tip 3 en waarmee bijvoorbeeld de stand van de tip 3 of de temperatuur kan worden geregeld.

In gebruik wordt de preparaathouder 1, nadat daarop een 10 preparaat is aangebracht, door een opening in de elektronenmicroscoop gestoken, waarbij het staafvormige deel 2 met de tip 3 tot in de microscoop reikt en het statief 12 met de bedieningsmiddelen 16 daarbuiten is opgesteld. De afdichtring 15 zorgt voor luchtdichte afsluiting van de opening in de elektronenmicroscoop.

_ __15 _ Hét zich in gebruik in de microscoop uitstrekkend staafvormige ____ __ deel 2 wordt nabij zijn uiteinden ondersteund door opspanmiddelen 5, als schematisch getoond in figuur 6. Een dergelijke ondersteuning is vanuit mechanisch oogpunt wenselijk, daar hiermee trillingen van de tip 3 kunnen worden onderdrukt, althans verminderd. Thermisch gezien daarentegen is 20 de ondersteuning nadelig daar het contactvlak tussen het staafvormige deel 2 en de opspanmiddelen 5 een brug vormt via welke warmte de preparaathouder 1 in of uit kan stromen. Dit leidt tot een thermisch instabiele situatie, waarbij de temperatuur van de preparaathouder 1 voortdurend kan veranderen. Dergelijke temperatuurveranderingen leiden 25 tot krimp of uitzetting van de preparaathouder 1 en daarmee tot thermische drift van het preparaat.

Bij een preparaathouder 1 volgens de uitvinding wordt warmteoverdracht via genoemde contactoppervlakken verhinderd door ten minste deze contactoppervlakken op een zelfde temperatuur te houden. Bij 30 afwezigheid van een temperatuurverschil zal geen warmteoverdracht

8 Π9 no 3R

8 plaatsvinden. Bij voorkeur wordt het gehele buitenoppervlak van de preparaathouder 1 tussen genoemde contactoppervlakken op eenzelfde temperatuur als de opspanmiddelen 5 gehouden, zodat de preparaathouder 1 ten opzichte van de opspanmiddelen 5 kan worden verplaatst, zonder dat 5 dit tot temperatuurverschillen zal leiden.

Voor het instellen van genoemde temperatuur is de preparaathouder 1 voorzien van eerste temperatuurregelmiddelen 10, als weergegeven in figuur 2. Deze eerste temperatuurregelmiddelen 10 omvatten een koel- en/of verwarmingselement, waarmee het 10 buitenoppervlak van het staafvormige deel 2, afhankelijk van de behoefte, respectievelijk kan worden gekoeld of verwarmd. Wanneer de preparaathouder uit figuur 2 bijvoorbeeld tweede temperatuurregelmiddelen (niet getoond) omvat waarmee de tip 3 tijdens gebruik kan worden gekoeld, dan zal in gebruik een koudestroom van de tip 15 3 naar het staafvormige deel 2 optreden. Deze koudestroom zal bij afwezigheid van de eerste temperatuurregelmiddelen 10 leiden tot een temperatuurdaling van het staafvormige deel 2. Teneinde deze daling tegen te gaan dienen de eerste temperatuurregelmiddelen 10 in dat geval een verwarmingselement te omvatten. Dit verwarmingselement kan 20 bijvoorbeeld zijn uitgevoerd als een stookdraad 18, als getoond in figuur 2, welke rond het staafvormige deel 2 is gewikkeld, bij voorkeur nabij de te compenseren koudebron, hier de tip 3. Op soortgelijke wijze kan, wanneer de tip 3 in gebruik wordt verwarmd, rond het staafvormige deel 2 een koelelement worden aangebracht. Opgemerkt zij dat de eerste 25 temperatuurregelmiddelen 10 ook kunnen worden toegepast bij preparaathouders 1 waarvan de tip 3 in gebruik niet wordt gekoeld of verwarmd. Ook in dergelijke preparaathouders 1 kunnen in gebruik temperatuurveranderingen optreden, bijvoorbeeld bij het aanbrengen van een nieuwe, nog niet geacclimatiseerde preparaathouder 1 in de 30 opspanmiddelen 5 of tengevolge van een verplaatsing van de 1020838 9 preparaathouder 1 in de opspanmiddelen 5, waardoor de warmteoverdracht tussen beide verandert.

Naast het koel* en/of verwarmingselement kunnen de eerste temperatuurregelmiddelen 10 voorts een temperatuuropnemer omvatten, 5 bijvoorbeeld een thermokoppel 11 als getoond in figuur 2. Hiermee kan de temperatuur van het staafvormige deel 2 worden gecontroleerd en kan worden ingegrepen zodra deze temperatuur afwijkt van de gewenste waarde.

Teneinde de benodigde compensatie door de eerste 10 temperatuurregelmiddelen 10 te minimaliseren wordt de warmteoverdracht tussen de tip 3 en het staafvormige deel 2 bij voorkeur tot een minimum beperkt. Idealiter zou daarom tussen de tip en het staafvormige deel 2 een vacuüm worden aangebracht. Dit biedt de beste thermische isolatie. Echter, een vacuüm biedt de tip 3 onvoldoende ondersteuning om deze te ___15 beschermen -tagen_trillingen..Een_zelfde-probleem-doet zichvoor-bij-bekenda ---- _ materialen met een hoge thermisch isolerende werking, zoals kunststof, in het bijzonder piepschuim. Dergelijke materialen zijn doorgaans onvoldoende stijf om de tip 3 vanuit mechanisch oogpunt beschouwd adequaat te ondersteunen. Daarentegen hebben materialen die wel voldoende stijf zijn 20 vaak een relatief slechte isolerende werking. Dit probleem is bij een preparaathouder 1 volgens de uitvinding opgelost door tussen de tip 3 en het staafvormige deel 2 een isolator aan te brengen als getoond in figuur 3 en 4.

De isolator omvat een in hoofdzaak hulsvormig verbindingselement 8, dat zich uitstrekt tussen de tip 3 en een buitenoppervlak van het 25 staafvormige deel 2. Het hulsvormig verbindingselement 8 is vervaardigd uit een relatief stijf materiaal, met een relatief lage warmtegeleidingscoëfficiënt, bijvoorbeeld titanium. In het element 8 zijn openingen 9 aangebracht. Onder proporties 9 dient in deze tenminste te worden verstaan openingen, sleuven, spleten en dergelijke, aldan niet 30 doorlopend. Dankzij deze openingen 9 wordt het oppervlak waardoor 102nQ3fi 10 warmtegeleiding kan plaatsvinden verkleind. Bovendien kan door een juiste vormgeving en plaatsing van de openingen 9 de geleideweg aanzienlijk worden verlengd. Dit blijkt uit de in figuur 4 getoonde uitvoeringsvorm, waarbij de openingen 9 in omtrekrichting gezien een relatief smalle, 5 langgerekte vorm hebben en versprongen ten opzichte van elkaar zijn geplaatst. Daardoor zigzagt de geleideweg zich tussen de openingen door, als aangegeven door pijl W. Hierdoor kan het warmte geleidend vermogen van het verbindingselement 8 aanzienlijk worden verlaagd, zodat een goede thermisch isolerende werking wordt verkregen, terwijl het element 8 10 daarnaast voldoende stijf is om de tip 3 tegen trillingen te ondersteunen.

Figuur 4 toont voorts een uitvergroting van een tip 3 volgens de uitvinding, terwijl de tip 3 in figuur 5 schematisch is weergegeven. Een tip 3 volgens de uitvinding omvat een in hoofdzaak rechthoekig frame 20 voorzien van een in hoofdzaak rechthoekige opening 21. In de opening 21 strekt zich 15 een in hoofdzaak rechthoekig subframe 22 uit, dat met een naar het staafvormige deel 2 gekeerde korte zijde zwenkbaar aan het frame 20 is bevestigd. Daarbij strekt de zwenkas 23 zich in het vlak van het frame 20 uit, in hoofdzaak evenwijdig aan genoemde korte zijde.

De tip 3 omvat voorts een in hoofdzaak vierkant platform 24, 20 voorzien van een opening 25, omgeven door een verzonken rand 26, welke als oplegvlak voor een preparaat kan dienen. Het platform 24 is zwenkbaar aan een van de zwenkas 23 afgekeerde vrije zijde van het subframe 22 bevestigd. Daarbij strekt de zwenkas 27 van het platform 24 zich in hoofdzaak evenwijdig aan de zwenkas 23 van het subframe 22 uit. Het 25 platform 24 is met een tegenover de zwenkas 27 gelegen vrij einde verbonden met een veer 28, welke veer 28 met een ander einde is verbonden met het frame 20.

Vanuit het staafvormige deel 2 reikt een bedieningsstang 29 tot aan het subframe 22. Hiermee kunnen het subframe 22 en het platform 24 30 in gebruik worden gekanteld rond hun respectieve zwenkassen 23, 27, 1020936_ 11 waarbij de veer 28 kanteling van het platform 24 toelaat, maar de stijfheid vergroot.

De tip 3 van de preparaathouder is bij voorkeur vervaardigd uit een relatief ten opzichte van omgeving goed warmtegeleidend materiaal met 5 een beperkte thermische uitzetting, bijvoorbeeld wolfraam. Tegen de buitenzijde van de tip 3 zijn een tweetal strips 30 naast de opening 21 aangebracht, enerzijds verbonden met de as 23 en anderzijds via schroei]es 31 met de wand 32 van de tip 3. De schroefjes 31 strekken zich door de wand 32 uit. De strips zijn bij voorkeur vervaardigd uit aluminium, althans een 10 materiaal met een thermische uitzettingscoëfficient die afwijkt van die van het materiaal van de tip 3 en/of het platform 24 en/of de as 23. Daardoor wordt uitzetting eenvoudig op gevangen en is montage van de tip eenvoudig mogelijk.

Een preparaathouder als hiervoor beschreven omvat derhalve 15 voorzieningen op een aantal niveaus waardoor thermische drift tot een _____ ____ _ minimum wordt beperkt, terwijl het preparaat bovendien mechanisch voldoende stijf kan worden ondersteund om tevens drift door trillingen tot een minimum te beperken.

Zo omvat de preparaathouder eerste temperatuurregelmiddelen 20 waarmee warmteoverdracht tussen de preparaathouder en de ondersteunende omgeving wordt verhinderd, zodat de preparaathouder adequaat kan worden ondersteund zonder dat dit tot een instabiele temperatuur in de preparaathouder leidt.

Voorts is tussen het staafvormige deel en de tip een isolerend 25 verbindingselement voorzien, dat een grote stijfheid combineert met een lage warmte geleiding. Hierdoor kunnen warmteoverdracht tussen de tip en het staafvormige deel en daarmee gepaard gaande temperatuurveranderingen worden beperkt.

Daarnaast is de tip van de preparaathouder zodanig ingericht dat, 30 mochten daarin toch temperatuurveranderingen optreden, de verschillende < n ·> Ί tl d ij'* -3 ··! 12 onderdelen van de tip in tegengestelde richtingen zullen uitzetten of krimpen en elkaar zullen opheffen, zodat de uiteindelijke verplaatsing van het preparaat nul is.

5 1020936__

Claims (16)

1. Preparaathouder voor een elektronenmicroscoop, omvattende een staafvormig deel (2) dat nabij een einde is voorzien van een tip (3), welke tip (3) is ingericht voor opname van een preparaat, waarbij het staafvormige deel (2) in gebruik met ten minste de tip (3) tot in de elektronenmicroscoop 5 reikt, vastgehouden door in de elektronenmicroscoop aanwezige opspanmiddelen (5), waarbij eerste temperatuurregelmiddelen (10) zijn voorzien voor het regelen van de temperatuur van het staafvormige deel (2) en/of de opspanmiddelen (5), zodanig dat dit staafvormige deel (2) en de opspanmiddelen (5) althans ter plaatse van hun contactvlak in hoofdzaak 10 een zelfde temperatuur hebben.

2. Preparaathouder volgens conclusie 1, waarbij de eerste __ __temperatuurregelmiddelen (10) een koelelement en/of een ____ _ ___ verwarmingselement omvatten.

3. Preparaathouder volgens conclusie 1 of 2, Waarbij tweede 15 temperatuurregelmiddelen zijn voorzien voor het regelen van de temperatuur van de tip (3), althans een deel van de tip (3) dat is ingericht voor opname van het preparaat, waarbij de tweede temperatuurregelmiddelen koelmiddelen en/of verwarmingsmiddelen omvatten.

4. Preparaathouder volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij de eerste temperatuurregelmiddelen (10) zijn aangebracht rondom ten minste een deel van het staafvormige deel (2).

5. Preparaathouder volgens conclusie 4, waarbij ten minste een deel van de eerste temperatuurregelmiddelen (10) is aangebracht nabij de tip (3) 25 van de preparaathouder (1).

6. Preparaathouder volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij het staafvormige deel (2) in gebruik op ten minste twee, op afstand 1020986_ van elkaar gelegen posities door de opspanmiddelen (5) is vastgehouden en waarbij de eerste temperatuurregelmiddelen (10) zijn ingericht om het staafvormige deel (2), althans het buitenoppervlak daarvan tussen de vasthoudposities op een zelfde temperatuur te houden als de temperatuur 5 van de opspanmiddelen (5).

7. Preparaathouder in het bijzonder volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij tussen de tip (3) en het buitenoppervlak van het staafvormige deel (2) een in hoofdzaak hulsvormig verbindingselement (8) is voorzien, vervaardigd uit een relatief stijf, stootvast, thermisch isolerend 10 materiaal, waarbij in de huls openingen (9) zijn voorzien.

8. Preparaathouder volgens conclusie 7, waarbij de openingen (9) van het hulsvormig verbindingselement (8) zodanig zijn dat de warmte geleiding tenminste minder dan een tiende is van een vergelijkbare constructie zonder openingen, bij voorkeur minder dan een honderdste.

9. Preparaathouder volgens conclusie 7 of 8, waarbij het hulsvormige verbindingselement (8) is vervaardigd uit titanium.

10. Preparaathouder volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij de eerste en/of tweede temperatuurregelmiddelen een temperatuuropnemer omvatten.

11. Preparaathouder volgens conclusie 11, waarbij de temperatuuropnemer een thermokoppel (11) omvat.

12. Preparaathouder volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij de tip (3) een frame (20) omvat en een platvorm (24), voorzien van een uitsparing (25), voor opname van het preparaat, waarbij het platform 25 (24) door middel van een subframe (22) kantelbaar in het frame (20) is opgehangen, waarbij het frame (20) en het subframe (22) zijn vervaardigd uit twee verschillende materialen met een verschillende uitzettingscoëfficiënt en zodanig ten opzichte van elkaar zijn gedimensioneerd en gepositioneerd, dat uitzetting of krimp van het frame 30 en het subframe tengevolge van in gebruik in de tip (3) optredende 1020936 9 temperatuurveranderingen elkaar opheffen, een en ander zodanig dat een in gebruik op het platform (24) aangebracht preparaat nagenoeg niet verplaatst.

13. Preparaathouder volgens conclusie 12, waarbij het frame (20) uit 5 wolfraam en het subframe (22) uit aluminium is vervaardigd.

14. Preparaathouder volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij het staafvormige deel (2) is vervaardigd uit een materiaal dat een relatief goede warmtegeleiding en een relatief lage thermische uizettingscoëfficient heeft en bij voorkeur niet magnetisch is.

15. Samenstel van een elektronenmicroscoop en een preparaathouder (1), waarbij de elektronenmicroscoop is voorzien van opspanmiddelen (5) voor het vasthouden van de preparaathouder (1) in de elektronenmicroscoop, waarbij de elektronenmicroscoop derde temperatuurregelmiddelen omvat voor het op een gewenste temperatuur _ _ 15 _houden van de opspanmiddelen (5) en de preparaathouder (11 eerste_ __ - - - temperatuurregelmiddelen (10) omvat voor het in hoofdzaak op een zelfde temperatuur als de opspanmiddelen (5) houden van ten minste een met deze opspanmiddelen (5) in contact staand deel van de preparaathouder (1).

16. Werkwijze voor het reduceren van thermische drift in een 20 elektronenmicroscoop, omvattende de volgende stappen: aanbrengen van een preparaat op een preparaathouder (1); bevestigen van de preparaathouder (1) in de elektronenmicroscoop in daartoe in de elektronenmicroscoop voorziene opspanmiddelen (5); aanpassen van de temperatuur van de preparaathouder (1) en/of de 25 opspanmiddelen (5) zodat beide in hoofdzaak dezelfde temperatuur verkrijgen en behouden. 30 1020936