NL1006500C2

NL1006500C2 - Met metaal beklede substraten.

Info

Publication number: NL1006500C2
Application number: NL1006500A
Authority: NL
Inventors: Jean-Michel Depauw; Yvan Novis
Original assignee: Glaverbel
Priority date: 1996-07-25
Filing date: 1997-07-07
Publication date: 1999-02-23
Also published as: ITTO970572A0; US5993950A; GB9714525D0; BE1011444A3; FR2751666B1; LU90108B1; NL1006500A1; CA2211420C; CN1173428A; ES2156655A1; CA2211420A1; SE9702555L; DE19731438A1; SE513629C2; FR2751666A1; ES2156655B1; GB2315496A; ITTO970572A1; GB2315496B; CH692505A5

Description

NL 43.275-DP/cb

Met metaal beklede substraten.

De onderhavige uitvinding heeft betrekking op met metaal beklede substraten, en in het bijzonder op een met metaal beklede transparante substraatplaat, waarbij het metaal zilver, goud of koper of een legering van één of meer 5 daarvan is.

Dergelijke beklede substraten worden bijvoorbeeld toegepast als vensterbeglazing voor gebouwen of voertuigen, in gelamineerde structuren en als optische filters.

Het is wenselijk dat panelen die als venster-10 beglazing in gebouwen worden gebruikt een lage zonnefactor (FS, wordt hieronder gedefinieerd) hebben, zodat de binnenzijde van het gebouw niet door zonnestraling wordt oververhit, terwijl deze panelen ook een voldoende niveau van licht-doorlating (TL, wordt hieronder gedefinieerd) hebben, ten-15 einde inwendig voldoende licht te verschaffen. Deze enigszins tegenstrijdige vereisten kunnen ook worden uitgedrukt als een voorwaarde voor het paneel om goede selectiviteit te vertonen, dat wil zeggen een hoge verhouding van lichtdoorlating tot zonnefactor (wordt hieronder verder gedefinieerd). Het is 20 ook wenselijk dat de beglazingspanelen zowel een neutraal voorkomen bij reflectie, anders uitgedrukt als een lage kleurzuiverheid, alsook een laag niveau van reflectie vertonen, maar dit zijn eigenschappen die moeilijk te bereiken zouden kunnen zijn in combinatie met hoge selectiviteit.

25 Het is bekend om de selectiviteit van een metalen bekleding op beglazing te verbeteren door het vergroten van de dikte van de metalen laag (of lagen). Dit heeft echter het nadeel van het verlenen van een paarse kleur aan de beglazing bij reflectie, hetgeen zou kunnen worden beschouwd als esthe-30 tisch onaantrekkelijk. Er is derhalve voorgesteld om het nadeel te overwinnen door het gebruik van een oxidelaag onder het metaal, waarbij deze oxidelaag een hogere brekingsindex dan andere oxidelagen in de bekleding heeft, waardoor inter-ferentie-effecten, welke de ongewenste kleuring verminderen, 35 tussen de respectieve oxidelagen worden opgewekt. Het Franse octrooischrift 2.719.036 leert het gebruik als een dergelijke 1006500 2 onderlaag van een oxide dat is gekozen uit niobiuraoxide en tantaaloxide. Een dergelijke onderlaag met een hoge brekingsindex bevordert echter niet het bereiken van een lage lichtreflectie (RL), en dientengevolge van een hoge selectiviteit, 5 van het beklede substraat.

Onze eerdere Britse octrooischriften 2.229.737 en 2.229.738 beschrijven een substraat van een beglazingsmateri-aal dat een uit meer lagen bestaande bekleding draagt, welke een weerkaatsende laag zilver omvat die is ingeklemd tussen 10 een transparante onderlaag en een transparante bovenlaag. De onderlaag omvat ten minste één laag van een metaaloxide, waarover een laag zinkoxide van tot 15 nm dik is afgezet. De bovenlaag omvat een laag van een oxide van een opofferings-metaal zoals aluminium, bismuth, roestvrij staal, tin of 15 titaan of van een mengsel daarvan.

De onderhavige uitvinding heeft tot doel een verbeterde bekledingsstapel te verschaffen, waarbij zowel de paarse kleur bij reflectie wordt geneutraliseerd alsook een laag niveau van reflectie wordt bereikt, zonder daaruit 20 voortvloeiende nadelen bij de selectiviteit van de stapel.

Verscheidene van de eigenschappen van een bekleed substraat hebben precieze betekenissen die zijn gedefinieerd door een geschikte standaard. Die eigenschappen, welke hierin worden gebruikt, omvatten de volgende, die zijn gebaseerd op 25 de definities van de International Commission on Illumination - Commission International de l'Eclairage ("CIE").

De hierin genoemde standaard lichtbron is Lichtbron C, zoals gedefinieerd door CIE. Lichtbron C stelt gemiddeld daglicht voor met een kleurtemperatuur van 6700°K.

30 De "lichtdoorlating" (TL) is de lichtstroom die door een substraat wordt doorgelaten als een percentage van de invallende lichtstroom (van Lichtbron C).

De "lichtreflectie" (RL) is de lichtstroom die wordt gereflecteerd vanaf een substraat als een percentage van de 35 invallende lichtstroom van Lichtbron C.

De "spectrale absorptie-index" (kX) van een substraat wordt gedefinieerd door de formule: 1006500 3 λ kX = — a (λ) 4ττ 5 waarbij a(X) de spectrale lineaire absorptiecoëfficiënt is.

De "zonnefactor" (FS) is de verhouding van de som van de totale energie die rechtstreeks door een substraat wordt doorgelaten en de energie die wordt geabsorbeerd en weer uitgestraald op de vanaf de energiebron gelegen zijde 10 als een verhouding van de totale stralingsenergie die invalt op het substraat.

De "selectiviteit" (SE) van het beklede substraat is de verhouding van de lichtdoorlating (TL) tot de zonnefactor (FS) .

15 De "zuiverheid" (p) van de kleur van het substraat heeft betrekking op de excitatiezuiverheid die wordt gemeten met Lichtbron C, zoals gedefinieerd in de CIE International Lighting Vocabulary, 1987, biz. 87 en 89. De zuiverheid wordt gespecificeerd volgens een lineaire schaal, waarop een 20 bepaalde witte lichtbron een zuiverheid heeft van nul en de zuivere kleur een zuiverheid heeft van 100%. De zuiverheid van het beklede substraat wordt gemeten vanaf de zijde die tegenover de zijde met de bekleding is gelegen.

De term "brekingsindex" (n) wordt gedefinieerd in de 25 CIE International Lighting Vocabulary, 1987, biz. 138.

De "dominante golflengte" (XD) , die ook bekend is als de "tint", is de piekgolflengte in het bereik dat wordt doorgelaten of gereflecteerd door het beklede substraat.

Volgens de onderhavige uitvinding wordt er een 30 bekleed substraat verschaft dat een stapel bekledingslagen draagt, welke stapel omvat, in volgorde vanaf het substraat, (i) een laag diëlektrisch materiaal, (ii) een laag van een metaal dat is gekozen uit zilver, goud, koper en legeringen van één of meer daarvan, en (iii) een extra laag diëlektrisch 35 materiaal, met het kenmerk, dat de laag (i) van diëlektrisch materiaal een samengestelde laag is, welke een onderlaag van een selectief absorberend materiaal met een brekingsindex van ten minste 1,4, een spectrale absorptie-index kX van ten min- 1006500 4 ste 0,4 in het bereik 380<λ<450 ητη omvat en die een verhou- ^380<λ450 nm/^S50<X<760 nm > 2 VertOOnt .

De beklede substraten volgens de uitvinding worden aldus gekenmerkt door een onderlaag die wordt gevormd uit 5 materiaal (of materialen) met bijzondere absorberende eigenschappen, welke verschillen van die van de onderlaag van onze eerdere aanvragen. Aan absorptie van het blauwe bestanddeel van de ongewenste paarse kleur ten gevolge van de dikte van de metalen laag of lagen, welke door verwijzing naar de ver-10 houding k (voor 380<λ<450 nm)/k (voor 650<λ<760 nm) > 2 dient te zijn, wordt voldaan door het materiaal (of de materialen), welke de onderlaag vormen. De genoemde golflengtebereiken vallen binnen het zichtbare spectrum.

De uitvinding maakt aldus gebruik van twee kleur-15 neutraliserende mechanismen: absorptie in het blauwe gedeelte van het spectrum (golflengten in het bereik van ca. 450 nm en lager) en interferentie-effecten die worden vertoond door de gezamenlijke lagen van de stapel in het rode gedeelte van het spectrum (golflengten in het bereik van ca. 650 nm en hoger); 20 en zijn aldus effectiever dan eerdere voorstellen voor het verminderen van de paarse kleuring. Bovendien vereist de uitvinding, in tegenstelling tot eerdere voorstellen die eenvoudigweg op interferentie-effecten berustten, niet het gebruik van een neutraliserende laag met een brekingsindex 25 die hoger is dan die van andere oxide- of nitridelagen. De bekledingsstapel vertoont ook een verbeterde, dat wil zeggen verminderde, reflectiezuiverheid, en op opmerkelijke wijze wordt dit bereikt in combinatie met een zeer laag niveau van lichtreflectie (RL).

30 De beklede substraten volgens de uitvinding, en derhalve beglazingspanelen die deze bevatten, hebben de hoge selectiviteit die gepaard gaat met de aanwezigheid van grote dikten van metalen lagen, maar niet de significante reflectie en sterke paarse kleuring die in het algemeen inherent aan 35 dergelijke produkten zijn. In vergelijking met een op soortgelijke wijze bekleed substraat dat één of meer dikke metalen lagen bevat, maar niet het absorberende materiaal, bieden de panelen volgens de uitvinding een selectiviteit die ten minste even goed is, een hogere dominante golflengte bij reflec- 1006500 5 tie (XD) - die naar groen neigt - maar tegelijkertijd met een zwakkere reflectie vanaf de glaszijde (RL) en een lagere kleurzuiverheid bij reflectie (p).

Volgens andere uitvoeringsvormen van de uitvinding 5 kan de bekledingsstapel een extra metaallaag (iv) en een extra diëlektrische laag (v) omvatten.

Het is wenselijk dat een opofferingsgrenslaag, bijvoorbeeld van een metaal dat is gekozen uit chroom, chroom/ nikkellegering, niobium, tantaal, tin, titaan en zink, onmid-10 dellijk boven de of elke metaallaag wordt verschaft. Het opofferingsmetaal dat de voorkeur verdient is titaan. Het opofferingsmetaal neemt zuurstof op dat anders de metalen laag gedurende en na de vorming van de bekleding zou aantasten en het verkregen oxide verschaft een beschermende laag op 15 de metalen laag. Uit het oogpunt van de opofferende functie heeft het opofferingsmetaal bij voorkeur een dikte van 2 tot 5 nm, maar het gebruik van een dikte van tot 10 nm kan gunstig zijn voor het achterlaten van een niet-geoxydeerde laag van het opofferingsmetaal om de zonwerende eigenschappen van 20 de bekleding als geheel te verbeteren.

De diëlektrische materialen van de lagen (i), (iii) en (v) omvatten bij voorkeur ten minste één metaaloxide of metaalnitride. Geschikte voorbeelden hiervan omvatten aluminiumoxide (A1203), aluminiumoxynitride magnesiumoxide 25 (MgO) , niobiumoxide (Nb205) , siliciumdioxide (Si02) , silicium-nitride (Si3N4) , tantaaloxide (Ta02) , tinoxide (Sn02) , titaandioxide (Ti02) , yttriumoxide (Y203) , zinkoxide (ZnO) , en zinksulfide (ZnS). Deze kunnen afzonderlijk of in combinatie worden gebruikt. Het zijn niet-absorberende, transparante mate-30 rialen die in staat zijn tot het aanpassen van de lichtreflectie RL en de kleurzuiverheid p. De vereiste optische interferentie-effecten, waardoor de stapel de paarse reflectie vermindert, worden op gebruikelijke wijze bereikt door een aantal onderlagen van deze materialen, bijvoorbeeld 35 Sn02/Zn0 of Zn0/Sn02/Zn0.

In een stapel met slechts één metaallaag liggen de dikten van de diëlektrische lagen (i) en (iii) bij voorkeur in de bereiken van respectievelijk 15-45 nm en 30-60 nm, met de meeste voorkeur 25-45 nm en 35-55 nm. In een stapel met 1006500 6 twee metaallagen liggen de dikten van de diëlektrische lagen (i), (iii) en (v) bij voorkeur in de bereiken van respectievelijk 15-35 nm, 60-90 nm en 20-40 nm.

De selectiviteit van een bekleed substraat die de 5 onderlaag bevat blijkt ten minste even hoog te zijn als een equivalent bekleed substraat waarvan het onderlaagprodukt ontbreekt.

Geschikte voorbeelden van het selectief absorberende materiaal voor de onderlaag zijn roestvrijstaaloxide (SSOx), 10 ferri-oxide (Fe203) , een chroomoxide (CrOx: CrO of Cr203) , palladiumoxide (PdO), germanium, een germaniumoxide (GeOx, waarbij 0<x<l), silicium en een siliciumoxide (SiOx , waarbij 0<x<l), waarvan roestvrijstaaloxide en ferrioxide de voorkeur verdienen. Ferri-oxide heeft een voordeel boven roestvrij-15 staaloxide in termen van kleurneutralisatie, maar dit wordt in bepaalde mate omgekeerd, omdat roestvrijstaaloxide niet magnetisch is en derhalve gemakkelijker is af te zetten dan ferri-oxide, waarvan het diamagnetisme de toepassing ervan door middel van magnetronkathodeverstuiving hindert.

20 Het dient te worden opgemerkt, dat deze selectief absorberende materialen ook goede absorberende eigenschappen voor ultraviolet (UV)-golflengten hebben. Aldus biedt een beglazingspaneel met een bekledingsstapel die een dergelijk selectief absorberend materiaal omvat het verdere voordeel 25 van het verminderen van de hoeveelheid UV-straling die een kamer binnenkomt en daardoor beschermt tegen verkleuring van willekeurige geweven stoffen en kunststoffen in de kamer.

Ofschoon de lagen (iii) of (v) op soortgelijke wijze een onderlaag van een selectief absorberend materiaal kunnen 30 omvatten, wordt de vereiste absorptiegraad in veel gevallen op geschikte wijze bereikt door de onderlaag in de eerste laag (i) alleen.

De dikte van de of elke selectief absorberende onderlaag dient bij voorkeur minder dan 15 nm te zijn.

35 Beklede substraten volgens de uitvinding, waarbij de dikte van deze onderlaag minder dan 5 nm is, zijn van bijzonder belang. Een dikte van 5 mm SSOx maakt de kleurneutralisatie van een zilverlaag van 14 nm mogelijk en dezelfde dikte van 1006500 7

Fe203 maakt de neutralisatie van een zilverlaag van 17,5 nm mogelijk.

De metaallagen (ii) en (iv) worden gevormd uit zilver, goud of koper of een legering van één of meer daar-5 van. Volgens één uitvoeringsvorm van de uitvinding, waarbij slechts één metaallaag (ii) in de stapel aanwezig is, ligt de metaaldikte bij voorkeur in het bereik van 10 tot 20 nm, hetgeen gepaard gaat met een lichtreflectie (RL) van minder van 20%. Volgens een andere uitvoeringsvorm van de uitvinding, 10 waarbij slechts één metaallaag (ii) in de stapel aanwezig is, ligt de dikte ervan bij voorkeur in het bereik van meer dan 20 nm tot 30 nm, hetgeen gepaard gaat met een lichtreflectie (RL) van minder dan 40%.

Wanneer twee van dergelijke lagen (ii) en (iv) 15 aanwezig zijn, dan liggen de dikten ervan bij voorkeur elk in het bereik van 10 tot 25 nm.

Het gebruik van een absorberende onderlaag in de eerste diëlektrische laag (i) bevordert het bereiken van een lagere lichtreflectie (RL)-waarde voor het beklede substraat 20 dan voor een traditionele "neutraliserende" stapel met metaallagen van dezelfde dikte(n) als die van het beklede substraat. In het geval van een bekledingsstapel volgens de uitvinding met twee metallagen (ii) en (iv) is de RL-waarde bij voorkeur minder dan 15%.

25 Het substraat is het meest kenmerkend glas, maar kan een ander transparant materiaal zoals polycarbonaat, poly-methylmethacrylaat of polyethyleentereftalaat zijn.

Het beklede substraat heeft bij voorkeur een kleur-zuiverheid (p) van minder dan 20%, met meer voorkeur minder 30 dan 10%. Deze gunstige lage kleurzuiverheid is opmerkelijk doordat deze gepaard gaat met de lage RL-waarden die ook bereikbaar zijn volgens de onderhavige uitvinding.

Bovendien verhoogt de uitvinding, naast een dergelijke aanzienlijke vermindering van de zuiverheid van het 35 beklede substraat, ook de dominante golflengte (XD) ervan, bij voorkeur tot een dominante golflengte tussen 480 en 500 nm. In dit golflengtebereik is de tint niet langer paars maar eerder neigend naar blauw of blauw/groen.

i 006500 8

De hierin genoemde diktedimensies voor de lagen en onderlagen van de bekledingsstapel zijn geometrische dikten. De genoemde eigenschappen van het beklede substraat zijn gemeten op basis van slechts één plaat van normaal helder 5 natronkalkglas met een dikte, tenzij^anders aangegeven, van 6 mm. De eigenschappen zijn zoals waargenomen vanaf het vlak dat tegenover het beklede vlak is gelegen, dat wil zeggen vanaf de glaszijde. Het tegenoverliggende vlak is normaliter niet bekleed.

10 Wanneer het beklede substraat wordt gebruikt in een beglazingspaneel is dit normaliter voorzien van één of meer niet-beklede substraatplaten in een meervoudig beglazings-samenstel, waarbij de bekleding is geplaatst op een inwendig vlak.

15 Volgens de uitvinding is het mogelijk geworden om op eenvoudige wijze dubbele beglazing te verkrijgen met niveaus van selectiviteit, welke tot nu toe met grote moeite werden bereikt. De uitvinding maakt een selectiviteit mogelijk van meer dan 1,4 wanneer in een bekledingsstapel slechts één 20 metaallaag wordt gebruikt en meer dan 2,0 wanneer in een bekledingsstapel een dubbele metaallaag wordt gebruikt. Bovendien worden deze hoge niveaus van selectiviteit verkregen in combinatie met lage kleurzuiverheid en lage reflectiviteit.

25 Ofschoon de uitvinding hierin in de eerste plaats is beschreven met betrekking tot beklede substraten die in beglazingspanelen worden gebruikt, is deze ook van toepassing op beklede substraten die worden gebruikt in optische filters. Kenmerkende voorbeelden van dergelijke filters zijn 30 monochromatische filters, welke dienen om de bandbreedte van zichtbare straling die daardoorheen gaat te verminderen. Ook bekend als "kwartgolflengte"- of Fabry-Perot-fliters worden deze kenmerkend gecentreerd op het golflengtebereik van maximale menselijke visuele scherpte (550 nm + 50 nm). In het 35 bijzonder kunnen zij dienen om die delen van het spectrum te elimineren, welke niet bijdragen aan lichtdoorlating, maar nadelig zijn voor de zonnefactor, dat wil zeggen, de infrarode en ultraviolette delen van het spectrum. Zij bieden dienovereenkomstig de mogelijkheid van het verkrijgen van 1006500 9 hogere selectiviteitswaarden, maar voor dit voordeel wordt normaliter geboet met een ongewenste toename in kleurzui-verheid bij reflectie. Door het inbrengen van een absorberende onderlaag volgens de uitvinding kan dit nadeel worden 5 overwonnen. De beklede substraten voor deze filters zijn van dezelfde structuur als de hierboven beschreven, met een dubbele metaallaag beklede substraten, maar hebben andere dikten van de diëlektrische lagen, namelijk: (i) en (v): minder dan 10 nm (onder uitsluiting van de selec-10 tief absorberende onderlaag, die minder dan 15 nm dient te zijn) (iii): (550 nm/4n) + 15% [waarbij n de brekingsindex van de diëlektrische laag (iii) voorstelt].

15 De bekledingslagen worden bij voorkeur aangebracht door vacuümafzetting. Deze werkwijze verdient de voorkeur, omdat deze bekledingen met gemakkelijk instelbare dikte en samenstelling mogelijk maakt en aldus bijdraagt tot het bereiken van de uniformiteit van het volgens de uitvinding 20 vereiste produkt. De afzetting gebruikt kenmerkend één of meer vacuümafzettingskamers, transportbanden voor het substraat, krachtbronnen en ingangsopeningen voor het gas. Elke afzettingskamer bevat vlakke magnetronverstuivingskathoden, gasinlaten en een evacuatie-uitlaat, waarbij afzetting wordt 25 verkregen door het vercheidene keren onder de kathoden doorleiden van het substraat. De druk in de kamers is kenmerkend ca. 0,3 Pa.

De relatief lage dikten van de respectieve lagen van het beklede substraat volgens de onderhavige uitvinding ver-30 schaffen bewerkingsvoordelen, zowel in termen van de korte tijd die het kost om de lagen aan te brengen alsook bij het economische gebruik van de respectieve materialen.

VOORBEELDEN

35 De uitvinding wordt nader beschreven met verwijzing naar de volgende niet-beperkende voorbeelden. Voor elk voorbeeld volgens de uitvinding is er ten minste één vergelij-kingsvoorbeeld, teneinde de verbeteringen aan te tonen die zijn verkregen door beklede substraten volgens de uitvinding.

1006500 10

Voor elk van de voorbeelden werd een substraatplaat van 6 mm helder glas door een vacuümafzetinrichting doorgeleid, welke inrichting kamers omvat met kathoden die van trefplaten waren voorzien, welke al naar gelang de desbetref-5 fende stapel waren gevormd uit titaan, roestvrij staal, ijzer, zink en tin, die werden gebruikt voor het afzetten in een zuurstofatmosfeer van diëlektrische onderlagen van respectievelijk titaandioxide (Ti02) , roestvrijstaaloxide (SSOx), ferri-oxide (Fe203) , zinkoxide (ZnO) en tinoxide (Sn02) . [ (i} , 10 (iii) en, in sommige gevallen (v)]. Trefplaten van zilver en titaan werden op vergelijkbare wijze gebruikt voor het afzetten in een argonatmosfeer van één of meer lagen zilver [(ii) en in sommige gevallen (iv)] en titaan als één of meer opof-feringstussenlagen.

15 De substraatplaat werd onderworpen aan retour- doorgangen door de afzetinrichting teneinde de vereiste lagen en dikten van twee of drie lagen diëlektrische materialen te verkrijgen. De voltooide bekledingsstapels omvatten lagen zoals getoond in bijgaande tabel 1. De optische eigenschappen 20 ervan werden onderzocht vanaf de glaszijde en de resultaten zijn getoond in tabel 2. De TL-, FS- en SE-resultaten in de laatste drie kolommen werden verkregen voor een dubbel begla-zingssamenstel waarin een plaat is opgenomen die als boven was bekleed. De tussenliggende ruimte tussen de platen van 25 het samenstel werd gevuld met argon.

Wanneer in deze voorbeelden de diëlektrische lagen onderlagen met de structuur Sn02/Zn0 bevatten, waren deze oxiden in dezelfde verhoudingen (0,5/0,5) aanwezig. Wanneer de structuren van het type Zn0/Sn02/Zn0 waren, waren de ver-30 houdingen 0,25/0,5/0,25.

In alle voorbeelden lag de absorptiecoëfficiënt in het blauwe bereik (380<λ<450 nm) tussen 0,4 en 1,2 voor het SSOx en tussen 0,5 en 0,9 voor Fe203 .

(Vergelijkings-)voorbeeld 1 licht het gebruik van 35 een materiaal toe met een hoge brekingsindex (Ti02 , dat een brekingsindex van 2,5 heeft, vergeleken met ca. 2,0 voor ZnO of Sn02) in het diëlektrische materiaal 1. Een dergelijk materiaal beperkt de kleurzuiverheid van de paarse kleur die wordt veroorzaakt door de belangrijke zilverlaag die wordt 1006500 11 gebruikt, met verwijzing naar het gebruik van een materiaal met een lagere brekingsindex. Dit komt overeen met bekende technieken. (Vergelijkings-)voorbeeld 2 toont dat, zelfs in het geval van een dergelijke techniek, de reflectie wordt 5 verminderd, de kleurzuiverheid verder wordt verminderd en de lengte van de dominante golflengte toenam door het inbrengen van een eerste diëlektrisch materiaal van een absorberende onderlaag volgens de uitvinding.

Voorbeeld 3 licht toe dat hoe dikker de absorberende 10 onderlaag is, des te lager de lichtreflectie en kleurzuiver-heid bij reflectie van de stapel, en des te hoger de dominante golflengte ervan is.

Voorbeeld 10 licht een toepassing van de uitvinding toe op het gebied van optische filters. Dit voorbeeld is ook 15 een toelichting van het uitstekende neutraliserende vermogen van Fe203 in vergelijking met SSOx.

1006500 12

Tabel 1 (dikten in nm)

Voorbeeld Diêlektriache laag 1 Metaal Grenslaag Diélektri- Metaal Grenslaag Dièlektri- sche laag sche laag _(Π_(ii! 1 3 <m fiv) 2 3 w

Ti02 Fe;03 T1O3 Ag Ti TiO; Ag Ti ZnO /

SqOj/

____________ZnO

1 I 21 - 1 - 20 1 3 33.5 I - - 1

2 I 16 3 5 20 I 3 37 - - I

SnO;/ SSOx ZnO “ “ ZaÖ/ “ “

ZnO SnOi/ __ZnO_ 3a I 34 [ - ( -__13.5__3__42__- | - [ - 3b I 18 1 10 I 5 13.5 1 3 1 42 - | - | - ~~| 3c I 13 1 13 1 5 13.3 1 3 I 42 - I - I - 1 ia i 26 1 - I - I 13 | 3 I 47 - I - 1 - 1 4b I 15 1 6 5 I 18 1 3 | 47 - | - I - |

5a I 30 I - - I 22.5 [ 3 | 52 - I - I - I

5b 1 20 I 4 I 6 22.5 | 3 | 52 - | - j - | 6a 1 4Q [ - - 27 j I 54 - I - | - 6b 1 30 I 4 6 27 1 3_54 - - |

SnO: * SnO:/ _ ZnO_ 7a j - I - 28 14.5 3 ) 73 14.5 3 23 7b [ - I 3 25 I 14,5 3 1 73 14.5 3 23 3a 1 - I - 32 | 16 3 1 30 16 3 32 3b 1 - I 7 25 I 16 j 3 30 I 16 Γ 3 32 9/1 a I - j - 31 1 13 3 I 31 18 3 31 9/1b 1 - I 3 23 j 13 3 31 13 3 31 9/2a I - I - 1 22 I 11 3 30 21.5 3 33 ~ 9/2b 1 - j 9 I 13 Ί 11 1 3 30 21.5 3 33 9/3a 1 - [ - 22 14.5 3 [ 30 13 3 33 ~ 9/3 b I - I 14 3 14.5 3 30 13 3 33 1 1 .

10a 1 - 1 - ~ 5 11.5 3__61 10.5 3 5 I Fc O u u u u u 10b 1 5 I 15 - 1 1.5 3 61 10.5 3 5 1006500

Tabel 2 13

vx,cb«.'id: TL RL p TL FS SE

(%) (%) (nm) (%) (%) (%) 1 71.1 21.7 478 1 21.0 64 41 | 1,56 2 75.1 1 1.6 480 I 10.0 68 41 | 1,56 3a 1 84.5 [ S.2 | 472 23.0 76_52 1 1.46 3b I 80.9 1 6.7 1 4S0 I 13.5 I 73_49 I 1.49 3c j 78.9 1 5.8 1 4S7 [ 7.9 I 71_48 1 1.48 4a | 72.0 | 20.4 1 475 1 13.5 65_41 1 1.59 4b I 71,7 | 17.1 [ 481 I 5.3 65_40 ( 1.63

Sa | 58.4 | 33.7 [ 478 1 9.0 52_31 1 1.68 5b 1 58.7 | 30.3 1 490 | 2.2 1 53 31 1 1.71 6a 1 47.7 43.7 | 478 1 8.9 43 24 j 1,79 6b | 47.9 39.6 1 486 | 2.5 43 24 | 1.79 7a 1 71,5 9.2 1 486 | 10.9 | 64 30 I 2,13 7b 1 70.2 S.O 1 494 | 4,7 | 63_29 | 2.17

Sa | 70.6 1 10.9 I 478 | 23.0 1 64 | 28 I 2.29 8b I 67.6 | 7.7 1 483 1 7,7 | 61 | 25 | 2.44 9/1 a | 61.5 1 13.3 1 477 | 32.0 1 61 | 23 I 2,65 9/1 b I 64.7 1 8.9 | 481 | 14.8 58 1 21 | 2,76 9/2a | 67.1 j 13.0 1 477 | 37,6 60 24 I 2.50 9/2 b 1 64.0 I 13.0 [ 485 1 16.3 58 23 1 2,52 9/3 a | 70.8 | 10.3 | 477 | 38.8 64_26 1 2.46 9/3 b | 66.7 | 7.1 | 481 | 18.8 62 25 | 2.48 iiii_ i ÏÖa j 73J I Γ04 j 473 FTs 66 35 j L89 I I I i _1 fOb | 67.0 1 11.1 | 489 | 18.2 61 33 | 1,85 1006500

Claims

1. Bekleed substraat dat een stapel beklede lagen 5 draagt, welke stapel omvat, in volgorde vanaf het substraat, (i) een laag diëlektrisch materiaal, (ii) een laag van een metaal dat is gekozen uit zilver, goud, koper en legeringen van één of meer daarvan, en (iii) een extra laag diëlektrisch materiaal, met het kenmerk, dat de laag (i) van diëlektrisch 10 materiaal een samengestelde laag is, welke een onderlaag van een selectief absorberend materiaal met een brekingsindex van ten minste 1,4, een spectrale absorptie-index kX van ten minste 0,4 in het bereik 380<X<450 nm omvat en die een verhouding k380<X450 nm/k6S0<x<760 nra > 2 vertoont.

2. Bekleed substraat volgens conclusie 1, waarbij de bekledingsstapel een extra metaallaag (iv) en een extra diëlektrische laag (v) omvat.

3. Bekleed substraat volgens conclusie l of conclusie 2, waarbij de bekleding een opofferingsgrenslaag 20 omvat, onmiddellijk boven de of elke metaallaag.

4. Bekleed substraat volgens conclusie 3, waarbij de opofferingsgrenslaag een dikte van 2 tot 5 nm heeft.

5. Bekleed substraat volgens conclusie 3 of conclusie 4, waarbij de opofferingsgrenslaag titaanmetaal is, 25 dat in hoofdzaak volledig is geoxydeerd in de afgewerkte bekleding.

6. Bekleed substraat volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij het materiaal van de diëlektrische lagen ten minste één metaaloxide of metaalnitride omvat.

7. Bekleed substraat volgens conclusie 6, waarbij het materiaal van de diëlektrische lagen één of meer van aluminiumoxide, aluminiumoxynitride, magnesiumoxide, niobium-oxide, siliciumdioxide, siliciumnitride, tantaaloxide, tin-oxide, titaandioxide, yttriumoxide, zinkoxide en zinksulfide 35 omvat.

8. Bekleed substraat volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij het selectief absorberende materiaal van de onderlaag is gekozen uit roestvrijstaaloxide, ferrioxide, een chroomoxide, palladiumoxide en zirkoonoxide. 1006500

9. Bekleed substraat volgens één van de voorgaande conclusies waarbij de dikte van de selectief absorberende onderlaag minder dan 15 nm is.

10. Bekleed substraat volgens conclusie 9, waarbij 5 de dikte van de selectief absorberende onderlaag minder dan 5 nm is.

11. Bekleed substraat volgens één van de voorgaande conclusies en met slechts één metaallaag, waarbij de dikten van de diëlektrische lagen (i) en (iii) respectievelijk in de 10 bereiken van 25-45 nm en 35-55 nm liggen.

12. Bekleed substraat volgens één van de voorgaande conclusies en met slechts één metaallaag, waarbij de dikte van de metaallaag in het bereik van 10 tot 20 nm ligt.

13. Bekleed substraat volgens conclusie 12, dat een 15 lichtreflectie (RL)-waarde van minder dan 20% heeft.

14. Bekleed substraat volgens één van de voorgaande conclusies 1 tot 11 en met slechts één metaallaag, waarbij de dikte van de metaallaag in het bereik van meer dan 20 nm tot 20 nm ligt.

15. Bekleed substraat volgens conclusie 14, dat een lichtreflectie (RL)-waarde van minder dan 40% heeft.

16. Bekleed substraat volgens één van de conclusies 1 tot 10 en met twee metaallagen, waarbij de dikten van de twee lagen elk in het bereik van 10 tot 25 nm liggen.

17. Bekleed substraat volgens één van de conclusies 1 tot 10, of 16 en met twee metaallagen, waarbij de dikten van de diëlektrische lagen (i), (iii) en (v) respectievelijk in de bereiken van 15-35 nm, 60-90 nm en 20-40 nm liggen.

18. Bekleed substraat volgens elk van de voorgaande 30 conclusies, dat deel uitmaakt van een optische filter.

19. Bekleed substraat volgens conclusie 18, waarbij de dikten van de diëlektrische lagen (i) en (v) elk minder dan 10 nm zijn (met uitzondering van elke selectieve absorberende onderlaag) en de dikte van de diëlektrische lagen 35 (iii) (550 nm/4n) + 15% is [waarbij n de brekingsindex van de diëlektrische laag (iii) voorstelt].

20. Bekleed substraat volgens elk van de conclusies 16 tot 19, dat een lichtreflectie (RL)-waarde van minder dan 15% heeft. 1006500

21. Bekleed substraat volgens elk van de voorgaande conclusies, dat een kleurzuiverheid (p) van minder dan 20%, bij voorkeur minder dan 10%, heeft.

22. Bekleed substraat volgens elk van de voorgaande 5 conclusies, dat een dominante golflengte in het bereik van 480 tot 500 nm heeft.

23. Bekleed substraat volgens elk van de voorgaande conclusies, dat deel uitmaakt van een beglazingspaneel.

24. Dubbel beglazingspaneel dat een bekleed sub-10 straat volgens elk van de voorgaande conclusies omvat.

25. Dubbel beglazingspaneel volgens conclusie 24 en met een selectiviteit van meer dan 1,4. 1006500