KR980700452A - 산화층 형성 방법(process for producing an oxide layer) - Google Patents

산화층 형성 방법(process for producing an oxide layer) Download PDF

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Abstract

기판(2)의 표면 예비 산화는 기판(2)을 냉 플라즈마에 의해 여기된 산화 가스와 접촉시켜 수행하며, 상기 기판을 냉 플라즈마의 전광 흐름 내에 위치시켜 산화 원소를 여기시키고 500℃ 이하의 산화 온도로 가열한다. 금속 산화물은 냉 플라즈마에 의해 활성화된 산화 원소를 포함하는 가스 혼합물과 동시에 금속 할로겐 화합물의 불균일 산화에 의해 예비 산화된 기판 (2)의 표면 상에 형성된다. 산화 가스 혼합물은 냉플라즈마에서 멀리 떨어진 잔광의 흐름 내에 배치된 기판 부근에서 가능한한 직접적으로 할로겐 화합물과 접촉하도록 한다. 냉플라즈마는 적합하게는 극초단파로 발생시킨다. 상기 방법은 특히 핵 연료봉의 피복관에 보호막을 생성하는데 사용 가능하다.

Description

산화층 형성 방법(PROCESS FOR PRODUCING AN OXIDE LAYER)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1도는 본 발명에 따른 코팅 공정에 적합한 장치의 예시적인 실시예의 장면 및 단면도
제 1a도는 도 1에 도시된 장치된 염소 처리 쳄버의 확대 단면도.

Claims (15)

  1. 금속 산화물층을 가지는 지르코늄과 같은 보호막 금속 또는 보호막 금속에 기초하는 합금으로 형성된 기판(2)을 코팅하는 방법에 있어서, 기판(2)의 표면 예비 산화는 기판(2)을 냉플라즈마 내에서 여기된 산화 가스와 접촉하도록 하고, 상기 기판은 플라즈마의 잔광 흐름 내에 위치하며 500℃ 이하의 온도로 가열되고, 금속 산화물의 증착은 가스상 현태의 금속 할로겐 화합물을 냉플라즈마 내에서 여기된 산화 원소를 포함하는 반응성 가스 혼합물과 접촉시켜 플라즈마의 잔광 흐름 내에 위치한 기판 상에 금속 할로겐 화합물을 산화시켜서 생성되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 가스상 금속 할로겐 화합물은 분리된 형태로 금속(18) 상에 할로겐의 반응을 반응시켜 형성되고 소정의 반응 온도까지 가열하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 기판(2)은 냉플라즈마의 잔광 흐름 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 냉플라즈마는 극초단파로 생성되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 방법.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 할로겐 화합물을 산화시키기 위한 가스 혼합물은 산화 성분, 환원 성분 및 불활성 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 산화 성분은 순수 산소로, 환원 성분은 수소로, 불활성 가스는 아르곤으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 기판(2)과 할로겐 화합물을 산화시키기 위한 가스 혼합물을 250℃ 내지 500℃ 사이의 반응 온도까지 가열되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 방법.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 예비 산화 단계 중에 기판(2)과 접촉하는 산화 가스는 산화가스 아르곤을 섞은 산소로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 예비 산화 단계 중의 기판 및 산화 가스의 온도는 250℃ 내지 500℃ 사이인 것을 특징으로 하는 기판 코팅 방법.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 기판은 지르코늄 합금으로 구성되고, 기판(2) 상에 증착된 산화물은 지르코니아(ZrO2)로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 방법.
  11. 제 2 항에 있어서, 염소를 함유하는 가스는 분리된 형태로 지르코늄 상에서 반응하고, 160℃ 내지 350℃ 사이의 온도까지 가열되며, 가스상 형태의 지르코늄 테트라클로라이드(ZrCl4)를 얻는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 방법.
  12. 제 11 항에 있어서, 염소를 함유하는 가스는 염소와 아르곤 혼합물이며, 분리된 형태의 지르코늄(18)과 가스 혼합물의 온도는 300℃에 가까운 것을 특징으로 하는 기판 코팅 방법.
  13. 지르코늄 합금으로 형성되고, 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 얻어진 보호막 코팅을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자로의 연료봉 조립체용 피복관.
  14. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 얻어진 보호막 코팅을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자로의 연료봉 조립체용 이격 격자판.
  15. 내측 표면의 일부에 걸쳐서 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 얻어진 내마모성 코팅이 덮어져 있는 것을 특징으로 하는 원자로의 연료봉 조립체용 유도관.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970703711A 1994-12-01 1995-11-29 기판의산화물층코팅방법및,산하물층으로코팅된핵연료집합체피복관과유도관및스페이서그리드 KR100382689B1 (ko)

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