KR980000767A - 화학-기계식 연마 장치 및 연마 방법 - Google Patents

Abstract

고속 및 고정밀 연마가 장시간 안정적으로 수행될 수 있었다. 회전 구동 기구(1a)에 의해 회전할 수 있는 회전테이블(1)이 연마대(E1)에 구비되고, 연마대(E1)는 회전 테이블(1)에 의해 제거가능하게 유지된 기판을 회전시킨다. 공구대(E2)는 직경 방향으로 돌출한 아암(5a)을 갖는 공구 반송 기구를 구비하며, 반송 아암(5a)에 의해 지지되는 슬라이더(6) 하부에서 유지되는 연마 공구(2)를 회전 테이블(1)의 대향 구역으로 반송할수 있고, 연마 패드가 피연마면에 가해지는 소정의 작업 압력으로 기판(W)의 피연마면을 지자하도록 해서 연마를 수행할 수 있도록 설계되어 있다. 또한, 연마 중 실시간에서 기판(W)상의 이물질을 제거하기 위해 스크러버(7)가 제공된 스크러버 기구(8)는 연마를 수행하는 연마 공구(2)에 대해 회전 테이블(1)의 방향으로 하부 측면 구역에 배치되어 있다.

Description

화학-기계식 연마 장치 및 연마 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 화학-기계식 연마 장치의 개략 사시도.

제2도는 본 발명의 화학-기계식 연마 장치의 제어 시스템의 블록도.

제3도는 본 발명의 제2실시예에 따른 화학-기계식 연마 장치의 개략 사시도.

제4도는 본 발명의 제3실시예에 따른 화학-기계식 연마 장치의 개략 사시도.

제5도는 본 발명의 제4실시예에 따른 화학-기계식 연마 장치의 개략 사시도.

Claims (67)

1. 작업물의 피연마면과 상기 피연마면에 맞닿은 연마 공구의 연마면 사이로 피연마면에 인가되는 소저어 작업 압력으로 연마재를 공급하면서 연마를 수행하는 화학-기계식 연마 장치에 있어서, 상기 작업물을 유지 및 회전시키는 소전 테이블 회전 구동 기구에 의해 회전 가능한 회전 테이블과, 연마 공구 회전 구동 기구 및 가압 기구에 의해 회전되고 그 축방향으로 직선 이동되며 상기 작업물의 직경보다 작은 직경을 갖는 연마 공구와 연마를 수행하는 상기 연마공구에 대해 상기 회전 테이블의 회전 방향으로 하부측면 구역에 배치된 피연마면상의 이물질을 제거하는 이물질 제거 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 연마 공구를 지지하고 피봇 이동시키는 공구 피봇 이동 기구를 더 포함하고, 상기 이물질 제거 수단은 스크러버이고, 상기 스크러버는 상기 연마 공구에 의한 연마 동안에 이물질을 제거하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
3. 제1항에 있어서, 피봇 이동가능한 슬라이더를 통해 상기 연마 공구를 지지하고 상기 연마 공구들 중 하나를 선택하고 상기 회전 테이블에 대향하는 구역으로 상기 연마 공구를 반송하는 공구 반송 기구를 더 포함하고, 복수의 상기 작업물들이 제공되고, 상기 슬라이더의 선회 방향은 상기회전 테이블과 대향 위치에서 직경 방향이고, 상기 이물질 제거 수단은 스크러버인 것은 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
4. 제1항에 있어서, 상이한 종류의 연마재들 중 하나를 연속적으로 선택하고 이를 상기 호전 테이블에의해 지지되는 작업물의 피연마면에 공급하는 연마재 공급기구를 더 포함하고, 상기 이물질 제거 수단은 작업물의 피연마면상의 연마재 및 또는 이물질을 제거하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 연마 공구를 지지하고 회전 테이블의 직경 방향으로 상기 연마 공구를 피봇 이동시키는 연마 공구 피봇 이동 기구와, 상이한 종류의 연마재들중 하나를 연속적으로 선택하고 이를 상기회전 테이블에 의해 지지되는 작업물의 피연마면상으로 공급하는 연마재 공급 기구와, 작어물의 피연마면상의 연마재 및 또는 이물질을 제거하는 스크러버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
6. 제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 이물질 제거 수단은 스크러버인것은 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
7. 제2항, 제3항 및 제5항 중 어느 한 항에있어서, 상기 스크러버는 회전 테이블의 직경 방향으로 피봇 이동가능한 스크러버 피봇 이동 기구에 의해 지지되는 가압 기구와 스크러버 회전 구동 기구에 의해 회전되고 그 축방향으로 직선 이동되는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
8. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 연마되는 작업물의 연마 상태를 검출하는 검출 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 검출 장치는 작업물의 피연마면의 직경 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
10. 제2항, 제3항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 회전 브러시는 스크러버에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
11. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 연마 공구는 작업물의 피연마되는 전 표면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
12. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 연마 공구는 작업물의 피연마면중 일부를 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
13. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 연마 공구는 브러시를 구비한 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
14. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 연마 공구는 스폰지인 것은 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
15. 제4항 또는 제5항에 있어서, 적어도 하나의 연마재 공급 기구는 연마 공구와 일체로 제작되는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
16. 제4항 또는 제5항에 있어서, 연마 공구는 적어도 하나의 연마재 공급 포트를 갖는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
17. 제3항에 있어서, 상기 복수개의 연마 공구 중 적어도 하나의 직경은 다른 연마 공구의 직경과 다른 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
18. 작업물의 피연마면과 상기 피연마면에 맞닿은 연마 공구의 연마면 사이로 피연마면에 인가되는 소정 작업 압력으로 연마재를 공급하면서 연마를 수행하는 화학-기계식 연마 방법에 있어서, 상기 작업물 보다 더 작은 직경의 연마 공구를 구비한 회전 테이블에 의해 유지된 상기 작업물의 피연마면의 대항 구역에서 연마될 상기 표면에 제공된 소정 작업 압력으로 상기 연마 공구의 연마면이 상기 작업물의 피연마면에 대항하여 지탱시키는 단계와, 상기 작업물과 상기 연마 공구를 회전시키고 연마를 수행하기 위해 상기 연마 공구를 상기 작업물의 피연마면을 따라 피봇 이동시키는 단계와, 상기 연마와 동시에 하부 측면 구역 내에서 스크러버에 의해 연마를 수행하는 상기 연마 공구에 대해 상기 작업물의 피연마면의 호전 방향으로 어떠한 이물질을 제거하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
19. 제18항에 있어서, 공구 반송 기구에 의해 지지된 복수개의 상기 작업물보다 직경이 작은 연마 공구 중 하나를 선택하는 단계를 더 포함하고, 상기 연마 공구는 상기 작업물의 피연마면에 대항하는구역으로 반송되고 상기 작업물 및 상기 선택된 연마 공구는 상기 회전 테이블의 직경 방향으로 상기 연마 공구를 피봇 이동시키도록 회전되어 연마를 수행하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
20. 제18항 또는 제19항에 있어서, 상기 작업물의 연마 동안 공급되는 연마재는 상이한 종류의 연마재들 가운데 연속 선택되고 변경되는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
21. 제20항에 있어서, 다른 종류의 연마재가 동일 연마재의 입자와 입경이 다른 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
22. 제18항 또는 제19항에 있어서, 미세한 입자를 포함한 알칼리성 액체가 피연마면에 공급되는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
23. 제18항 또는 제19항에 있어서, 작업물이 그 위에 형성된 절연막 그리고/또는 금속막을 갖는 피연마면을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
24. 제18항 또는 제19항에 있어서, 미세한 입자를 포함한 알칼리성 액체가 피연마면에 공급되는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
25. 제18항, 제19항 및 제22항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 작업물의 전체 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
26. 제18항, 제19항 및 제22항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 작업물의 일부 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
27. 제6항에 있어서, 상기 스크러버가 스크러버 회전 구둥 기구 및 회전 테이블의 직경 방향으로 이동할 수 있는 피봇식 이동 스크러버 기구에 의해 지지되는 가압 기구에 의해 회전되고 축방향으로 직선으로 이동되는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
28. 제6항에 있어서, 작업물의 연마 상태를 검출하기 위한 검출 장치를 구비한 것을 특징으로 화학-기계식 연마 장치.
29. 제7항에 있어서, 작업물의 연마 상태를 검출하기 위한 검출 장치를 구비한 것을 특징으로 화학-기계식 연마 장치.
30. 제6항에 있어서, 회전 브러시가 스크러버어 의해 지지되는 것을 특징으로 화학-기계식 연마 장치.
31. 제7항에 있어서, 회전 브러시가 스크러버에 의해 지지되는 것을 특징으로 화학-기계식 연마 장치.
32. 제6항에 있어서, 연마 공구는 작업물의 전체 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
33. 제7항에 있어서, 연마 공구는 작업물의 전체 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
34. 제8항에 있어서, 연마 공구는 작업물의 전체 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
35. 제9항에 있어서, 연마 공구는 작업물의 전체 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
36. 제10항에 있어서, 연마 공구는 작업물으 일부 피연마면을 연마하는 것은 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
37. 제6항에 있어서, 연마 공구는 작업물의 일부 피연마면을 연마하는것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
38. 제7항에 있어서, 연마 공구는 작업물의 일부 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
39. 제8항에 있어서, 연마 공구는 작업물의 일부 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
40. 제9항에 있어서, 연마 공구는 작업물의 일부 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
41. 제10항에 있어서, 연마 공구는 작업물의 일부 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
42. 제6항에 있어서, 연마 공구는 브러시인 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
43. 제7항에 있어서, 연마 공구는 브러시인 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
44. 제8항에 있어서, 연마 공구는 브러시인 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
45. 제9항에 있어서, 연마 공구는 브러시인 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
46. 제10항에 있어서, 연마 공구는 브러시인 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
47. 제11항에 있어서, 연마 공구는 브러시인 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
48. 제12항에 있어서, 연마 공구는 브러시인 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
49. 제6항에 있어서, 연마 공구는 스폰지인것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
50. 제7항에 있어서, 연마 공구는 스폰지인것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
51. 제8항에 있어서, 연마 공구는 스폰지인것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
52. 제9항에 있어서, 연마 공구는 스폰지인것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
53. 제10항에 있어서, 연마 공구는 스폰지인것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
54. 제11항에 있어서, 연마 공구는 스폰지인것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
55. 제12항에 있어서, 연마 공구는 스폰지인것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
56. 제20항에 있어서, 상기 작업물은 반도체인 것은 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
57. 제21항에 있어서, 상기 작업물은 반도체인 것은 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
58. 제20항에 있어서, 상기 작업물은 그 상에 형성된 절연막 및/도는 금속막을 갖는 연마면을 갖는 것을 특징응로 하는 화학-기계식 연마 방법.
59. 제21항에 있어서, 상기 작업물은 그 상에 형성된 절연막 및 /또는 피연마면을 갖는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
60. 제20항에 있어서, 그 속에 미세한 입자를 함유하는 알칼리성 액체가 피연마면에 공급되는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
61. 제21항에 있어서, 그 속에 미세한 입자를 함유하는 알칼리성 액체가 피연마면에 공급되는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
62. 제20항에 있어서, 작업물의 전체 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
63. 제21항에 있어서, 작업물의 전체 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
64. 제20항에 있어서, 작업물의 단지 일부 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
65. 제21항에 있어서, 작업물의 단지 일부 피연마면을 연마하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 방법.
66. 제6항에 있어서, 피연마 작업물의 연마 상태를 검출하기위한 검출 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.
67. 제7항에 있어서, 피연마 작업물의 연마 상태를 검출하기위한 검출 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 화학-기계식 연마 장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.