KR970060366A - 배럴형 반응로를 정화시키기 위한 장치 - Google Patents

배럴형 반응로를 정화시키기 위한 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 반응가스를 사용하는 화학증기착 공정으로 반도체 웨이퍼상에 소정의 물질을 증착하기 위한 반응로에 관한 것이다. 이 반응로는 반도체 웨이퍼를 하나 이상 받아들일 수 있는 반응챔버를 형성하는 쉘을 구비하고 있다. 이 쉘은, 반응챔버 안으로 열린 상태로 이 반응챔버의 외부로 형성되어 있는 젯포트 캐비티를 구비한다. 또한, 반응로는, 반응가스를 반응챔버에 전달하기 위한 반응가스 전달 시스템을 구비한다. 이 반응가스 전달 시스템은, 반응가스를 반응챔버 안으로 도입시키기 위해 젯포프 캐비티안에 배치되는 노즐과, 반응가스원, 그리고 이 반응가스원과 노즐 사이에서 신장되어 배치되는 반응가스 라인을 구비한다. 또한, 반응로는 정화가스를 반응챔버에 전달하기 위한 정화가스 전달 시스템을 구비한다. 이 정화가스 전달 시스템은, 정화가스를 젯포트 캐비티에 도입시키기 위해 이 젯포트 캐비티안으로 열려 있는 정화가스 포트와, 정화가스원, 그리고 정화가스를 정화가스원으로부터 정화가스 포트로 전달하기 위한 수단을 구비한다.

Description

배럴형 반응로를 정화시키기 위한 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 정화가스 전달 시스템과 반응가스 전달 시스템이 함께 도시된 배럴형 반응로의 개략도.
제2도는 간략화를 위해 일부를 생략한 비럴형 반응로의 부분 단면도.
제3도는 배럴형 반응로의 가스링과 가스분사 제트의 개략적인 평편도.
제4도는 하나의 젯포트 캐비타와 노즐을 보여주는 가스링의 부분 확대 단면도.
제5도는 다른 젯포트 캐비티와 노즐을 보여주는 가스링의 부분 확대 단면도.

Claims (7)

  1. 반응가스를 사용하는 화학증기착 공정으로 반도체 웨이퍼상에 소정의 물질을 증착하기 위한 배럴형 반응로에 있어서, 상기 배럴형 반응로는, 하나 이상의 반도체 웨이퍼를 받아들이도록 구성된 반응챔버를 형성하는 쉘로서, 상기 반응챔버 안으로 열린 상태로 이 반응챔버의 외부로 형성되어 있는 젯포트 캐비티를 구비하는 쉘과, 반응가스를 상기 반응챔버에 전달하기 위한 반응가스 전달 시스템, 그리고 정화가스 전달 시스템을 구비하며, 상기 반응가스 전달 시스템은, a) 반응가스를 반응챔버 안으로 유도하기 위해 상기 젯포트 캐비티안에 배치되는 노즐과, b) 반응가스를 상기 노즐을 통해 반응챔버 안으로 전달하기 전에, 이 반응가스를 저장하기 위한 반응가스원과, c) 반응가스를 상기 노즐에 전달하기 위해, 상기 반응가스원과 노즐 사이에서 신장되어 설치되는 반응가스 라인을 구비하며, 상기 정화가스 전달 시스템은, a) 상기 젯포트 캐비티로부터 반응가스를 제거하기 위해, 이 캐비티 안으로 열려 정화가스를 젯포트 캐비티안으로 보내기 위한 정화가스 포트와, b) 정화가스를 상기 정화가스 포트를 통해 젯포트 캐비티에 보내기 전에, 이 정화가스를 저장하기 위한 정화가스원과, c) 상기 젯포트 캐비티를 정화시키기 위해, 정화가스원으로부터 정화가스 포트로 정화가스를 전달하기 위한 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 배럴형 반응로.
  2. 제1항에 있어서, 상기 정화가스 포트는 상기 노즐위에 배치되어 젯포트 캐비티의 한 측면으로 향하는 것을 특징으로 하는 반응로.
  3. 제2항에 있어서, 상기 노즐은, 반응가스가 반응챔버 안으로 들어갈 때 지날 수 있는 통로를 가지며, 상기 정화가스 전달 수단은, 노즐과 반응가스라인 중의 하나에 연결되는 정화가스 라인과, 정화가스를 상기 노즐통로에 선택적으로 유입시키기 위한 밸브를 구비하며, 정화가스 포트는, 정화가스를 젯포트 캐비티 안으로 보내기 위해 상기 노즐통로와 연통하는 것을 특징으로 하는 반응로.
  4. 제3항에 있어서, 상기 정화가스 포트가, 노즐통로의 길이 방향에 일반적으로 수직인 횡방향으로 정화가스를 젯포트 캐비티에 전달하는 것을 특징으로 하는 반응로.
  5. 제1항에 있어서, 상기 정화가스 포트가 젯포트 캐비티의 한 측면에 위치하는 것을 특징으로 하는 반응로.
  6. 제5항에 있어서, 상기 정화가스 포트가 일반적으로 노즐을 향하는 것을 특징으로 하는 반응로.
  7. 제6항에 있어서, 상기 정화가스 포트의 길이방향 축선이 노즐의 길이방향 축선에 대해 경사져 있는 것을 특징으로 하는 반응로.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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