KR970054511A - 박막의 스트레스 보상 수단이 마련된 박막 소자 및 그 제조 방법 - Google Patents
박막의 스트레스 보상 수단이 마련된 박막 소자 및 그 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 박막의 스트레스 보상수단이 마련된 박막 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
기능성 박막과 전극이 순차적으로 형성된 지지부가 부분적으로 식각되어 박막 스트레스에 의해 박막과 전극이 휘어지게 되고 휘어진 부분 밑에 전극을 증착시키고 폴리이미드를 도포한 후 하드 베이킹하여 박막 스트레스를 보상하고 휘어진 부분을 똑바르게하여 공정을 간단하게 하고 수율을 높이며 공정 단가를 줄일 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 (가)에서 (사)는 본 발명에 따른 박막의 스트레스 보상수단이 마련된 박막 소자의 공정 순서도이다.
Claims (5)
- 기능성 박막과, 상기 기능성 박막 상하에 마련되는 상하부 전극 및 상기 적층을 지지하는 양 지지부를 구비한 박막 소자에 있어서, 상기 지지부는 상기 기능성 박막의 하부 양측에 위치하고, 상기 하부 전극은 상기 지지부 사이의 가능성 박막의 저면으로부터 상기 양 지지부 중 어느 하나의 측면으로 연장 형성되고, 상기 하부 전극의 저면에는 절연층이 형성된 것을 특징으로 하는 박막의 스트레스 보상수단이 마련된 박막 소자.
- 제1항에 있어서, 상기 절연층의 재질이 폴리이미드인 특징이 있는 박막의 스트레스 보상수단이 마련된 박막 소자.
- 인장 스트레스에 의해 휘어진 기능성 박막의 하부와 부분적으로 시각된 지지부의 한 쪽과 접촉하도록 하부 전극을 증착하는 단계; 휘어진 부분에만 절연층을 형성하는 단계; 및 절연층이 형성된 휘어진 부분과 지지부를 하드 베이킹하여 절연층의 수축에 의해 박막의 인장 스트레스를 보상하고 휘어진 부분을 펴주는 단계를 포함하는 특징이 있는 박막 스트레스 보상 방법.
- 제3항에 있어서, 하부 전극을 증착하는 단계가 지지부를 준비하고 상기 지지부 위에 기능성 박막을 형성하는 단계; 상기 기능성 박막 위에 상부 전극을 형성하는 단계; 및 지지부를 부분적으로 식각하는 단계를 포함하는 특징이 있는 박막의 스트레스 보상 방법.
- 제3항에 있어서, 절연층의 재질이 폴리이미드인 특징이 있는 박막 스트레스 보상 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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1995
- 1995-12-28 KR KR1019950062188A patent/KR970054511A/ko not_active Application Discontinuation
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