KR950029794A - 광로조절장치 및 그 제조방법 - Google Patents

광로조절장치 및 그 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR950029794A
KR950029794A KR1019940009504A KR19940009504A KR950029794A KR 950029794 A KR950029794 A KR 950029794A KR 1019940009504 A KR1019940009504 A KR 1019940009504A KR 19940009504 A KR19940009504 A KR 19940009504A KR 950029794 A KR950029794 A KR 950029794A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
signal electrode
connection terminals
plug
mirror
electrically connected
Prior art date
Application number
KR1019940009504A
Other languages
English (en)
Other versions
KR0151457B1 (ko
Inventor
민용기
Original Assignee
배순훈
대우전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 배순훈, 대우전자 주식회사 filed Critical 배순훈
Priority to KR1019940009504A priority Critical patent/KR0151457B1/ko
Priority to US08/428,757 priority patent/US5610773A/en
Priority to CN95104753A priority patent/CN1072804C/zh
Priority to JP7131130A priority patent/JPH07301755A/ja
Publication of KR950029794A publication Critical patent/KR950029794A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0151457B1 publication Critical patent/KR0151457B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/015—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on semiconductor elements having potential barriers, e.g. having a PN or PIN junction
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/085—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/0102—Constructional details, not otherwise provided for in this subclass

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)

Abstract

본 발명은 광로조절장치 및 그제조방법에 관한 것으로서, 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 각각의 트랜지스터에 전기적으로 연결된 제1 및 제2접속단자를 갖는 구동기판과; 상기 구동기판에 상기 제1 및 제2접속단자를 각각 에워싸며 분리되게 형성된 지지부와, 상기 지지부를 관통하여 상기 제1 및 제2접속단자와 접촉되게 형성된 제1플러그와, 상기 지지부의 상부에 일측의 소정부분이 접촉되도록 실장되며 상기제1플러그와 전기적으로 연결되는 신호전극과, 상기 제1 및 제2접속단자를 전기적으로 분리하기 위해 신호전극의 소정부분을 에워싸는 절연체와, 상기 변형부의 소정부분을 관통하도록 형성되어 상기 제2접속단자와 전기적으로 연결되는 신호전극과 접촉하는 제2플러그와, 상기 신호전극의 상부에 형성된 변형부와, 상기 변형부의 상부에 일측부분과 타측부분이 전기적 및 물리적으로 분리되게 형성되되 일측부분이 상기 제2프러그와 접촉되는 거울로 이루어진 액츄에이터를 구비한다. 따라서, 변형부 상부의 일측부분에 형성된 거울이 바이어스 전극으로 사용되어 변형부는 이와 중첩되는 일측부분에서만 휘어짐이 발생되고 나머지 타측부분이 평탄하게 경사지므로 광특성을 향상시킬 수 있으며, 또한, 변형부의 휘어지는 면적이 축소되므로 거울과의 계면에서 발생되는 응력을 감소시킬 수 있어 크랙 발생 및 박리현상을 감소시킬 수 있는 잇점이있고, 바이어스 전압이 구동기판에 형성된 도선 패턴에 의해 공통으로 바이어스 전극에 인가되므로 바이어스 전극의 결함시 열방향의 모든 액츄에이터가아닌 해당되는 액츄에이터만 구동되지 않아 손실을 최소화할 수 있다.

Description

광로조절장치 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 광로조절장치의 평면도, 제3도는 제2도를 a-a선으로 자른 단면도, 제4도 (A) 내지 (D)는 본 발명에 따른 광로조절장치의 제조공정도.

Claims (10)

  1. 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 각각의 트랜지스터에 전기적으로 연결된 제1 및 제2접속 단자를 갖는 구동기판과; 상기 구동기판에 상기 제1 및 제2접속단자를 각각 에워싸며 분리되게 형성된 지지부와, 상기 지지부를 관통하여 상기 제1 및 제2접속단자와 접촉되게 형성된 제1플러그와, 상기 지지부의 상부에 일측의 소정부분이 접촉되도록 실장되며 상기 제1플러그와 전기적으로 연결되는 신호전극과, 상기 제1 및 제2접속단자를 전기적으로 분리하기 위해 신호전극의 소정부분을 에워싸는 절연체와, 상기 변형부의 소정부분을 관통하도록 형성되어 상기 제2접속단자와 전기적으로 연결되는 신호전극과 접촉하는 제2플러그와, 상기 신호전극의 상부에 형성된 변형부와, 상기 변형부의 상부에 일측부분과 타측부분이 전기적 및 물리적으로 분리되게 형성되되 일측부분이 상기 제2플러그와 접촉되는 거울로 이루어진 액츄에이터를 구비하는 광로조절장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 신호전극이 0.7∼2㎛정도의 두께로 형성되어 멤브레인으로도 이용되는 광로조절장치.
  3. 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 이 트랜지스터 각각에 제1 및 제2접속단자가 전기적으로 연결되도록 형성된 구동기판의 상부에 상기 제1 및 제2접속단자와 접촉되지 않도록 희생막을 형성하는 공정과, 상기 희생막이 형성되지 않은 구동기판의 상부에 상기 제1 및 제2접속단자를 에워싸는 지지부를 형성하는 공정과, 상기 지지부의 소정 부분을 제1 및 제2접속단자가 노출되도록 제거하고 제1플러그를 형성하는 공정과, 상기 희생막과 지지부의 상부에 신호전극을 제1플러그에 접촉되도록 형성하는 공정과, 상기 신호전극의 소정부분을 패터닝하고 절연체를 채워 제1 및 제2접속단자를 전기적으로 분리하는 공정과, 상기 신호전극의 상부에 변형부를 형성하는 공정과, 상기 제2접속단자와 전기적으로 연결되는 신호전극이 노출되도록 변형부의 소정부분을 제거한 후 제2플러그를 채우는 공정과, 상기 변형부의 표면에 일측부분과 타측부분이 전기적 및 물리적으로 분리되도록 형성하되 일측부분이 제2플러그와 접촉되도록 거울을 형성하는공정과, 상기 거울부터 신호전극까지 소정부분을 희생막이 노출되도록 제거하여 화소들을 분리하는 공정과, 상기 희생막을 제거하는 공정을 구비하는 광로조절장치의 제조방법.
  4. 3항에 있어서, 상기 지지부를 포토리쏘그래피법에 의한 에칭 또는 리프트-오프법중 어느 하나로 한정하는 광조조절장치의 제조방법.
  5. 제3항에 있어서, 상기 신호전극를 0.7∼2㎛ 정도의 두께로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
  6. 제3항에 있어서, 상기 변형부를 압전 또는 전왜세라믹으로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 변형부를 Sol-Gel법, 스피터링 또는 CVD법들중 어느 하나로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 변형부를 0.7∼2㎛ 정도의 두께로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
  9. 제5항에 있어서, 상기 거울을 진공증착 또는 스퍼터링하여 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 거울을 500∼1000A 정도의 두께로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940009504A 1994-04-30 1994-04-30 광로조절장치 및 그 제조방법 KR0151457B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019940009504A KR0151457B1 (ko) 1994-04-30 1994-04-30 광로조절장치 및 그 제조방법
US08/428,757 US5610773A (en) 1994-04-30 1995-04-25 Actuated mirror array and method for the manufacture thereof
CN95104753A CN1072804C (zh) 1994-04-30 1995-04-28 可驱动反射镜阵列及其制造方法
JP7131130A JPH07301755A (ja) 1994-04-30 1995-05-01 Ｍ×ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレー及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019940009504A KR0151457B1 (ko) 1994-04-30 1994-04-30 광로조절장치 및 그 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR950029794A true KR950029794A (ko) 1995-11-24
KR0151457B1 KR0151457B1 (ko) 1998-12-15

Family

ID=19382259

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019940009504A KR0151457B1 (ko) 1994-04-30 1994-04-30 광로조절장치 및 그 제조방법

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5610773A (ko)
JP (1) JPH07301755A (ko)
KR (1) KR0151457B1 (ko)
CN (1) CN1072804C (ko)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0150541B1 (ko) * 1995-03-31 1998-10-15 배순훈 광로조절장치와 그 제조방법
GB2313451A (en) * 1996-05-23 1997-11-26 Daewoo Electronics Co Ltd Method for manufacturing a thin film actuated mirror array
KR100229788B1 (ko) * 1996-05-29 1999-11-15 전주범 광로 조절 장치의 제조 방법
KR100212539B1 (ko) * 1996-06-29 1999-08-02 전주범 박막형 광로조절장치의 엑츄에이터 및 제조방법
KR19980069199A (ko) * 1997-02-27 1998-10-26 배순훈 광효율을 향상시킬 수 있는 박막형 광로 조절장치 및 그 제조 방법
US7136215B1 (en) * 2005-05-18 2006-11-14 Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. Piezoelectrically-activated cantilevered spatial light modulator
CN103309088B (zh) * 2013-06-20 2015-07-15 京东方科技集团股份有限公司 背光结构及其制备方法、显示装置、显示方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3886310A (en) * 1973-08-22 1975-05-27 Westinghouse Electric Corp Electrostatically deflectable light valve with improved diffraction properties
JPS5941169B2 (ja) * 1975-12-25 1984-10-05 シチズン時計株式会社 エラストマ−ヒヨウジソウチ
US4079368A (en) * 1976-05-17 1978-03-14 International Business Machines Corporation Information display through deformation of liquid dielectric media
DE2726530C2 (de) * 1977-06-13 1984-08-30 D. Swarovski & Co., Wattens, Tirol Konzentrierender Sonnenkollektor
FR2574953B1 (fr) * 1984-12-19 1988-09-02 Centre Nat Rech Scient Substrat de miroir, notamment pour optique de precision, et procede pour sa fabrication
US4985926A (en) * 1988-02-29 1991-01-15 Motorola, Inc. High impedance piezoelectric transducer
US4874979A (en) * 1988-10-03 1989-10-17 Burleigh Instruments, Inc. Electromechanical translation apparatus
US5140396A (en) * 1990-10-10 1992-08-18 Polaroid Corporation Filter and solid state imager incorporating this filter
US5287215A (en) * 1991-07-17 1994-02-15 Optron Systems, Inc. Membrane light modulation systems
US5175465A (en) * 1991-10-18 1992-12-29 Aura Systems, Inc. Piezoelectric and electrostrictive actuators
JP2798845B2 (ja) * 1992-03-26 1998-09-17 株式会社テック インクジェットプリンタヘッドの製造方法
US5361170A (en) * 1992-06-11 1994-11-01 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Polygonal mirror
JP3151644B2 (ja) * 1993-03-08 2001-04-03 日本碍子株式会社 圧電／電歪膜型素子
KR960016286B1 (ko) * 1993-03-31 1996-12-07 대우전자 주식회사 투사형화상표시장치
US5423207A (en) * 1993-12-27 1995-06-13 International Business Machines Corporation Advanced PZT glide head design and implementation for a small slider

Also Published As

Publication number Publication date
CN1125327A (zh) 1996-06-26
KR0151457B1 (ko) 1998-12-15
US5610773A (en) 1997-03-11
JPH07301755A (ja) 1995-11-14
CN1072804C (zh) 2001-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970024315A (ko) 센서 및 센서 제조 방법(Sensor and method for manufacturing the same)
KR900011053A (ko) 발광다이오드 어레이 헤드의 제조방법
RU96112195A (ru) Тонкопленочная приводимая в действие зеркальная матрица для использования в оптической проекционной системе и способ ее изготовления
KR950029795A (ko) 광로조절장치 및 그 제조방법
KR950029794A (ko) 광로조절장치 및 그 제조방법
KR950005004A (ko) 투사형화상표시장치용 광로조절장치 및 그 제조방법
RU96119962A (ru) Периодическая структура из тонкопленочных связанных с приводом зеркал для оптических проекционных систем и способ ее изготовления
JPH07159709A (ja) エレクトロディスプレーシブアクチュエーチドミラーアレーおよびその製法
US5836797A (en) Method of manufacturing a field emission array
KR100787217B1 (ko) Ｍｅｍｓ 구조물 및 그 제조방법
JPS60261174A (ja) マトリツクスアレ−
KR950013237A (ko) 광로조절장치
KR970054559A (ko) 광로 조절 장치의 제조 방법
KR960028118A (ko) 광로조절장치와 그 제조방법
KR950027467A (ko) 광로조절장치 및 그 제조방법
KR970030364A (ko) 광로 조절장치의 제조방법
KR950016309A (ko) 광로조절장치의 제조방법
KR950005003A (ko) 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법
KR950007486A (ko) 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법
KR970009332A (ko) 광로 조절 장치의 제조방법
RU97112466A (ru) Матрица тонкопленочных возбуждаемых зеркал и способ ее изготовления
KR950016308A (ko) 광로조절장치의 제조방법
KR960036629A (ko) 광로조절장치와 그 제조방법
KR960043848A (ko) 광로 조절 장치의 제조방법
KR960043852A (ko) 광로 조절 장치의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20020530

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee