KR950005003A - 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법 - Google Patents
투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 투사형화상표시장치용 광로조절장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 벌크상태의 세라믹을 얇게 자르고 연마한 웨이퍼에 반도체 공정으로 홈들에 의해 제1 및 제2 변형부들이 구분되고, 이 제1 및 제2 변형부들의 상부에 홈들의 상부에 측방돌출된 절연층들을 가지는 액츄에이터들을 가공하고, 절연층들에 의해 지지되도록 상기 가공된 액츄에이터들에 직접 박막기술로 거울들을 형성한다. 따라서, 벌크상태의 세라믹을 얇게 잘라 세라믹 웨이퍼를 쉽게 가공할 수 있으며, 반도체 공정으로 액츄에이터들을 가공하므로 소형화하기 쉬울 뿐만 아니라 수율 및 생산성을 향상시킬 수 있고, 또한, 액츄에이터의 변형부들을 압전세라믹으로 만들 경우 웨이퍼 상태에서 낮은 전압으로 분극할 수 있으며, 그리고, 거울들을 박막 형성 방법으로 액츄에이터들에 직접 형성하므로 실장하기 쉽다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도(A) 내지 (F)는 종래 방법에 따른 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조공정도, 제2도(A) 내지 (D)는 본 발명에 따른 투사형화상표시장치용 광로 조절장치의 제조공정도.
Claims (9)
- 벌크상태의 세라믹을 얇게 가공하여 세라믹웨이퍼를 만드는 제1공정과 ; 상기 세라믹웨이퍼의 하부표면에 M×N개의 신호전극들을 형성하고, 상기 세라믹웨이퍼를 M×N개의 트랜지스터들이 내장되고 표면에 상기 트랜지스터들과 전기적으로 연결되는 패드들을 가지는 구동패드의 상부에 상기 신호 전극들이 패드들과 접촉되도록 실장하는 제2공정과 ; 상기 세라믹웨이퍼의 상부표면의 소정부분에 각각의 신호전극의 열들에 소정 부분들이 중첩되게 세로방향으로 길게 제1 및 제2바이어스 전극들을 형성하는 제3공정과 ; 상기 제1 및 제2바이어스 전극들이 노출되지 않도록 상부에 절연층들과 포토레지스트층들을 형성하고 상기 절연층들이 측방향으로 돌출되도록 상기 세라믹웨이퍼의 노출된 부분을 식각하여 홈들을 형성하는 제4공정과 ; 상기 절연층들의 측면에 하부가 부착 및 지지되도록 거울들을 형성하고 상기 포토레지스트층을 제거하는 제5공정과 ; 상기 제1 및 제2바이어스전극들이 각각 공통이 되도록 도선들로 연결하는 제6공정을 구비하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 제1공정에서, 상기 세라믹웨이퍼를 200∼500μm 정도의 두께로 형성하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 세라믹웨이퍼를 PMN 등의 전왜세라믹으로 형성하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 세라믹웨이퍼를 BaTiO3, PZT 또는 PLZT 등의 압전세라믹으로 형성하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 제3공정에서, 상기 제1 및 제2바이어스 전극들을 형성하기 전에 세라믹웨이퍼를 연마하는 공정을 더 구비하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
- 제5항에 있어서, 상기 세라믹웨이퍼를 30∼50μm 정도의 두께로 연마하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 절연층을 산화막 또는 질화막으로 형성하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 제5공정에서, 상기 절연층에서 역경사를 이루고 상부표면이 평탄하도록 상기 포토레지스트층의 표면에 반사특성이 좋은 금속을 침적하는 단계와, 상기 침적된 금속을 포토리쏘그래피 방법으로 분리하는 단계로 이루어져 있는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
- 제8항에 있어서, 상기 금속을 스퍼터링, 전자빔 또는 이온 플레이팅 방법으로 침적하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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KR970003447B1 KR970003447B1 (ko) | 1997-03-18 |
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KR1019930013842A KR970003447B1 (ko) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법 |
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Cited By (2)
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KR20160064316A (ko) | 2014-11-27 | 2016-06-08 | (주)금강이엔지 | 게이트 펌프장치의 플랩밸브 |
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1993
- 1993-07-21 KR KR1019930013842A patent/KR970003447B1/ko not_active IP Right Cessation
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KR20160064316A (ko) | 2014-11-27 | 2016-06-08 | (주)금강이엔지 | 게이트 펌프장치의 플랩밸브 |
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KR970003447B1 (ko) | 1997-03-18 |
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