KR950005003A - 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법 - Google Patents

투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 투사형화상표시장치용 광로조절장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 벌크상태의 세라믹을 얇게 자르고 연마한 웨이퍼에 반도체 공정으로 홈들에 의해 제1 및 제2 변형부들이 구분되고, 이 제1 및 제2 변형부들의 상부에 홈들의 상부에 측방돌출된 절연층들을 가지는 액츄에이터들을 가공하고, 절연층들에 의해 지지되도록 상기 가공된 액츄에이터들에 직접 박막기술로 거울들을 형성한다. 따라서, 벌크상태의 세라믹을 얇게 잘라 세라믹 웨이퍼를 쉽게 가공할 수 있으며, 반도체 공정으로 액츄에이터들을 가공하므로 소형화하기 쉬울 뿐만 아니라 수율 및 생산성을 향상시킬 수 있고, 또한, 액츄에이터의 변형부들을 압전세라믹으로 만들 경우 웨이퍼 상태에서 낮은 전압으로 분극할 수 있으며, 그리고, 거울들을 박막 형성 방법으로 액츄에이터들에 직접 형성하므로 실장하기 쉽다.

Description

투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도(A) 내지 (F)는 종래 방법에 따른 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조공정도, 제2도(A) 내지 (D)는 본 발명에 따른 투사형화상표시장치용 광로 조절장치의 제조공정도.

Claims (9)

  1. 벌크상태의 세라믹을 얇게 가공하여 세라믹웨이퍼를 만드는 제1공정과 ; 상기 세라믹웨이퍼의 하부표면에 M×N개의 신호전극들을 형성하고, 상기 세라믹웨이퍼를 M×N개의 트랜지스터들이 내장되고 표면에 상기 트랜지스터들과 전기적으로 연결되는 패드들을 가지는 구동패드의 상부에 상기 신호 전극들이 패드들과 접촉되도록 실장하는 제2공정과 ; 상기 세라믹웨이퍼의 상부표면의 소정부분에 각각의 신호전극의 열들에 소정 부분들이 중첩되게 세로방향으로 길게 제1 및 제2바이어스 전극들을 형성하는 제3공정과 ; 상기 제1 및 제2바이어스 전극들이 노출되지 않도록 상부에 절연층들과 포토레지스트층들을 형성하고 상기 절연층들이 측방향으로 돌출되도록 상기 세라믹웨이퍼의 노출된 부분을 식각하여 홈들을 형성하는 제4공정과 ; 상기 절연층들의 측면에 하부가 부착 및 지지되도록 거울들을 형성하고 상기 포토레지스트층을 제거하는 제5공정과 ; 상기 제1 및 제2바이어스전극들이 각각 공통이 되도록 도선들로 연결하는 제6공정을 구비하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 제1공정에서, 상기 세라믹웨이퍼를 200∼500μm 정도의 두께로 형성하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 세라믹웨이퍼를 PMN 등의 전왜세라믹으로 형성하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
  4. 제2항에 있어서, 상기 세라믹웨이퍼를 BaTiO3, PZT 또는 PLZT 등의 압전세라믹으로 형성하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서, 제3공정에서, 상기 제1 및 제2바이어스 전극들을 형성하기 전에 세라믹웨이퍼를 연마하는 공정을 더 구비하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 세라믹웨이퍼를 30∼50μm 정도의 두께로 연마하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 절연층을 산화막 또는 질화막으로 형성하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
  8. 제1항에 있어서, 제5공정에서, 상기 절연층에서 역경사를 이루고 상부표면이 평탄하도록 상기 포토레지스트층의 표면에 반사특성이 좋은 금속을 침적하는 단계와, 상기 침적된 금속을 포토리쏘그래피 방법으로 분리하는 단계로 이루어져 있는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 금속을 스퍼터링, 전자빔 또는 이온 플레이팅 방법으로 침적하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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KR20160064316A (ko) 2014-11-27 2016-06-08 (주)금강이엔지 게이트 펌프장치의 플랩밸브

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