KR940027535A - 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법 - Google Patents

투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로 세라믹웨이퍼를 이루는 세라믹층의 상부에 제1금속막과 평행하게 홈들을 형성하고, 홈들 내부측면에 제2금속막들로 이루어지고 서로 분리된 제1 및 제2외부전극들을 형성한 후, 또는, 액츄에이터들을 형성하고 제1외부전극들과 제2외부전극들을 별도로 공통접지시킨 후 이 제1 및 제2외부전극들 사이의 각각에 전압을 인가하여 세라믹층들 또는 액츄에이터들의 탑들을 분극시킨다. 그리고, 액츄에이터들의 제1외부전극들과 제2전극들을 각각 도선으로 연결한 후 별도로 공통접지시킨다. 따라서, 세라믹층들 또는 액츄에이터들의 얇은 탑들 각각을 동시에 낮은 인가 전압으로 분극할 수 있는 잇점이 있다. 또한, 제조공정 또는 사용시에 세라믹층들이 탈 분극되어도 액츄에이터들의 제1 및 제2외부전극들을 별도로 공통접지시키므로 재분극을 쉽게할 수 있다.

Description

투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도(a) 내지(e)는 본 발명에 따른 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조공정도.

Claims (10)

  1. 압전세라믹의 층들과 내부전극이 될 제1금속막들이 교호하는 벌크 상태의 다층세라믹을 성형 및 소결하는 공정과; 상기 제1금속막들과 수직인 방향으로 상기 다층 세라믹을 절단하여 세라믹웨이퍼를 형성하는 공정과; 상기 세라믹웨이퍼의 상기 압전세라믹층들에 남는 부분들이 탑들을 이루도록 상기 제1금속막들과 평행한 다수의 홈들을 형성하는 공정과; 상기 탑들의 측면들에 이격되어 제1 및 제2외부전극이 될 제2금속막들을 도포하고, 상기 제1 및 제2외부전극들 사이의 각각에 전압을 인가하여 압전 세라믹층을 분극하는 공정과 ; 상기 홈들과 직각되게 세라믹웨이퍼를 절단하여 다수개의 액츄에이터들을 한정하고, 이 액츄에이터들을 능동매트릭스의 기판에 실장하는 공정과 ; 상기 액츄에이터들의 제 2금속막들을 전기적으로 연결하여 공통 접지시키고 상기 액츄에이터들의 탑들 표면에 거울들을 실장하는 공정을 구비하는 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법
  2. 제1항에 있어서, 상기 세라믹웨이퍼의 표면에 포토레지스트를 도포하고 홈들을 형성하는 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2금속막이 상기 포토레지스터의 표면에도 도포되는 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 포토레지스터의 표면에 도포된 제2금속막은 상기 포토레지스터를 제거함과 동시에 제거되는 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제2금속막을 홈들의 내부표면에 도포한 후 홈들 하부 표면에 도포된 것을 제거하여 제1 및 제2외부전극들로 분리하는 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법
  6. 제5항에 있어서, 상기 제2금속막을 레이저로 제거하는 투상형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 분극시 제1 및 제2전극들 사이에 동시에 75∼300V의 전압을 인가하는 투사형 화상표시 장치용 광로조절장치의 제조방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1 전극들과 제2 전극들을 전기적으로 연결되지 않도록 공통접지시키는 투사형 화상표시 장치용 광로조절장치의 제조방법.
  9. 압전세라믹의 층들과 내부전극이 될 제1금속막들이 교호하는 벌크 상태의 다층세라믹을 성형 및 소결하는 공정과 ; 상기 제1금속막들과 수직인 방향으로 상기 다층세라믹을 절단하여 세라믹웨이퍼를 형성하는 공정과; 상기 세라믹웨이퍼의상기 압전세라믹층들에 남는 부분들이 탑들을 이루도록 상기 제1금속막들과 평형한 다수의 홈들을 형성하는 공정과 ; 상기 탑들의 측면들에 이격되어 제1 및 제2외부전극들이 될 제2금속막들을 도포하는 공정과 ; 상기 홈들과 직각되게 세라믹웨이퍼를 절단하여 다수개의 액츄에이터들을 한정하고, 이 액츄에이터들을 능동매트릭스의 기판에 실장하는 공정과 ; 상기 액츄에이터들의 상기 제1외부전극들과 상기 제2외부전극들을 각각 전기적으로 연결하고 그 사이에 공통으로 전압을 인가하여 압전세라믹층들을 분극하는 공정과 ; 상기 제1 및 제2외부전극들을 각각 공통접지 시키고 액츄에이터들의 탑들 표면에 거울들을 실장하는 공정을 구비하는 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 분극시 제1 및 제2외부전극들 사이에 75∼300V의 전압을 인가하는 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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