KR940022668A - 투사형 화상표시장치용 광로조절수단의 제조방법 - Google Patents

투사형 화상표시장치용 광로조절수단의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 M×N개의 화소를 가는 투사형 화상표시장치의 광로조절수단의 제조방법에 관한 것으로서, M+1개의 세라믹층들과 M개의 제1금속막들이 교호하여 적층된 다층 세라믹을 형성하는 공정과, 상기 제1금속막들과 수직방향으로 절단하여 세라믹웨이퍼를 만들고 상기 제1금속막들을 중심으로 돌출되도록 상기 세라믹층들의 가운데에 흠들을 형성하는 공정과, 상기 흠들의 내부표면에 제2금속막을 형성하는 공정과, 상기 흠들과 수직방향으로 N-1회 절단하여 M×N개의 액츄에이터를 형성하는 공정과, 상기 액츄에이터들을 능동매트릭스의 기판에 실장하고 제2금속막들을 전기적으로 연결하는 M+1개의 도선들을 상기 제1금속막들과 평행하고 한쪽끝을 공통 접지를 이루도록 형성공정과, 상기 액츄에이터 상부에 거울들을 실장하는 공정을 구비한다. 따라서, 종래 투사형 TV에 이용되는 투과용 액정표시장치가 가지는 편광판에 의한 광손실과, 액정자체 및 박막트랜지스터에 의한 광투과손실등으로 인한 낮은 광효율을 AMA를 채용하여 광효율을 크게 향상시킬 수 있는 광로조절수단을 제조할 수 있다.

Description

투사형 화상표시장치용 광로조절수단의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도(A) 내지 (F)는 본 발명에 따른 투사형 화상표시장치용 광로조절수단의 제조공정도.

Claims (9)

  1. M×N개의 화소를 갖는 투사형 화상표시장치의 광로조절수단의 제조방법에 있어서, M+1개의 세라믹층들과 M개의 제1금속막들이 교호하여 적층된 다층세라믹을 형성하는 공정과 : 상기 제1금속막들과 수직방향으로 절단하여 세라믹웨이퍼를 만들고 상기 제1금속막들을 중심으로 돌출되도록 상기 세라믹층들의 가운데에 흠들을 형성하는 공정과 : 상기 홈들의 내부표면에 제2금속막을 형성하는 공정과 : 상기 홈들과 수직방향으로 N-1회 절단하여 M×N개의 액츄에이터를 형성하는 공정과 : 상기 액츄에이터들을 능동매트릭스의 기판에 실장하고 제2금속막들을 전기적으로 연결하는 M+1개의 도선들을 상기 제1금속막들과 평행하고 한쪽끝을 공통 접지를 이루도록 형성하는 공정과 : 상기 액츄에이터 상부에 거울들을 실장하는 공정을 구비하는 투사형 화상표시장치용 광로조절수단의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 세라믹층들을 압전세라믹으로 형성하는 투사형 표시장치용 광로조절수단의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1금속막을 백금, 팔라듐 또는 팔라듐과 온의 합금으로 형성하는 투사형 표시장치용 광로조절수단의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 다층세라믹을 상기 제1금속막의 수직방향으로 분극하는 공정을 더 구비하는 투사형 표시장치용 광로조절수단의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 세라믹웨이퍼의 표면에 중합체층을 형성한 후 홈들을 형성하는 투사형 표시장치용 광로조절수단의 제조방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1금속막을 홈들의 내부와 중합체층의 표면에 형성하는 투사형 표시장치용 광로조절수단의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2금속막을 스퍼터링, 진공증착 또는 전해드금들중 어느 하나로 형성하는 투사형 표시장치용 광로조절수단의 제조방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 돌출부분상의 상기 중합체층을 제거함과 동시에 표면에 형성된 제2금속막을 제거하는 형성하는 투사형 표시장치용 광로조절수단의 제조방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 도선들을 금속선 또는 전도성 접착제중 어느 하나로 형성하는 투사형 표시장치용 광로조절수단의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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