KR950013232A - 광로조절장치의 제조방법 - Google Patents
광로조절장치의 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR950013232A KR950013232A KR1019930021831A KR930021831A KR950013232A KR 950013232 A KR950013232 A KR 950013232A KR 1019930021831 A KR1019930021831 A KR 1019930021831A KR 930021831 A KR930021831 A KR 930021831A KR 950013232 A KR950013232 A KR 950013232A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- forming
- mirror
- photoresist layer
- transparent film
- conductive adhesive
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N5/00—Details of television systems
- H04N5/74—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
상술한 바와 같이 본 발명은 투사형화상표시장치에 이용되는 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 바이어스 전극들의 표면에 비전도성 접착제를 덮도록 포토레지스트층과 유전체나 폴리머등의 투명막을 순차적으로 도포한 후 포토레지스터층을 사진 공정하여 비전도성 접착제의 상부에 지지부들을 형성하며 투명막을 포토리쏘그래피방법 또는 레이저에 의한 절단방법에 의해 거울의 몸체들을 형성하고, 이 거울의 몸체들에 금속을 도포하여 반사면들을 형성한다. 따라서, 거울의 몸체들을 홈들에 끼우지 않고 지지부품들의 상부에 형성하므로 제조가 간단하고 표면의 평탄도를 향상시킬 수 있고, 또한, 거울의 몸체들을 유전체로 형성하면 시간의 흐름에 다른 동작특성의 열화를 방지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 제1a도 내지 제1e도는 종래의 광로조절장치의 제조 공정도.
제2도는 제2a도 내지 제2f도는 본 발명에 따른 광로조절장치의 제조공정도.
Claims (9)
- 소정 두께의 세라믹판의 일측표면에 세로방향으로 제1홈들을 형성하는 공간과, 상기 세라믹판에 비전도성 접착제를 채우고 동일하게 가공된 다른 세라믹판을 제1홈들이 일치되도록 맞물려 부착시키고 타측 표면들을 비전도성 접착제가 노출되도록 연마하여세라믹웨이퍼를 형성하는 공정과, 상기 세라믹웨이퍼의 하부표면에 단위 화소들을 이루는 변형부들의 가각에 신호전극들을 형성하고 트랜지스터들이 내장되고 표면에 접속단자들을 갖는 구동기판에 상기 신호전극들이 접속단자들과 접촉되도록 실장하는 공정과, 상기 변형부들의 상부에 단위 화소로 분리하는 제2홈들을 상기 제1홈들과 수직하게 형성하는 바이어스전극들을 형성하는 공정과, 상기 비전도성접착제의 상부에 지지부들과 이 지지부들의 상부에 거울의 몸체들을 각각 형성하는 공정과, 상기 거울의 몸체에 거울면들을 형성하는 공정을 구비하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제2홈들을 포토리쏘그래피방법 또는 레이저에 의한 절단방법으로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 지지부들과 거울의 몸체들을 형성하는 공정이, 상기 바이어스전극들의 상부에 비전도성접착제가 덮혀지도록 포토레지스트층과 투광막을 순차적으로 도포하는 단계와, 상기 포토레지스트층을 비전도성접착제 상부를 제외한 나머지 부분을 노광하는 단계와, 상기 투광막을 단위화소별로 절단하여 거울의 몸체들을 형성하는 단계와, 상기 포토레지스트층의 노광된 부분을 현상하여 지지부들을 형성하는 단계를 구비하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 상기 투명막을 SiO2또는 Si3N4등의 절연물질로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 상기 투명막을 압전세라믹 또는 전왜 세라믹으로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 투명막을 2~6㎛ 정도의 두께로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 상기 투명막을 레이저로 절단하여 몸체들을 만드는 광로조절장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 지지부들과 거울의 몸체를 형성하는 공정이, 상기 바이어스전극들이 상부에 비전도성접착제가 덮혀지도록 포토레지스트층과 투명막을 순차적으로 도포하는 단계와, 상기 투명막을 분리하여 거울의 몸체들을 형성하는 단계와, 상기 포토레지스트층을 비전도성잡착제 상부를 제외한 나머지 부분을 노광 및 현상하여 지지부를 형성하는 단계를 구비하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제8항에 있어서, 상기 투명막을 포토리쏘그래피방법으로 분리하는 광로조절장치의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR93021831A KR970006678B1 (en) | 1993-10-20 | 1993-10-20 | Manufacturing method for an optical path regulating apparatus |
| US08/322,812 US5552923A (en) | 1993-10-20 | 1994-10-13 | Array of electrodisplacive actuated mirrors and method for the manufacture thereof |
| JP6253728A JPH07159709A (ja) | 1993-10-20 | 1994-10-19 | エレクトロディスプレーシブアクチュエーチドミラーアレーおよびその製法 |
| CN94117144.2A CN1058575C (zh) | 1993-10-20 | 1994-10-20 | 电位移致动反射镜阵列的制造方法及采用其制造的电位移致动反射镜阵列的光学投影系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR93021831A KR970006678B1 (en) | 1993-10-20 | 1993-10-20 | Manufacturing method for an optical path regulating apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950013232A true KR950013232A (ko) | 1995-05-17 |
| KR970006678B1 KR970006678B1 (en) | 1997-04-29 |
Family
ID=19366237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR93021831A KR970006678B1 (en) | 1993-10-20 | 1993-10-20 | Manufacturing method for an optical path regulating apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970006678B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100778868B1 (ko) * | 2006-09-01 | 2007-11-22 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 디지털 광 처리장치 및 그 제조 방법 |
-
1993
- 1993-10-20 KR KR93021831A patent/KR970006678B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100778868B1 (ko) * | 2006-09-01 | 2007-11-22 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 디지털 광 처리장치 및 그 제조 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970006678B1 (en) | 1997-04-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5610757A (en) | Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system | |
| KR970028686A (ko) | 액티브 매트릭스 기판 및 액정표시장치, 및 그 제조방법 | |
| KR950010596A (ko) | 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 제조 방법 | |
| JPH11174402A (ja) | 微細電子装置の製造時に用いる写真工程における露光方法およびこれを用いた液晶表示装置の製造方法 | |
| US5735026A (en) | Method for the manufacture of an electrodisplacive actuator array | |
| KR970063783A (ko) | 반도체 장치 형성방법 | |
| US5585956A (en) | Electrostrictive actuated mirror array | |
| JP2001125498A (ja) | 表示装置 | |
| US5734492A (en) | Piezoelectric actuated mirror array | |
| US4929059A (en) | Non-linear element for liquid crystal displays | |
| KR950013232A (ko) | 광로조절장치의 제조방법 | |
| JPH07159709A (ja) | エレクトロディスプレーシブアクチュエーチドミラーアレーおよびその製法 | |
| EP0497980A4 (en) | Optical valve device | |
| KR970003465B1 (ko) | 광로조절장치의 제조방법 | |
| KR880011626A (ko) | 정전잠상 형성장치 | |
| KR950013234A (ko) | 광로조절장치의 제조방법 | |
| KR950005003A (ko) | 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법 | |
| KR950007486A (ko) | 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법 | |
| KR970003458B1 (ko) | 투사형화상표시장치용 거울의 제조방법 | |
| KR950007972A (ko) | 광로조절장치 | |
| KR950016302A (ko) | 광로 조절장치의 제조방법 | |
| KR0159414B1 (ko) | 광로 조절 장치의 제조방법 | |
| SU1101893A1 (ru) | Способ записи изображени на пластический носитель | |
| KR0159401B1 (ko) | 광로 조절 장치의 제조방법 | |
| KR970003463B1 (ko) | 광로조절장치의 제조방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| G160 | Decision to publish patent application | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20010328 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |